JPH0619257B2 - Mounted board inspection device - Google Patents
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- JPH0619257B2 JPH0619257B2 JP1033039A JP3303989A JPH0619257B2 JP H0619257 B2 JPH0619257 B2 JP H0619257B2 JP 1033039 A JP1033039 A JP 1033039A JP 3303989 A JP3303989 A JP 3303989A JP H0619257 B2 JPH0619257 B2 JP H0619257B2
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Landscapes
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、プリント基板上に実装された部品の位置ずれ
等の実装不良を検査するための実装基板検査装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mounting board inspection device for inspecting a mounting defect such as a positional deviation of a component mounted on a printed board.
従来の技術 従来、プリント基板上に実装された部品の位置ずれ、欠
品や浮き等の不良の検査は人間による目視検査に頼って
いた。ところが、製品の小型化や軽量化が進むにつれ、
プリント基板上の部品の小型化や高密度実装化もより一
層進んでいる。このような状況の中で、人間が高い検査
精度を保ちつつ非常に細かな部品の実装状態を、しかも
長時間続けることが難しくなってきている。2. Description of the Related Art Conventionally, visual inspections by humans have been used to inspect for defects such as displacement of parts mounted on a printed circuit board, missing parts, and floating. However, as products become smaller and lighter,
The miniaturization and high-density mounting of components on the printed circuit board are progressing even further. In such a situation, it is becoming difficult for a person to keep a very fine component mounting state for a long time while maintaining high inspection accuracy.
そこで最近、検査の自動化が強く望まれている中で、ビ
デオカメラからの濃淡画像から部品の位置ずれ等を検査
する装置が提案されている。Therefore, recently, while automation of inspection is strongly desired, a device for inspecting a positional deviation of parts from a grayscale image from a video camera has been proposed.
その従来の一般的な検査装置を第4図に示す。第4図に
おいて、401はプリント基板、402はプリント基板401上
に実装された部品、403はビデオカメラ、404はビデオカ
メラ403からの映像信号をA/D変換して内部の画像メモリ
(図示せず)に格納する画像取込回路、405は取り込ん
だ画像から部品のエッジを検出するエッジ検出回路、40
6はエッジ情報から部品のコーナを検出するコーナ検出
回路、407は各部品のコーナの基準座標値が格納されて
いる基準データ格納メモリ、408は検出されたコーナの
座標と基準座標とから部品のずれ量を計算するずれ量計
算回路、409は部品の許容ずれ量が格納されている許容
ずれ量格納メモリ、410は算出されたずれ量と許容ずれ
量を比較し、部品の実装状態の良否を判定する比較・判
定回路である。The conventional general inspection apparatus is shown in FIG. In FIG. 4, 401 is a printed circuit board, 402 is a component mounted on the printed circuit board 401, 403 is a video camera, 404 is an internal image memory (not shown) by A / D converting a video signal from the video camera 403. Image capturing circuit to store the image in the image), 405 is an edge detecting circuit that detects the edge of the component from the captured image, 40
6 is a corner detection circuit for detecting the corner of the part from the edge information, 407 is a reference data storage memory in which the reference coordinate value of the corner of each part is stored, 408 is a part of the part based on the detected corner coordinates and the reference coordinates. A deviation amount calculation circuit for calculating the deviation amount, 409 is an allowable deviation amount storage memory in which the allowable deviation amount of the component is stored, and 410 is a comparison between the calculated deviation amount and the allowable deviation amount to determine whether the mounting state of the component is good or bad. This is a comparison / judgment circuit for judgment.
以下その動作を説明する。プリント基板401上に実装さ
れた部品402をビデオカメラ403で撮像し、その映像信号
を画像取込回路404でA/D変換し画像メモリに取り込
む。その画像を用いてエッジ検出回路405で部品402のエ
ッジを検出し、そのエッジ情報からコーナ検出回路406
で部品402のコーナの座標値を検出する。この検出され
たコーナの座標値と基準データ格納メモリ407に格納さ
れている部品の基準座標値とを比較して、ずれ量計算回
路408で両者のずれ量を計算する。そして、その算出さ
れた部品の基準値からのずれ量と、許容ずれ量格納メモ
リ409に格納されているずれの許容値とを比較・判定回
路410で比較し、部品のずれや欠品等の実装状態の良否
を判定している。The operation will be described below. The video camera 403 captures an image of the component 402 mounted on the printed circuit board 401, and the video signal is A / D converted by the image capturing circuit 404 and captured in the image memory. An edge of the component 402 is detected by the edge detection circuit 405 using the image, and the corner detection circuit 406 is detected from the edge information.
The coordinate value of the corner of the component 402 is detected by. The detected coordinate value of the corner is compared with the reference coordinate value of the component stored in the reference data storage memory 407, and the shift amount calculation circuit 408 calculates the shift amount between the two. Then, the calculated deviation amount from the reference value of the component and the allowable deviation value stored in the allowable deviation amount storage memory 409 are compared by the comparison / determination circuit 410, and the deviation of the component, the missing item, or the like is detected. The quality of the mounting state is determined.
発明が解決しようとする課題 しかし、従来例で示したような検査方法では、ビデオカ
メラ403で部品を撮像して、二次元的な情報を用いてい
るため、例えば部品が半田付け不良等の原因で全体的に
浮き上がって実装されていたり、ICの足が部分的に浮
き上がっているような不良は検出できないという課題が
ある。However, in the inspection method as shown in the conventional example, the component is picked up by the video camera 403 and two-dimensional information is used. However, there is a problem in that it is not possible to detect a defect in which the IC is entirely lifted up and mounted, or a foot of the IC is partially lifted up.
また、このような検査の場合、あらかじめ部品の基準座
標値を指定しておき、その対象となる部品のみ判定する
が、部品の実装位置以外にも誤って実装されることがあ
り、このような実装不良も検査できないという課題もあ
る。Further, in the case of such an inspection, the reference coordinate value of the component is designated in advance, and only the target component is determined, but it may be erroneously mounted at a position other than the mounting position of the component. There is also a problem that it is not possible to inspect for mounting defects.
本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、プリント基
板上の二次元的(平面図)な位置ずれの検査に加え、三
次元的な部品の浮き等の不良も簡便に検査できるもので
ある。さらに、実装位置以外に誤って実装された余計な
部品をも検査できるものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and in addition to inspecting a two-dimensional (plan view) positional deviation on a printed circuit board, it is possible to easily inspect a defect such as a three-dimensional floating of a component. . Furthermore, it is possible to inspect extra components that are erroneously mounted at positions other than the mounting position.
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため本発明の技術的解決手段は、第
1に部品が実装されたプリント基板を外観で実装状態を
検査する実装検査装置において、レーザ光源からのレー
ザ光をポリゴンミラーとfθレンズにより前記プリント
基板上を走査するレーザ光走査手段と、前記レーザ光の
走査により前記プリント基板上から反射して得られる散
乱光を、前記プリント基板と前記fθレンズの間に設け
た反射ミラーで反射させ、前記fθレンズのポリゴンミ
ラーを介して反射させる散乱光反射手段と、前記散乱光
反射手段からの散乱光を集光レンズで位置検出素子に集
光し位置信号を出力する位置検出手段と、前記位置検出
手段からの位置信号により前記プリント基板およびプリ
ント基板上に実装された部品の高さデータを演算する画
像演算手段と、部品の実装位置上および部品の実装位置
以外に予め定めた任意サイズの複数のマスク処理をする
ためのマスクデータを格納するマスク記憶手段と、前記
画像演算手段で演算された高さデータと予め定めた基準
高さデータとを前記マスク記憶手段からのマスクデータ
内のみ比較し、前記プリント基板上の部品の実装状態の
良否を判定する判定手段とから構成したものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, a technical solution of the present invention is, firstly, a laser from a laser light source in a mounting inspection apparatus for visually inspecting a mounted state of a printed circuit board on which components are mounted. Laser light scanning means for scanning light on the printed circuit board by a polygon mirror and an fθ lens, and scattered light obtained by reflecting the light from the printed circuit board by the scanning of the laser light are provided between the printed circuit board and the fθ lens. And a scattered light reflecting means for reflecting the light through a polygon mirror of the fθ lens, and a scattered light from the scattered light reflecting means is condensed by a condenser lens on a position detecting element to output a position signal. The height data of the printed circuit board and the components mounted on the printed circuit board are calculated based on the output position detecting means and the position signal from the position detecting means. Image calculation means, a mask storage means for storing mask data for performing a plurality of mask processing of a predetermined arbitrary size on the mounting position of the component and other than the mounting position of the component, and the image calculating means The height data and predetermined reference height data are compared only within the mask data from the mask storage means, and the determination means determines the quality of the mounting state of the component on the printed circuit board.
また第2には、第1の構成手段に加えて、部品の実装位
置以外のマスクを設定する場合、m×nの任意サイズの
格子状またはストライプ状のマスク形状に設定するマス
ク記憶手段から構成したものである。Secondly, in addition to the first configuration means, in the case of setting a mask other than the mounting position of the component, it is constituted by a mask storage means for setting a mask shape of a grid or stripe of arbitrary size m × n. It was done.
作 用 本発明は、第1に部品が実装されたプリント基板をレー
ザ光では全面検査し、プリント基板から反射して得られ
る散乱光を反射ミラーで位置検出手段に導き、プリント
基板上の高さの凹凸に従って変化する位置検出素子上の
散乱光の集光位置を検出し、その位置信号から画像演算
処理手段によりプリント基板上に実装された部品の高さ
データを演算し、その実測高さデータと基準高さデータ
を比較することにより、プリント基板上の二次元的(平
面図)な位置ずれの検査に加え、三次元的な部品の浮き
等の不良も簡便に検査できるものである。Operation The first aspect of the present invention is to inspect a printed circuit board on which components are mounted on a whole surface with a laser beam and guide scattered light obtained by reflecting the printed circuit board to a position detecting means by a reflection mirror to determine the height on the printed circuit board. The position where the scattered light is condensed on the position detecting element, which changes according to the unevenness of the, is detected, and the height data of the component mounted on the printed board is calculated by the image calculation processing means from the position signal, and the measured height data is calculated. By comparing with the reference height data, it is possible to easily inspect for a two-dimensional (plan view) positional deviation on the printed circuit board and also for a three-dimensional defect such as floating of a component.
さらに、実装部品上および実装部品以外の基板上にマス
クを設定し、基準データと比較することにより実装位置
以外に誤って実装された余計な部品をも検査できるもの
である。Further, by setting a mask on the mounted component and on the substrate other than the mounted component and comparing it with the reference data, it is possible to inspect the unnecessary component other than the mounting position that is erroneously mounted.
また第2に、実装部品以外の基板上にマスクを設定する
際に、m×nの格子状またはトライプ状にすることによ
り容易にマスクが設定できるようにしたものである。Secondly, when the mask is set on the substrate other than the mounted parts, the mask can be easily set by forming an m × n lattice or tripe.
実施例 以下、第1図を参照しながら本発明の第1の実施例につ
いて説明する。Example Hereinafter, a first example of the present invention will be described with reference to FIG.
第1図は、本発明の実装基板検査装置の一実施例を示す
ブロック結線図である。第1図において、101はプリン
ト基板、102はプリント基板101上に実装されている部
品、103はプリント基板101を移動させる搬送手段、104
はその移動方向を示す矢印である。105はレーザ光源、1
06はレーザ光源105からのレーザ光、107はポリゴンミラ
ー、108はレーザ光をポリゴンミラー107に導くための反
射鏡、109はfθレンズ、110は反射ミラーである。111
は集光レンズ、112は位置検出素子、113は位置検出素子
112からの位置信号、114はその位置信号113から部品の
高さデータに変換演算をする画像演算処理手段、115は
プリント基板101上の部品102の実装状態の良否を判定す
る判定処理手段、116は部品102の実装位置上および部品
102の実装位置以外に予め定めた複数のマスクデータを
格納するマスク記憶手段である。FIG. 1 is a block connection diagram showing an embodiment of the mounting board inspection apparatus of the present invention. In FIG. 1, 101 is a printed circuit board, 102 is a component mounted on the printed circuit board 101, 103 is a conveying means for moving the printed circuit board 101, and 104.
Is an arrow indicating the moving direction. 105 is a laser light source, 1
Reference numeral 06 is a laser beam from the laser light source 105, 107 is a polygon mirror, 108 is a reflecting mirror for guiding the laser beam to the polygon mirror 107, 109 is an fθ lens, and 110 is a reflecting mirror. 111
Is a condenser lens, 112 is a position detecting element, 113 is a position detecting element
A position signal from 112, 114 is an image processing means for converting the position signal 113 into height data of a component, 115 is a determination processing means for determining whether or not the mounting state of the component 102 on the printed circuit board 101 is good, 116 Is on the mounting position of the component 102 and the component
The mask storage means stores a plurality of predetermined mask data other than the mounting position of 102.
以下にその動作を説明する。The operation will be described below.
部品102が実装されているプリント基板101を搬送手段10
3により移動方向104の方向に移動させつつ、レーザ光源
105からのレーザ光106を反射鏡108を3個用いて、回転
しているポリゴンミラー107に導き、ポリゴンミラー107
とfθレンズ109によりレーザ光106をプリント基板101
上に垂直に照射する。これにより、プリント基板101上
にレーザ光106を二次元的に全面走査する。The printed circuit board 101 on which the component 102 is mounted is provided with a conveying means 10
While moving in the moving direction 104 by 3
The laser beam 106 from 105 is guided to the rotating polygon mirror 107 by using three reflecting mirrors 108, and the polygon mirror 107
And the fθ lens 109 causes the laser light 106 to emit the laser light 106
Irradiate vertically on top. As a result, the laser light 106 is two-dimensionally scanned over the printed circuit board 101.
レーザ光106の走査によりプリント基板101上から反射し
てくる散乱光を、検査対象物であるプリント基板101と
fθレンズ109との間に設けた反射ミラー110で反射さ
せ、fθレンズ109とポリゴンミラー107を介して、さら
に集光レンズ111を通して、位置検出素子112上に集光す
る。位置検出素子112からの位置信号113は、画像演算処
理手段114に入力される。Scattered light reflected from the printed circuit board 101 by scanning the laser beam 106 is reflected by a reflection mirror 110 provided between the printed circuit board 101, which is an inspection object, and the fθ lens 109, and the fθ lens 109 and the polygon mirror are reflected. The light is condensed on the position detecting element 112 through 107 and further through the condenser lens 111. The position signal 113 from the position detection element 112 is input to the image calculation processing means 114.
画像演算処理手段114では、同期信号のタイミングで入
力された位置信号113をプリント基板101およびプリント
基板101上に実装された部品102の高さデータに変換する
演算を行い、実測高さデータを判定処理手段115へ出力
する。判定処理手段115では、画像演算処理手段114で演
算された実測高さデータとあらかじめ定めておいた基準
高さデータとをマスクク記憶手段116からのマスクデー
タ内のみ比較し、プリント基板101上の部品102の実装状
態および部品102の実装位置以外での余計な部品の有無
を判定するものである。The image calculation processing means 114 performs calculation to convert the position signal 113 input at the timing of the synchronization signal into height data of the printed circuit board 101 and the component 102 mounted on the printed circuit board 101, and determines the actually measured height data. Output to the processing means 115. In the determination processing means 115, the measured height data calculated by the image calculation processing means 114 and the predetermined reference height data are compared only within the mask data from the mask storage means 116, and the components on the printed circuit board 101 are compared. The presence / absence of a component other than the mounting state of the component 102 and the mounting position of the component 102 is determined.
以上の動作を繰り返し、順次行うことによりプリント基
板101上全面について検査することができる。この一連
の動作は、適当な信号により同期して行う必要がある
が、本実施例の場合ポリゴンミラー107の回転に合わせ
た同期信号を用いて同期を取った。By repeating the above operation and sequentially performing it, the entire surface of the printed circuit board 101 can be inspected. It is necessary to perform this series of operations in synchronism with an appropriate signal, but in the case of this embodiment, synchronism is achieved using a synchronism signal that matches the rotation of the polygon mirror 107.
次に、画像演算処理手段114と判定処理手段115およびマ
スクク記憶手段116について、第2図と第3図を用いて
さらに詳しく説明する。Next, the image calculation processing means 114, the determination processing means 115, and the mask storage means 116 will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3.
画像演算処理手段114は、第2図に示すように位置検出
素子112からの位置信号113A/Dコンバータ201でデジ
タル信号に変換し位置演算回路202に入力する。本実施
例では、位置検出素子にPSD(ポジション−センシテ
ィブ デテクタ;Position-Sensitive Detectors;半導
体位置検出素子)を用いており、PSDに入射する入射
位置は、素子の両端電極に流れる電流が各電極間との距
離に反比例するものを用いている。位置演算回路202で
は、デジタル信号に変換された両電極からの電流I1お
よびI2を第(1)式を用いて高さデータを演算する。
(但し、Kは、正規化するための係数である。) 高さデータ=K・(I1−I2)/(I1+I2) ……(1) 位置演算回路202で得られた高さデータは、一旦測定高
さデータ格納メモリ203に格納され、判定処理手段115に
出力される。As shown in FIG. 2, the image calculation processing means 114 converts the position signal 113 from the position detection element 112 into a digital signal by the A / D converter 201 and inputs the digital signal to the position calculation circuit 202. In this embodiment, PSDs (position-sensitive detectors; semiconductor position detecting elements) are used as the position detecting elements, and the incident position at which the PSD is incident is that the current flowing through the electrodes at both ends of the element is between the electrodes. It is inversely proportional to the distance between and. The position calculation circuit 202 calculates the height data of the currents I 1 and I 2 from both electrodes, which are converted into digital signals, by using the equation (1).
(However, K is a coefficient for normalization.) Height data = K · (I 1 −I 2 ) / (I 1 + I 2 ) ... (1) Height obtained by the position calculation circuit 202 The height data is temporarily stored in the measured height data storage memory 203 and output to the determination processing means 115.
判定処理手段115では、測定高さデータ格納メモリ203か
らの測定高さデータと基準高さデータ格納メモリ206か
らの基準高さデータとをマスク記憶手段116からのマス
クデータに応じ比較回路204で比較しその差分を比較デ
ータとして判定回路205に出力する。判定回路205では、
比較回路204からの比較データを基にその差分の大小に
よって部品の実装状態を判定するものである。The determination processing means 115 compares the measured height data from the measured height data storage memory 203 with the reference height data from the reference height data storage memory 206 in the comparison circuit 204 according to the mask data from the mask storage means 116. Then, the difference is output to the determination circuit 205 as comparison data. In the judgment circuit 205,
Based on the comparison data from the comparison circuit 204, the mounting state of the component is determined by the magnitude of the difference.
また、判定処理手段115で実装部品以外の余計な部品の
判定において、測定高さデータと基準高さデータとの比
較を行い、マスク内での測定高さデータが大きいデータ
の画素数や大きいデータの面積で判定する方法も一つの
方法である。In the determination of extra components other than mounted components by the determination processing unit 115, the measured height data is compared with the reference height data, and the measured height data in the mask has a large number of pixels or large data. The method of determining by the area of is also one method.
第3図にマスク記憶手段116のマスク形状を示し、その
具体的実施例について説明する。FIG. 3 shows the mask shape of the mask storage means 116, and a concrete example thereof will be described.
第3図(a)は実装部品以外の場所にm×nの格子状のマ
スクを設定したものを示し、第3図(b)は実装部品以外
の場所にm×nのストライプ状のマスクを設定したもの
を示している。すなわち、第3図において、プリント基
板301上に部品302の実装予定位置上に設定した部品マス
ク303と実装予定位置以外の場所に設定したm×nの格
子状マスク305またはストライプ状マスク305を示す。FIG. 3 (a) shows an m × n grid-shaped mask set in a place other than the mounted parts, and FIG. 3 (b) shows an m × n striped mask in a place other than the mounted parts. It shows what has been set. That is, FIG. 3 shows the component mask 303 set on the planned mounting position of the component 302 on the printed circuit board 301 and the m × n lattice-shaped mask 305 or the stripe-shaped mask 305 set on a position other than the planned mounting position. .
発明の効果 以上述べてきたように本発明の効果としては、プリント
基板上の部品の高さデータを測定し、部品の実装位置上
と部品の実装位置以外とに設定したマスク内のみ基準高
さデータとの比較をし、部品の実装状態を判定すること
により、人間の目視検査に頼ることなく、また二次元的
な位置情報では検査できなかった三次元的な部品浮き等
の不良を検査できるようになり、検査の自動化が推進で
き効果が大きく、実装部品位置以外の場所にマスクを設
定し検査することにより、実装ミスにより誤って付着し
た余計な部品を検査することが可能となった。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, the effects of the present invention are that the height data of the component on the printed circuit board is measured and the reference height is set only in the mask set on the mounting position of the component and other than the mounting position of the component. By comparing with the data and determining the mounting state of the component, it is possible to inspect defects such as three-dimensional component floating that could not be inspected with two-dimensional position information without relying on human visual inspection. As a result, the automation of the inspection can be promoted and the effect is great. By setting a mask at a place other than the position of the mounted component and inspecting it, it is possible to inspect the extra components that are mistakenly attached due to a mounting error.
また、実装部品位置以外にマスクを設定する際に、m×
nの格子状またはストライプ状のマスクとすることによ
り、容易に設定することができる。Also, when setting the mask other than the mounting component position, m ×
It can be easily set by using an n-shaped lattice or stripe mask.
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の第1の実施例における実装基板検査装
置のブロック結線図、第2図は第1図の要部詳細ブロッ
ク結線図、第3図は第1図のマスク形状を示す平面図、
第4図は従来の基板検査装置のブロック結線図である。 101……プリント基板、102……部品、103……搬送手
段、105……レーザ光源、107……ポリゴンミラー、109
……fθレンズ、110……反射ミラー、111……集光レン
ズ、112……位置検出素子、114……画像演算処理手段、
115……判定処理手段、116……マスク記憶手段。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block connection diagram of a mounting board inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a detailed block connection diagram of essential parts of FIG. 1, and FIG. A plan view showing the mask shape in the figure,
FIG. 4 is a block connection diagram of a conventional board inspection apparatus. 101 ... Printed circuit board, 102 ... Parts, 103 ... Conveying means, 105 ... Laser light source, 107 ... Polygon mirror, 109
...... fθ lens, 110 …… reflection mirror, 111 …… condensing lens, 112 …… position detection element, 114 …… image calculation processing means,
115 ... Judgment processing means, 116 ... Mask storage means.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津田 幸文 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 背戸 卓美 神奈川県横浜市港北区綱島東4丁目3番1 号 松下通信工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Yufumi Tsuda Inventor Yukifumi Tsuda 3-10-1 Higashisanda, Tama-ku, Kawasaki City, Kanagawa Matsushita Giken Co., Ltd. No. 3 No. 1 Matsushita Communication Industrial Co., Ltd.
Claims (2)
る搬送手段と、レーザ光源からのレーザ光をポリゴンミ
ラーとfθレンズにより前記プリント基板上を走査する
レーザ光走査手段と、前記レーザ光の走査により前記プ
リント基板上から反射して得られる散乱光を、前記プリ
ント基板と前記fθレンズの間に設けた反射ミラーで反
射させ、前記fθレンズとポリゴンミラーを介して反射
させる散乱光反射手段と、前記散乱光反射手段からの散
乱光を集光レンズで位置検出素子に集光し位置信号を出
力する位置検出手段と、前記位置検出手段からの位置信
号により前記プリント基板およびプリント基板上に実装
された部品の高さデータを演算する画像演算手段と、部
品の実装位置上および部品の実装位置以外に予め定めた
任意サイズの複数のマスク処理をするマスクデータを格
納するマスク記憶手段と、前記画像演算手段で演算され
た高さデータと予め定めた基準高さデータとを前記マス
ク記憶手段からのマスクデータ内のみ比較し、前記プリ
ント基板上の部品の実装状態の良否を判定する判定処理
手段とを具備する実装基板検査装置。1. A conveyance means for moving a printed circuit board on which components are mounted, a laser light scanning means for scanning the laser light from a laser light source on the printed circuit board by a polygon mirror and an fθ lens, and scanning of the laser light. Scattered light reflecting means for reflecting scattered light obtained by being reflected from the printed circuit board by means of a reflection mirror provided between the printed circuit board and the fθ lens, and reflected through the fθ lens and a polygon mirror. Position detecting means for collecting the scattered light from the scattered light reflecting means on a position detecting element by a condenser lens and outputting a position signal, and the printed circuit board and the printed circuit board mounted by the position signal from the position detecting means. Image calculation means for calculating the height data of the component, and a plurality of predetermined sizes on the component mounting position and other than the component mounting position. Mask storage means for storing mask data to be processed, and height data calculated by the image calculation means and predetermined reference height data are compared only within the mask data from the mask storage means, and the print is performed. A mounting board inspection device, comprising: a judgment processing means for judging whether or not the mounting state of a component on the board is good.
以外のマスクを設定する場合、m×nの任意サイズの格
子状またはストライプ状のマスク形状に設定することを
特徴とした請求項1記載の実装基板検査装置。2. The mask storage means, when setting a mask other than the mounting position of a component, sets the mask shape in a grid or stripe shape with an arbitrary size of m × n. Mounted board inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033039A JPH0619257B2 (en) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | Mounted board inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033039A JPH0619257B2 (en) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | Mounted board inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02212705A JPH02212705A (en) | 1990-08-23 |
| JPH0619257B2 true JPH0619257B2 (en) | 1994-03-16 |
Family
ID=12375650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1033039A Expired - Fee Related JPH0619257B2 (en) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | Mounted board inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619257B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9882186B2 (en) | 2007-03-30 | 2018-01-30 | Sony Corporation | Battery pack including terminal portions at irregular intervals |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1033039A patent/JPH0619257B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9882186B2 (en) | 2007-03-30 | 2018-01-30 | Sony Corporation | Battery pack including terminal portions at irregular intervals |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02212705A (en) | 1990-08-23 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |