JPH0624681B2 - Burning device - Google Patents
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- JPH0624681B2 JPH0624681B2 JP61042741A JP4274186A JPH0624681B2 JP H0624681 B2 JPH0624681 B2 JP H0624681B2 JP 61042741 A JP61042741 A JP 61042741A JP 4274186 A JP4274186 A JP 4274186A JP H0624681 B2 JPH0624681 B2 JP H0624681B2
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- Japan
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- polishing
- polishing tape
- magnetic material
- air
- air nozzle
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、加圧エアを利用して磁気材料に研磨テープを
圧接させて該磁気材料の研磨面を研磨するバーニッシュ
装置に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a varnishing apparatus for polishing a polishing surface of a magnetic material by bringing a polishing tape into pressure contact with the magnetic material using pressurized air. .
(従来技術) 磁気ディスク等の磁気材料の表面(研磨面)を研磨テー
プによって研磨するバーニッシュ装置の中には、本出願
人が出願した特願昭59-256290号に記載されている様
な、加圧エアを利用して研磨テープと研磨面とを接触さ
せて研磨する装置がある。かかる装置は、第6図に示す
ように、矢印A方向に回転駆動可能な磁気ディスク1の
両面1a,1b側の相対する位置に2つのエアノズル22,23
を設け、磁気ディスクの研磨面1aの側のエアノズル22と
研磨面1aとの間にガイドローラで支持された研磨テープ
24を介装して成る。したがって、この研磨面1aのエアノ
ズル22のエア噴出口22aからエアが噴出されると研磨テ
ープ24が研磨面1a側へバックアップされ、研磨面1aの反
対の面1b側のエアノズル23のエア噴出口23aからエアが
噴出されると磁気ディスク1が研磨テープ24側へバック
アップされ、両バックアップにより研磨テープ(24)が研
磨面1aに圧接せしめられる。前記研磨テープバックアッ
プ用エアノズル22は先端部が断面半円型に形成され、研
磨テープ24は該ノズル22の先端部の弧に沿って矢印B方
向に移送され、矢印A方向に回転している磁気ディスク
の研磨面1aに圧接して該面1aを研磨する。(Prior Art) Among burnishing devices for polishing the surface (polishing surface) of a magnetic material such as a magnetic disk with a polishing tape, a burnishing device as disclosed in Japanese Patent Application No. 59-256290 filed by the present applicant is disclosed. There is a device that uses pressurized air to bring a polishing tape into contact with a polishing surface to perform polishing. As shown in FIG. 6, such a device has two air nozzles 22, 23 at opposite positions on both sides 1a, 1b of the magnetic disk 1 which can be driven to rotate in the direction of arrow A.
And a polishing tape supported by a guide roller between the air nozzle 22 on the side of the polishing surface 1a of the magnetic disk and the polishing surface 1a.
24 through. Therefore, when air is ejected from the air ejection port 22a of the air nozzle 22 of the polishing surface 1a, the polishing tape 24 is backed up to the polishing surface 1a side, and the air ejection port 23a of the air nozzle 23 on the surface 1b side opposite to the polishing surface 1a. When air is ejected from the magnetic disk 1, the magnetic disk 1 is backed up to the side of the polishing tape 24, and both backups press the polishing tape (24) against the polishing surface 1a. The tip of the polishing tape backup air nozzle 22 is formed in a semicircular shape, and the polishing tape 24 is transported in the direction of arrow B along the arc of the tip of the nozzle 22 and is rotated in the direction of arrow A. The surface 1a of the disk is abraded by being pressed against the surface 1a.
一般に、このようなバーニッシュ装置のバーニッシュ効
果に影響を及ぼすものは、バーニッシュ時間,研磨面の
回転数,エア圧力の3種類である。バーニッシュ時間,
回転数は磁気ディスク表面の平滑均一性を左右し、エア
圧力はバーニッシュ深さを左右する。バーニッシュ時間
を短縮することは能率向上につながるが、同じバーニッ
シュ効果を得るためには研磨面の回転数を多くすること
が必要である。Generally, there are three types of factors that affect the burnishing effect of such a burnishing device: the burnishing time, the number of revolutions of the polishing surface, and the air pressure. Burnish time,
The rotation speed affects the smoothness and uniformity of the magnetic disk surface, and the air pressure affects the burnish depth. Although shortening the burnishing time leads to improvement in efficiency, it is necessary to increase the number of rotations of the polishing surface in order to obtain the same burnishing effect.
しかし、前記装置においては、磁気ディスクの回転数を
多くした場合、研磨テープと磁気ディスクの研磨面との
間に空気層が形成される。このため加圧エアによる研磨
面と研磨テープの圧接に支障をきたし、研磨効果が低下
してしまう。したがって、磁気ディスクを高速回転させ
て研磨効率をあげるのは不可能であった。However, in the above apparatus, when the rotational speed of the magnetic disk is increased, an air layer is formed between the polishing tape and the polishing surface of the magnetic disk. As a result, the press contact between the polishing surface and the polishing tape by the pressurized air is hindered, and the polishing effect is reduced. Therefore, it has been impossible to rotate the magnetic disk at a high speed to improve the polishing efficiency.
(発明の目的) 本発明は、前記のような問題点に鑑み、研磨効率がよい
バーニッシュ装置の提供を目的とするものである。(Object of the Invention) In view of the above problems, the present invention has an object to provide a burnishing device having a high polishing efficiency.
(発明の構成) 本発明によるバーニッシュ装置は、研磨テープバックア
ップ用エアノズルの先端部のうちエア噴出口から磁気材
料の送り方向後方側の部分を、研磨面に対して20度以上
の角度をなすテーパー面状に形成したことを特徴とする
ものである。(Structure of the Invention) In the burnishing device according to the present invention, a portion of the tip of the polishing tape backup air nozzle that is on the rear side in the feeding direction of the magnetic material from the air ejection port forms an angle of 20 degrees or more with respect to the polishing surface. It is characterized in that it is formed in a tapered surface shape.
このバーニッシュ装置は、磁気ディスク等の磁気材料の
研磨面に対向して研磨テープバックアップ用エアノズル
が配設されさらに、前記磁気材料を挟んで前記エアノズ
ルに相対する位置に磁気材料バックアップ用エアノズル
が配設されている。前記磁気材料は研磨面の全面的研磨
を可能にするために前記両エアノズルに対して相対移動
するように構成されている。In this burnishing device, a polishing tape backup air nozzle is arranged so as to face a polishing surface of a magnetic material such as a magnetic disk, and a magnetic material backup air nozzle is arranged at a position facing the air nozzle with the magnetic material sandwiched therebetween. It is set up. The magnetic material is configured to move relative to the air nozzles so as to allow the entire polishing surface to be polished.
前記磁気材料の研磨面と研磨テープバックアップ用エア
ノズルとの間には研磨テープが介装されている。研磨テ
ープバックアップ用エアノズルから加圧エアが噴出され
ると、前記研磨テープがバックアップされ、磁気材料バ
ックアップ用エアノズルからの加圧エアの噴出により磁
気材料がバックアップされ、研磨面と研磨テープとが圧
接される。研磨テープバックアップ用エアノズルは、前
述の如く、その先端部のうちエア噴出口から磁気材料の
送り方向後方側の部分が研磨面と20度以上をなすテーパ
ー面状に形成されている。A polishing tape is interposed between the polishing surface of the magnetic material and the polishing tape backup air nozzle. When pressurized air is ejected from the polishing tape backup air nozzle, the polishing tape is backed up, and the magnetic material is backed up by ejection of pressurized air from the magnetic material backup air nozzle, and the polishing surface and the polishing tape are pressed against each other. It As described above, the air nozzle for backing up the polishing tape is formed such that a portion of the tip portion thereof on the rear side in the feeding direction of the magnetic material from the air ejection port is formed into a taper surface shape which makes 20 degrees or more with the polishing surface.
(実施例) 以下図面により本発明の実施例を詳細に説明する。Embodiment An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第1図は磁気ディスク用バーニッシュ装置の全体正面
図、第2図は駆動機構を省略して示す斜視図、第3図は
ノズル部分の断面図である。FIG. 1 is an overall front view of a burnishing device for a magnetic disk, FIG. 2 is a perspective view showing a drive mechanism omitted, and FIG. 3 is a sectional view of a nozzle portion.
図示の磁気ディスク1は下側の面1aと上側の面1bのうち
下側の面1aのみが記録再生を行なう磁性面、すなわち研
磨すべき面(研磨面)として構成されている。かかる磁
気ディスク1は、最内周部1cが回転軸2の先端のバキュ
ームチャック2aによって保持され、図示しない駆動機構
で上記回転軸2が回転駆動され、磁気ディスク1が例え
ば1000〜3000rpmで高速回転される。In the illustrated magnetic disk 1, only the lower surface 1a of the lower surface 1a and the upper surface 1b is formed as a magnetic surface for recording / reproducing, that is, a surface to be polished (polishing surface). In the magnetic disk 1, the innermost peripheral portion 1c is held by a vacuum chuck 2a at the tip of the rotary shaft 2, and the rotary shaft 2 is rotationally driven by a drive mechanism (not shown), so that the magnetic disk 1 rotates at a high speed of 1000 to 3000 rpm, for example. To be done.
前記磁気ディスク1の研磨面1aに対して研磨テープ3の
砥粒面3aを圧接して研磨を行なう。この研磨テープ3と
磁気ディスク1との圧接は、相対向するエアノズル4,
5から吹き付けられた加圧エアの風圧によって得るもの
である。Polishing is performed by pressing the abrasive grain surface 3a of the polishing tape 3 against the polishing surface 1a of the magnetic disk 1. The pressure contact between the polishing tape 3 and the magnetic disk 1 is caused by the air nozzles 4 facing each other.
It is obtained by the wind pressure of the pressurized air blown from No. 5.
すなわち、磁気ディスク1の下面(研磨面)側には研磨
テープ3をバックアップするための研磨テープバックア
ップ用エアノズル4が配設され、この研磨テープバック
アップ用エアノズル4のエア噴出口4aが磁気ディスク1
の研磨面1aに近接して開口し、エア噴出口4aと磁気ディ
スク1との間に研磨テープ3が介装されている。また、
前記磁気ディスク1の上面側には前記研磨テープバック
アップ用エアノズル4に対向して磁気ディスク1の研磨
テープ3により研磨圧力を担持するための磁気ディスク
バックアップ用エアノズル5が配設され、この磁気ディ
スクバックアップ用エアノズル5のエア噴出口5aが研磨
テープ3の接触部の反対面側の磁気ディスク1に近接し
て開口している。That is, a polishing tape backup air nozzle 4 for backing up the polishing tape 3 is disposed on the lower surface (polishing surface) side of the magnetic disk 1, and the air ejection port 4a of the polishing tape backup air nozzle 4 has an air ejection port 4a.
The polishing tape 3 is opened in the vicinity of the polishing surface 1a, and the polishing tape 3 is interposed between the air ejection port 4a and the magnetic disk 1. Also,
A magnetic disk backup air nozzle 5 for holding a polishing pressure by the polishing tape 3 of the magnetic disk 1 is disposed on the upper surface side of the magnetic disk 1 so as to face the polishing tape backup air nozzle 4. An air ejection port 5a of the air nozzle 5 for use is opened close to the magnetic disk 1 on the opposite side of the contact portion of the polishing tape 3.
第3図に示すように前記研磨テープバックアップ用エア
ノズル4は、その先端部が2つのテーパー面4c,4dを有
する断面山形に形成され、その山形の頂部に前記エア噴
出口4aが開口せしめられている。上記一方のテーパー面
4c、すなわち研磨テープバックアップ用エアノズル先端
部のうちエア噴出口4aより磁気材料1の送り方向(矢印
A方向、すなわちエアノズル4,5に対して相対移動す
る方向)後方側の部分に形成されたテーパー面4cは磁気
材料の研磨面1aと角度θ1を成し、他方のテーパー面4d
は磁気材料の研磨面1aと角度θ2を成している。As shown in FIG. 3, the polishing tape backup air nozzle 4 has a tip end portion formed into a mountain-shaped cross section having two tapered surfaces 4c and 4d, and the air ejection port 4a is opened at the top of the mountain shape. There is. One tapered surface above
4c, that is, a taper formed in a rear portion of the tip of the polishing tape backup air nozzle from the air ejection port 4a in the feeding direction of the magnetic material 1 (direction of arrow A, that is, the direction of relative movement to the air nozzles 4 and 5). The surface 4c forms an angle θ 1 with the polished surface 1a of the magnetic material, and the other tapered surface 4d
Forms an angle θ 2 with the polished surface 1a of the magnetic material.
上記角度θ1は20°以上であることが必要であり、好ま
しくは20°≦θ1≦56°になるようにテーパー面4cを形
成すべきである。上記角度θ2は、特に限定されないが2
5°≦θ2≦45°であることが好ましく、図示のものはθ
2=29°となるようにテーパー面4dが形成されている。
なお、このエアノズル先端部のうちエア噴出口4aより磁
気材料1の送り方向前方側の部分は、必ずしも図示の如
きテーパー面4dである必要はなく、例えば従来の様に断
面円弧状であっても良い。The angle θ 1 needs to be 20 ° or more, and preferably the tapered surface 4c should be formed so that 20 ° ≦ θ 1 ≦ 56 °. The angle θ 2 is not particularly limited, but 2
It is preferable that 5 ° ≦ θ 2 ≦ 45 °, and the one shown is θ
The tapered surface 4d is formed so that 2 = 29 °.
It should be noted that the portion of the tip of the air nozzle on the front side of the air ejection port 4a in the feeding direction of the magnetic material 1 does not necessarily have to be the tapered surface 4d as shown in the drawing, and may have an arcuate cross section as in the conventional case, for example. good.
また、磁気ディスクバックアップ用エアノズル5の先端
形状は特に限定されるものではなく、任意の適当な形を
取り得る。Further, the shape of the tip of the magnetic disk backup air nozzle 5 is not particularly limited and may be any suitable shape.
前記エアノズル4,5は基板6に所定間隔をもって固着
され、この基板6を介して所定圧力の加圧エアが中心部
の導入通路4b,5bに導入され、この導入通路4b,5bから
スリット状のエア噴出口4a,5aに連通され噴出される。
前記エアノズル4,5に供給される加圧エアの圧力は、
例えば6Kg/cm2以下の範囲で可変であり、この加圧エ
アの圧力調節によって、研磨テープ3と磁気ディスク1
との接触圧の変更による研磨深さの調整ができ、研磨テ
ープバックアップ用エアノズル4に対する圧力が1.0〜
2.5Kg/cm2程度に限定された際に、磁気ディスクバック
アップ用エアノズル5に対する圧力は1.5〜4.0Kg/cm2
程度に設定するのが好ましい。The air nozzles 4 and 5 are fixed to the substrate 6 at a predetermined interval, and pressurized air having a predetermined pressure is introduced into the introduction passages 4b and 5b at the center through the substrate 6 and slit-shaped from the introduction passages 4b and 5b. It is communicated with the air ejection ports 4a, 5a and ejected.
The pressure of the pressurized air supplied to the air nozzles 4 and 5 is
For example, it can be varied within a range of 6 kg / cm 2 or less, and the polishing tape 3 and the magnetic disk 1 can be adjusted by adjusting the pressure of the pressurized air.
The polishing depth can be adjusted by changing the contact pressure with, and the pressure to the polishing tape backup air nozzle 4 is 1.0 to
When the pressure is limited to about 2.5 kg / cm 2, the pressure against the magnetic disk backup air nozzle 5 is 1.5 to 4.0 kg / cm 2.
It is preferable to set it to a degree.
一方、上記研磨テープ3は研磨テープバックアップ用エ
アノズル4の両側に配設されたガイドローラ7,8に掛
けられ、図示しない送り機構によって、磁気ディスク1
の回転方向(送り方向A)と反対方向(矢印B方向)に
走行するように間歇送りが行なわれ、走行速度は例えば
7mm/sec程度である。また、この研磨テープ3として
は、砥粒面3aに設けられている砥粒が例えば酸化クロ
ム,炭化ケイ素系,酸化鉄,酸化アルミナ,ダイヤモン
ド等の材質のものが使用される。On the other hand, the polishing tape 3 is hooked on guide rollers 7 and 8 arranged on both sides of the polishing tape backup air nozzle 4, and the magnetic disk 1 is driven by a feeding mechanism (not shown).
The intermittent feeding is performed so that the vehicle travels in a direction (arrow B direction) opposite to the rotational direction (feeding direction A) of the vehicle, and the traveling speed is, for example, about 7 mm / sec. As the polishing tape 3, the abrasive grains provided on the abrasive grain surface 3a are made of, for example, chromium oxide, silicon carbide, iron oxide, alumina oxide, diamond, or the like.
前記構成により、駆動機構で磁気ディスク1を高速回転
している状態で、2つのエアノズル4,5から所定圧の
加圧エアをそれぞれ研磨テープ3および磁気ディスク1
に対して吹き付け、これにより研磨テープ3と磁気ディ
スク1の研磨面1aとを所定の接触圧で圧接して、研磨仕
上げを、例えば0.5〜1.0sec程度の時間行なうものであ
る。With the above configuration, while the magnetic disk 1 is rotated at a high speed by the drive mechanism, the compressed air of a predetermined pressure is respectively supplied from the two air nozzles 4 and 5 to the polishing tape 3 and the magnetic disk 1.
Then, the polishing tape 3 and the polishing surface 1a of the magnetic disk 1 are pressed against each other with a predetermined contact pressure, and the polishing finish is performed for a time of, for example, about 0.5 to 1.0 sec.
なお、前記研磨テープ3は前記実施例のように磁気ディ
スク1の回転方向と逆方向に走行させた状態で研磨を行
なうほか、同方向に走行させてもよく、また、停止させ
た状態で研磨し、研磨毎に送るようにしてもよい。It should be noted that the polishing tape 3 is polished in the state of running in the direction opposite to the rotating direction of the magnetic disk 1 as in the above-described embodiment, or may be run in the same direction, or in the stopped state. However, it may be sent for each polishing.
また、磁気ディスク1の研磨は下方から行なうほか、上
方から行なうようにしてもよく、さらに、両面が研磨面
である場合は上下から磁気ディスク1の両面を同時に研
磨するようにしてもよく、その際には前記両エアノズル
4,5および研磨テープ3の送り機構をもう一組配設し
て行なうものである。その際にも研磨テープをバックア
ップするエアノズルの先端部のうち磁気ディスクの送り
方向後方側の部分を、磁気ディスクに対して20度以上を
なすテーパー面状とする必要がある。Further, the magnetic disk 1 may be polished from below as well as from above, and when both sides are polished surfaces, both sides of the magnetic disk 1 may be simultaneously polished from above and below. At this time, another set of the air nozzles 4 and 5 and the feed mechanism for the polishing tape 3 is arranged. Also in this case, it is necessary to make the portion of the tip of the air nozzle that backs up the polishing tape on the rear side in the feeding direction of the magnetic disk be a tapered surface that forms 20 degrees or more with respect to the magnetic disk.
磁気ディスク表面の研磨後の光沢は、研磨面の表面粗さ
と反比例の関係にある。また磁気ディスク表面が粗いと
再生装置挿入時、磁気ヘッドと磁気ディスクとに間隙を
生じ、これにより出力低下等の特性の劣化を生ずる。し
たがって、光沢をよくすることにより磁気ディスク表面
の粗さが減少し磁気ディスクの特性が向上する。The gloss of the magnetic disk surface after polishing is inversely proportional to the surface roughness of the polished surface. Further, if the surface of the magnetic disk is rough, a gap is created between the magnetic head and the magnetic disk when the reproducing apparatus is inserted, which causes deterioration of characteristics such as output reduction. Therefore, by improving the gloss, the surface roughness of the magnetic disk is reduced and the characteristics of the magnetic disk are improved.
第5図は研磨テープバックアップ用エアノズルの先端形
状(前記角度θ1)と光沢との関係を示す図である。こ
の図に示されているように、断面が従来のような半円状
の先端部から加圧エアを噴出した場合に比べ、θ1が20
°以上をなすテーパー面状に形成した先端部から加圧エ
アを噴出した場合の方が磁気ディスク表面の光沢度が増
す。また、磁気ディスクの回転速度が500rpm等の遅いも
のに比べ、2000rpm〜3000rpm等の高回転数域で特に顕著
に光沢度が増し、バーニッシュ効果があがる。FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the tip shape (the angle θ 1 ) of the polishing tape backup air nozzle and the gloss. As shown in this figure, θ 1 is 20 compared to the case where the pressurized air is jetted from the tip of a semicircular cross section as in the past.
The glossiness of the surface of the magnetic disk increases when the pressurized air is ejected from the tip formed in a tapered surface shape that forms a degree or more. Further, the glossiness is remarkably increased at a high rotation speed range of 2000 rpm to 3000 rpm as compared with a magnetic disk having a low rotation speed of 500 rpm, and the burnishing effect is improved.
すなわち、研磨テープバックアップ用エアノズルの磁気
ディスク送り方向後方側の先端部を研磨面に対して20度
以上をなすテーパー面状に形成することにより、高速度
回転によっても研磨テープと研磨面との間に空気層が形
成されることがなく、研磨効率の上昇が図られ、研磨表
面の光沢度を増大させることができる。That is, by forming the tip of the air nozzle for backing up the polishing tape on the rear side in the magnetic disk feeding direction into a tapered surface shape that forms 20 degrees or more with respect to the polishing surface, the gap between the polishing tape and the polishing surface can be maintained even at high speed rotation. An air layer is not formed on the surface, polishing efficiency is increased, and the glossiness of the polishing surface can be increased.
また、前記実施例の他に、第4図に示すようにウェブ状
の磁気材料をバーニッシュする場合にも本装置は適用で
きる。図示装置においては、ガイドローラ12,12により
矢印B方向に送られるウェブ状をなす磁気材料11を研磨
テープ13により研磨する際、研磨テープバックアップ用
エアノズル14と磁気材料バックアップ用エアノズル15に
より加圧エアが噴出される。研磨テープバックアップ用
エアノズル14の磁気材料11の送り方向後方側の先端部を
20度以上のテーパー面状14aに形成することにより、前
記磁気ディスク用バーニッシュ装置と同様に、バーニッ
シュ効率をあげることができる。In addition to the above-mentioned embodiment, this apparatus can be applied to the case where the web-shaped magnetic material is burnished as shown in FIG. In the illustrated apparatus, when the web-shaped magnetic material 11 sent in the direction of arrow B by the guide rollers 12 and 12 is polished by the polishing tape 13, the pressure air is supplied by the polishing tape backup air nozzle 14 and the magnetic material backup air nozzle 15. Is gushed out. Attach the tip of the air nozzle 14 for backing up the polishing tape to the rear side in the feeding direction of the magnetic material 11.
By forming the taper surface shape 14a of 20 degrees or more, the burnishing efficiency can be increased similarly to the magnetic disk burnishing apparatus.
(発明の効果) 本発明によるバーニッシュ装置は、研磨テープバックア
ップ用エアノズルの先端部のうち磁気材料の送り方向後
方側の部分と研磨面に対して20度以上をなすテーパー面
状に形成したことにより、磁気材料の高速回転による研
磨テープと磁気材料研磨面との間の空気層の形成が防止
できる。このため磁気材料を高速回転させても研磨テー
プと磁気材料との圧接が常に適切に維持され高速回転に
よる能率の向上をはかることができる。(Effects of the Invention) The burnishing device according to the present invention is formed in a tapered surface shape that forms 20 degrees or more with respect to the polishing surface and the portion of the tip of the polishing tape backup air nozzle that is on the rear side in the magnetic material feeding direction. Thereby, formation of an air layer between the polishing tape and the magnetic material polishing surface due to high-speed rotation of the magnetic material can be prevented. Therefore, even if the magnetic material is rotated at a high speed, the pressure contact between the polishing tape and the magnetic material is always maintained appropriately, and the efficiency can be improved by the high speed rotation.
第1図は本発明の一実施例におけるバーニッシュ装置の
全体正面図、 第2図は駆動機構を省略して示す斜視図、 第3図はノズル部分の断面図、 第4図は他の実施例を示す斜視図、 第5図は研磨面の光沢とエアノズル先端形状との関係を
示す図、 第6図は従来例の要部を示す断面図である。 1…磁気材料、1a…研磨面 3,13…研磨テープ 4,14…研磨テープバックアップ用エアノズル 4c,14a…テーパー面 5,15…磁気ディスクバックアップ用エアノズル 4a,5a…エア噴出口1 is an overall front view of a burnishing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a drive mechanism omitted, FIG. 3 is a sectional view of a nozzle portion, and FIG. 4 is another embodiment. FIG. 5 is a perspective view showing an example, FIG. 5 is a view showing the relationship between the gloss of the polishing surface and the shape of the tip of the air nozzle, and FIG. 6 is a sectional view showing the main part of the conventional example. 1 ... Magnetic material, 1a ... Polishing surface 3, 13 ... Polishing tape 4, 14 ... Polishing tape backup air nozzle 4c, 14a ... Tapered surface 5, 15 ... Magnetic disk backup air nozzle 4a, 5a ... Air ejection port
Claims (1)
磨テープバックアップ用エアノズルと、該磁気材料を挟
んで該研磨テープバックアップ用エアノズルに相対する
位置に配設された磁気材料バックアップ用エアノズルと
を備え、前記研磨テープバックアップ用エアノズルと前
記研磨面との間に研磨テープを介装し、前記磁気材料を
前記両ノズルに対して相対移動させると共に前記両ノズ
ルから前記磁気材料に向って加圧エアを噴出させて前記
研磨面と研磨テープとを圧接させることにより前記研磨
面の研磨を行なうように構成したバーニッシュ装置にお
いて、 前記研磨テープバックアップ用エアノズルの先端部のう
ちエア噴出口から前記磁気材料の送り方向後方側の部分
が前記研磨面に対して20度以上をなすテーパー面状に形
成されていることを特徴とするバーニッシュ装置。1. An air nozzle for backing up a polishing tape, which is provided so as to face a polishing surface of a magnetic material, and a backup material for a magnetic material, which is provided at a position facing the air nozzle for backing up the polishing tape with the magnetic material sandwiched therebetween. An air nozzle is provided, and a polishing tape is interposed between the polishing tape backup air nozzle and the polishing surface to move the magnetic material relative to the both nozzles and from the both nozzles toward the magnetic material. In a burnishing device configured to perform polishing of the polishing surface by ejecting pressurized air to bring the polishing surface and the polishing tape into pressure contact with each other, from the air ejection port of the tip portion of the polishing tape backup air nozzle. A portion of the magnetic material on the rear side in the feeding direction is formed in a tapered surface shape that forms 20 degrees or more with respect to the polishing surface. Burnishing and wherein the.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61042741A JPH0624681B2 (en) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | Burning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61042741A JPH0624681B2 (en) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | Burning device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199347A JPS62199347A (en) | 1987-09-03 |
| JPH0624681B2 true JPH0624681B2 (en) | 1994-04-06 |
Family
ID=12644443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61042741A Expired - Lifetime JPH0624681B2 (en) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | Burning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624681B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110546A (en) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Polishing head |
-
1986
- 1986-02-27 JP JP61042741A patent/JPH0624681B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62199347A (en) | 1987-09-03 |
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