JPH0632571B2 - 超音波モ−タ用電源 - Google Patents
超音波モ−タ用電源Info
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- JPH0632571B2 JPH0632571B2 JP62009746A JP974687A JPH0632571B2 JP H0632571 B2 JPH0632571 B2 JP H0632571B2 JP 62009746 A JP62009746 A JP 62009746A JP 974687 A JP974687 A JP 974687A JP H0632571 B2 JPH0632571 B2 JP H0632571B2
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- JP
- Japan
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- inverter circuit
- power supply
- self
- excited inverter
- ceramic
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は超音波モータを駆動する超音波モータ用電源に
関する。
関する。
（従来の技術） 超音波モータを駆動するには２つのセラミック振動子に
互いにπ／２rad異なる位相の電力を供給する２相交流
電源が必要である。
互いにπ／２rad異なる位相の電力を供給する２相交流
電源が必要である。
この２相交流電源としては、２つの他励式インバータを
用いて２つのセラミック振動子にそれぞれπ／２rad異
なる位相の交流を供給する装置が考えられている。
用いて２つのセラミック振動子にそれぞれπ／２rad異
なる位相の交流を供給する装置が考えられている。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来考えられている装置を用いた場
合、ある一定の温度で変圧器のギャップまたは巻数を調
節してインバータ回路の発振周波数ｉを電気的共振周
波数Ｅおよび発振動周波数ｏに合わせても、セラミ
ック振動子のキャパシタンスＣは温度により大巾に変化
するのでインバータ回路の発振周波数ｉと回路の電気
的共振周波数Ｅが温度によりすぐくずれてしまう。こ
のため容量性または誘導性負荷となりスイッチング素子
の発熱が増加し、スイッチング素子が破壊される問題が
ある。
合、ある一定の温度で変圧器のギャップまたは巻数を調
節してインバータ回路の発振周波数ｉを電気的共振周
波数Ｅおよび発振動周波数ｏに合わせても、セラミ
ック振動子のキャパシタンスＣは温度により大巾に変化
するのでインバータ回路の発振周波数ｉと回路の電気
的共振周波数Ｅが温度によりすぐくずれてしまう。こ
のため容量性または誘導性負荷となりスイッチング素子
の発熱が増加し、スイッチング素子が破壊される問題が
ある。
本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、インバータ
回路のスイッチング素子が加熱、破壊されない超音波モ
ータ用電源を提供することを目的とする。
回路のスイッチング素子が加熱、破壊されない超音波モ
ータ用電源を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 第１の発明の超音波モータ用電源は、直流電源と、この
直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続された
自励式インバータ回路と、前記直流電源と第２のセラミ
ック振動子との間に接続された他励式インバータ回路と
からなり、前記自励式インバータ回路は自励式インバー
タ回路内のインダクタンスおよびセラミック振動子のキ
ャパシタンスにより発振周波数が設定されて発振し、前
記他励式インバータ回路は前記自励式インバータ回路の
発振周波数により発振するものである。
直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続された
自励式インバータ回路と、前記直流電源と第２のセラミ
ック振動子との間に接続された他励式インバータ回路と
からなり、前記自励式インバータ回路は自励式インバー
タ回路内のインダクタンスおよびセラミック振動子のキ
ャパシタンスにより発振周波数が設定されて発振し、前
記他励式インバータ回路は前記自励式インバータ回路の
発振周波数により発振するものである。
第２の発明の超音波モータ用電源は、直流電源と、この
直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続された
自励式インバータ回路と、前記直流電源と第２のセラミ
ック振動子との間に接続された他励式インバータ回路
と、前記自励式インバータ回路および他励式インバータ
回路に接続された補正回路とからなり、前記自励式イン
バータ回路は自励式インバータ回路内のインダクタンス
およびセラミック振動子のキャパシタンスにより発振周
波数が設定されて発振し、前記他励式インバータ回路は
前記自励式インバータ回路の発振周波数により発振し、
前記補正回路は前記第１および第２のセラミック振動子
の振動量に応じてインバータ回路のインダクタンスを可
変可能としたものである。
直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続された
自励式インバータ回路と、前記直流電源と第２のセラミ
ック振動子との間に接続された他励式インバータ回路
と、前記自励式インバータ回路および他励式インバータ
回路に接続された補正回路とからなり、前記自励式イン
バータ回路は自励式インバータ回路内のインダクタンス
およびセラミック振動子のキャパシタンスにより発振周
波数が設定されて発振し、前記他励式インバータ回路は
前記自励式インバータ回路の発振周波数により発振し、
前記補正回路は前記第１および第２のセラミック振動子
の振動量に応じてインバータ回路のインダクタンスを可
変可能としたものである。
（作用） 第１の発明は、自励式インバータのインダクタンスと第
１のセラミック振動子のキャパシタンスで自励式インバ
ータの発振周波数を設定し第１のセラミック振動子を振
動させる。また、自励式インバータの発振周波数に応じ
て同じ周波数で他励式インバータを発振させ第２のセラ
ミック振動子を振動させる。
１のセラミック振動子のキャパシタンスで自励式インバ
ータの発振周波数を設定し第１のセラミック振動子を振
動させる。また、自励式インバータの発振周波数に応じ
て同じ周波数で他励式インバータを発振させ第２のセラ
ミック振動子を振動させる。
第２の発明は第１の発明において、第１および第２のセ
ラミック振動子の振動量に応じてインダクタンスを加減
し、自励式インバータの発振周波数を変えるとともに、
第１および第２のセラミック振動子の振動量をある一定
量とする。
ラミック振動子の振動量に応じてインダクタンスを加減
し、自励式インバータの発振周波数を変えるとともに、
第１および第２のセラミック振動子の振動量をある一定
量とする。
（実施例） 以下、超音波モータ用電源の一実施例を図面を参照して
説明する。
説明する。
図において１は駆動用の直流電源で、この直流電源１に
はSin波出力用の自励式インバータ回路２が接続されて
いる。
はSin波出力用の自励式インバータ回路２が接続されて
いる。
この自励式インバータ回路２は、前記直流電源１の正極
が変圧器３の一次巻線４の中央に接続され、一次巻線４
の一方の第１の一次巻線５からスイッチング素子として
の第１のトランジスタ６のコレクタ・エミッタを経て直
流電源１の負極に接続されるとともに、変圧器３の一次
巻線４の他方の第２の一次巻線７からスイッチング素子
としての第２のトランジスタ８のコレクタ・エミッタを
経て直流電源１の負極に接続されている。また、直流電
源１の正極から第１のトランジスタ６および第２のトラ
ンジスタ８のベースにそれぞれ自励式インバータ回路２
を起動させるための起動用抵抗９，10が接続されてい
る。さらに、トランジスタ６，８を変圧器３の二次巻線
11のインダクタンスＬと超音波モータの第１のセラミッ
ク振動子12のキャパシタンスＣで設定される電気的共振
周波数 で動作させるための変圧器３のスイッチング素子用巻線
13の一端は、第１のトランジスタ６のベースに、他端は
超音波モータの第２のトランジスタ８のベースに接続さ
れている。
が変圧器３の一次巻線４の中央に接続され、一次巻線４
の一方の第１の一次巻線５からスイッチング素子として
の第１のトランジスタ６のコレクタ・エミッタを経て直
流電源１の負極に接続されるとともに、変圧器３の一次
巻線４の他方の第２の一次巻線７からスイッチング素子
としての第２のトランジスタ８のコレクタ・エミッタを
経て直流電源１の負極に接続されている。また、直流電
源１の正極から第１のトランジスタ６および第２のトラ
ンジスタ８のベースにそれぞれ自励式インバータ回路２
を起動させるための起動用抵抗９，10が接続されてい
る。さらに、トランジスタ６，８を変圧器３の二次巻線
11のインダクタンスＬと超音波モータの第１のセラミッ
ク振動子12のキャパシタンスＣで設定される電気的共振
周波数 で動作させるための変圧器３のスイッチング素子用巻線
13の一端は、第１のトランジスタ６のベースに、他端は
超音波モータの第２のトランジスタ８のベースに接続さ
れている。
そして、自励式インバータ回路２の変圧器３の二次巻線
11には、第１のセラミック振動子12が接続されている。
このとき、二次巻線11等のインダクタンスＬと第１のセ
ラミック振動子12のキャパシタンスＣにより定められる
共振周波数Ｅが、第１のセラミック振動子12の固有の
発振動周波数ｏと等しくなるように変圧器３のギャッ
プまたは巻数等を調整する。
11には、第１のセラミック振動子12が接続されている。
このとき、二次巻線11等のインダクタンスＬと第１のセ
ラミック振動子12のキャパシタンスＣにより定められる
共振周波数Ｅが、第１のセラミック振動子12の固有の
発振動周波数ｏと等しくなるように変圧器３のギャッ
プまたは巻数等を調整する。
また、前記直流電源１にはCos波出力用の他励式インバ
ータ回路14が接続されている。この他励式インバータ回
路14は、前記直流電源１の正極が変圧器15の一次巻線16
の中央に接続され、一次巻線16の一方の第１の一次巻線
17からスイッチング素子としての第１のトランジスタ18
のコレクタ・エミッタを経て直流電源１の負極に接続さ
れるとともに、変圧器15の一次巻線16の他方の第２の一
次巻線19からスイッチング素子としての第２のトランジ
スタ20のコレクタ・エミッタを経て直流電源１の負極に
接続されている。また、第１のトランジスタ18および第
２のトランジスタ20のベースには、たとえば前記スイッ
チング素子用巻線13の両端に接続された位相回路21の出
力端子がそれぞれ接続されている。
ータ回路14が接続されている。この他励式インバータ回
路14は、前記直流電源１の正極が変圧器15の一次巻線16
の中央に接続され、一次巻線16の一方の第１の一次巻線
17からスイッチング素子としての第１のトランジスタ18
のコレクタ・エミッタを経て直流電源１の負極に接続さ
れるとともに、変圧器15の一次巻線16の他方の第２の一
次巻線19からスイッチング素子としての第２のトランジ
スタ20のコレクタ・エミッタを経て直流電源１の負極に
接続されている。また、第１のトランジスタ18および第
２のトランジスタ20のベースには、たとえば前記スイッ
チング素子用巻線13の両端に接続された位相回路21の出
力端子がそれぞれ接続されている。
そして、他励式インバータ回路14の変圧器15の二次巻線
22には、第２のセラミック振動子23が接続されている。
このとき、二次巻線22等のインダクタンスＬとセラミッ
ク振動子23のキャパシタンスＣにより定められる電気的
共振周波数Ｅが、第２のセラミック振動子23の固有の
発振動周波数ｏと等しくなるように変圧器15のギャッ
プまたは巻数を調整する。
22には、第２のセラミック振動子23が接続されている。
このとき、二次巻線22等のインダクタンスＬとセラミッ
ク振動子23のキャパシタンスＣにより定められる電気的
共振周波数Ｅが、第２のセラミック振動子23の固有の
発振動周波数ｏと等しくなるように変圧器15のギャッ
プまたは巻数を調整する。
また、第１のセラミック振動子12とセラミック振動子23
の一端および、変圧器３の二次巻線11と変圧器15の二次
巻線22の一端が接続され共通電位となっている。
の一端および、変圧器３の二次巻線11と変圧器15の二次
巻線22の一端が接続され共通電位となっている。
さらに、第１および第２のセラミック振動子12,23に
は、補正回路24が接続されている。この補正回路24は前
記セラミック振動子12,23の振動量を電圧としてとら
え、これらセラミック振動子12,23の振動量と比較する
基準電圧をもつ比較回路25が接続され、この比較回路25
にはこの比較回路25により電圧が可変される補正用直流
電源26が接続される。
は、補正回路24が接続されている。この補正回路24は前
記セラミック振動子12,23の振動量を電圧としてとら
え、これらセラミック振動子12,23の振動量と比較する
基準電圧をもつ比較回路25が接続され、この比較回路25
にはこの比較回路25により電圧が可変される補正用直流
電源26が接続される。
そして、この補正用直流電流26には変圧器３の補正巻線
27、変圧器15の補正巻線28、およびこれら補正巻線27,2
8の交流分を除去するインダクタ29とが直列に接続され
ている。
27、変圧器15の補正巻線28、およびこれら補正巻線27,2
8の交流分を除去するインダクタ29とが直列に接続され
ている。
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、直流電源１から電圧が印加されると、第１のトラ
ンジスタ６または第２のトランジスタ８のベースに起動
抵抗９または起動抵抗10を介してベース電流が流され、
いずれか一方のトランジスタがオンする。たとえば、第
１のトランジスタ６がまずオンしたとすると、直流電源
１から第１の一次巻線５の第１のトランジスタ６の経路
で電流が流れる。これにより二次巻線11に電圧が誘起さ
れ、二次巻線11等のインダクタンスＬと第１のセラミッ
ク振動子12のキャパシタンスＣで変圧器３の二次側回路
を発振させる。そしてこの二次側回路の電流の方向が逆
向きになるとき、スイッチング素子用巻線13には、第２
のトランジスタ８のベース方向に電流が流れ第２のトラ
ンジスタ８がオンするとともに第１のトランジスタ６が
オフする。これにより直流電源１、第１の一次巻線５、
第１のトランジスタ６の経路で流れていた電流は、直流
電源１、第２の一次巻線７、第２のトランジスタ８の経
路で流れる。従って二次巻線11に誘起される電圧の向き
は反対となる。そしてこれらの動作を繰り返す。すなわ
ち、二次巻線11等のインダクタンスＬと、第１のセラミ
ック振動子12のキャパシタンスクタンスＣで定められ で求められる電気的共振周波数Ｅでスイッチング素子
用巻線13から交互に第１のトランジスタ６および第２の
トランジスタ８のベースに電流を流し、第１のトランジ
スタ６および第２のトランジスタ８を交互にオン・オフ
し、自励式インバータ回路２の二次巻線11に交流を誘起
し、常に変圧器３の二次巻線11のインダクタンスＬとセ
ラミック振動子12,23のキャパシタンスＣによる定まる
電気的共振周波数Ｅで第１のセラミック振動子12を発
振させる。
ンジスタ６または第２のトランジスタ８のベースに起動
抵抗９または起動抵抗10を介してベース電流が流され、
いずれか一方のトランジスタがオンする。たとえば、第
１のトランジスタ６がまずオンしたとすると、直流電源
１から第１の一次巻線５の第１のトランジスタ６の経路
で電流が流れる。これにより二次巻線11に電圧が誘起さ
れ、二次巻線11等のインダクタンスＬと第１のセラミッ
ク振動子12のキャパシタンスＣで変圧器３の二次側回路
を発振させる。そしてこの二次側回路の電流の方向が逆
向きになるとき、スイッチング素子用巻線13には、第２
のトランジスタ８のベース方向に電流が流れ第２のトラ
ンジスタ８がオンするとともに第１のトランジスタ６が
オフする。これにより直流電源１、第１の一次巻線５、
第１のトランジスタ６の経路で流れていた電流は、直流
電源１、第２の一次巻線７、第２のトランジスタ８の経
路で流れる。従って二次巻線11に誘起される電圧の向き
は反対となる。そしてこれらの動作を繰り返す。すなわ
ち、二次巻線11等のインダクタンスＬと、第１のセラミ
ック振動子12のキャパシタンスクタンスＣで定められ で求められる電気的共振周波数Ｅでスイッチング素子
用巻線13から交互に第１のトランジスタ６および第２の
トランジスタ８のベースに電流を流し、第１のトランジ
スタ６および第２のトランジスタ８を交互にオン・オフ
し、自励式インバータ回路２の二次巻線11に交流を誘起
し、常に変圧器３の二次巻線11のインダクタンスＬとセ
ラミック振動子12,23のキャパシタンスＣによる定まる
電気的共振周波数Ｅで第１のセラミック振動子12を発
振させる。
また、スイッチング素子用巻線13に電圧が誘起されると
他励式インバータ回路14には自励式インバータ回路２と
同じ周波数でπ／２rad進んだ波形をつくらせる位相回
路21から第１のトランジスタ18および第２のトランジス
タ20のベースにベース電流が交互に与えられ、交互にト
ランジスタ18,20をオンする。そして、第１のトランジ
スタ18がまずオンしたとすると、直流電源１から第１の
一次巻線16、第１のトランジスタ18の経路で電流が流れ
る。次に第２のトランジスタ20のベースにベース電流が
与えられ第２のトランジスタ20がオンするとともに第１
のトランジスタ18のベース電流をなくし第１のトランジ
スタ18をオフする。これにより直流電源１、第１の一次
巻線17、第１のトランジスタ18の経路で流れていた電流
は、直流電源１、第２の一次巻線19、第２のトランジス
タ20の経路で流れる。すなわち、他励式インバータ回路
14では自励式インバータ回路２よりπ／２rad進んだ波
形が形成されることになる。
他励式インバータ回路14には自励式インバータ回路２と
同じ周波数でπ／２rad進んだ波形をつくらせる位相回
路21から第１のトランジスタ18および第２のトランジス
タ20のベースにベース電流が交互に与えられ、交互にト
ランジスタ18,20をオンする。そして、第１のトランジ
スタ18がまずオンしたとすると、直流電源１から第１の
一次巻線16、第１のトランジスタ18の経路で電流が流れ
る。次に第２のトランジスタ20のベースにベース電流が
与えられ第２のトランジスタ20がオンするとともに第１
のトランジスタ18のベース電流をなくし第１のトランジ
スタ18をオフする。これにより直流電源１、第１の一次
巻線17、第１のトランジスタ18の経路で流れていた電流
は、直流電源１、第２の一次巻線19、第２のトランジス
タ20の経路で流れる。すなわち、他励式インバータ回路
14では自励式インバータ回路２よりπ／２rad進んだ波
形が形成されることになる。
補正回路24では、二次巻線11,12のインダクタンスＬお
よびセラミック振動子12,23のキャパシタンスＣで定め
られる電気的共振周波数Ｅでそれぞれセラミック振動
子12,23が振動しているときの振動量をたとえば電圧と
して比較回路25で比較回路25内の基準電圧と比較し、発
振動周波数ｏと実際の周波数の差を求め、差に応じて
比較回路25が補正用電流電源26をコントロールし、補正
巻線27および補正巻線28に流れる直流電流を調整する。
そして、補正巻線27および補正巻線28の磁界の強さを変
化させて二次巻線11,22のインダクタンスＬを補正し、
温度変化により第１および第２のセラミック振動子12,2
3のキャパシタンスＣが変化しても、電気的共振周波数
Ｅが常に第１および第２のセラミック振動子12,23の
固有の発振動周波数ｏまたは実用上必要な振動量とな
るようにする。また、第１図および第２図に示す実施例
では２つのスイッチング素子を用いたマルチバイブレー
タ型のインバータ回路を用いているが１つのスイッチン
グ素子を用いたブロッキング型のインバータ回路を用い
ることもできる。
よびセラミック振動子12,23のキャパシタンスＣで定め
られる電気的共振周波数Ｅでそれぞれセラミック振動
子12,23が振動しているときの振動量をたとえば電圧と
して比較回路25で比較回路25内の基準電圧と比較し、発
振動周波数ｏと実際の周波数の差を求め、差に応じて
比較回路25が補正用電流電源26をコントロールし、補正
巻線27および補正巻線28に流れる直流電流を調整する。
そして、補正巻線27および補正巻線28の磁界の強さを変
化させて二次巻線11,22のインダクタンスＬを補正し、
温度変化により第１および第２のセラミック振動子12,2
3のキャパシタンスＣが変化しても、電気的共振周波数
Ｅが常に第１および第２のセラミック振動子12,23の
固有の発振動周波数ｏまたは実用上必要な振動量とな
るようにする。また、第１図および第２図に示す実施例
では２つのスイッチング素子を用いたマルチバイブレー
タ型のインバータ回路を用いているが１つのスイッチン
グ素子を用いたブロッキング型のインバータ回路を用い
ることもできる。
また実施例では自励式インバータ回路２にsin波出力
用、他励式インバータ回路14にcos波出力用を用いてい
るが、自励式インバータ回路２にcos波出力用、π／２r
ad遅れた波形をつくらせる位相回路21により他励式イン
バータ回路14にsin波出力用のものを用いることもでき
る。
用、他励式インバータ回路14にcos波出力用を用いてい
るが、自励式インバータ回路２にcos波出力用、π／２r
ad遅れた波形をつくらせる位相回路21により他励式イン
バータ回路14にsin波出力用のものを用いることもでき
る。
第１の発明によれば、インバータ回路のインダクタンス
とセラミック振動子のキャパシタンスでインバータ回路
の発振周波数を決定し、スイッチング素子を作動させる
ことにより、セラミック振動子のキャパシタンスが温度
等により変化しても常に発振動周波数と等しい交流が流
れるので、負荷が誘導性または容量性負荷となることが
なくスイッチング素子の過熱、破壊を防止できる。
とセラミック振動子のキャパシタンスでインバータ回路
の発振周波数を決定し、スイッチング素子を作動させる
ことにより、セラミック振動子のキャパシタンスが温度
等により変化しても常に発振動周波数と等しい交流が流
れるので、負荷が誘導性または容量性負荷となることが
なくスイッチング素子の過熱、破壊を防止できる。
第２の発明によれば、セラミック振動子の振動量に従っ
て補正回路でインダクタンスを補正し電気的共振周波数
とセラミック振動子の発振動周波数を一致さるので、セ
ラミック振動子のキャパシタンスが温度によって変化し
てもセラミック振動子は常に最高または、実用上必要な
振動量となる。
て補正回路でインダクタンスを補正し電気的共振周波数
とセラミック振動子の発振動周波数を一致さるので、セ
ラミック振動子のキャパシタンスが温度によって変化し
てもセラミック振動子は常に最高または、実用上必要な
振動量となる。
第１図は超音波モータ用電源の一実施例のブロック図、
第２図は同上回路図である。 １……直流電源、２……自励式インバータ回路、12……
第１のセラミック振動子、14……他励式インバータ回
路、23……第２のセラミック振動子、24……補正回路。
第２図は同上回路図である。 １……直流電源、２……自励式インバータ回路、12……
第１のセラミック振動子、14……他励式インバータ回
路、23……第２のセラミック振動子、24……補正回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−170473（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−65418（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−4191（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−39685（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】直流電源と、 この直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続さ
れた自励式インバータ回路と、 前記直流電源と第２のセラミック振動子との間に接続さ
れた他励式インバータ回路とからなり、 前記自励式インバータ回路は自励式インバータ回路内の
インダクタンスおよびセラミック振動子のキャパシタン
スにより発振周波数が設定されて発振し、 前記他励式インバータ回路は前記自励式インバータ回路
の発振周波数により発振することを特徴とする超音波モ
ータ用電源。 - 【請求項２】直流電源と、 この直流電源と第１のセラミック振動子との間に接続さ
れた自励式インバータ回路と、 前記直流電源と第２のセラミック振動子との間に接続さ
れた他励式インバータ回路と、 前記自励式インバータ回路および、他励式インバータ回
路に接続された補正回路とからなり、 前記自励式インバータ回路は自励式インバータ回路内の
インダクタンスおよびセラミック振動子のキャパシタン
スにより発振周波数が設定されて発振し、 前記他励式インバータ回路は前記自励式インバータ回路
の発振周波数により発振し、 前記補正回路は前記第１および第２のセラミック振動子
の振動量に応じてインバータ回路のインダクタンスを可
変可能としたことを特徴とする超音波モータ用電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62009746A JPH0632571B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波モ−タ用電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62009746A JPH0632571B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波モ−タ用電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178776A JPS63178776A (ja) | 1988-07-22 |
| JPH0632571B2 true JPH0632571B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=11728870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62009746A Expired - Lifetime JPH0632571B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波モ−タ用電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632571B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5273353B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2013-08-28 | 横浜ゴム株式会社 | 静電誘導型変換素子の電力取り出し回路 |
| JP5158427B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2013-03-06 | 横浜ゴム株式会社 | 静電誘導型変換素子の電力取り出し回路 |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62009746A patent/JPH0632571B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63178776A (ja) | 1988-07-22 |
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