Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0632573B2 - Ultrasonic motor - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0632573B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

Info

Publication number
JPH0632573B2
JPH0632573B2 JP62266793A JP26679387A JPH0632573B2 JP H0632573 B2 JPH0632573 B2 JP H0632573B2 JP 62266793 A JP62266793 A JP 62266793A JP 26679387 A JP26679387 A JP 26679387A JP H0632573 B2 JPH0632573 B2 JP H0632573B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moving body
friction material
ultrasonic motor
vibrating body
friction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP62266793A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH01110067A (en
Inventor
寛 米野
喜信 今坂
正則 住原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP62266793A priority Critical patent/JPH0632573B2/en
Priority to KR1019880013628A priority patent/KR910003669B1/en
Priority to DE3855207T priority patent/DE3855207T2/en
Priority to EP88309862A priority patent/EP0313352B1/en
Priority to EP94105760A priority patent/EP0612115B1/en
Priority to DE3853251T priority patent/DE3853251T2/en
Publication of JPH01110067A publication Critical patent/JPH01110067A/en
Priority to US07/477,198 priority patent/US5150000A/en
Priority to US07/841,553 priority patent/US5311094A/en
Publication of JPH0632573B2 publication Critical patent/JPH0632573B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧電体による超音波振動を利用して駆動する
超音波モータに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor driven by utilizing ultrasonic vibration of a piezoelectric body.

従来の技術 一般に、超音波モータは、圧電体を固定した振動体と動
体とが加圧接触した構成であり、圧電体への電気入力に
より圧電体と振動体に第3図に示すような超音波振動の
進行波を発生させ、また動体との摩擦力により動体を駆
動させている。
2. Description of the Related Art Generally, an ultrasonic motor has a structure in which a vibrating body to which a piezoelectric body is fixed and a moving body are in pressure contact with each other, and an ultrasonic wave as shown in FIG. A traveling wave of sonic vibration is generated, and the moving body is driven by the frictional force with the moving body.

第3図において、1は圧電体であり、その表面に振動体
2が接着固定されている。また、3は動体であり、摩擦
材4が一体化されている。この構成により、圧電体1に
電気入力を加えると、圧電体1と振動体2に超音波振動
(A方向の進行波)が発生し、振動体2の各質点にBの
ような楕円運動が発生する。ここで、進行波の各波頭は
進行波方向Aと逆方向に動く性質があり、また進行波の
各谷底は進行波方向Aと同方向に動く性質がある。した
がって、振動体2の表面に置かれた物体(摩擦材4と動
体3)は、波頭の上部のみに接触し、振動体2との摩擦
力によってC方向に駆動する。この進行波の振幅は一般
に最大でも10μm程度である。
In FIG. 3, reference numeral 1 is a piezoelectric body, and the vibrating body 2 is adhered and fixed to the surface thereof. Further, 3 is a moving body, in which the friction material 4 is integrated. With this configuration, when an electric input is applied to the piezoelectric body 1, ultrasonic vibration (a traveling wave in the A direction) is generated in the piezoelectric body 1 and the vibrating body 2, and an elliptic motion like B is generated at each mass point of the vibrating body 2. Occur. Here, each wave front of the traveling wave has a property of moving in the direction opposite to the traveling wave direction A, and each trough of the traveling wave has a property of moving in the same direction as the traveling wave direction A. Therefore, the object (the friction material 4 and the moving body 3) placed on the surface of the vibrating body 2 contacts only the upper portion of the wave front, and is driven in the C direction by the frictional force with the vibrating body 2. The amplitude of this traveling wave is generally about 10 μm at the maximum.

一般に、振動体と動体とは加圧接触した構成であり、よ
り大きなモータ出力を得るために、振動体と動体との加
圧力を強くし、振動体と動体との摩擦係数を大きくする
ことが必要である。しかし、加圧力が強すぎると、摩擦
材が摩耗しやすくなり、また振動体の振動が抑制されや
すくなる傾向がある。
In general, the vibrating body and the moving body are in pressure contact with each other, and in order to obtain a larger motor output, it is possible to increase the pressing force between the vibrating body and the moving body and increase the friction coefficient between the vibrating body and the moving body. is necessary. However, if the applied pressure is too strong, the friction material is likely to be worn and the vibration of the vibrating body tends to be suppressed.

なお、振動体および動体の材料として、鉄やステンレス
およびアルミニウム等の金属が利用されており、また摩
擦材の材料として、無機繊維と樹脂からなる複合樹脂等
が利用されている。
Metals such as iron, stainless steel, and aluminum are used as the material of the vibrating body and the moving body, and a composite resin including inorganic fibers and a resin is used as the material of the friction material.

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記従来例のように摩擦材に無機繊維と
樹脂とからなる複合樹脂を利用した場合、超音波モータ
の駆動時間の経過とともに、振動体と動体の摩擦により
摩耗粉が振動体と動体の双方に多く発生し、またその摩
耗粉が振動体や動体の接触面に付着するため、両者間の
摩擦係数が経時的に変化してしまい、ブレーキトルク
(モータに電気を入力していないときの振動体と動体の
摩擦力)も経時的に変化してしまうという問題点があっ
た。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention However, when a composite resin composed of an inorganic fiber and a resin is used as the friction material as in the above-mentioned conventional example, due to the friction of the vibrating body and the moving body with the elapse of the driving time of the ultrasonic motor. A large amount of wear powder is generated on both the vibrating body and the moving body, and the wear powder adheres to the contact surfaces of the vibrating body and the moving body. There is also a problem that the frictional force between the vibrating body and the moving body when no electricity is input) changes with time.

また、振動体に付着した摩耗粉の影響により、振動体部
の最適共振周波数が経時的に変動してしまい、安定した
モータの駆動が得られないという問題点があった。
In addition, there is a problem that the optimum resonance frequency of the vibrating body part varies with time due to the influence of the abrasion powder attached to the vibrating body, and stable driving of the motor cannot be obtained.

本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、常に
安定した駆動が得られる超音波モータを提供することを
目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor that can always provide stable driving.

問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明の超音波モータは、
少なくとも有機繊維とフルオロカーボン樹脂とマトリッ
クス樹脂とを含有するプラスチック材からなる摩擦材
を、振動体と動体の対向する少なくとも一方の面に固定
した構成を有している。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the ultrasonic motor of the present invention comprises:
A friction material made of a plastic material containing at least an organic fiber, a fluorocarbon resin and a matrix resin is fixed to at least one surface of the vibrating body facing the moving body.

作用 摩擦材に有機繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とをマト
リックス樹脂で結合した複合プラスチック材を用いてい
るため、摩擦材自体の摩耗量を著しく少なくすることが
でき、しかも摩擦材の接触相手を摩耗させることがな
く、安定した摩擦係数を得ることができる。
Action As the friction material uses a composite plastic material in which organic fibers and fluorocarbon resin powder are bonded with a matrix resin, the wear amount of the friction material itself can be significantly reduced, and the contact partner of the friction material is worn And a stable friction coefficient can be obtained.

実施例 以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
Embodiment One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図において、1は圧電体であり、その表面に金属製
振動体2が接着固定されている。3は動体であり、有機
繊維とフルオロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂と
よりなる摩擦材4が、動体3に固定されている。また、
振動体2と摩擦材4は締結力によって加圧接触されてい
る。ここで、圧電体1に共振周波数の高周波電界を印加
すると、圧電体1と振動体2に超音波振動の進行波が発
生し、振動体表面と接触している摩擦材4が、振動体と
の摩擦力によって、動体3と一体となって駆動する。ま
た、電力が入力されないときは、振動体2と摩擦材4と
の間に働く加圧力と摩擦係数との積に相当する保持トル
クすなわちブレーキ力が生じる。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a piezoelectric body, on the surface of which a metallic vibrating body 2 is adhered and fixed. Reference numeral 3 denotes a moving body, and a friction material 4 made of organic fibers, fluorocarbon resin powder and matrix resin is fixed to the moving body 3. Also,
The vibrating body 2 and the friction material 4 are in pressure contact with each other by the fastening force. Here, when a high frequency electric field having a resonance frequency is applied to the piezoelectric body 1, a traveling wave of ultrasonic vibration is generated in the piezoelectric body 1 and the vibrating body 2, and the friction material 4 in contact with the vibrating body surface is separated from the vibrating body. It is driven integrally with the moving body 3 by the frictional force. When no electric power is input, a holding torque, that is, a braking force, which corresponds to the product of the pressure applied between the vibrating body 2 and the friction material 4 and the friction coefficient, is generated.

以上のように、有機繊維とフルオロカーボン樹脂粉末と
マトリックス樹脂とよりなる複合プラスチック摩擦材を
利用することにより、超音波モータの長期間の駆動にお
いて、安定した摩擦力とブレーキトルクを得ることがで
きると共に、振動体の共振周波数の経時変化も少なく、
再現良く起動し、安定駆動ができるようになる。
As described above, by using the composite plastic friction material composed of the organic fiber, the fluorocarbon resin powder, and the matrix resin, it is possible to obtain stable friction force and brake torque during long-term driving of the ultrasonic motor. , Little change in the resonance frequency of the vibrator over time,
It will start up reproducibly and will be able to drive stably.

有機繊維としては、芳香族ポリアミド繊維,フェノール
繊維,有機高分子ウィスカー,ポリベンズイミダゾール
繊維,超高分子量ポリエチレン繊維,液晶プラスチック
繊維などが使用できる。フルオロカーボン樹脂粉末とし
ては四フッ化エチレンおよび六フッ化エチレンなどのポ
リマーやゴムの粉末が使用可能である。マトリックス樹
脂としてはポリイミド,ポリアミドイミド,エポキシ樹
脂,フェノール樹脂,シリコーン樹脂,ポリエステル樹
脂,ポリアリレート樹脂,液晶ポリマーなどが使用でき
る。そして、有機繊維およびフルオロカーボン樹脂粉末
の含有割合はそれぞれ5重量パーセント以上を同時に含
有することが望ましい。
As the organic fibers, aromatic polyamide fibers, phenol fibers, organic polymer whiskers, polybenzimidazole fibers, ultra high molecular weight polyethylene fibers, liquid crystal plastic fibers and the like can be used. As the fluorocarbon resin powder, polymer powder such as tetrafluoroethylene and hexafluoroethylene or rubber powder can be used. As the matrix resin, polyimide, polyamideimide, epoxy resin, phenol resin, silicone resin, polyester resin, polyarylate resin, liquid crystal polymer or the like can be used. The content ratio of the organic fiber and the fluorocarbon resin powder is preferably 5 weight% or more at the same time.

なお、本発明に使用する摩擦材として、有機繊維および
フルオロカーボン樹脂粉末に加えて、他の無機や金属の
充填材を添加含有することも可能である。
As the friction material used in the present invention, in addition to the organic fiber and the fluorocarbon resin powder, other inorganic or metallic fillers may be added and contained.

次に、本発明を具体的実施例によって、さらに詳しく説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples.

実施例1 表1に示すような種々の有機繊維とフルオロカーボン樹
脂粉末とマトリックス樹脂とが均一に分散し、1mmの厚
さに成形されたそれぞれの複合プラスチック摩擦材シー
トを、直径40mm,厚さ1mmのステンレス円板に接着し
て、摩擦材表面の動摩擦係数の経時変化を測定する。動
摩擦係数の経時変化測定は、上記摩擦材を接着した円板
を30rpmの回転速度で回転させ、中心から15mmの位
置に直径が3mmのステンレス球を接触させ、そのステン
レス球に200gの荷重を加えたときの、摩擦材表面と
ステンレス球との間の摩擦係数を測定したものである。
Example 1 As shown in Table 1, various organic fibers, fluorocarbon resin powder, and matrix resin were uniformly dispersed, and each composite plastic friction material sheet molded to a thickness of 1 mm was used to obtain a diameter of 40 mm and a thickness of 1 mm. It is adhered to the stainless disk of No. 1 and the change over time of the dynamic friction coefficient of the friction material surface is measured. To measure the change with time of the dynamic friction coefficient, the disk to which the above friction material was adhered was rotated at a rotation speed of 30 rpm, a stainless ball with a diameter of 3 mm was brought into contact with a position 15 mm from the center, and a load of 200 g was applied to the stainless ball. The friction coefficient between the surface of the friction material and the stainless ball was measured.

なお、それぞれの摩擦材を使用したときの動摩擦係数の
経時変化を表2に示し、また、フルオロカーボン樹脂粉
末を含有しない摩擦材の材料組成と摩擦係数も表1およ
び表2に比較して示す。
Table 2 shows the changes over time in the dynamic friction coefficient when each of the friction materials was used, and Tables 1 and 2 also show the material compositions and friction coefficients of the friction materials containing no fluorocarbon resin powder.

表1および表2から明らかなように、有機繊維とフルオ
ロカーボン樹脂粉末とマトリックス樹脂とよりなる複合
プラスチック摩擦材はいずれも、摩擦係数が0.2以上の
大きな摩擦係数であり、摩擦係数の経時変化も殆んど認
められなかった。
As is clear from Table 1 and Table 2, all of the composite plastic friction materials composed of the organic fiber, the fluorocarbon resin powder and the matrix resin have a large friction coefficient of 0.2 or more, and the friction coefficient hardly changes with time. It wasn't recognized.

これに対し、フルオロカーボン樹脂粉末を含まない摩擦
材の場合(比較例F,G)、いずれも、経時時に摩擦係
数が大きく変動した。また、有機繊維を含まない摩擦材
の場合(比較例H)、摩擦係数の経時変化は殆んど認め
られないが、摩擦係数は非常に小さい。
On the other hand, in the case of the friction material containing no fluorocarbon resin powder (Comparative Examples F and G), the friction coefficient greatly fluctuated over time. Further, in the case of the friction material containing no organic fiber (Comparative Example H), almost no change in the friction coefficient with time was observed, but the friction coefficient was very small.

実施例2 実施例1で用いたそれぞれのA〜Hの摩擦材を用いて、
第3図に示すような円板型超音波モータを構成した、第
3図において、1は圧電体であり、その表面にステンレ
ス製振動体2が接着固定されている。3はステンレス製
動体であり、実施例1のそれぞれの摩擦材シート4が固
定されている。また、振動体と動体とはバネに加圧によ
って初期のブレーキトルクが500g・cmになるように
調整設定されている。さらに、円板の円周方向に4波の
進行波が励起されるように圧電体に電極を配置し、約7
0KHzの共振周波数の電界を印加して動体を無荷回転数
500rpmで駆動させている。
Example 2 Using each of the friction materials A to H used in Example 1,
In FIG. 3, which constitutes a disc type ultrasonic motor as shown in FIG. 3, reference numeral 1 is a piezoelectric body, and a vibrating body 2 made of stainless steel is adhered and fixed to the surface thereof. Reference numeral 3 denotes a stainless steel moving body, to which each friction material sheet 4 of Example 1 is fixed. Further, the vibrating body and the moving body are adjusted and set so that the initial brake torque is 500 g · cm by pressing the spring. Further, an electrode is arranged on the piezoelectric body so that four traveling waves are excited in the circumferential direction of the disk, and
An electric field having a resonance frequency of 0 KHz is applied to drive the moving body at an unloaded speed of 500 rpm.

なお、それぞれの摩擦材シートを構成したそれぞれのモ
ータについて、所定の時間の駆動後、電源を切ったり入
れたりしたときの再起動の有無,電源切断後のブレーキ
トルクおよび共振周波数を測定した結果を表3に示す。
For each motor that made up each friction material sheet, the result of measuring the presence or absence of restart when the power was turned off and on after driving for a predetermined time, the brake torque after power off and the resonance frequency It shows in Table 3.

表3より明らかのように、有機繊維とフルオロカーボン
樹脂粉末とマトリックス樹脂とよりなる摩擦材を使用し
た超音波モータの場合(実験番号A〜E),いずれのモ
ータについてもブレーキトルクの経時変化は小さい。ま
た、共振周波数の経時変化も少なく、再起動性にも問題
が生じなかった。さらに、接触相手材のステンレス振動
体の傷つき摩耗も殆んど認められなかった。
As is clear from Table 3, in the case of the ultrasonic motor using the friction material composed of the organic fiber, the fluorocarbon resin powder and the matrix resin (Experiment Nos. A to E), the change of the brake torque with time is small for all the motors. . Further, the change in resonance frequency with time was small, and there was no problem in restartability. Further, scarring wear of the stainless steel vibrating body as the contact partner was hardly recognized.

これに対し、フルオロカーボン樹脂粉末を含まない摩擦
材を使用したモータの場合(実験番号F,G)、ブレー
キトルクは大きく変動し、また、共振周波数も変動し
て、動体が再起動しなくなることがあった。
On the other hand, in the case of the motor using the friction material containing no fluorocarbon resin powder (Experiment Nos. F and G), the brake torque fluctuates greatly and the resonance frequency also fluctuates, which prevents the moving body from restarting. there were.

また、有機繊維を含まない摩擦材(実験番号H)を使用
したモータの場合、摩擦係数が小さすぎて、動体が駆動
しなかった。
Further, in the case of the motor using the friction material (Experiment No. H) containing no organic fiber, the moving coefficient did not drive because the friction coefficient was too small.

実施例3 表4に示すような有機繊維とフルオロカーボン樹脂粉末
との含有割合のそれぞれの摩擦材(厚さ1mm)を使用し
て、実施例2と同様の円板型超音波モータを構成し、実
施例2と同じ方法で共振周波数電界を印加してモータを
駆動させた。
Example 3 A disc type ultrasonic motor similar to that of Example 2 was constructed by using friction materials (thickness: 1 mm) having the content ratios of the organic fiber and the fluorocarbon resin powder as shown in Table 4, The resonance frequency electric field was applied in the same manner as in Example 2 to drive the motor.

なお、それぞれの摩擦材シートを構成したそれぞれのモ
ータについて、所定の時間の駆動後、電源を切ったり入
れたりしたときの再起動の良否、電源切断後のブレーキ
トルクおよび共振周波数を測定した結果を表4に示す。
For each motor that made up each friction material sheet, the result of measurement of the quality of restart when the power is turned off and on after driving for a predetermined time, the brake torque after power off and the resonance frequency is shown. It shows in Table 4.

表4より明らかのように、有機繊維の含有量が5重量パ
ーセント以上およびフルオロカーボン樹脂粉末の含有量
が5重量パーセント以上の組成の摩擦材を使用した場
合、(実験番号K,L,M)、いずれのモータについて
もブレーキトルクの経時変化は小さい。また、共振周波
数の経時変化も少なく、再起動性にも問題が生じなかっ
た。
As is clear from Table 4, when a friction material having a composition in which the content of the organic fiber is 5% by weight or more and the content of the fluorocarbon resin powder is 5% by weight or more (Experiment No. K, L, M), The change in brake torque over time is small for both motors. Further, the change in resonance frequency with time was small, and there was no problem in restartability.

これに対し、フルオロカーボン樹脂粉末の含有量が2重
量パーセント以下のとき(実験番号I,J)、ブレーキ
トルクの経時変化が大きく、また共振周波数も大きく変
化して、再起動性しなくなることがあった。有機繊維を
含まないで、フルオロカーボン樹脂粉末だけを含有する
場合(実験番号N)、ブレーキトルクが200g−cmよ
り大きい加圧を加えるとモータが駆動しなくなり、大き
な出力を得ることができなく、また、摩擦材の摩耗量が
多い。
On the other hand, when the content of the fluorocarbon resin powder is 2% by weight or less (Experiment Nos. I and J), the brake torque may change greatly with time, and the resonance frequency may also change significantly, which may prevent restartability. It was When only fluorocarbon resin powder is contained without organic fiber (Experiment No. N), if a brake torque of more than 200 g-cm is applied, the motor will not operate and a large output cannot be obtained. The wear of friction material is large.

発明の効果 以上の実施例の説明より明らかなように、本発明の超音
波モータは、摩擦材を少なくとも有機繊維とフルオロカ
ーボン樹脂とマトリックス樹脂とを含有するプラスチッ
ク材から形成し、振動体と動体の対向する少なくとも一
方の面に固定することにより、超音波モータの摩耗を小
さくし、またブレーキトルクの経時変化および振動体の
共振周波数の経時変化を小さくすることができるため、
モータの起動が安定し、長期信頼性に優れた超音波モー
タが得られる。
EFFECTS OF THE INVENTION As is clear from the above description of the embodiments, the ultrasonic motor of the present invention is formed of a plastic material containing at least an organic fiber, a fluorocarbon resin, and a matrix resin as a friction material, and the friction material is By fixing to at least one of the surfaces facing each other, it is possible to reduce wear of the ultrasonic motor, and to reduce the change over time of the brake torque and the change over time of the resonance frequency of the vibrating body.
An ultrasonic motor with stable motor start-up and excellent long-term reliability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例における超音波モータの要部
構成断面図、第2図は他の実施例における一部切欠した
斜視図、第3図は超音波モータの原理を示す要部断面図
である。 1……圧電体、2……振動体、3……動体、4……摩擦
材。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of the main part of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of another embodiment, and FIG. 3 is a main part showing the principle of the ultrasonic motor. FIG. 1 ... Piezoelectric body, 2 ... Vibrating body, 3 ... Moving body, 4 ... Friction material.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電体の振動により進行波を発生する振動
体に、動体を加圧接触し、前記振動体と前記動体との間
の摩擦力を介して、前記動体を駆動する超音波モータに
おいて、5重量%以上の有機繊維と、5重量%以上のフ
ルオロカーボン樹脂と、マトリックス樹脂とを含有する
プラスチック材からなる摩擦材を、前記振動体と前記動
体の対向する少なくとも一方の面に固定した超音波モー
タ。
1. An ultrasonic motor for driving a moving body by bringing a moving body into pressure contact with a vibrating body that generates a traveling wave by vibrating a piezoelectric body, and driving the moving body via a frictional force between the vibrating body and the moving body. In, a friction material made of a plastic material containing 5% by weight or more of organic fiber, 5% by weight or more of fluorocarbon resin, and a matrix resin was fixed to at least one surface of the vibrating body facing the moving body. Ultrasonic motor.
【請求項2】有機繊維が、芳香族ポリアミド繊維とフェ
ノール繊維と有機高分子ウィスカーの群から選ばれる少
なくとも一種以上からなる特許請求の範囲第1項記載の
超音波モータ。
2. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the organic fibers are at least one selected from the group consisting of aromatic polyamide fibers, phenol fibers and organic polymer whiskers.
JP62266793A 1987-10-20 1987-10-21 Ultrasonic motor Expired - Fee Related JPH0632573B2 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62266793A JPH0632573B2 (en) 1987-10-21 1987-10-21 Ultrasonic motor
KR1019880013628A KR910003669B1 (en) 1987-10-20 1988-10-19 Ultrasonic motor
DE3853251T DE3853251T2 (en) 1987-10-20 1988-10-20 Ultrasonic motor arrangement.
EP88309862A EP0313352B1 (en) 1987-10-20 1988-10-20 Ultrasonic motor
EP94105760A EP0612115B1 (en) 1987-10-20 1988-10-20 Ultrasonic motor
DE3855207T DE3855207T2 (en) 1987-10-20 1988-10-20 Ultrasonic motor
US07/477,198 US5150000A (en) 1987-10-20 1990-02-06 Ultrasonic motor
US07/841,553 US5311094A (en) 1987-10-20 1992-02-26 Ultrasonic motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62266793A JPH0632573B2 (en) 1987-10-21 1987-10-21 Ultrasonic motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01110067A JPH01110067A (en) 1989-04-26
JPH0632573B2 true JPH0632573B2 (en) 1994-04-27

Family

ID=17435765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62266793A Expired - Fee Related JPH0632573B2 (en) 1987-10-20 1987-10-21 Ultrasonic motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0632573B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0807493B1 (en) * 1995-02-01 2002-11-06 Hiroshi Ishizuka Superabrasive electroplated cutting edge and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01110067A (en) 1989-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2568564B2 (en) Lining material and ultrasonic drive motor using the lining material
US5274295A (en) Vibration driven motor
KR910003669B1 (en) Ultrasonic motor
JPH01270776A (en) Moving body of ultrasonic motor
JPH0632573B2 (en) Ultrasonic motor
JPS6258887A (en) Ultrasonic motor
KR101531268B1 (en) Ultrasonic motor having lightweight vibrating element
JPH07177770A (en) Ultrasonic motor
JPS63277478A (en) Ultrasonic motor
JPH01206880A (en) Ultrasonic motor
JPS63257475A (en) ultrasonic motor
JPH01248975A (en) ultrasonic motor
JPH0632572B2 (en) Ultrasonic motor
JPH074073B2 (en) Ultrasonic motor
JPH0217873A (en) Ultrasonic motor
JP2575028B2 (en) Ultrasonic motor
JP2004023863A (en) Vibration actuator
JPH03273877A (en) Friction material for ultrasonic motors and ultrasonic motors using the friction materials
JPH0687672B2 (en) Ultrasonic motor device
JPH04325885A (en) Oscillatory wave motor
JP2690101B2 (en) Lining material and ultrasonic drive motor using the lining material
JPS62107687A (en) Ultrasonic motor
JPS63302772A (en) Ultrasonic wave motor
JPS63257476A (en) ultrasonic motor
JPS63140679A (en) Ultrasonic motor

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees