JPH0627712B2

JPH0627712B2 - 検査装置

Info

Publication number: JPH0627712B2
Application number: JP63029794A
Authority: JP
Inventors: 祐一阿部
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-02-09
Filing date: 1988-02-09
Publication date: 1994-04-13
Anticipated expiration: 2009-04-13
Also published as: JPH01203946A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、プローブ装置に関するものである。

（従来の技術）一般に、テレビ画像表示には多結晶シリコン薄膜トラン
ジスタ（以降ＴＦＴと略記する）アレイを形成した透明
な石英ガラス基板と、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフ
ィルタを形成した透明ガラス基板の間に液晶を封入し、
ツイステッド・ネマチック（以降ＴＮと略記する）モー
ドにより表示する液晶カラ・パネルを用いている。そし
て各画素ごとに作り込んだＴＦＴは、それぞれの画素の
表示のオン・オフを制御している。

このように、スイッチ用として使用しているＴＦＴアレ
イを集積したこの種のパネルを一般にアクティブ・マト
リクス・パネルと称している。

上記アクティブ・マトリクス・パネルの液晶表示体（以
降ＬＣＤと略記する）を製造する工程の一つに、ＬＣＤ
の画素を目視観察する工程がある。

この工程では目視観察するプローブ装置を用いて実行さ
れている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、従来のプローブ装置では、ＴＦＴアレイ
を集積したＬＣＤを支持台に支持して、Ｘ軸．Ｙ軸．Ｚ
軸等を駆動させたのち、通電されたプローブ端子電極を上記ＬＣＤの電極に接触
させる。さらに、支持台の表面に敷設されているバック
ライトによって、上記ＬＣＤの色彩の表示を観察検査す
るものであるが、上記プローブ装置内で各機構部が移動摩擦で静電気が生
じてしまう。

この静電気が上記ＴＦＴアレイを集積したＬＣＤを破損
させてしまうという欠点があった。

本発明の目的とするところは、上述した従来の欠点に鑑
みなされたもので、静電気が上記ＴＦＴアレイを集積し
たＬＣＤを破損されないプローブ装置を提供することに
ある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段）本発明は前記目的を達成するために、液晶表示体をロー
ダ部から移送部を介し検査部の支持台上に移載支持し、
その支持台をＸ・Ｙ軸及びθ方向に移動制御して該液晶
表示体をアライメントし、この状態で支持台をＺ軸方向
に上昇させて液晶表示体の電極にヘッドプレート裏面の
プローブ端子電極を接触して通電し、この時の液晶表示
体の画素の特性状態を顕微鏡により目視観察する検査装
置において、前記ローダ部から移送部を介し検査部に液
晶表示体を搬送する各種可動部材並びに該検査部の支持
台の移動制御に伴う摩擦による静電気発生部分と、これ
らローダ部・移送部及び検査部を覆う筐体やヘッドプレ
ートの内側面とに導電性を有する帯電防止部材を設け、
これら帯電防止部材を導線を介してアースに接続したこ
とを特徴とする。

（作用）本発明の検査装置によれば、ローダ部に搬入された液晶
表示体が該ローダ部から移送部を介し検査部の支持台上
に移載支持され、そこで該支持台のＸ・Ｙ軸及びθ方向
に移動制御により液晶表示体がアライメント（ヘッドプ
レート裏面のプローブ端子電極との位置合わせ）され、
この状態で支持台がＺ軸方向に上昇して液晶表示体の電
極にヘッドプレート裏面のプローブ端子電極を接触して
通電する。これで該液晶表示体の画素を励起し、その状
態を顕微鏡により目視観察することで、該液晶表示体の
特性が検査できるようになる。

こうした液晶表示体の特性検査中、前記ローダ部から移
送部を介し検査部に液晶表示体を搬送する各種可動部材
並びに該検査部の支持大の移動制御に伴う摩擦により静
電気が発生しても、それら静電気が帯電することなく、
前記各種可動部材及び支持台の摩擦静電気発生部分や、
そのローダ部・移送部及び検査部を覆う筐体やヘッドプ
レートの内側面部に設けた導電性を有する帯電防止部材
を通って導線よりアースに流れて除電されるようにな
る。これにて、静電気がＴＦＴ（多結晶シリコン薄膜ト
ランジスタ）アレイを集積した液晶表示体に流れるのを
確実に防止できて、該液晶表示体のＴＦＴアレイの破損
防止が図れて安定した信頼性の高い検査が可能となる。

（実施例）以下、本発明プローブ装置を目視観察プローバに適用し
た一実施例を図面を参照して具体的に説明する。

先ず、本実施例目視観察プローバの外観構成について説
明すると、第６図に示すように、この目視観察プローバ
(1)は大別してＬＣＤを搬送するローダ部(2)と、搬送さ
れたＬＣＤを目視観察検査する検査部(3)とから構成さ
れている。

尚、上記検査部(3)に関連するものとして、操作する操
作面(4)と、この目視観察プローバ(1)を稼働させるため
に必要な情報を入力するキーボード(5)と、上記ＬＣＤ
を上部から観察する顕微鏡(6)と、上記ＬＣＤの位置決
め、すなわちアライメントする過程を写し出す表示装置
(7)とが、上記目視観察プローバ(1)の上方後部の筐体上
に配置されている。

上記ローダ部(2)と検査部(3)とは併列して一対に構成さ
れているが、ＬＣＤの搬送方向の傾きが異っている。例
えばローダ部(2)側では水平方向に二次元的に移動搬送
するのに対し、検査部(3)側では傾斜された傾斜面、例
えば45°の傾斜面、に対して二次元的に移送するように
なっている。また、上記検査部(3)は傾斜した構成なの
で、上記ローダ部(2)からＬＣＤを受け取った後に、こ
のＬＣＤを傾斜させて検査部(3)まで移送するようにな
っている。

以上で、本実施例目視観察プローバ(1)の概略的な説明
をした。

上記ローダ部(2)について詳細に構成及び作用を説明す
る。

上記ローダ部(2)は第５図で示すように、例えば４イン
チ角のＬＣＤ(8)を多数間隔を設けて並列方向に収容し
ているカセット(9)よりＬＣＤ(8)を取出し、さらに所定
の位置まで搬送し、例えばＬ距離まで搬送し、その後、
プリアライメント板(10)をサブチヤック(11)位置まで矢
印方向に移動させて、摺動コマの摺動によりアライメン
トしたのち、上記検査部(3)側の移送部(14)に移送され
るのを待つ状態に維持させる。また、検査部(3)で検査
終了したＬＣＤ(8)が移送されてきて、サブチヤック(1
1)上に載置されると、このＬＣＤ(8)をカセット(9)内に
戻すように搬送するものである。

上記一連の動作は、予め記憶されたプログラムに従って
各パルスモータの駆動を指示して実行されている。

以上で上記ローダ部(2)の構成及び作用の説明を終る。

次に、上記検査部(3)について説明する。

先ず、上記検査部(3)は、第５図に示すように上述した
ローダ部(2)側のサブチヤック(11)に載置したＬＣＤ(8)
を検査部(3)の下側に設けられた移送部(14)の把持装置
(15)が把持し、検査中心(17)まで移動し、支持台(18)面
に真空圧で吸着した後、上記支持台(18)が傾斜されてい
る基台(20)面に沿って、Ｘ軸．Ｙ軸．及びθ方向に移動
制御してＬＣＤ(8)をアライメント（本位置合わせをい
う）している。

その後、第４図に示すようにアライメントされたＬＣＤ
(8)の電極にプローブ端子電極(19)を接触させて、外部
に配置した電源から通電し、ＬＣＤ(8)の画素を励起し
て、その状態を目視観察するものである。

上記検査部(3)の構成は、傾斜した基台(20)面に平行に
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動制御され、またＺ軸方向
（傾斜面と直交する方向をいう）に移動制御され、さら
に、θ方向に回転制御される支持台(18)と、ここで、こ
の支持台(18)の表面にはＬＣＤ(8)が吸着するようにな
っており、このＬＣＤ(8)と平行に設けられたヘッドプ
レート(21)にはＬＣＤ(8)の電極に接触するようにプロ
ーブ端子電極(19)が配設されている。

上記プローブ端子電極(19)部と、ＬＣＤの電極(8a)部の
接触方法について、第２図〜第３図を参照して説明す
る。

被観察体であるＬＣＤ(8)は、真空吸着機能を有する支
持台(18)に支持され、Ｚ軸方向に昇降自在となってい
る。尚このＬＣＤ(8)は、例えば第３図に示すように、
四角形状のガラス基板の４方向に第１乃至第４の電極A₁
〜A₄を形成している。

このＬＣＤ8の第１図乃至第４の電極A₁〜A₄に接触され
るプローブ端子電極19部はガラス電極(19a)で構成され
ている。このガラス電極(19a)は、上記各電極A₁〜A₄に
対応して４個所に設けられ、上記支持台(18)の上昇によ
って各電極A₁〜A₄に当接するように配置されている。

上記ガラス電極(19a)の先端は、電極パターン(19b)が所
定間隔毎に多数形成されると共に、この電極パターン(1
9b)上にバンプ(19c)第２図に示すように、突出する如く
形成している。

そして、上記ガラス基板(19a)と、上記各電極A₁〜A₄を
接触させるための圧接手段としての圧接アーム(22)が上
記ガラス基板(19a)の上方向に支持されている。ここ
で、上記圧接アーム(22)で上記各電極A₁〜A₄を圧接する
ときに、上記バンプと接触される各電極との重り合いが
上面から目視観察できるように支持されている。

この圧接アーム(22)の反対端はヘッドプレート(21)の裏
面に設けられている回転軸に設けられている。この回転
方向は垂直面内に回転自在に設けられ一定の回転より下
方に回転しないように設けられている。

さらに、上記圧接アーム(22)の軸と固定された別のアー
ム(23)を設けこのアームに回転方向に回動させると、上
記圧接アーム(22)がＬＣＤの表面に接触する方向に回動
するように設けられている。

そして、上記別のアーム(23)の端部にソレノイド(23a)
が設けられ、このソレノイド(23a)にエアーを供給する
ように設けられている。

また、上記ガラス電極(19a)の反対端には、フィルム基
板(24)がガラス電極(19a)と対応して溶着されている。

従って、ＬＣＤ(8)の電極(8a)にガラス基板に設けられ
たバンプ(19c)の先端が接触して、通電されるようにな
っている。以上でＬＣＤの電極(8a)とガラス基板に設け
られたガラス電極(19a)との接触方法についての説明を
終る。

つぎに、上記接触方法でＬＣＤ(8)に通電したのちに、
顕微鏡(6)で上記ＬＣＤ(8)の画素状態を観察するもので
ある。

次に、本実施例の目視観察プローバ（１）の特徴的構成
は、前述の如く、ＬＣＤ（８）をローダ部（２）のカセ
ット（９）から移送部（14）を介し検査部３の支持台
（18）上に搬送する移送過程の各種可動部材と、該検査
部（３）の支持台（18）との移動に伴う摩擦による静電
気発生部分に導電性を有する帯電防止部材（図示せず）
が付設されている。即ち、ローダ部（２）及び移送部
（14）ではパルスモータやプーリ及びタイミングベルト
などの可動部材の移動に伴う摩擦静電気発生部分に、検
査部（３）では支持台（18）をＸ・Ｙ・Ｚ軸（前後・左
右・上下方向）及びθ方向（Ｚ軸回りの回転方向）に移
動制御するパルスモータやボールスクリューの駆動機構
の稼働に伴う摩擦静電気発生部分に、それぞれ導電性を
有する帯電防止部材が付設されている。

また、前記ローダ部（２）・移送部（14）及び検査部
（３）の周囲を覆う第１図に示す筐体の内側面（25
a），（25b），（25c），（25d），（25e），（25g）に
導電性を有する帯電防止部材が設けられていると共に、
ヘッドプレート（21）の内側面とに導電性を有する帯電
防止部材が付設されている。

そして、これら各所に付設した帯電防止部材が図示しな
い導線を介してアースに短絡するように接続されてい
る。

従って、ＬＣＤ（８）の特性検査中、前記ＬＣＤ（８）
をローダ部（２）のカセット（９）から移送部（14）を
介し検査部３の支持台（18）上に搬送する各種可動部材
並びに該検査部（３）の支持台（18）との移動制御に伴
う摩擦による静電気が発生しても、それら静電気が帯電
することなく、前記各種可動部材及び支持台（18）の摩
擦静電気発生部分や、そのローダ部（２）・移送部（1
4）及び検査部（３）の周囲を覆う筐体の内側面（25
a），（25b），（25c），（25d），（25e），（25g）並
びにヘッドプレート（21）の内側面に付設した導電性を
有する帯電防止部材を通って導線よりアースに流れて除
電されるようになる。これにて、静電気がＴＦＴ（多結
晶シリコン薄膜トランジスタ）アレイを集積した液晶表
示体に流れるのを確実に防止できる。

次に作用について説明する。

ローダ部(2)で、カセット(9)より一枚のＬＣＤ(8)を取
出し、これをプリアライメントした後に、ローダ部(2)
のサブチヤック(11)にＬＣＤ(8)が受け渡され、このサ
ブチヤック(11)が所定高さまで上昇する。また検査部
(3)では移送部(26)に設けられた把持装置(15)で上記サ
ブチヤック(11)の所定高さまで上昇して停止しているＬ
ＣＤ(8)を把持して、検査中心(17)まで移動し、検査中
心(17)の支持台(18)に吸着してプローブ端子電極(19)を
接触させて、通電によってＬＣＤ(8)の目視観察検査す
ることになる。

ここで、上記目視観察プローバ(1)では、ローダ部(2)の
搬送について、パルスモータ、プーリ及びタイミングベ
ルト等を用いてＬＣＤを搬送しているので当然に静電気
発生源となっている。

また検査部(3)においても同様で支持台(18)をＸ軸．Ｙ
軸及びＺ軸．またθ回転方向に駆動させるパルスモータ
と、ボールスクリューの摩擦によって静電気発生源とな
っている。

これらの静電気を排除させることが不可欠である。

本実施例目視観察プローバ(1)では、このプローバ(1)自
身から発生した静電気は帯電防止部材(25)を介して、直
ちにアースを通って外部に除去されることになる。

また外部から進入した静電気でも直ちに帯電されないの
で直ちに外部に流出されてしまうことになる。

本実施例の効果は、目視観察プローバ(1)自身が静電気
を製造される如く発生されるものであり、またＸ軸．Ｙ
軸．Ｚ軸．及びθ回転と複雑な駆動部を配置し、さらに
これらの機構がそれぞれ消音のためにプラスチックが施
されているので静電気の流出する機会が少ないために帯
電されてしまう。これら表面に帯電防止部材を付設し
て、表面に帯電させず、結線されているのですべて外部
端子から静電気が地中に流出されることになり、常に静
電気が発生しても独自の静電気流出回路が設けられた状
態になっているので、ＴＦＴ構造のＬＣＤ(8)でも、こ
のＴＦＴ構造に静電気が通電されず、安定した観察検査
が実行することが可能になる。

〔発明の効果〕

本発明のプローブ装置によれば、ＴＦＴ構造のＬＣＤを
検査する場合であっても、静電気が上記ＬＣＤに影響さ
れないように帯電防止部材を設けているので、静電気に
より、破損させることなく安定した検査が可能となる。

また、静電気に弱いＴＦＴ構造のＬＣＤと、静電気に少
し強いＬＣＤとの区別をすることなく検査が実行できる
ので無駄なＬＣＤの種類分けが不用となるので作業能率
が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプローブ装置の一実施例を適用した目
視観察プローバの帯電防止部材を配置する配置説明図、第２図は第１図のプローブ装置のＬＣＤとプローブ端子
電極のガラス基板と接触させることを説明する説明図、第３図は第１図のプローブ端子電極と、ガラス基板と、
ＬＣＤとの接触状態を説明する説明図第４図は第１図のプローブ装置を目視観察プローバに用
いた検査部を説明する説明図第５図は第１図のプローブ装置を目視観察プローバに用
いたローダ部を説明する説明図第６図は、本発明を適用したプローブ装置の一実施例の
外観構成を説明する説明図である。１……目視線察プローバ、２……ローダ部、３……検査部、４……操作部、５……キーボード、６……顕微鏡、７……表示体、８……ＬＣＤ、９……カセット、 10……プリアライメント板、 11……サブチヤック、14……移送部、 15……把持部材、17……検査中心、 18……支持台、19……プローブ端子電極、 20……基台、21……ヘッドプレート、 22……圧接アーム、23……別のアーム、 24……フィルム基板、25……帯電防止部材。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示体をローダ部から移送部を介し検
査部の支持台上に移載支持し、その支持台をＸ・Ｙ軸及
びθ方向に移動制御して該液晶表示体をアラインメント
し、この状態で支持台をＺ軸方向に上昇させて液晶表示
体の電極にヘッドプレート裏面のプローブ端子電極を接
触して通電し、この時の液晶表示体の画素の特性を顕微
鏡により目視観察する検査装置において、前記ローダ部
から移送部を介し検査部に液晶表示体を搬送する各種可
動部材並びに該検査部の支持台の移動制御に伴う摩擦に
よる静電気発生部分と、これらローダ部・移送部及び検
査部を覆う筐体やヘッドプレートの内側面部とに導電性
を有する帯電防止部材を設け、これら帯電防止部材を導
線を介してアースに接続したことを特徴とする検査装
置。