JPH0610282B2 - Amorphous metal forming method - Google Patents
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- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、鉄系元素を主体とするアモルファス金属成形
体の製造方法に関する。アモルファス金属は、非晶質構
造をとるため、機械的強度が大きく、熱膨脹係数、放射
線損傷が小さく、化学的耐蝕性および耐摩耗性に優れて
いる。また特に磁性体としての非晶質材は、結晶粒界な
どの構造上の欠陥がないこと、結晶磁気異方性が存在し
ないこと、保磁力、比透磁率に著しい改善がみられるこ
と、高い電気抵抗率を持つことなどの優れた性質を有し
ている。このためアモルファス金属は、夢の材料ともい
われ、電磁コア、各種センサ、電磁クラッチなど極めて
広範囲の用途が期待されている。本発明の製造方法によ
れば、空隙の少ないバルク(塊)状で複雑な形状をもつ
アモルファス金属成形体を製造できる。従ってモータ用
鉄心(第3図)、変圧器の鉄心(第4図)、電磁コイル
の鉄心(第5図)、電磁ピックアップ(第6図)、電磁
コア、電磁クラッチ、各種センサなどの製造に利用でき
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing an amorphous metal compact mainly composed of an iron-based element. Since the amorphous metal has an amorphous structure, it has a large mechanical strength, a small coefficient of thermal expansion, a small radiation damage, and excellent chemical corrosion resistance and abrasion resistance. In particular, an amorphous material as a magnetic material has no structural defects such as crystal grain boundaries, no crystalline magnetic anisotropy, significant improvement in coercive force and relative permeability, and high It has excellent properties such as having electrical resistivity. Therefore, amorphous metal is also called a dream material, and is expected to have an extremely wide range of applications such as electromagnetic cores, various sensors, and electromagnetic clutches. According to the manufacturing method of the present invention, it is possible to manufacture a bulk (lump) -shaped amorphous metal compact having a small number of voids. Therefore, it can be used to manufacture motor cores (Fig. 3), transformer cores (Fig. 4), electromagnetic coil cores (Fig. 5), electromagnetic pickups (Fig. 6), electromagnetic cores, electromagnetic clutches, and various sensors. Available.
[従来の技術] 上記したアモルファス金属は107℃/sec程度で冷
却する液体急冷法、スパッタ法、蒸着法によって形成さ
れているため、リボン状、粉末状、細線状、薄膜状しか
製造できない。又アモルファス金属は、熱に対して極め
て弱く、300〜400度に加熱するとアモルファス性
は損なわれ、溶接等の加工は行なえない。そのためバル
ク(塊)状に製造することができなかった。故に、アモ
ルファス金属は上記した優れた性質を有し夢の材料とも
いわれているにもかかわらず、特殊の形状を持つ部材に
しか適用できず、用途が狭く限定されていた。そこで近
時、本発明者らは、アモルファス金属粉末に爆発成形を
施せば、アモルファス性を損なうことなく、バルク
(塊)状の成形体を得ることを発見した。然し爆発成形
を行なっただけでは、バルク(塊)状の成形体を形成し
得るものの、成形体の内部に少量の空隙が残留し、この
少量の空隙が磁気特性、機械的性質等に悪影響を及ぼ
す。[Prior Art] Since the above-mentioned amorphous metal is formed by a liquid quenching method of cooling at about 10 7 ° C / sec, a sputtering method, and a vapor deposition method, only a ribbon shape, a powder shape, a thin wire shape, and a thin film shape can be manufactured. Further, the amorphous metal is extremely weak against heat, and when heated to 300 to 400 degrees, the amorphous property is impaired, and processing such as welding cannot be performed. Therefore, it could not be manufactured in bulk. Therefore, although the amorphous metal has the above-mentioned excellent properties and is said to be a dream material, it can be applied only to a member having a special shape, and its use is narrowly limited. Therefore, the present inventors have recently discovered that if an amorphous metal powder is subjected to explosion molding, a bulk (lump) shaped body can be obtained without impairing the amorphous property. However, although only the explosive molding can form a bulk (lump) shaped body, a small amount of voids remain inside the molded body, and this small amount of voids adversely affects the magnetic properties, mechanical properties, etc. Exert.
[発明の目的] 本発明は上記した従来技術の実情に鑑みなされたもので
ある。従って第1の発明、第2の発明の目的は、空隙を
少なくし得るアモルファス金属成形体の製造方法を提供
するにある。[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances. Therefore, an object of the first invention and the second invention is to provide a method for producing an amorphous metal compact which can reduce voids.
[発明の概要] 本発明者はアモルファス金属について上記目的のもとに
鋭意研究した結果アモルファス金属粉末とアモルファス
金属超微粉末とを混合して混合粉末を形成したり、アモ
ルファス金属粉末と金属超微粉末とを混合して混合粉末
を形成したり、粒径の異なるアモルファス金属粉末とを
混合して混合粉末を形成したりし、この混合粉末に爆発
成形などの高エネルギ速度加工を施せば、空隙をかなり
減らし得るかほとんど無くして成形体を形成することが
できることを発見した。又、縦断面積と横断面積との比
が近い粒径のアモルファス金属粉末に高エネルギ速度加
工を施したときにも、空隙をかなり減らしうることを発
見した。本発明はかかる発見に基くものである。[Summary of the Invention] The present inventor has conducted extensive research on amorphous metal based on the above object, and as a result, mixed amorphous metal powder and amorphous metal ultrafine powder to form a mixed powder, or amorphous metal powder and metal ultrafine powder. When mixed with powder to form mixed powder, or mixed with amorphous metal powders having different particle diameters to form mixed powder, and subjecting this mixed powder to high energy velocity processing such as explosion molding, it becomes a void. It has been found that the molded body can be formed with significantly reduced or almost no. It was also discovered that the voids can be considerably reduced even when high energy velocity processing is performed on amorphous metal powder having a grain size with a close ratio of the longitudinal cross-sectional area to the cross-sectional area. The present invention is based on such findings.
[第1の発明の構成] 第1の発明に係るアモルファス金属成形体の製造方法
は、鉄系元素を主体とする粒径10〜200μmのアモ
ルファス金属粉末と、鉄系元素を主体とする粒径50〜
1000オングストロームのアモルファス金属超微粉末
とを混合して混合粉末を形成し、該混合粉末を高エネル
ギ速度加工することにより固結し、成形体を形成するこ
とを特徴とするものである。[Structure of First Invention] A method for manufacturing an amorphous metal compact according to a first invention comprises an amorphous metal powder mainly composed of iron-based elements and having a particle size of 10 to 200 μm, and a particle size mainly composed of iron-based elements. 50-
The present invention is characterized in that a mixed powder is formed by mixing with 1000 angstrom ultrafine amorphous metal powder to form a mixed powder, and the mixed powder is solidified by high energy speed processing to form a compact.
〔第1の発明の構成の詳細な説明〕 以下、(アモルファス金属粉末)(アモルファス金属超
微粉末)(金属超微粉末)(工程)に分けて詳細に説明
する。[Detailed Description of the Configuration of the First Invention] Hereinafter, (amorphous metal powder) (amorphous metal ultrafine powder) (metal ultrafine powder) (step) will be described in detail.
(アモルファス金属粉末) 第1の発明で用いるアモルファス金属粉末は鉄系元素を
主体とする粉末である。ここで鉄系元素とは鉄(F
e)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)を意味す
る。鉄系元素を主体とするアモルファス金属粉末は、鉄
系元素と半金属(燐(P)、炭素(C)、ボロン
(B)、シリコン(Si)など)との合金、あるいは鉄
系元素と希土類金属(Gd、Tb、Dyなど)との合金
を用いることができる。代表的なアモルファス金属粉末
としては、Fe70Co15B15、Fe80B15S
i5、Fe40Ni40P14B6、Fe70Co15
B15、Co80B15C15、Ni78B2Si10
などがある。(ここで70、15、5などの数値は原子
%を示す。)アモルファス金属粉末の粒子形状は、対称
性に優れた球状、細長いひょうたん状が良いが、場合に
よっては薄片状でもよく、リボン状、線状のもの破砕し
たものでもよい。(Amorphous Metal Powder) The amorphous metal powder used in the first invention is a powder mainly composed of iron-based elements. Here, the iron-based element is iron (F
e), cobalt (Co) and nickel (Ni) are meant. Amorphous metal powders mainly composed of iron-based elements are alloys of iron-based elements and semimetals (phosphorus (P), carbon (C), boron (B), silicon (Si), etc.), or iron-based elements and rare earths. An alloy with a metal (Gd, Tb, Dy, etc.) can be used. Typical amorphous metal powders include Fe 70 Co 15 B 15 and Fe 80 B 15 S.
i 5 , Fe 40 Ni 40 P 14 B 6 , Fe 70 Co 15
B 15 , Co 80 B 15 C 15 , Ni 78 B 2 Si 10
and so on. (Numerical values such as 70, 15, and 5 indicate atomic%.) The particle shape of the amorphous metal powder is preferably spherical or elongated gourd shape with excellent symmetry, but may be flaky or ribbon shape in some cases. Alternatively, a linear product may be crushed.
本発明ではアモルファス金属粉末の粒状は10〜200
μm程度のものを用いる。ここで10〜200μmと数
値を限定した理由は以下のようである。即ち10μm未
満では粉末粒子の表面積に比べて粉末粒子の体積が小さ
くなる。そのため爆発成形などの高エネルギ速度加工を
施したときにアモルファス金属粉末の粒子表面で発生す
る熱を、該粒子の内部へ奪いとることが不充分となる。
その結果該粒子表面に存するアモルファス金属超微粉末
のアモルファス性が失われ易くなるからである。また2
00μmを越えると、粉末充填密度が低くなり、粉末粒
子の接合性が低下するからである。In the present invention, the granularity of the amorphous metal powder is 10 to 200.
A material with a size of about μm is used. The reason why the numerical value is limited to 10 to 200 μm is as follows. That is, if it is less than 10 μm, the volume of the powder particles becomes smaller than the surface area of the powder particles. Therefore, it becomes insufficient to remove the heat generated on the surface of the particles of the amorphous metal powder to the inside of the particles when performing high energy velocity processing such as explosion molding.
As a result, the amorphous property of the ultrafine amorphous metal powder existing on the surface of the particles is likely to be lost. Again 2
This is because if it exceeds 00 μm, the powder packing density becomes low and the bondability of the powder particles deteriorates.
粒径10〜200μmのアモルファス金属粉末は通常用
いられる方法で製造できる。例えば回転ロール法、アト
マイズ法、スプレー法、スパーク法、キャビティション
法などを用いることができる。粒子が球状のアモルファ
ス金属粉末はスパーク法、アトマイズ法で製造できる。Amorphous metal powder having a particle size of 10 to 200 μm can be produced by a commonly used method. For example, a rotating roll method, an atomizing method, a spray method, a spark method, a cavitation method or the like can be used. Amorphous metal powder having spherical particles can be produced by a spark method or an atomizing method.
回転ロール法でアモルファス金属粉末を製造する代表的
な例について更に具体的に説明する。即ち、Fe65
部、Co15部、B15部、Si5部の組成を持つ粒径
1〜1000μmの粉末をボールミルにて混合した後、
13.56MHzの高周波加熱にて1400℃以上で溶解
させるその後この溶湯を直径5〜30mmの棒状に成形す
る。次にこの棒状成形体を石英製又はセラミックス製の
容器にて1350℃から1400℃の温度で加熱溶解す
る。加熱溶解は高周波溶解がよい。次に上記のように形
成した溶湯を容器のノズルから水中回転ロールに向けて
噴出させ、これにより粒径10〜200μmのアモルフ
ァス金属粉末を製造する。このようにして製造したアモ
ルファス金属粉末の形状はひょうたん形が多い。A typical example of producing an amorphous metal powder by the rotating roll method will be described more specifically. That is, Fe65
Parts, Co15 parts, B15 parts, Si5 parts and powder having a particle size of 1 to 1000 μm are mixed in a ball mill,
It is melted at a high temperature of 13.56 MHz at 1400 ° C. or higher, and then this molten metal is formed into a rod shape having a diameter of 5 to 30 mm. Next, this rod-shaped molded body is heated and melted at a temperature of 1350 ° C. to 1400 ° C. in a container made of quartz or ceramics. High frequency melting is preferable for heat melting. Next, the molten metal formed as described above is jetted from the nozzle of the container toward the underwater rotating roll, thereby producing an amorphous metal powder having a particle size of 10 to 200 μm. The shape of the amorphous metal powder produced in this way is often a gourd shape.
(アモルファス金属超微粉末) 第1の発明で用いるアモルファス金属超微粉末は、アモ
ルファス性を持つ粒径50〜1000オングストローム
の超微細なアモルファス金属粉末の意味である。このア
モルファス金属超微粉末は比表面積が極めて大きく、従
って極めて活性である。このアモルファス金属超微粉末
を添加すれば、成形体を構成する粒子間の接合性を向上
させ得る。(Amorphous metal ultrafine powder) The amorphous metal ultrafine powder used in the first invention means an ultrafine amorphous metal powder having an amorphous property and a particle size of 50 to 1000 angstrom. This amorphous metal ultrafine powder has a very large specific surface area and is therefore very active. If this amorphous metal ultrafine powder is added, the bondability between the particles forming the compact can be improved.
代表的なアモルファス金属超微粉末としては、シリコ
ン、Fe80B15Si5、Fe70Co15B15、
Co75B15Si10、Ni75B15Si70のも
のを用いることができる。粒径50〜1000オングス
トロームのアモルファス金属超微粉末は、プラズマCV
D法、スパッタ法によって製造できる。プラズマCVD
法の場合には、電極間にアモルファス金属生成ガスを導
入し、電極間に高周波電力を印加して該電極間にグロー
放電を起させ、これにより前記生成ガスをプラズマ化し
基板上にアモルファス金属超微粉末を生成する。例え
ば、アモルファス金属超微粉末の代表例であるアモルフ
ァスシリコン超微粉末を作製する場合には、シラン(S
iH4)ガスをプラズマCVD法によって0.001〜
10W/cm3の範囲で分解し、アモルファス金属超微粉
末を基板上に付着させる。基板は常温状態とするか水冷
しておくとよい。このようにプラズマCVD法によって
製造したアモルファスシリコン超微粉末の粒径は通常、
50〜800オングストロームである。As a typical amorphous metal ultrafine powder, silicon, Fe 80 B 15 Si 5 , Fe 70 Co 15 B 15 ,
It can be used as the Co 75 B 15 Si 10, Ni 75 B 15 Si 70. Amorphous metal ultrafine powder with a particle size of 50 to 1000 angstrom is plasma CV
It can be manufactured by the D method or the sputtering method. Plasma CVD
In the case of the method, an amorphous metal producing gas is introduced between the electrodes, and high-frequency power is applied between the electrodes to cause glow discharge between the electrodes, whereby the produced gas is made into plasma and the amorphous metal super-imposed on the substrate. This produces a fine powder. For example, in the case of producing amorphous silicon ultrafine powder which is a typical example of amorphous metal ultrafine powder, silane (S
iH4) gas by plasma CVD method from 0.001
Decomposes in the range of 10 W / cm 3 and deposits ultrafine amorphous metal powder on the substrate. The substrate is preferably kept at room temperature or cooled with water. The particle size of the amorphous silicon ultrafine powder produced by the plasma CVD method as described above is usually
It is 50 to 800 angstroms.
鉄系、コバルト系、ニッケル系のアモルファス金属超微
粉末も同様にプラズマCVD法やスパッタ法によって製
造することができる。例えば、アモルファス金属超微粉
末の代表例であるFeBSi合金の超微粉末を製造する
場合には、シラン(SiH4)ガス及びBCl3ガス
(又はB2H6ガス)の混合ガスと、FeCl3の固体
を加熱気化させたガスとを反応容器中に送り10−2〜
5Torr下の真空下において0.001〜10w/cm
3のプラズマ下で反応させ、これにより粒径50〜10
00オングストロームのアモルファス性をもつFeBS
i合金の超微粉末を製造できる。Iron-based, cobalt-based, and nickel-based ultrafine amorphous metal powders can be similarly produced by plasma CVD or sputtering. For example, when producing ultrafine powder of FeBSi alloy, which is a typical example of amorphous metal ultrafine powder, a mixed gas of silane (SiH4) gas and BCl3 gas (or B2H6 gas) and FeCl3 solid are heated and vaporized. And the gas is sent into the reaction vessel 10 -2 ~
0.001 to 10 w / cm under vacuum at 5 Torr
It is made to react under the plasma of 3 and the particle size is 50-10.
FeBS with an amorphous property of 00 angstrom
Ultrafine powder of i alloy can be manufactured.
(金属超微粉末) 混合粉末に金属超微粉末を添加することもできる。金属
超微粉末は、粒径50〜1000オングストロームと超
微細であり、アモルファス性をもたない金属粉末の意味
である。金属超微粉末は比表面積が極めて大きく、従っ
て極めて活性である。従ってこの金属超微粉末を添加す
れば、成形体を構成する粒子間の接合性を向上させ得
る。(Ultrafine metal powder) Ultrafine metal powder can be added to the mixed powder. The ultrafine metal powder is a fine metal powder having a particle size of 50 to 1000 angstrom and does not have an amorphous property. The ultrafine metal powder has a very large specific surface area and is therefore very active. Therefore, if this ultrafine metal powder is added, the bondability between the particles constituting the compact can be improved.
代表的な金属超微粉末としては、Fe、Co、Ni、S
iなどを用いることができる。金属超微粉末は一般的に
は真空蒸発法、電子ビーム蒸発法、スパッタリング法な
どによって製造できる。例えば、真空10−4Torr以
下の真空蒸発装置に数ないし数百Torrの不活性ガスを
入れ、金属をその内で溶解、蒸発させて製造できる。な
お金属超微粉末は、市販のものを用いることができる。Fe, Co, Ni, S are typical metal ultrafine powders.
i or the like can be used. The ultrafine metal powder can be generally produced by a vacuum evaporation method, an electron beam evaporation method, a sputtering method, or the like. For example, it can be manufactured by putting a few to several hundreds Torr of an inert gas in a vacuum evaporator having a vacuum of 10 −4 Torr or less, and melting and evaporating a metal therein. As the ultrafine metal powder, a commercially available product can be used.
(工程) 第1の発明の製造方法では、アモルファス金属粉末とア
モルファス金属超微粉末とを混合して混合粉末を形成す
る。混合するに当たってはポットミル混合法、ライカイ
キ混合法、振動ミル混合法などを用い、具体的にはまず
大きな粉末を充填し、その後振動をかけながら、大きな
粉末の間に超微粉末を充填し混合する方法、即ち振動充
填混合法によって行う。アモルファス金属超微粉末は比
表面積が極めて大で活性に富むため、変質しないように
留意する必要がある。変質を抑えるためには、作成した
粉末を真空中で、表面にN2またはAr等の不活性ガス
を十分に吸着させた後、大気中に取り出し素早くN2or
Ar雰囲気中で保たれた室に保管するとよい。混合粉末
において、アモルファス金属超微粉末の添加量は、0.
01〜20Vol%以下がよい。その理由は第1に、そ
れ以上添加しても接合性が変わらないこと、第2に成形
体の磁気特性が低下してしまうこと等である。磁気特性
が低下するのは金属超微粒子の表面が酸化したり、変質
することがしばしば起るためだからである。(Step) In the manufacturing method of the first invention, the amorphous metal powder and the amorphous metal ultrafine powder are mixed to form a mixed powder. When mixing, use a pot mill mixing method, a reiki mixing method, a vibration mill mixing method, etc. Specifically, first fill a large powder, and then, while vibrating, fill and mix ultrafine powder between the large powders. It is carried out by a method, that is, a vibration filling mixing method. Since the amorphous metal ultrafine powder has a very large specific surface area and is highly active, it is necessary to take care so that it does not deteriorate. In order to suppress alteration, the prepared powder should be adsorbed on the surface in an inert gas such as N 2 or Ar in a vacuum, and then taken out into the atmosphere to quickly remove N 2 or
It is recommended to store in a room kept in Ar atmosphere. In the mixed powder, the addition amount of the amorphous metal ultrafine powder is 0.
01 to 20 Vol% or less is preferable. The reasons are, firstly, that the bondability does not change even if it is further added, and secondly, the magnetic properties of the molded body deteriorate. The magnetic properties are deteriorated because the surfaces of the ultrafine metal particles are often oxidized or deteriorated.
第1の発明の製造方法方法では、上記した混合粉末を高
エネルギ速度加工することにより、固結し、成形体を形
成する。第1図は混合粉末の状態をミクロ的にみた模式
図であり、第2図は混合粉末を高エネルギ速度加工した
成形体をミクロ的にみた模式図である。第2図からあき
らかなように、高エネルギ速度加工した状態では、粉末
粒子が固結している。ここで高エネルギ速度加工とは、
極めて短時間(一般的には10−3〜10−6秒程度の
極めて短い時間)にエネルギを瞬間的に放出して成形す
る加工方法の意味である。高エネルギ速度加工を用いれ
ば、単位時間当たりのエネルギ即ちエネルギ速度が極め
て大きいため、熱をあまり生じさせることなく固結でき
る。従ってアモルファス性を損なうことなく固結でき
る。高エネルギ速度加工による成形圧力は、0.7〜1
0GPaがよい。ここで成形圧力が、0.7GPa未満
であると成形圧が低いため粉末粒子の圧着性が悪く一体
成形できにくいが、0.7GPa以上であると一体成形
が可能であり、更に好ましくは1.5GPaを越えた方
がより良好で均一質な成形体を得ることができる。場合
によっては、例えば粉末粒子が大のときには50GPa
に近くてもよい。In the manufacturing method according to the first aspect of the present invention, the mixed powder described above is subjected to high-energy speed processing to consolidate and form a compact. FIG. 1 is a schematic view of the mixed powder in a microscopic state, and FIG. 2 is a schematic view of a molded body obtained by processing the mixed powder at a high energy velocity in a microscopic view. As is apparent from FIG. 2, the powder particles are solidified in the state of high energy speed processing. Here, high energy speed machining means
This means a processing method of instantaneously releasing energy in an extremely short time (generally, an extremely short time of about 10 −3 to 10 −6 seconds) to perform molding. When the high energy speed processing is used, the energy per unit time, that is, the energy speed is extremely large, and therefore the solidification can be performed without generating much heat. Therefore, it can be solidified without impairing the amorphous property. Molding pressure by high energy speed machining is 0.7-1
0 GPa is good. Here, when the molding pressure is less than 0.7 GPa, the pressure of the powder particles is low and the powder particles have poor pressure-bonding properties, making it difficult to perform integral molding. However, when the molding pressure is 0.7 GPa or more, integral molding is possible, and more preferably 1. If it exceeds 5 GPa, a better and uniform molded product can be obtained. Depending on the case, for example, when the powder particles are large, 50 GPa
May be close to.
代表的な高エネルギ速度加工としては爆発成形加工があ
る。爆発成形加工は、TNT火薬やダイナマイトの爆発
によって生じる衝撃波やガス膨脹で瞬間的に圧力を加え
る方法である。爆発成形は一般的には水中で火薬を爆発
させて行なう。爆発成形の圧力は、水面から火薬までの
深さ、火薬から被成形物への距離、火薬の量によって調
整できる。爆発成形を用いた場合の圧力は0.7〜10
GPaが望ましい。それよりも高圧を加えると、接合時
の熱量が大きくなりすぎ、アモルファスの一部が結晶化
するためアモルファス性が失われ易くなり、又それより
も低圧であると粒子が充分に接合しないからである。Explosive molding processing is a typical high energy speed processing. The explosive molding process is a method in which pressure is momentarily applied by a shock wave or gas expansion generated by the explosion of TNT explosive or dynamite. Explosive molding is generally performed by exploding explosive powder in water. The pressure of explosion molding can be adjusted by the depth from the water surface to the explosive, the distance from the explosive to the object to be molded, and the amount of explosive. Pressure when using explosive molding is 0.7-10
GPa is desirable. If a higher pressure than that is applied, the amount of heat at the time of joining becomes too large, and part of the amorphous is crystallized, so that the amorphous property tends to be lost, and if the pressure is lower than that, the particles do not sufficiently join. is there.
爆発成形は、具体的には成形型(例えばモータ用鉄心を
成形する成形型)内に上記混合粉末を装填し、これとT
NT火薬を充填した容器内に設置して行なう。In the explosive molding, specifically, the above-mentioned mixed powder is loaded into a molding die (for example, a molding die for molding an iron core for a motor), and this and T
It is installed in a container filled with NT powder.
特殊な場合としては、高エネルギ速度加工として、電気
エネルギを利用した放電成形法を用いることができる。
放電成形法では、コンデンサーに蓄積した電荷を水中で
火花放電させ、その際発生する衝撃波を用いて瞬間的に
混合粉末を固結する。放電成形法によれば圧力の大きさ
を電気的に容易に調整することができる。In a special case, an electric discharge forming method using electric energy can be used as the high energy speed machining.
In the electric discharge molding method, the electric charge accumulated in the capacitor is spark-discharged in water, and the shock wave generated at that time is used to instantaneously consolidate the mixed powder. According to the electric discharge molding method, the magnitude of pressure can be easily adjusted electrically.
アモルファス金属成形体が固結される機構は次のようで
あると推定される。即ち、混合粉末が爆発成形などの高
エネルギ速度加工によって強く密着し、これにより固結
が行なわれる。高エネルギ速度加工は、通常、10−3
〜10−6秒の範囲という極めて短時間にエネルギを瞬
間的に放出するものであるから、加熱によってアモルフ
ァス性が失われ易いアモルファス金属粉末であって
も、、アモルファス性を損なうことなく、あるいはほと
んど損なうことなく固結できる。この場合、第1の発明
のアモルファス金属超微粉末は、成形体を構成するアモ
ルファス金属粉末の粒子の周囲に位置しバインダーとし
て機能している。ここで、アモルファス金属超微粉末に
生じた熱は、母体であるアモルファス金属粉末の内部へ
奪われる。従ってアモルファス金属超微粉末もアモルフ
ァス性を損なうことなく、あるいはほとんど損なうこと
なく固結できる。The mechanism by which the amorphous metal compact is consolidated is presumed to be as follows. That is, the mixed powder adheres strongly by high energy velocity processing such as explosive molding, which causes consolidation. High energy speed machining is usually 10 −3
Since the energy is instantaneously released in an extremely short time in the range of -10 to 6 seconds, even if the amorphous metal powder easily loses the amorphous property by heating, the amorphous property is not impaired, or almost no Can be solidified without damage. In this case, the amorphous metal ultrafine powder of the first invention is located around the particles of the amorphous metal powder forming the compact and functions as a binder. Here, the heat generated in the amorphous metal ultrafine powder is taken to the inside of the amorphous metal powder that is the base. Therefore, the amorphous metal ultrafine powder can be solidified without impairing the amorphous property or almost impairing it.
(組織) 第1の発明の製造方法で製造したアモルファス金属成形
体の組織を第8図に示す。第8図に示すサンプルは、F
e80B20粒径10〜200μの粉末90vol%に、
10vol%のアモルファス金属超微粉末Fe80B20
を添加して爆発成形(約1.5MPa)で成型したもの
である。このサンプルは、どの部分をみてもX線回折図
にハローパターンが得られた。(Structure) The structure of the amorphous metal compact manufactured by the manufacturing method of the first invention is shown in FIG. The sample shown in FIG.
e 80 B 20 90 vol% powder having a particle size of 10 to 200 μ,
10 vol% amorphous metal ultrafine powder Fe 80 B 20
Was added and the mixture was molded by explosion molding (about 1.5 MPa). In this sample, a halo pattern was obtained in the X-ray diffraction pattern regardless of which part was seen.
第8図においてアモルファス金属超微粉末は、母体であ
るアモルファス金属粉末を結合するバインダとして機能
している。In FIG. 8, the ultrafine amorphous metal powder functions as a binder for binding the amorphous metal powder as the base material.
以上のような方法で製造したアモルファス金属成形体
は、アモルファス性を確保していることが明らかとなっ
た。即ち、第8図に示した第1の発明に係るアモルファ
ス金属成形体の組織では、ビッカース硬度が700〜1
300と高く、X線回折でハローパターン、電子顕微鏡
による電子線回折でハローリングが観察されたことから
も明らかである。It has been clarified that the amorphous metal molded body manufactured by the method as described above secures the amorphous property. That is, in the structure of the amorphous metal formed body according to the first invention shown in FIG. 8, the Vickers hardness is 700 to 1
It is as high as 300, which is clear from the fact that a halo pattern was observed by X-ray diffraction and a halo ring was observed by electron beam diffraction using an electron microscope.
[第1の発明の効果] 上記した第1の発明の製造方法によれば、空隙が従来よ
りも減った。これは後述する実施例の試験値で示すよう
に第1の発明品のビッカース硬度が比較例の場合よりも
大きいことからも明らかである。[Effect of the first invention] According to the manufacturing method of the first invention described above, the number of voids is reduced as compared with the conventional case. This is also apparent from the fact that the Vickers hardness of the first invention product is larger than that of the comparative example, as shown by the test values of Examples described later.
[第1の発明の実施例] 第1表は、第1の発明および比較例の製造方法によって
製造したアモルファス金属成形体の各実施例を示すもの
である。この場合アモルファス金属粉末は、平均粒径5
0〜70μ、粒径10〜200μのものを用いた。又第
1表に示すようにアモルファス金属超微粉末としては、
Fe80B15Si5、Fe70Co15B15、Co
75B15Si10、Ni75B15Si10のものを
用いた。又金属超微粉末としては、Fe、Si、Co、
Niの結晶粉末を用いた。アモルファス金属超微粉末や
金属超微粉末は、粒径50〜500オングストロームの
ものを用いた。アモルファス金属超微粉末や金属超微粉
末の添加量は0.01〜20Vol%とした。アモルフ
ァス金属粉末とアモルファス金属超微粉末の混合、又は
アモルファス金属粉末と金属超微粉末の混合はまず大き
な粉末80〜99.9vol%を充填した後、振動をかけ
ながらそれらの粒子間の隙間に超微粉末を0.01〜2
0vol%混入させる方法によって行なった。上記実施例
では、高エネルギ速度加工として爆発成形を行なった。
爆発成形は、具体的には次のようにして行なう。即ち粉
末を所定の形状の容器内に理論密度の約50〜60%に
装填し、真空脱気後、容器を密封する。次にシート爆発
による予備処理を行なう。次いでこれを取り出し、銅ま
たは黄銅、ステンレス製の内容器内に収納し、その内容
器の外に更に外容器を設置し、その状態でコーズマイト
爆薬を内容器と外容器の空間に充填し、雷管によって点
爆発させる。次に外容器の形状効果による爆薬レンズに
よって平面爆発波にて、主爆薬のコーズマイト爆薬を爆
発させ、爆発成形を行なう。この爆発成形は、水深約1
〜2m下で行ない、爆発時の音とエネルギを吸収する。
製造された成形体は、内容器内に収納されており、その
成形体に接触した内容器を研削、又は酸アルカリによる
エッチングによって取り除く。成形圧は混合割合によっ
て異なるが0.7〜10GPaとした。[Examples of First Invention] Table 1 shows examples of amorphous metal compacts produced by the production methods of the first invention and comparative examples. In this case, the amorphous metal powder has an average particle size of 5
Those having a particle size of 0 to 70 μ and a particle size of 10 to 200 μ were used. Further, as shown in Table 1, as the amorphous metal ultrafine powder,
Fe 80 B 15 Si 5 , Fe 70 Co 15 B 15 , Co
75 B 15 Si 10 and Ni 75 B 15 Si 10 were used. Further, as the metal ultrafine powder, Fe, Si, Co,
A crystal powder of Ni was used. As the amorphous metal ultrafine powder and the metal ultrafine powder, those having a particle size of 50 to 500 angstrom were used. The addition amount of the amorphous metal ultrafine powder and the metal ultrafine powder was set to 0.01 to 20 Vol%. To mix amorphous metal powder and ultrafine amorphous metal powder, or mix amorphous metal powder and ultrafine metal powder, first fill a large powder of 80 to 99.9 vol%, and then apply vibration to the gap between the particles. Fine powder 0.01-2
It was carried out by a method of mixing 0 vol%. In the above embodiment, explosion molding was performed as high energy speed machining.
Specifically, the explosion molding is performed as follows. That is, the powder is loaded into a container having a predetermined shape so as to have a theoretical density of about 50 to 60%, and the container is sealed after vacuum deaeration. Next, pretreatment by sheet explosion is performed. Then take it out and store it in an inner container made of copper, brass, or stainless steel, and then install an outer container outside the inner container. Make a point explosion by. Next, the main explosive, causemite explosive, is exploded by a plane explosive wave by the explosive lens due to the shape effect of the outer container, and explosion molding is performed. This explosion molding has a water depth of about 1
It goes under ~ 2m and absorbs sound and energy at the time of explosion.
The manufactured molded body is housed in an inner container, and the inner container contacting the molded body is removed by grinding or etching with an acid / alkali. The molding pressure was 0.7 to 10 GPa, although it varied depending on the mixing ratio.
上記のように製造した各実施例のアモルファス金属成形
体の磁気特性(飽和磁束密度、透磁率、保磁力)やビッ
カース硬度を第1表に示した。第1表においてビッカー
ス硬度を比較する。まずアモルファス金属粉末の組成が
同一であるNo.1〜No.3(第1の発明)と、No.8(比
較例)とを比較する。ビッカース硬度は、No.1〜No.3
(第1の発明の成形品)では1030と高かった。一
方、No.8(比較例)では990と低かった。又、No.6
及びNo.7と、No.8(比較例)とを比較すると、No.6
及びNo.7のビッカース硬度は1030であり、No.8
(比較例)よりも高かった。このことからも第1の発明
の成形品では空隙が少ないことがわかる。Table 1 shows the magnetic characteristics (saturation magnetic flux density, magnetic permeability, coercive force) and Vickers hardness of the amorphous metal compacts of the respective examples manufactured as described above. The Vickers hardness is compared in Table 1. First, No. 1 to No. 3 (first invention) having the same composition of amorphous metal powder and No. 8 (comparative example) are compared. Vickers hardness is No.1 to No.3
(Molded product of the first invention) was as high as 1030. On the other hand, in No. 8 (comparative example), it was as low as 990. Also, No. 6
When comparing No. 7 and No. 8 with No. 8 (comparative example), No. 6
And Vickers hardness of No. 7 is 1030, and No. 8
It was higher than (comparative example). This also shows that the molded article of the first invention has few voids.
飽和磁束密度は、No.1〜No.3およびNo.6(第1の発
明の成形品)では14.5〜16.2である。一方、N
o.8(比較例)では14.0と低かった。このことから
も本発明品では空隙が少ないことがわかる。The saturation magnetic flux density is 14.5 to 16.2 in No. 1 to No. 3 and No. 6 (molded product of the first invention). On the other hand, N
It was as low as 14.0 in o.8 (Comparative Example). This also shows that the product of the present invention has few voids.
[第2の発明の構成] 第2の発明に係るアモルファス金属成形体の製造方法
は、鉄系元素を主体とする粒径75〜125μmのアモ
ルファス金属粉末と、鉄系元素を主体とする粒径10〜
50μmのアモルファス金属粉末とを含む混合粉末を形
成し、該混合粉末を高エネルギ速度加工することにより
固結し、成形体を形成することを特徴とするものであ
る。[Structure of Second Invention] A method for manufacturing an amorphous metal compact according to a second invention comprises: an amorphous metal powder mainly composed of an iron-based element and having a particle size of 75 to 125 μm; and a particle size mainly composed of an iron-based element. 10 to
The present invention is characterized in that a mixed powder containing 50 μm of amorphous metal powder is formed, and the mixed powder is consolidated by high-energy speed processing to form a compact.
第2の発明の特徴は、アモルファス金属粉末として粒径
が大のものと小のものを用いた点にある。このため粉末
の充填密度が大きくでき、成形体の空隙を減らし得る。
尚、粒径小のものは、主として、バインダーとして機能
する。A feature of the second invention is that amorphous metal powders having a large particle size and a small particle size are used. Therefore, the packing density of the powder can be increased, and the voids of the molded body can be reduced.
Incidentally, those having a small particle size mainly function as a binder.
[第2の発明の構成の詳細な説明] 第2の発明で用いるアモルファス金属粉末は、鉄系元素
を主体とする粉末である。ここで鉄系元素とは、鉄、コ
バルト、ニッケルを意味する。アモルファス金属粉末
は、第1の発明の場合と同様に、前記鉄系元素と半金属
(P、C、B、Siなど)との合金あるいは、鉄系元素
と希土類金属(Gd、Tb、Dyなど)との合金を用い
ることができる。[Detailed Description of Configuration of Second Invention] The amorphous metal powder used in the second invention is a powder mainly containing an iron-based element. Here, the iron-based element means iron, cobalt, and nickel. As in the case of the first invention, the amorphous metal powder is an alloy of the iron-based element and a semimetal (P, C, B, Si, etc.) or an iron-based element and a rare earth metal (Gd, Tb, Dy, etc.). ) And an alloy with can be used.
アモルファス金属粉末の粒径としては、75〜125μ
mのもの、10〜50μmのものを用いるが、混合粉末
には、他の大きさの粒径をもつ粉末を添加してもよく、
例えば粒径50〜1000オングストロームの超微粉末
を別途添加してもよい。添加する超微粉末は耐熱性、耐
蝕性に優れたものがよく、例えばFe、Co、Ni、C
r、Si、B、W、Ti、Mo、V、Ge、Pdがよ
い。The particle size of the amorphous metal powder is 75 to 125 μ.
m, 10 to 50 μm, but powders having other particle sizes may be added to the mixed powder.
For example, ultrafine powder having a particle size of 50 to 1000 angstrom may be added separately. The ultrafine powder to be added should have excellent heat resistance and corrosion resistance, such as Fe, Co, Ni, and C.
r, Si, B, W, Ti, Mo, V, Ge and Pd are preferable.
粒径75〜125μの代表的なアモルファス金属粉末と
しては、MaYbZc(ここでMはFe、Co、Niで
あり、Yはリン(P)、炭素(C)、ボロン(B)であ
り、ZはAl、Siなどである。a、b、c は原子%
で、aは60〜90、bは10〜30、cは0.1〜1
5)を用いることができる。例えばFe65Co15B
15、Si5を用いることができる。As a typical amorphous metal powder having a particle size of 75 to 125 μ, MaYbZc (wherein M is Fe, Co and Ni, Y is phosphorus (P), carbon (C) and boron (B) and Z is Z). Al, Si, etc. a, b, c are atomic%
Where a is 60 to 90, b is 10 to 30, and c is 0.1 to 1.
5) can be used. For example, Fe 65 Co 15 B
15 and Si 5 can be used.
又10〜30μmの代表的なアモルファス金属粉末とし
ては、Fe75〜85B15〜25、Ni75〜85B
15〜25、Ni65〜75B10〜20P5〜25、
Fe75〜85B5〜15C5〜15、Fe75〜80
B10〜25Co1〜3Mo0.1〜2がある。アモル
ファス金属粉末の形状は、対称性に優れた球状、細長い
ひょうたん状がよいが、場合によっては球状でないも
の、例えば薄片状、リボン状、線状でもよい。Further, as typical amorphous metal powders of 10 to 30 μm, Fe 75 to 85 B 15 to 25 and Ni 75 to 85 B are used.
15-25 , Ni 65-75 B 10-20 P 5-25 ,
Fe 75-85 B 5-15 C 5-15 , Fe 75-80
B 10-25 Co 1-3 Mo 0.1-2 . The shape of the amorphous metal powder is preferably spherical or elongated gourd with excellent symmetry, but may be non-spherical, for example, flaky, ribbon or linear.
上記したMaYbZcの組成をもつ75〜125μmの
アモルファス金属粉末を用いた場合には、粒径10〜5
0μのアモルファス金属粉末の粒子の形状は、球状の方
が望ましい。その理由は、上記したMaYbZcの組成
で示される75〜125μのアモルファス金属粉末は磁
化特性は優れているものの、球状でないものがほとんど
であるため、球状粒子を添加して充填密度を向上させる
ためである。特に10〜50μの粒径のアモルファス金
属粉末をFe80B20(又はFe75〜85B
15〜25)とすれば、粒子形状が球状に近いものとな
るため、飽和磁気特性も18KGとなるので好ましい。When the amorphous metal powder of 75 to 125 μm having the above composition of MaYbZc is used, the particle size is 10 to 5
The shape of the particles of the amorphous metal powder of 0 μ is preferably spherical. The reason is that although the amorphous metal powder of 75 to 125 μ represented by the above-mentioned composition of MaYbZc has excellent magnetization characteristics, most of them are not spherical, and therefore spherical particles are added to improve the packing density. is there. In particular, an amorphous metal powder having a particle size of 10 to 50 μ is added to Fe 80 B 20 (or Fe 75 to 85 B).
15 to 25 ) is preferable because the particle shape is close to a spherical shape and the saturation magnetic characteristic is 18 KG.
粒径75〜125μのアモルファス金属粉末と、粒径1
0〜50μアモルファス金属粉末とを混合するにあたっ
ては、第2表に示すような組成の粉末を用い、同じく第
2表に示すような添加量とすることができる。ここで1
0〜50μのアモルファス金属粉末は、7〜25VoL
%であることが望ましい。ここで粒径75〜125μの
アモルファス金属粉末(Fe65 Co15 B15
Si5)が75重量%以下で、かつ、粒径10〜50μ
のアモルファス金属粉末(Fe80 B20)25重量
%以上の場合には、成形体の空隙が多くなる。そのため
密度は6.5g/ccとなり低く(理論密度は6.87g
/cc)、又飽和時速密度も16KG以下となり好ましく
ない。その理由は、粒径が小さいもの(10〜50μの
もの)が多いため、爆発成形時の衝撃波が内部まで伝達
されにくいからである。そのため部分的に粒子の固結が
起きてない所が存在し、緊密なものが得にくく、小さな
体積の空隙が数多く存在するため、充填密度が理論密度
よりかなり小さくなり、その結果磁化特性も悪くなるか
らである。Amorphous metal powder with a particle size of 75-125μ and a particle size of 1
When mixing 0-50 μm of the amorphous metal powder, a powder having a composition shown in Table 2 may be used, and the addition amount may also be shown in Table 2. Where 1
Amorphous metal powder of 0 to 50μ is 7 to 25 VoL
% Is desirable. Here, an amorphous metal powder having a particle size of 75 to 125 μ (Fe65 Co15 B15
Si5) is 75% by weight or less, and the particle size is 10 to 50 μ.
When the amount of the amorphous metal powder (Fe80 B20) is 25% by weight or more, the number of voids in the molded body increases. Therefore, the density is as low as 6.5 g / cc (theoretical density is 6.87 g.
/ Cc) and the saturated velocity density is 16 KG or less, which is not preferable. The reason is that there are many particles having a small particle size (10 to 50 μm), so that a shock wave during explosion molding is difficult to be transmitted to the inside. Therefore, there are some areas where particles do not solidify, it is difficult to obtain a tight one, and there are many voids with a small volume, so the packing density is much smaller than the theoretical density, and as a result, the magnetization characteristics are also poor. Because it will be.
粒径75〜125μのアモルファス金属粉末が93重量
%以上であり、かつ粒径10〜50μのアモルファス金
属粉末が7重量%以下の場合には、粒径が大きいものが
多いため、空隙ができやすくなりその結果充填密度が
6.5g/cc以下となり、やはり好ましい磁化特性が得
にくい。When 93% by weight or more of the amorphous metal powder having a particle size of 75 to 125 μ and 7% by weight or less of the amorphous metal powder having a particle size of 10 to 50 μ, voids are easily formed because many particles have a large particle size. As a result, the packing density becomes 6.5 g / cc or less, and it is difficult to obtain preferable magnetization characteristics.
充填密度と爆発成形の成形性を向上させるために、上記
混合粉末中に超微粉末を混合させてもよい。超微粉末と
しては、粒径50〜1000オングストロームのものを
通常用いる。超微粉末は、結晶性の金属粉末でもよく
又、アモルファス性を有する金属粉末でもよい。In order to improve the packing density and the moldability of explosion molding, ultrafine powder may be mixed in the mixed powder. As the ultrafine powder, those having a particle size of 50 to 1000 angstrom are usually used. The ultrafine powder may be a crystalline metal powder or an amorphous metal powder.
高エネルギ速度加工は、前述した発明と同様に行なうこ
とができ、前述同様に爆発成形を行なうとよい。成形圧
は10〜50GPaがよい。成形圧が低いと例えば5G
Pa未満であると、粉末粒子の圧着性が悪くなるからで
ある。High energy speed machining can be performed in the same manner as in the invention described above, and explosive molding is preferably performed in the same manner as described above. The molding pressure is preferably 10 to 50 GPa. If the molding pressure is low, for example, 5G
If it is less than Pa, the pressure-bonding property of the powder particles deteriorates.
[第2の発明の効果] 上記した第2の発明の製造方法によれば、空隙が従来よ
り減った、あるいは全くないアモルファス金属成形体を
製造することができた。尚、これは75〜125μのア
モルファス金属粉末(Fe80B20の組成)を爆発成
形で成形した成形体の密度が6.4〜6.5g/ccであ
るのに対し、本実施例品の密度は第3表に示すように
6.75g/ccと高いことからも明らかである。[Effects of the Second Invention] According to the manufacturing method of the second invention described above, it is possible to manufacture an amorphous metal molded body with reduced voids or no voids. It should be noted that, while the density of the molded body obtained by explosive molding of amorphous metal powder (composition of Fe 80 B 20 ) of 75 to 125 μ is 6.4 to 6.5 g / cc, that of the product of this example. It is also clear from the fact that the density is as high as 6.75 g / cc as shown in Table 3.
[第2の発明の第1実施例] (粒径75〜125μmのアモルファス金属粉末の製
造) Fe65部、Co15部、B15部、Si5部の組成を
持つ粒径1〜1000μの粉末をボールミルにて混合し
た後、13.56MHzの高周波加熱にて1400℃以上
で溶解させる。その後溶湯をφ5〜30μの大きさの棒
状に成形する。この場合溶湯を型に流し込むか、または
パイプ状の容器に吸い上げて固化させて棒状に成形させ
る。[First embodiment of the second invention] (Production of amorphous metal powder having a particle size of 75 to 125 µm) Powder having a particle size of 1 to 1000 µ having a composition of 65 parts of Fe, 15 parts of Co, 15 parts of B, and 5 parts of Si is ball milled. After mixing, it is melted at 1400 ° C. or higher by high frequency heating at 13.56 MHz. After that, the molten metal is formed into a rod shape having a diameter of 5 to 30 μ. In this case, the molten metal is poured into a mold or sucked into a pipe-shaped container to be solidified and molded into a rod shape.
次にこの棒状成形体を石英製又はセラミックス製の棒状
容器にて1350〜1400℃の温度で加熱溶解する。
加熱溶解は高周波加熱とした。Next, this rod-shaped molded body is heated and melted at a temperature of 1350 to 1400 ° C. in a rod-shaped container made of quartz or ceramics.
High frequency heating was used for melting.
次に上記したように形成した溶湯を棒状容器のノズルか
ら回転ロールに向けて噴出させ、これにより粒径75〜
125μのアモルファス金属粉末(Fe65Co15B
15Si5)を製造する。アモルファス金属粉末の形状
はひょうたん型が多かった。本例では水を保持できる回
転ロールの材質は銅又は黄銅、アルミニウム、アルミニ
ウム合金とし、回転ロールの径は30〜60cm、回転ロ
ールの回転数は3000〜10000rpm、溶解温度は
1200〜1600℃、ノズルの噴出部の径0.05〜
0.5mmとした。Next, the molten metal formed as described above is ejected from the nozzle of the rod-shaped container toward the rotating roll, whereby the particle size of 75-
125μ amorphous metal powder (Fe 65 Co 15 B
15 Si 5 ) is produced. The shape of the amorphous metal powder was mostly gourd type. In this example, the material of the rotating roll capable of holding water is copper or brass, aluminum, aluminum alloy, the diameter of the rotating roll is 30 to 60 cm, the rotating speed of the rotating roll is 3000 to 10000 rpm, the melting temperature is 1200 to 1600 ° C, and the nozzle is Diameter of spouting part of 0.05 ~
It was 0.5 mm.
(10〜50μmのアモルファス金属粉末の製造) 同様な回転ロール法で粒径10〜50μのアモルファス
金属粉末(Fe80B20)も製造した。(Production of Amorphous Metal Powder of 10 to 50 μm) Amorphous metal powder (Fe 80 B 20 ) having a particle size of 10 to 50 μ was also produced by the same rotating roll method.
(工程) 次に上記したように製造した粒径10〜50μアモルフ
ァス金属粉末(Fe80B20)と、粒径75〜125
μのアモルファス金属粉末(Fe65Co15B15S
i5)とをボールミルやライカイ機によって混合し混合
粉末を形成した。本例ではFe80 B20 のアモル
ファス金属粉末の添加量は、第3表に示すように12重
量%とした。(Step) Next, the amorphous metal powder (Fe 80 B 20 ) having a particle size of 10 to 50 μm manufactured as described above and the particle size of 75 to 125 are used.
μ amorphous metal powder (Fe 65 Co 15 B 15 S
i 5 ) was mixed with a ball mill or a liqui machine to form a mixed powder. In this example, the additive amount of Fe80 B20 amorphous metal powder was 12 wt% as shown in Table 3.
次に上記混合粉末を所定の成形型内に装填し、更にこれ
をTNT火薬を充填した容器中に設置し、TNT火薬に
点火し爆発成形を行なった。これにより混合粉末の固結
を行ない、アモルファス金属成形体を製造した。成形体
の大きさはφ15×H40mmである。本例では成形体
は、具体的には第6図に示すものである。本例の爆発成
形は具体的には前記した方法と同様の方法で行なった。Next, the above-mentioned mixed powder was loaded into a predetermined molding die, and this was placed in a container filled with TNT explosive, and the TNT explosive was ignited to perform explosion molding. Thereby, the mixed powder was solidified to produce an amorphous metal compact. The size of the compact is φ15 × H40 mm. In this example, the molded body is specifically shown in FIG. The explosion molding of this example was specifically carried out by the same method as described above.
(試験値) このように製造したアモルファス金属成形体は、第3表
に示すように最大飽和時速密度が17.5KGであり、
透磁率5×104μeであり、最大成形密度が (理論密度は )であった。なおリボン状のものを粉化したものや鱗平
状のものの従来品の成形密度は5.8g/ccである。こ
の従来のものはアモルファスリボン状のものを切断した
ものや、アモルファス粉末を作成するときキャビティを
有するロールで鱗平状のものにし、次のロールで急冷し
て作成した鱗平状のもので製造したものである。(Test Value) The amorphous metal compact thus produced has a maximum saturated velocity density of 17.5 KG, as shown in Table 3.
The magnetic permeability is 5 × 10 4 μe, and the maximum molding density is (Theoretical density is )Met. Incidentally, the molding density of the conventional product such as the powdered ribbon-shaped product or the flat-shaped product is 5.8 g / cc. This conventional product is manufactured by cutting an amorphous ribbon-shaped product or a flat product prepared by making a roll with a cavity when making amorphous powder into a flat product and then rapidly cooling it with the next roll. It was done.
上記のようにして製造した本例のアモルファス金属成形
体を0.2〜0.7mmの厚さにダイヤモンドスライサー
や放電加工等で切断した後、これの一片と一片とを絶縁
してモータ用の鉄芯材料とし、積層して成形する。上記
のように製造したモータの特性は飽和磁束密度16〜1
8KGであり、これは現用の方向性珪素鋼の約18〜2
0KGに比較し低いが、モータ全体でみたとき鉄損が現
用品(45W定格)の場合2.4Wであり、本発明品の
鉄損は(45W定格)1.2Wと低い。The amorphous metal molded body of this example manufactured as described above was cut to a thickness of 0.2 to 0.7 mm by a diamond slicer, electric discharge machining, etc., and one piece was insulated from the other for a motor. It is used as an iron core material and laminated and molded. The characteristic of the motor manufactured as described above is that the saturation magnetic flux density is 16 to 1
8 KG, which is about 18 to 2 of the conventional grain-oriented silicon steel.
Although lower than 0 KG, the iron loss of the current product (45 W rating) is 2.4 W when viewed from the whole motor, and the iron loss of the product of the present invention is as low as (45 W rating) 1.2 W.
(他の態様の試験値) 第3表では、75〜125μのアモルファス金属粉末を
Fe65Co15B15Si5とし、10〜50μのア
モルファス金属粉末の組成を種々変更した場合の最大磁
束密度、及び最大成形密度の試験結果が示されている。(Test Values of Other Embodiments) In Table 3, the test results of the maximum magnetic flux density and the maximum compacting density when the composition of the amorphous metal powder of 10 to 50 μ is variously changed to Fe65Co15B15Si5 of 75 to 125 μ of the amorphous metal powder. It is shown.
第3表に示すように最大飽和磁束密度は16.0〜1
7.5KG程度であり、最大成形密度は6.55〜6.
81g/ccであった。As shown in Table 3, the maximum saturation magnetic flux density is 16.0 to 1.
It is about 7.5 KG, and the maximum molding density is 6.55-6.
It was 81 g / cc.
〔第2の発明の第2実施例〕 本実施例はアモルファス金属粉末の粒子として球状に近
いものを用いた点に特徴がある。即ちFe75〜85B
15〜25の組成のアモルファス金属粉末で球状に近く
かつ磁化特性のよいものを用いた。即ち粒径75〜12
5μの粉末を75〜94重量%と、粒径10〜30μの
粉末を6〜25重量%とを混合した。その後、爆発成形
(3GPa程度の圧力で成形する)により成形した。球
状に近いものの場合には、3GPa程度の圧力と比較的
低くても成型が出来る。但し、この場合でも成型圧はお
よそ、8GPa以上とすればなお好ましい。[Second embodiment of the second invention] This embodiment is characterized in that particles of amorphous metal powder having a nearly spherical shape are used. That is Fe75-85B
An amorphous metal powder having a composition of 15 to 25 was used, which had a nearly spherical shape and good magnetic properties. That is, particle size 75 to 12
75-94% by weight of powder of 5μ and 6-25% by weight of powder of particle size 10-30μ were mixed. Then, it was molded by explosive molding (molding at a pressure of about 3 GPa). In the case of a spherical shape, molding can be performed even with a relatively low pressure of about 3 GPa. However, even in this case, it is more preferable that the molding pressure is about 8 GPa or more.
上記した様な製造方法で製造したアモルファス金属粉末
を用い、第4図に示す変圧器用のコアを形成したとき、
変圧器の鉄損特性は(従来のものは方向性珪素鋼、最大
20KW用のもので、45Wの鉄損)、最大20KWで
12Wであり、従来のものに比較して約1/3以下と良
好であったし、また寸法形状も有機バインダーを用いて
いないので、従来品よりも約5%の重量低減ができた。When the core for a transformer shown in FIG. 4 is formed by using the amorphous metal powder manufactured by the above manufacturing method,
The iron loss characteristics of the transformer (conventional one is grain oriented silicon steel, maximum 20KW, 45W iron loss) is 12W at maximum 20KW, which is about 1/3 or less compared to the conventional one. The weight was good, and since the organic binder was not used for the size and shape, the weight could be reduced by about 5% as compared with the conventional product.
〔第2の発明の第3実施例〕 本実施例は、金属超微粉末を混合粉末に含ませた点に特
徴がある。この金属超微粉末は、アモルファス金属粉末
のバインダーとして機能する。粒径75〜125μのア
モルファス金属粉末(Fe80B20)88部、粒径1
0〜30μmのアモルファス金属粉末(Fe80B2
0)12部に対し、結晶性をもつFeの超微粉末(平均
粒径0.03〜0.05μm、粒径分布0.005〜
0.1μm)を添加した。超微粉の混合方法は、まず、
75〜125μの粉末と10〜30μの粉末とをボール
ミル等で混合させ、該混合粉末を爆発成型用の型に充填
する。その後、超微粉末を型の上面より添加し、型に振
動を加える。振動は50〜100KHzとした。すると7
5〜125μの粒子や、10〜30μの粒子間で生成さ
れた空間に、超微粉末が充填される。所望の量だけ充填
されたとき、超微粉末の添加を停止する。この様にする
と超微粉末を粒子と粒子との隙間に均一に充填できる。
このときの成形密度と爆発成形可能圧力との関係を第7
図に示す。第7図に示すようにFeの超微粉末添加量を
多くするにつれて成型密度は大きくなるが、約5部以上
入れても成型密度の上昇は頭打ちとなる。一方爆発成形
可能圧力もFeの超微粉末添加量を多くするにつれて小
さくて済むが、ほぼ12部以上ではあまり大きな効果が
得られない。そのためコストの大である超微粉末は、む
やみに混ぜるのは好ましくなく、約0.1〜12部の範
囲がよい。[Third Embodiment of the Second Invention] This embodiment is characterized in that the mixed powder contains ultrafine metal powder. This ultrafine metal powder functions as a binder for amorphous metal powder. 88 parts of amorphous metal powder (Fe80B20) with a particle size of 75-125μ, particle size 1
Amorphous metal powder of 0 to 30 μm (Fe80B2
0) 12 parts of crystalline ultrafine Fe powder (average particle size 0.03 to 0.05 μm, particle size distribution 0.005 to
0.1 μm) was added. The method of mixing ultrafine powder is
Powder of 75 to 125 μ and powder of 10 to 30 μ are mixed by a ball mill or the like, and the mixed powder is filled in a mold for explosion molding. Then, ultrafine powder is added from the upper surface of the mold, and vibration is applied to the mold. The vibration was 50 to 100 KHz. Then 7
Ultra-fine powder is filled in the particles of 5 to 125 μ and the space generated between the particles of 10 to 30 μ. When the desired amount is filled, the addition of ultrafine powder is stopped. In this way, the ultrafine powder can be uniformly filled in the gaps between the particles.
The relationship between molding density and explosive molding pressure at this time
Shown in the figure. As shown in FIG. 7, the molding density increases as the amount of ultrafine Fe powder added increases, but the increase of the molding density reaches a ceiling even when about 5 parts or more is added. On the other hand, the pressure at which explosive molding is possible can be reduced as the amount of the ultrafine Fe powder added is increased, but a significant effect cannot be obtained at approximately 12 parts or more. Therefore, it is not preferable to mix the ultrafine powder, which is costly, unnecessarily, and the range of about 0.1 to 12 parts is preferable.
ここでFeの超微粉末はアモルファス金属粉末の粒子の
間にバインダーとして存在している。上記して製造した
成形体を用いて第6図に示す自動車用のイグニッション
コイル(電磁コイル用のコア)の磁芯材料を形成した。
この場合、従来のものよりも透磁率が大きくでき、かつ
鉄損特性が約5〜7%小さくできた。また本発明方法で
用いるアモルファス金属粉末は、縦断面積と横断面積の
比が5:1以内の球状に近い粒子粉末を採用できる。こ
の様にすれば、空隙がないか或いはかなり減ったアモル
ファス金属成形体を製造するのに有利となる。ここで、
縦断面積とは、最も断面積が大きな部分で切断した断面
積を意味する。又、横断面積とは、縦断面積をもつ断面
と垂直な方向に切断した断面積を意味する。Here, the ultrafine Fe powder is present as a binder between the particles of the amorphous metal powder. A magnetic core material for an automobile ignition coil (core for an electromagnetic coil) shown in FIG. 6 was formed using the molded body manufactured as described above.
In this case, the magnetic permeability could be increased and the iron loss characteristics could be reduced by about 5 to 7% as compared with the conventional one. As the amorphous metal powder used in the method of the present invention, a nearly spherical particle powder having a ratio of vertical cross-sectional area to cross-sectional area of 5: 1 or less can be adopted. This is advantageous for producing an amorphous metal molded body that has no voids or has a considerably reduced number of voids. here,
The vertical cross-sectional area means a cross-sectional area cut at a portion having the largest cross-sectional area. The cross-sectional area means a cross-sectional area cut in a direction perpendicular to a cross section having a vertical cross-sectional area.
第1図は爆発成形を行なう前の混合粉末の状態を拡大し
て模式的に示す図である。第2図は爆発成形を行なった
後の成形体の内部を拡大して模式的に示す図である。 第3図〜第5図は本発明の製造方法を適用して製造した
成形体を示すものであり、第3図はモータ用鉄心の斜視
図、第4図は変圧器用鉄心の斜視図、第5図は電磁コイ
ル用鉄心の斜視図、第6図は電磁ピッアップの斜視図で
ある。第7図は超微粉末の添加量と成形密度との関係、
及び、超微粉末の添加量と爆発成形可能圧力との関係を
示すグラフである。 そして第8図は第1発明に係るサンプルの金属組織の顕
微鏡写真である。FIG. 1 is an enlarged schematic view showing the state of the mixed powder before the explosion molding. FIG. 2 is an enlarged schematic view showing the inside of the molded body after the explosion molding. 3 to 5 show a molded body manufactured by applying the manufacturing method of the present invention. FIG. 3 is a perspective view of a motor iron core, FIG. 4 is a perspective view of a transformer iron core, and FIG. FIG. 5 is a perspective view of an iron core for an electromagnetic coil, and FIG. 6 is a perspective view of an electromagnetic pickup. FIG. 7 shows the relationship between the addition amount of ultrafine powder and the molding density,
3 is a graph showing the relationship between the amount of ultrafine powder added and the explosive moldable pressure. And FIG. 8 is a micrograph of the metal structure of the sample according to the first invention.
Claims (15)
mのアモルファス金属粉末と、鉄系元素を主体とする粒
径50〜1000オングストロームのアモルファス金属
超微粉末とを混合して混合粉末を形成し、該混合粉末を
高エネルギ速度加工することにより固結し成形体を形成
することを特徴とするアモルファス金属成形体の製造方
法。1. A particle size of 10 to 200 .mu.
m of the amorphous metal powder and an amorphous metal ultrafine powder of iron-based element having a particle size of 50 to 1000 angstrom are mixed to form a mixed powder, and the mixed powder is consolidated by high energy speed processing. 1. A method for producing an amorphous metal compact, which comprises forming a compact.
る特許請求の範囲第1項記載のアモルファス金属成形体
の製造方法。2. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 1, wherein the high energy speed machining is explosion molding.
Paである特許請求の範囲第2項記載のアモルファス金
属成形体の製造方法。3. The molding pressure for explosion molding is 0.7 to 50 G.
The method for producing an amorphous metal molded body according to claim 2, wherein the method is Pa.
ニッケルの少なくとも一種を主体とする特許請求の範囲
第1項記載のアモルファス金属成形体の製造方法。4. Amorphous metal powder is iron, cobalt,
The method for producing an amorphous metal compact according to claim 1, which is mainly composed of at least one kind of nickel.
鉄、コバルト、ニッケルの少なくとも一種を主体とする
特許請求の範囲第1項記載のアモルファス金属成形体の
製造方法。5. Amorphous metal ultrafine powder is silicon,
The method for producing an amorphous metal compact according to claim 1, which is mainly composed of at least one of iron, cobalt, and nickel.
末が占る割合は、0.01〜20VOL%である特許請
求の範囲第1項記載のアモルファス金属成形体の製造方
法。6. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 1, wherein a ratio of the ultrafine amorphous metal powder in the mixed powder is 0.01 to 20 VOL%.
面積の比が5:1以内である特許請求の範囲第1項記載
のアモルファス金属成形体の製造方法。7. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 1, wherein the ratio of the vertical cross-sectional area to the cross-sectional area of the amorphous metal powder is within 5: 1.
mのアモルファス金属粉末と、鉄系元素を主体とする粒
径10〜50μmのアモルファス金属粉末とを含む混合
粉末を形成し、 該混合粉末を高エネルギ速度加工することにより固結し
成形体を形成することを特徴とするアモルファス金属成
形体の製造方法。8. A particle size of mainly iron-based element of 75 to 125 μm.
m amorphous metal powder and an amorphous metal powder mainly composed of an iron-based element and having a particle size of 10 to 50 μm are formed, and the mixed powder is consolidated at a high energy speed to form a compact. A method for producing an amorphous metal compact, comprising:
トロームの金属超微粉末又は粒径50〜1000オング
ストロームのアモルファス金属超微粉末を含む特許請求
の範囲第8項記載のアモルファス金属成形体の製造方
法。9. The production of an amorphous metal compact according to claim 8, wherein the mixed powder contains a metal ultrafine powder having a particle size of 50 to 1000 angstroms or an amorphous metal ultrafine powder having a particle size of 50 to 1000 angstroms. Method.
ァス金属粉末の占る割合は、7〜25VoL%である特
許請求の範囲第8項記載のアモルファス金属成形体の製
造方法。10. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 8, wherein the proportion of the amorphous metal powder of 10 to 50 μm in the mixed powder is 7 to 25 VoL%.
ある特許請求の範囲第8項記載のアモルファス金属成形
体の製造方法。11. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 8, wherein the particles of the amorphous metal powder are spherical.
ある特許請求の範囲第8項記載のアモルファス金属成形
体の製造方法。12. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 8, wherein the high energy speed machining is explosion molding.
Paである特許請求の範囲第12項記載のアモルファス
金属成形体の製造方法。13. The molding pressure for explosion molding is 10 to 50 G.
The method for producing an amorphous metal compact according to claim 12, which is Pa.
ト、ニッケルの少なくとも一種を主体とする特許請求の
範囲第8項記載のアモルファス金属成形体の製造方法。14. The method for producing an amorphous metal compact according to claim 8, wherein the amorphous metal powder is mainly composed of at least one of iron, cobalt and nickel.
断面積の比が5:1以内である特許請求の範囲第8項記
載のアモルファス金属成形体の製造方法。15. The method for producing an amorphous metal powder according to claim 8, wherein the ratio of the vertical cross-sectional area to the cross-sectional area of the amorphous metal powder is within 5: 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59049494A JPH0610282B2 (en) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | Amorphous metal forming method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59049494A JPH0610282B2 (en) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | Amorphous metal forming method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60194001A JPS60194001A (en) | 1985-10-02 |
| JPH0610282B2 true JPH0610282B2 (en) | 1994-02-09 |
Family
ID=12832699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59049494A Expired - Lifetime JPH0610282B2 (en) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | Amorphous metal forming method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610282B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1984
- 1984-03-14 JP JP59049494A patent/JPH0610282B2/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 椙山正孝他著"粉末治金とその応用"(株)オーム社(昭和34年)P.16 |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN109457166A (en) * | 2018-11-02 | 2019-03-12 | 东南大学 | A kind of preparation of iron-base block amorphous alloy and thermoplastic forming processes |
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| JPS60194001A (en) | 1985-10-02 |
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