JPH0634392B2 - 透明電極の検査装置 - Google Patents
透明電極の検査装置Info
- Publication number
- JPH0634392B2 JPH0634392B2 JP60028619A JP2861985A JPH0634392B2 JP H0634392 B2 JPH0634392 B2 JP H0634392B2 JP 60028619 A JP60028619 A JP 60028619A JP 2861985 A JP2861985 A JP 2861985A JP H0634392 B2 JPH0634392 B2 JP H0634392B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- transparent electrode
- transparent
- value
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は透明電極の検査装置に関し、とりわけ液晶パネ
ル、ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池など多方面
で用いられている電子装置に不可欠な透明電極パターン
の検査装置に関するものである。
ル、ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池など多方面
で用いられている電子装置に不可欠な透明電極パターン
の検査装置に関するものである。
従来の技術 従来は透明電極の検査としては透明電極の形成された基
板の表面を光学顕微鏡を用いて観察する、いわゆる目視
検査があった。たとえば、光学顕微鏡の試料ステージ上
に載置された基板を順次移動させながらパターンの検査
を行うか、あるいは基板の表面を、光学顕微鏡と一体化
されたビデオカメラで観察し、ＴＶ画面に表示された透
明電極のパターンを目視によって良否の判定を行ってい
た。上記のような目視は、小面積の観察には有効である
が、たとえばＡ４サイズという大きな面積にわたって、
しかも単調なストライプ状のくり返しパターンを観察す
るときには目視ミスが多発しやすい。また、基板表面に
ゴミが存在しているときには、パターンの欠陥と判別し
にくいことが多い。このような問題を解決した透明電極
パターンの検査装置として本出願人は赤外光線を利用し
てパターンの良否を判別する装置を提案した。（特願昭
５９−１５７２６９） 発明が解決しようとする問題点 上述の新しい検査装置では、目視で問題であった検査ミ
スに対しては非常に有効であったが、検査に要する時間
や精度の点において十分ではなかった。本発明はかかる
点に鑑みてなされたもので、基板上の透明電極を短時間
に高精度で検査することの可能なさらに改良された透明
電極の検査装置を提供することを目的としている。
板の表面を光学顕微鏡を用いて観察する、いわゆる目視
検査があった。たとえば、光学顕微鏡の試料ステージ上
に載置された基板を順次移動させながらパターンの検査
を行うか、あるいは基板の表面を、光学顕微鏡と一体化
されたビデオカメラで観察し、ＴＶ画面に表示された透
明電極のパターンを目視によって良否の判定を行ってい
た。上記のような目視は、小面積の観察には有効である
が、たとえばＡ４サイズという大きな面積にわたって、
しかも単調なストライプ状のくり返しパターンを観察す
るときには目視ミスが多発しやすい。また、基板表面に
ゴミが存在しているときには、パターンの欠陥と判別し
にくいことが多い。このような問題を解決した透明電極
パターンの検査装置として本出願人は赤外光線を利用し
てパターンの良否を判別する装置を提案した。（特願昭
５９−１５７２６９） 発明が解決しようとする問題点 上述の新しい検査装置では、目視で問題であった検査ミ
スに対しては非常に有効であったが、検査に要する時間
や精度の点において十分ではなかった。本発明はかかる
点に鑑みてなされたもので、基板上の透明電極を短時間
に高精度で検査することの可能なさらに改良された透明
電極の検査装置を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するため、複数のストライプ
状の透明電極が形成された基板に赤外光線を照射する手
段と、前記赤外光線の前記透明電極および電極間での透
過光あるいは反射光をそれぞれ検出するように前記透明
電極および前記電極間にそれぞれ対応して設けられた複
数の赤外光検知素子からなり、前記基板から適当な距離
を保って前記透明電極に対して交差するように配置され
た赤外光ラインセンサと、前記赤外光ラインセンサを用
いて前記基板の任意の位置における前記透明電極および
前記電極間からの前記赤外光線の透過光あるいは反射光
を検出し、前記ラインセンサの出力値を記憶する手段
と、前記任意の位置から前記透明電極のストライプ方向
に微小変位した位置で同様の検出を行い、そのときの前
記ラインセンサの出力値と前記記憶値とを前記透明電極
および前記電極間に対応してそれぞれ比較して差分値お
よび平均値とを算出する手段とを有し、前記透明電極に
対応する前記差分値により前記透明電極の断線を、前記
電極間に対応する前記差分値により前記透明電極の短絡
を、前記透明電極に対応する前記平均値により前記透明
電極の抵抗値を検知する構成であることを特徴とする透
明電極の検査装置を提供する。
状の透明電極が形成された基板に赤外光線を照射する手
段と、前記赤外光線の前記透明電極および電極間での透
過光あるいは反射光をそれぞれ検出するように前記透明
電極および前記電極間にそれぞれ対応して設けられた複
数の赤外光検知素子からなり、前記基板から適当な距離
を保って前記透明電極に対して交差するように配置され
た赤外光ラインセンサと、前記赤外光ラインセンサを用
いて前記基板の任意の位置における前記透明電極および
前記電極間からの前記赤外光線の透過光あるいは反射光
を検出し、前記ラインセンサの出力値を記憶する手段
と、前記任意の位置から前記透明電極のストライプ方向
に微小変位した位置で同様の検出を行い、そのときの前
記ラインセンサの出力値と前記記憶値とを前記透明電極
および前記電極間に対応してそれぞれ比較して差分値お
よび平均値とを算出する手段とを有し、前記透明電極に
対応する前記差分値により前記透明電極の断線を、前記
電極間に対応する前記差分値により前記透明電極の短絡
を、前記透明電極に対応する前記平均値により前記透明
電極の抵抗値を検知する構成であることを特徴とする透
明電極の検査装置を提供する。
作用 本発明は上記した構成により、赤外光線の透過および反
射率が基板と透明電極とで異なっており、透明電極の抵
抗値によっても透過および反射率が異なることを利用
し、赤外光線の透明電極および電極間での透過光あるい
は反射光を検出して記憶する手段と、新たな測定点での
検出値と前記記憶値とを比較し差分値と平均値とを算出
する手段とを有することにより、すなわち透明電極に対
応する検知出力の差分値により断線が、電極間に対応す
る検知出力の差分値により短絡が、透明電極に対応する
検知出力の平均値により各透明電極の抵抗値がそれぞれ
短時間で精度よく検知されるものである。
射率が基板と透明電極とで異なっており、透明電極の抵
抗値によっても透過および反射率が異なることを利用
し、赤外光線の透明電極および電極間での透過光あるい
は反射光を検出して記憶する手段と、新たな測定点での
検出値と前記記憶値とを比較し差分値と平均値とを算出
する手段とを有することにより、すなわち透明電極に対
応する検知出力の差分値により断線が、電極間に対応す
る検知出力の差分値により短絡が、透明電極に対応する
検知出力の平均値により各透明電極の抵抗値がそれぞれ
短時間で精度よく検知されるものである。
実施例 第１図は本発明の透明電極の検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。第１図において１はガラス基板であ
って、透明電極として酸化スズインジウム（以下ＩＴＯ
と略す）からなる複数のＩＴＯ電極２がストライプ状に
形成されている。このガラス基板１の上に波長２μｍの
赤外光源３がガラス基板１に向って赤外光線を照射する
ように設けてあり、ガラス基板１の下５mmのところには
ＩＴＯ電極２および電極間を透過してきた赤外光線をそ
れぞれ各電極および各電極間にそれぞれ対応して検出す
るように多数の赤外光検知素子４が設けられた赤外光ラ
インセンサ５がＩＴＯ電極に直交して設置してある。こ
の赤外光ラインセンサ５を用いてタイミング制御回路６
によりタイミングよくガラス基板１上のＩＴＯ電極２お
よび電極間からの透過赤外光を検出し検知素子４の出力
を増幅器７により増幅し、記憶回路８にその値を記憶す
る。次に基板駆動回路９によりガラス基板１をＩＴＯ電
極２のストライプに沿って水平方向に１００μｍ移動さ
せ、同様の検出を行ない、検知素子４の出力を増幅器７
により増幅して、記憶回路８に記憶しておいた出力値と
比較し、差動増幅器１０によって差分値を算出、平均値
回路１１によって平均値を算出する。本実施例ではガラ
ス基板１のみを波長２μｍの赤外光線が透過する割合は
９０％であり、ガラス基板１上のＩＴＯ電極２を透過す
る割合は７％であった。したがってＩＴＯ電極に関して
はＩＴＯ電極２に断線がない場合は差分値は０に等し
く、断線の場合は出力があらわれ断線検出１１する。ま
た電極間に対応する出力に関しても、ＩＴＯ電極２がと
なりのITO電極２と短絡している場合にのみ差分値が増
加し、短絡検出１２する。このように赤外検知出力の絶
対値ではなく差分値で断線および短絡の判定を行なうた
め、たとえばＩＴＯ電極２の膜質やパターン幅、あるい
はガラス基板の赤外透過率の基板間バラつきとは無関係
に検査ができるメリットを有している。ＩＴＯ電極２の
抵抗値については、たとえば第２図に示すように波長２
μｍの赤外光線透過率と膜抵抗値との間には依存性がみ
られ、したがってあらかじめ赤外光線透過率で抵抗値を
較正しておけば透過率から抵抗値を知ることができる。
本実施例の装置では精度を高くするため記憶していた前
回の検出値と新たな検出値とを平均値回路１１に入力し
平均値を算出し、この値により電極抵抗検出１３を行な
った。以下同様にしてタイミング制御回路６によりタイ
ミングよく基板駆動回路９を制御してガラス基板１を移
動させ、基板全面の透明電極を検査することができた。
ブロック図である。第１図において１はガラス基板であ
って、透明電極として酸化スズインジウム（以下ＩＴＯ
と略す）からなる複数のＩＴＯ電極２がストライプ状に
形成されている。このガラス基板１の上に波長２μｍの
赤外光源３がガラス基板１に向って赤外光線を照射する
ように設けてあり、ガラス基板１の下５mmのところには
ＩＴＯ電極２および電極間を透過してきた赤外光線をそ
れぞれ各電極および各電極間にそれぞれ対応して検出す
るように多数の赤外光検知素子４が設けられた赤外光ラ
インセンサ５がＩＴＯ電極に直交して設置してある。こ
の赤外光ラインセンサ５を用いてタイミング制御回路６
によりタイミングよくガラス基板１上のＩＴＯ電極２お
よび電極間からの透過赤外光を検出し検知素子４の出力
を増幅器７により増幅し、記憶回路８にその値を記憶す
る。次に基板駆動回路９によりガラス基板１をＩＴＯ電
極２のストライプに沿って水平方向に１００μｍ移動さ
せ、同様の検出を行ない、検知素子４の出力を増幅器７
により増幅して、記憶回路８に記憶しておいた出力値と
比較し、差動増幅器１０によって差分値を算出、平均値
回路１１によって平均値を算出する。本実施例ではガラ
ス基板１のみを波長２μｍの赤外光線が透過する割合は
９０％であり、ガラス基板１上のＩＴＯ電極２を透過す
る割合は７％であった。したがってＩＴＯ電極に関して
はＩＴＯ電極２に断線がない場合は差分値は０に等し
く、断線の場合は出力があらわれ断線検出１１する。ま
た電極間に対応する出力に関しても、ＩＴＯ電極２がと
なりのITO電極２と短絡している場合にのみ差分値が増
加し、短絡検出１２する。このように赤外検知出力の絶
対値ではなく差分値で断線および短絡の判定を行なうた
め、たとえばＩＴＯ電極２の膜質やパターン幅、あるい
はガラス基板の赤外透過率の基板間バラつきとは無関係
に検査ができるメリットを有している。ＩＴＯ電極２の
抵抗値については、たとえば第２図に示すように波長２
μｍの赤外光線透過率と膜抵抗値との間には依存性がみ
られ、したがってあらかじめ赤外光線透過率で抵抗値を
較正しておけば透過率から抵抗値を知ることができる。
本実施例の装置では精度を高くするため記憶していた前
回の検出値と新たな検出値とを平均値回路１１に入力し
平均値を算出し、この値により電極抵抗検出１３を行な
った。以下同様にしてタイミング制御回路６によりタイ
ミングよく基板駆動回路９を制御してガラス基板１を移
動させ、基板全面の透明電極を検査することができた。
このように本発明にかかる透明電極の検査装置を用いる
ことにより、基板上の透明電極の断線、短絡および抵抗
値の検査が再現よく短時間に行なうことができる。本発
明の一実施例においては赤外光線の透過光を利用した
が、もちろん反射光を検知する構成でも効果は全く変わ
らない。赤外光源の波長については本実施例では２μｍ
のものを用いたが、透明電極の形成されている基板の種
類によって、あるいは赤外光線の透過を利用するか反射
を利用するかによって最適な波長が決定されるが、基板
として石英ガラスを用い、赤外光線の透過を利用した場
合は５μｍ以下の波長が適当であった。また本実施例で
は赤外光線検出系に対して基板の方を移動したが、逆に
基板を固定して赤外光線検出系の方を移動してもよいこ
とは言うまでもない。
ことにより、基板上の透明電極の断線、短絡および抵抗
値の検査が再現よく短時間に行なうことができる。本発
明の一実施例においては赤外光線の透過光を利用した
が、もちろん反射光を検知する構成でも効果は全く変わ
らない。赤外光源の波長については本実施例では２μｍ
のものを用いたが、透明電極の形成されている基板の種
類によって、あるいは赤外光線の透過を利用するか反射
を利用するかによって最適な波長が決定されるが、基板
として石英ガラスを用い、赤外光線の透過を利用した場
合は５μｍ以下の波長が適当であった。また本実施例で
は赤外光線検出系に対して基板の方を移動したが、逆に
基板を固定して赤外光線検出系の方を移動してもよいこ
とは言うまでもない。
発明の効果 以上説明したように、本発明の透明電極の検査装置は、
基板上の透明電極の断線、短絡、抵抗値の検出を基板全
面にわたって高精度で再現よく、基板間のバラつきとは
無関係に、しかも短時間で行なうことができ実用的価値
の高いものである。
基板上の透明電極の断線、短絡、抵抗値の検出を基板全
面にわたって高精度で再現よく、基板間のバラつきとは
無関係に、しかも短時間で行なうことができ実用的価値
の高いものである。
第１図は本発明の一実施例を示す透明電極の検査装置の
ブロック図、第２図はＩＴＯ膜の抵抗値と赤外光線透過
率との関係を示す図である。 １……ガラス基板、２……ＩＴＯ電極、３……赤外光
源、４……赤外光検知素子、５……赤外光ラインセン
サ、１０……差動増幅回路。
ブロック図、第２図はＩＴＯ膜の抵抗値と赤外光線透過
率との関係を示す図である。 １……ガラス基板、２……ＩＴＯ電極、３……赤外光
源、４……赤外光検知素子、５……赤外光ラインセン
サ、１０……差動増幅回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 洋介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松岡 富造 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 阿部 惇 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−38406（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−85210（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−87431（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】複数のストライプ状の透明電極が形成され
た基板に赤外光線を照射する手段と、前記赤外光線の前
記透明電極および電極間での透過光あるいは反射光をそ
れぞれ検出するように前記透明電極および前記電極間に
それぞれ対応して設けられた複数の赤外光検知素子から
なり、前記基板から適当な距離を保って前記透明電極に
対して交差するように配置された赤外光ラインセンサ
と、前記赤外光ラインセンサを用いて前記基板の任意の
位置における前記透明電極および前記電極間からの前記
赤外光線の透過光あるいは反射光を検出し、前記ライン
センサの出力値を記憶する手段と、前記任意の位置から
前記透明電極のストライプ方向に微小変位した位置で同
様の検出を行ない、そのときの前記ラインセンサの出力
値と前記記憶値とを前記透明電極および前記電極間に対
応してそれぞれ比較して差分値および平均値とを算出す
る手段とを有し、前記透明電極に対応する前記差分値に
より前記透明電極の断線を、前記電極間に対応する前記
差分値により前記透明電極の短絡を、前記透明電極に対
応する前記平均値により前記透明電極の抵抗値を検知す
る構成であることを特徴とする透明電極の検査装置。 - 【請求項２】赤外光線の波長が５μｍ以下であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の透明電極の検査
装置。 - 【請求項３】透明電極がすくなくともＩｎの酸化物を含
む透明導電膜からなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の透明電極の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028619A JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028619A JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188896A JPS61188896A (ja) | 1986-08-22 |
| JPH0634392B2 true JPH0634392B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=12253565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60028619A Expired - Lifetime JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634392B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02116703A (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
| JP3467310B2 (ja) * | 1994-04-21 | 2003-11-17 | シスメックス株式会社 | 白血球分析用試薬及び白血球の分類方法 |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP60028619A patent/JPH0634392B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61188896A (ja) | 1986-08-22 |
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