JPH0611068B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0611068B2 JPH0611068B2 JP7979987A JP7979987A JPH0611068B2 JP H0611068 B2 JPH0611068 B2 JP H0611068B2 JP 7979987 A JP7979987 A JP 7979987A JP 7979987 A JP7979987 A JP 7979987A JP H0611068 B2 JPH0611068 B2 JP H0611068B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable table
- transmitter
- signal
- signals
- optical signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、被搬送体を搬送する搬送装置に関する。
（従来の技術） 半導体装置の製造において、半導体ウエハの表面に酸化
膜等の薄膜を形成する工程がある。この工程に半導体ウ
エハを搬送する際、半導体ウエハを収納した石英ボート
を可動テーブルに搭載し、この可動テーブルを駆動機構
で移動することにより行なわれる。
膜等の薄膜を形成する工程がある。この工程に半導体ウ
エハを搬送する際、半導体ウエハを収納した石英ボート
を可動テーブルに搭載し、この可動テーブルを駆動機構
で移動することにより行なわれる。
上記可動テーブルの動作監視の為、可動テーブルに配設
された各種センサーからの各センサー信号をこの可動テ
ーブルに相対した装置に伝達するようにしている。この
伝達をフラットケーブル等により行なっていた。
された各種センサーからの各センサー信号をこの可動テ
ーブルに相対した装置に伝達するようにしている。この
伝達をフラットケーブル等により行なっていた。
また、上記可動テーブルにおける必要電源も、上記信号
の伝達に使用するフラットケーブルで相対する装置に伝
達していた。
の伝達に使用するフラットケーブルで相対する装置に伝
達していた。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記従来の技術では、可動テーブルに配設
された各種センサーからのセンサー信号と、上記可動テ
ーブルにおける必要電源を相対する装置に伝達する際、
フラットケーブル等で同時に伝達するため、各信号線に
ノズルが重畳し、且つまた、上記フラットケーブルの断
線不良の発生が全く回避できない等上記可動テーブルの
動作監視における信頼性が低くなるという問題点があっ
た。
された各種センサーからのセンサー信号と、上記可動テ
ーブルにおける必要電源を相対する装置に伝達する際、
フラットケーブル等で同時に伝達するため、各信号線に
ノズルが重畳し、且つまた、上記フラットケーブルの断
線不良の発生が全く回避できない等上記可動テーブルの
動作監視における信頼性が低くなるという問題点があっ
た。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、ノズルの影響や断線などによる障害を受けることな
く、しかも経時的に変化する可動テーブル内の動作を監
視する各センサーの信号を可動テーブルに相対する装置
に対して正確に伝達して可動テーブルの動作監視の信頼
性を高めることができる搬送装置を提供することを目的
としている。
で、ノズルの影響や断線などによる障害を受けることな
く、しかも経時的に変化する可動テーブル内の動作を監
視する各センサーの信号を可動テーブルに相対する装置
に対して正確に伝達して可動テーブルの動作監視の信頼
性を高めることができる搬送装置を提供することを目的
としている。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、被搬送体を搭載する為の可動テーブルを駆動
機構により移動させ、上記被搬送体を上記可動テーブル
に相対する相対装置へ搬送する搬送装置において、上記
可動テーブルに光信号を送信する送信部を設けると共
に、この送信部に対向する位置にこの送信部からの光信
号を受信する受信部を上記相対装置に設け、上記送信部
は上記可動テーブルの動作監視の為の各センサー信号を
光信号として送信し、上記受信部は上記送信部からの光
信号を２回の光信号を１サイクルとして少なくとも１サ
イクル受信し、各サイクルの二つの信号が一致した時に
のみ、その一致した信号を上記相対装置へ出力すること
を特徴とする。
機構により移動させ、上記被搬送体を上記可動テーブル
に相対する相対装置へ搬送する搬送装置において、上記
可動テーブルに光信号を送信する送信部を設けると共
に、この送信部に対向する位置にこの送信部からの光信
号を受信する受信部を上記相対装置に設け、上記送信部
は上記可動テーブルの動作監視の為の各センサー信号を
光信号として送信し、上記受信部は上記送信部からの光
信号を２回の光信号を１サイクルとして少なくとも１サ
イクル受信し、各サイクルの二つの信号が一致した時に
のみ、その一致した信号を上記相対装置へ出力すること
を特徴とする。
（作用） 本発明によれば、可動テーブルの動作を監視する各セン
サー信号を可動テーブルの送信部から光信号として相対
装置の受信部へ２回の送信を１サイクルとして送信する
と、受信部では１サイクルの各光信号が一致した時にの
み、その信号データを相対装置へ出力して可動テーブル
の状態を監視することができ、しかも、各センサー信号
の伝達には光信号を用いるため、可動テーブルとその相
対装置間にケーブルを必要とせず、従って、相対装置で
はその受信部で電源などのノズルの影響なく正確に各セ
ンサー信号を受信し、可動テーブルの動作監視の信頼性
を高めることができる。
サー信号を可動テーブルの送信部から光信号として相対
装置の受信部へ２回の送信を１サイクルとして送信する
と、受信部では１サイクルの各光信号が一致した時にの
み、その信号データを相対装置へ出力して可動テーブル
の状態を監視することができ、しかも、各センサー信号
の伝達には光信号を用いるため、可動テーブルとその相
対装置間にケーブルを必要とせず、従って、相対装置で
はその受信部で電源などのノズルの影響なく正確に各セ
ンサー信号を受信し、可動テーブルの動作監視の信頼性
を高めることができる。
（実施例） 以下、本発明装置の一実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図において直線状に敷設されたガイドレール１上を
移動自在に可動テーブル２が設けられ、この可動テーブ
ル２は、図示しない駆動機構に連設しているボールネジ
３の回転により上記ガイドレール１上を移動自在に設け
られている。
移動自在に可動テーブル２が設けられ、この可動テーブ
ル２は、図示しない駆動機構に連設しているボールネジ
３の回転により上記ガイドレール１上を移動自在に設け
られている。
上記可動テーブル２上に被搬送体例えば半導体ウエハ４
を収納したボート５を搭載し、このボート５は上記可動
テーブル２の移動により搬送されるようになっている。
上記移動自在な可動テーブル２に光空中伝送装置の送信
部６、また、上記可動テーブル２と相対する装置７に光
空中伝送装置の受信部８がそれぞれ対向する位置に設け
られている。
を収納したボート５を搭載し、このボート５は上記可動
テーブル２の移動により搬送されるようになっている。
上記移動自在な可動テーブル２に光空中伝送装置の送信
部６、また、上記可動テーブル２と相対する装置７に光
空中伝送装置の受信部８がそれぞれ対向する位置に設け
られている。
上記送信部６は上記可動テーブル２の動作監視の為の各
センサー信号を光信号として送信するように構成されて
いる。また、上記受信部８は上記送信部６から２回の光
信号を１サイクルとして受信し、１サイクルの前後の光
信号が一致した時にのみ、その一致した信号データを上
記相対装置７へ出力するように構成されている。つま
り、この受信部８は、送信部６から最初の光信号を受信
すると、その信号をメモリで記憶し、次に受信した光信
号が最初に受信した光信号と一致すればそのデータを出
力し、また、２回目の光信号が最初の光信号と一致しな
ければ、新たにこの処理を繰り返し、各サイクルで前後
の光信号が一致した時点でその信号が可動テーブルの動
作可能な状態として相対装置７へデータ出力を行なうよ
うに構成されている。
センサー信号を光信号として送信するように構成されて
いる。また、上記受信部８は上記送信部６から２回の光
信号を１サイクルとして受信し、１サイクルの前後の光
信号が一致した時にのみ、その一致した信号データを上
記相対装置７へ出力するように構成されている。つま
り、この受信部８は、送信部６から最初の光信号を受信
すると、その信号をメモリで記憶し、次に受信した光信
号が最初に受信した光信号と一致すればそのデータを出
力し、また、２回目の光信号が最初の光信号と一致しな
ければ、新たにこの処理を繰り返し、各サイクルで前後
の光信号が一致した時点でその信号が可動テーブルの動
作可能な状態として相対装置７へデータ出力を行なうよ
うに構成されている。
次に、上述した搬送装置における被搬送体の搬送方法を
説明する。
説明する。
第１図において被搬送体例えば半導体ウエハ４を複数枚
収納したボート５を可動テーブル２に搭載する。この可
動テーブル２は、図示しない駆動機構に連設したボール
ネジ３の回転により、上記可動テーブル２の下部に敷設
されたガイドレール１に沿って移動する。この操作によ
り上記半導体ウエハ４が搬送される。
収納したボート５を可動テーブル２に搭載する。この可
動テーブル２は、図示しない駆動機構に連設したボール
ネジ３の回転により、上記可動テーブル２の下部に敷設
されたガイドレール１に沿って移動する。この操作によ
り上記半導体ウエハ４が搬送される。
上記可動テーブル２が移動する場合、動作監視の為可動
テーブル２内における各センサー信号等を相対する装置
に伝達する必要がある。この伝達手段として、可動テー
ブル２側に光空中伝送装置の送信部６を設け、更に相対
する装置７側に光空中伝送装置の受信部８を上記送信部
６と対向する位置に設けて、上記可動テーブル内におけ
る各センサー信号等を上記送信部６から上記受信部８へ
伝達する。
テーブル２内における各センサー信号等を相対する装置
に伝達する必要がある。この伝達手段として、可動テー
ブル２側に光空中伝送装置の送信部６を設け、更に相対
する装置７側に光空中伝送装置の受信部８を上記送信部
６と対向する位置に設けて、上記可動テーブル内におけ
る各センサー信号等を上記送信部６から上記受信部８へ
伝達する。
上記各センサー信号等の伝達は、まず、可動テーブル２
内の各センサー信号等を送信部６に入力し、この送信部
６から赤外線により例えば10msの間出力する。この出力
された上記センサー信号等は、上記可動テーブル２の相
対する装置７に設けられた受信部８で受信される。上記
受信部８で受信された上記センサー信号等は、受信部８
から装置７に出力されずにメモリーにより記憶される。
内の各センサー信号等を送信部６に入力し、この送信部
６から赤外線により例えば10msの間出力する。この出力
された上記センサー信号等は、上記可動テーブル２の相
対する装置７に設けられた受信部８で受信される。上記
受信部８で受信された上記センサー信号等は、受信部８
から装置７に出力されずにメモリーにより記憶される。
次に、再度上記可動テーブル２内の各センサー等の状態
を送信部８から例えば10msの間出力する。そして、これ
を受信部８で受信し、上記メモリーに記憶した信号と比
較する。この比較した信号が同一である時、受信部８か
ら装置７へ出力し、この出力した信号が上記可動テーブ
ル２における現在の状態であることを装置７へ伝達す
る。
を送信部８から例えば10msの間出力する。そして、これ
を受信部８で受信し、上記メモリーに記憶した信号と比
較する。この比較した信号が同一である時、受信部８か
ら装置７へ出力し、この出力した信号が上記可動テーブ
ル２における現在の状態であることを装置７へ伝達す
る。
上記の処理を第２図に示す。この処理のように送信され
た第１データは、受信部８で受信した後出力されずにメ
モリーに記憶する。
た第１データは、受信部８で受信した後出力されずにメ
モリーに記憶する。
次に第２データを受信し、このデータとメモリーに記憶
したデータとの比較をする。この比較したデータが同一
である時データを出力し、同一でない時データは出力さ
れない。このように受信部８では２回のデータを１サイ
クルとして検出し、この１サイクルの２回のデータの検
出信号が一致するまでの間には受信部８からデータを装
置７へ出力しないため、装置７では送信部６からの光信
号の誤検出を防止することができ、搬送装置の駆動の信
頼性を高めることができる。
したデータとの比較をする。この比較したデータが同一
である時データを出力し、同一でない時データは出力さ
れない。このように受信部８では２回のデータを１サイ
クルとして検出し、この１サイクルの２回のデータの検
出信号が一致するまでの間には受信部８からデータを装
置７へ出力しないため、装置７では送信部６からの光信
号の誤検出を防止することができ、搬送装置の駆動の信
頼性を高めることができる。
以上述べたようにこの実施例によれば、可動テーブル内
の各センサー信号等を相対する装置に伝達する手段とし
て光通信を用いたことにより、従来と比較してケーブル
等を使用しなくて良いため、ノイズ等による悪影響がな
く、更にケーブルの断線不良の発生がない為信頼性が高
くなる。
の各センサー信号等を相対する装置に伝達する手段とし
て光通信を用いたことにより、従来と比較してケーブル
等を使用しなくて良いため、ノイズ等による悪影響がな
く、更にケーブルの断線不良の発生がない為信頼性が高
くなる。
また、従来使用していた通信線を使用しないため、その
通信線を電源線として使用すると、可動テーブル上にお
けるモーター等の使用も可能となる。
通信線を電源線として使用すると、可動テーブル上にお
けるモーター等の使用も可能となる。
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、上記可動テーブル
に光信号を送信する送信部を設けると共に、この送信部
に対向する位置にこの送信部からの光信号を受信する受
信部を上記相対装置に設け、上記送信部は上記可動テー
ブルの動作監視の為の各センサー信号を光信号として送
信し、上記受信部は上記送信部からの２回の光信号を１
サイクルとして少なくとも１サイクル受信し、各サイク
ルの二つの信号が一致した時にのみ、その一致した信号
を上記相対装置へ出力するようにしたため、ノイズの影
響や断線などによる障害を受けることなく、しかも経時
的に変化する可動テーブル内の動作を監視する各センサ
ーのセンサー信号を可動テーブルに相対する装置に対し
て正確に伝達して可動テーブルの動作監視の信頼性を高
めることができる。
に光信号を送信する送信部を設けると共に、この送信部
に対向する位置にこの送信部からの光信号を受信する受
信部を上記相対装置に設け、上記送信部は上記可動テー
ブルの動作監視の為の各センサー信号を光信号として送
信し、上記受信部は上記送信部からの２回の光信号を１
サイクルとして少なくとも１サイクル受信し、各サイク
ルの二つの信号が一致した時にのみ、その一致した信号
を上記相対装置へ出力するようにしたため、ノイズの影
響や断線などによる障害を受けることなく、しかも経時
的に変化する可動テーブル内の動作を監視する各センサ
ーのセンサー信号を可動テーブルに相対する装置に対し
て正確に伝達して可動テーブルの動作監視の信頼性を高
めることができる。
また、光通信により無配線となるため、配線を簡略化す
ることができ、低コストにより行なうことが可能とな
る。
ることができ、低コストにより行なうことが可能とな
る。
第１図は本発明装置の一実施例を説明するための搬送装
置の構成図、第２図は本発明装置の光通信動作を説明す
るためのフローチャートを示すものである。 ２…可動テーブル、６…受信部、８…受信部。
置の構成図、第２図は本発明装置の光通信動作を説明す
るためのフローチャートを示すものである。 ２…可動テーブル、６…受信部、８…受信部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−166038（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−63925（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−118561（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−161340（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】被搬送体を搭載する為の可動テーブルを駆
動機構により移動させ、上記被搬送体を上記可動テーブ
ルに相対する相対装置へ搬送する搬送装置において、上
記可動テーブルに光信号を送信する送信部を設けると共
に、この送信部に対向する位置にこの送信部からの光信
号を受信する受信部を上記相対装置に設け、上記送信部
は上記可動テーブルの動作監視の為の各センサー信号を
光信号として送信し、上記受信部は上記送信部からの２
回の光信号を１サイクルとして少なくとも１サイクル受
信し、各サイクルの二つの信号が一致した時にのみ、そ
の一致した信号を上記相対装置へ出力することを特徴と
する搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7979987A JPH0611068B2 (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7979987A JPH0611068B2 (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63246815A JPS63246815A (ja) | 1988-10-13 |
| JPH0611068B2 true JPH0611068B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=13700265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7979987A Expired - Lifetime JPH0611068B2 (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611068B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58161340A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Hitachi Ltd | 製品移送装置 |
| JPS59118561A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-09 | 日立東京エレクトロニクス株式会社 | 搬送車 |
| JPS6063925A (ja) * | 1984-07-04 | 1985-04-12 | Hitachi Ltd | ウエハ取扱い方法 |
| JPS61166038A (ja) * | 1985-12-25 | 1986-07-26 | Hitachi Ltd | ウエハ処理装置 |
-
1987
- 1987-04-02 JP JP7979987A patent/JPH0611068B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63246815A (ja) | 1988-10-13 |
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