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JPH0634439B2 - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents
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JPH0634439B2 - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

Method for manufacturing printed wiring board

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JPH0634439B2
JPH0634439B2 JP63111498A JP11149888A JPH0634439B2 JP H0634439 B2 JPH0634439 B2 JP H0634439B2 JP 63111498 A JP63111498 A JP 63111498A JP 11149888 A JP11149888 A JP 11149888A JP H0634439 B2 JPH0634439 B2 JP H0634439B2
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wiring board
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aluminum
ink
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和男 加藤
辰夫 中野
新一郎 浅井
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Denka Co Ltd
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、紫外線硬化型エツチングレジストを用いた、
アルミニウム配線を有するプリント配線板の製造方法に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention uses an ultraviolet-curable etching resist,
The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board having aluminum wiring.

(従来の技術) プリント配線板としては、従来銅配線を絶縁基板上に形
成したものが主流である。しかし最近は、電子部品の高
密度実装化に伴い、アルミニウム配線を有するかまたは
アルミニウムと銅配線が同一基板上に形成されたプリン
ト配線板が、半導体チツプのワイヤーボンデイングによ
る接続が可能なため注目され、製造されるようになつ
た。
(Prior Art) Conventionally, as a printed wiring board, conventionally, a copper wiring formed on an insulating substrate is mainstream. However, recently, with the high density mounting of electronic parts, a printed wiring board having aluminum wiring or having aluminum wiring and copper wiring formed on the same substrate has attracted attention because it can be connected by wire bonding of semiconductor chips. , Has come to be manufactured.

そして従来の銅配線を有するプリント配線板の製造方法
としては、銅張積層板上に熱乾燥型エツチングレジスト
をスクリーン印刷により形成し、銅のエツチングを行つ
た後、該エツチングレジストを除去する方法が取られて
いた。しかしながら最近では、このエツチングレジスト
が紫外線で硬化するエツチングレジストインクがプリン
ト配線板の生産性を高めるため導入されるケースが多く
なって来ている。また、これらの熱乾燥型及び紫外線硬
化型エツチングレジストは、従来溶剤除去タイプが主流
であつたが、近年アルカリ除去タイプのインクがランニ
ングコストが安いことや公害防止の観点から多く採用さ
れる様になつている。
And as a method for manufacturing a conventional printed wiring board having copper wiring, a method of forming a heat-drying type etching resist on a copper clad laminate by screen printing, performing etching of copper, and then removing the etching resist is a method. Had been taken. However, in recent years, the etching resist ink in which the etching resist is cured by ultraviolet rays is often introduced to increase the productivity of printed wiring boards. Further, these heat-drying type and ultraviolet ray-curing type etching resists have conventionally been mainly solvent-removing type, but recently alkali-removing type ink is often adopted from the viewpoint of low running cost and pollution prevention. I'm running.

一方、このアルミニウムパターンを有するプリント配線
板では、アルミニウムのエツチングに強アルカリを用い
るため、この種のアルカリ除去タイプのインクは用いる
ことが出来ない。従つて通常、溶剤除去タイプの加熱乾
燥型エツチングレジストインクが用いられていた。
On the other hand, in a printed wiring board having this aluminum pattern, since a strong alkali is used for etching aluminum, this type of alkali removal type ink cannot be used. Therefore, a solvent-removable heat-drying type etching resist ink has been usually used.

しかしながら、アルミニウムのエツチングレジストとし
て用いられてきた溶剤除去タイプの加熱乾燥型エツチン
グレジストインク中には溶剤が含まれており、印刷中に
このインク中の溶剤が蒸発し、スクリーン版上のインク
粘度が上昇して、印刷配線幅が変化することがあり、更
に著るしい場合には該インクが印刷中に乾燥してしまう
ため、スクリーンの目詰りによる転写不良やスクリーン
の異状な伸び等が発生し、印刷不良を生じる原因となつ
ていた。
However, the solvent-drying type heat-drying type etching resist ink that has been used as an aluminum etching resist contains a solvent, and the solvent in this ink evaporates during printing, resulting in an ink viscosity on the screen plate. The width of the printed wiring may rise and the width of the printed wiring may change. In more significant cases, the ink dries during printing, resulting in transfer defects due to clogging of the screen, abnormal screen elongation, etc. However, this has been a cause of poor printing.

このインク中の溶剤の蒸発を抑える必要から、インク中
の溶剤を高沸点溶剤で置換することが行なわれている
が、乾燥温度を高くし、乾燥時間も長くする必要があ
り、生産性が低下する欠点があつた。
Since it is necessary to suppress the evaporation of the solvent in the ink, the solvent in the ink is replaced with a high boiling point solvent, but it is necessary to raise the drying temperature and lengthen the drying time, which lowers the productivity. There was a drawback.

これらの諸欠点を解決する目的で紫外線硬化型エツチン
グレジストインクが開発されているが、いずれも銅エツ
チング用レジストインクであるため、アルカリ除去タイ
プが主流であり、耐アルカリ性を必要とされるアルミニ
ウムのエツチングレジストには使用できなかつた。
Ultraviolet curing type etching resist inks have been developed for the purpose of solving these various drawbacks, but since all are copper etching resist inks, alkali removal type is the mainstream, and alkali-resistant aluminum is required. It could not be used as an etching resist.

この他にメツキ用の紫外線硬化型レジストインクも開発
されているが、耐薬品性を重視するため、硬化したイン
クは、高度に架橋しており、塩化メチレンで除去するこ
とが出来ても、最も一般的に使用されている1,1,1
−トリクロロエタンでは除去することが出来ない欠点を
有している。
In addition to this, an ultraviolet curable resist ink for plating has been developed, but since the chemical resistance is emphasized, the cured ink is highly crosslinked, and even if it can be removed with methylene chloride, it is the most Commonly used 1,1,1
-It has the drawback that it cannot be removed with trichloroethane.

(発明が解決しようとする課題) 本発明はかかる加熱乾燥型エツチングレジストインクと
従来の紫外線硬化型インクの使用では成し得なかつた。
アルミニウム配線を有するプリント配線板の製造方法を
提供するものであり、本発明者らは前記の欠点に鑑み鋭
意検討した結果、硬化したレジストインクが耐アルカリ
性に優れ、かつ1,1,1−トリクロロエタンで除去し
得る紫外線硬化エツチングレジストインクを用いること
により、生産性に優れ、不良発生も少ないアルミニウム
配線を有するプリント配線板の製造方法を発明するに至
つた。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been unsuccessful in using such a heat-drying type etching resist ink and a conventional UV-curable ink.
The present invention provides a method for producing a printed wiring board having aluminum wirings. As a result of intensive investigations by the present inventors in view of the above-mentioned drawbacks, the cured resist ink has excellent alkali resistance and 1,1,1-trichloroethane. The inventors have invented a method for producing a printed wiring board having aluminum wiring, which is excellent in productivity and has few defects, by using an ultraviolet-curable etching resist ink that can be removed by.

(課題を解決するための手段) 1. アルミニウム箔またはアルミニウム/銅複合箔を積
層したプリント配線用基板のアルミニウム箔面上に、 1) 少なくとも耐アルカリ性の紫外線硬化型エッチン
グレジストインクをスクリーン印刷する工程 2) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、強アルカリ性のエッチング液で前記アルミニウム箔
をパターン状にエッチングする工程 3) 更に主成分として炭素原子2個を有する含塩素系
有機溶剤で前記レジストインク硬化物を除去する工程 の少なくとも3工程を有することを特徴とするプリント
配線板の製造方法である。
(Means for Solving the Problems) 1. On the aluminum foil surface of a printed wiring board on which an aluminum foil or an aluminum / copper composite foil is laminated, 1) a step of screen-printing at least an alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist ink 2) Next, after the resist ink is cured with ultraviolet rays, a step of etching the aluminum foil in a pattern with a strong alkaline etching solution 3) Further, with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component, A method for manufacturing a printed wiring board, comprising at least three steps of removing a resist ink cured product.

次に本発明のプリント配線板の製造方法について更に詳
しく説明する。
Next, the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention will be described in more detail.

本発明に言う、アルミニウム配線パターンを形成させる
にはアルミニウム箔またはアルミニウム/銅複合箔を積
層したプリント配線用基板を用いる。このアルミニウム
/銅複合箔の例としては、アルミニウム箔と銅箔のクラ
ツド箔もしくはアルミニウム箔に銅をメツキした箔、更
にはアルミニウム箔と銅メツキ箔の間に異種金属のメツ
キが施された箔がある。
In order to form the aluminum wiring pattern according to the present invention, a printed wiring board on which aluminum foil or aluminum / copper composite foil is laminated is used. An example of this aluminum / copper composite foil is a cladding foil of aluminum foil and copper foil, a foil in which copper is plated on the aluminum foil, or a foil in which a dissimilar metal plating is applied between the aluminum foil and the copper plating foil. is there.

これらの複合箔を接合する基板材料としては、フエノー
ル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル
樹脂等の有機材料もしくはこれらの有機材料にガラス繊
維やフイラーを充てんした複合材料があり、必要に応じ
て該複合箔に接着剤を用いて接合する。
As a substrate material for joining these composite foils, there are organic materials such as phenol resin, epoxy resin, polyimide resin, polyester resin, or composite materials in which glass fibers or fillers are filled in these organic materials. Bonding to the composite foil with an adhesive.

更に基板材料としては、アルミニウム、鉄、ステンレス
等の金属材料があり、前述の複合箔をエポキシ系等の接
着剤を用いて絶縁を保つて接合することにより複合箔を
積層したプリント配線用基板を作ることができる。
Further, as the substrate material, there are metal materials such as aluminum, iron, and stainless steel, and a printed wiring board in which composite foils are laminated by bonding the composite foils with an adhesive such as an epoxy while maintaining insulation Can be made.

次に本発明で言う第1の工程は、少なくとも耐アルカリ
性の紫外線硬化型エツチングレジストを先に記したプリ
ント配線用基板のアルミニウム箔面上にスクリーン印刷
するものである。またアルミニウム箔面上には、スクリ
ン印刷に先立つて脱脂やバフ研摩等により表面処理した
方がエツチングレジストとの密着信頼性を確保する上で
好ましい。脱脂方法は、通常アルミニウム面上を脱脂す
る時に用いられる、アルカリ脱脂、酸脱脂、溶剤脱脂で
良い。
Next, the first step referred to in the present invention is to screen-print at least an alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist on the aluminum foil surface of the above-mentioned printed wiring board. Further, it is preferable that the aluminum foil surface is subjected to a surface treatment by degreasing, buffing or the like prior to the screen printing in order to secure the adhesion reliability with the etching resist. The degreasing method may be alkali degreasing, acid degreasing, or solvent degreasing, which is usually used when degreasing an aluminum surface.

この工程で用いられる少なくとも耐アルカリ性の紫外線
硬化型エツチングレジストとは、耐アルカリ性又は耐酸
性かつ耐アルカリ性のいずれのタイプであつてもよく、
硬化したレジストがアルミニウム箔のエツチングで用
いられる強アルカリ性のエツチング液に耐えること、及
び硬化したレジストが工業的にもよく用いられてお
り、毒性も少ない1,1,1−トリクロロエタンにて除
去できることが必要となる。
The at least alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist used in this step may be any type of alkali resistance or acid resistance and alkali resistance,
The hardened resist can withstand a strong alkaline etching solution used for etching aluminum foil, and the hardened resist is often used industrially and can be removed with 1,1,1-trichloroethane, which has low toxicity. Will be needed.

この用途に用いることのできる紫外線硬化型エツチング
レジストインクの例としては、単官能のオリゴエステ
ルアクリレート(例えば 等である。ここでnは通常1〜3であるが特に限定する
ものではない。またベンゼン核にアルキル置換基を有す
るものも使用できる。)及び1,1,1−トリクロロ
エタンに可溶で且つ、耐酸性及び耐アルカリ性のオリゴ
マーもしくはポリマー、(例えばメチルメタクリレート
オリゴマー、アルキツド樹脂、スチレンとアクリル酸エ
ステルとの共重合体等)及びタルク等の無機フイラ
ー、更には光増感剤の4成分を少なくとも主成分とす
るものがある。
Examples of UV-curable etching resist inks that can be used for this purpose include monofunctional oligoester acrylates (for example, Etc. Here, n is usually 1 to 3, but is not particularly limited. Also, those having an alkyl substituent in the benzene nucleus can be used. ) And 1,1,1-trichloroethane-soluble and acid- and alkali-resistant oligomers or polymers (for example, methyl methacrylate oligomers, alkyd resins, copolymers of styrene and acrylic ester, etc.) and talc, etc. There are inorganic fillers, and further, those containing at least four components of a photosensitizer as main components.

次に本発明で言う第2の工程は、該レジストインクを紫
外線で硬化し、その後、強アルカリ性のエツチング液で
該アルミニウム箔を配線パターン状にエツチングする工
程である。本工程の紫外線硬化は、高圧水銀灯、超高圧
水銀灯、ハタルハライドランプ等の紫外線ランプを装備
した市販の紫外線照射炉で行なえる。またランプの選定
は紫外線硬化型エツチングインクに含まれる光増感剤の
吸収波長によつて行なう。
Next, the second step referred to in the present invention is a step of curing the resist ink with ultraviolet rays and thereafter etching the aluminum foil into a wiring pattern with a strongly alkaline etching liquid. The ultraviolet curing in this step can be carried out in a commercially available ultraviolet irradiation furnace equipped with an ultraviolet lamp such as a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, and a Haltal halide lamp. The lamp is selected according to the absorption wavelength of the photosensitizer contained in the ultraviolet curable etching ink.

また本工程のアルミニウム箔のエツチングは、苛性ソー
ダ、苛性カリ等の無機の強アルカリ性化合物の水溶液に
各種添加剤を入れたものが用いられ、その特徴はアルミ
ニウム箔をエツチングし、銅は、エツチングしない選択
エツチング剤であることにある。この強アルカリ性の無
機化合物の濃度は、5〜30重量%が用いられる。また
このエツチング液は、液の粘度を低下させエツチング時
スプレーをし易くする意味とエツチングスピードを上げ
る意味から、通常40゜〜70℃に加熱して用いられ
る。この強アルカリ性の無機化合物の濃度が5重量%未
満であると、加熱してもエツチングスピードが遅く、ま
た30重量%を超えると、加熱しても液が高粘度になり
均一なスプレーがし難くなる。
Further, the etching of the aluminum foil in this step is performed by adding various additives to an aqueous solution of an inorganic strong alkaline compound such as caustic soda and caustic potash. To be an agent. The concentration of this strongly alkaline inorganic compound is 5 to 30% by weight. The etching liquid is usually heated to 40 ° to 70 ° C. for the purpose of decreasing the viscosity of the liquid to facilitate spraying during etching and increasing the etching speed. If the concentration of this strongly alkaline inorganic compound is less than 5% by weight, the etching speed is slow even if heated, and if it exceeds 30% by weight, the liquid has a high viscosity even if heated and it is difficult to spray uniformly. Become.

さらに本発明に言う第3の工程は、第2の工程を終えた
エツチングレジストを除去する前の基板(以下、プリン
ト配線用基板に回路を形成し、最終的にプリント配線板
とするまでの途中の工程にあるものを基板という)を、
主成分が炭素原子2個を有する含塩素系有機溶剤で洗浄
し、該レジストインクを除去することにある。ここで炭
素原子2個を有する含塩素系有機溶剤とは、1,1,1
−トリクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラクロ
ロエチレン等であり、毒性の点から1,1,1−トリク
ロロエタンが好ましい。
Further, the third step in the present invention is the substrate before the etching resist is removed after the second step (hereinafter, the circuit is formed on the printed wiring board, and finally the printed wiring board is formed. What is in the process of is called a substrate)
The main purpose is to remove the resist ink by washing with a chlorine-containing organic solvent having a main component of 2 carbon atoms. Here, the chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms means 1,1,1
-Trichloroethane, trichloroethylene, tetrachloroethylene and the like, and 1,1,1-trichloroethane is preferable from the viewpoint of toxicity.

本発明におけるプリント配線板の製造方法においては、
上記3工程を少なくとも具備する必要があるが、それ以
降の工程としては、例えばアルミニウム箔張基板を用い
た場合では、銅メツキによる半田付部分の形成があり、
アルミニウム/銅複合箔張基板を用いた場合では、更に
銅エツチングレジスト形成後、過硫酸アンモニウム水溶
液や硫酸−過酸化水素系エツチング剤で銅のみを選択的
にエツチングし、パターン形成する工程が挙げられる。
その他、半田レジストの形成も通常、後工程として行な
われる場合が多い。
In the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention,
It is necessary to include at least the above three steps, but as the subsequent steps, for example, when an aluminum foil-clad substrate is used, there is formation of a soldering portion by copper plating,
When the aluminum / copper composite foil-clad substrate is used, a step of forming a copper etching resist and then selectively etching only copper with an aqueous solution of ammonium persulfate or a sulfuric acid-hydrogen peroxide type etching agent to form a pattern can be mentioned.
In addition, the formation of the solder resist is usually performed as a post process in many cases.

(実施例) 次に本発明の実施例を説明する。(Example) Next, the Example of this invention is described.

実施例1 大きさが200×200mm、厚さ1.0mmのアルミニウ
ム板上に80μmの厚みを有するエポキシ系絶縁層を介
して、40μmのアルミニウムと10μmの銅との複合
箔をアルミニウム面を上にして接合したプリント配線用
基板200枚を使用した。
Example 1 A composite foil of 40 μm aluminum and 10 μm copper was placed on an aluminum plate having a size of 200 × 200 mm and a thickness of 1.0 mm with an epoxy-based insulating layer having a thickness of 80 μm on the aluminum side. 200 printed wiring boards that were joined together were used.

まず基板の裏面のアルミニウムがエツチング液が侵かさ
れない様に粘着剤付ポリマーフイルムで保護した。アル
カリ脱脂剤でアルミニウム箔面を脱脂後、耐酸性かつ耐
アルカリ性のアクリル系紫外線硬化型エツチングレジス
トインクを用いて自動印刷機で200枚の連続印刷を行
つた。尚この印刷に用いたスクリーン版は300メツシ
ユのポリエステル製スクリーンであり、使用パターンは
最小線幅50μmで50μmずつ太くなつた、線幅・線
間隔が同じ4本のL字状配線を200×200mmのサイ
ズに10行、10列配置したもの(最大線幅は300μ
m)である。インクの粘度上昇は、200枚印刷後で約
10%であつた。
First, the aluminum on the back surface of the substrate was protected by a polymer film with an adhesive so that the etching liquid was not attacked. After degreasing the aluminum foil surface with an alkali degreasing agent, 200 sheets were continuously printed with an automatic printing machine using an acid- and alkali-resistant acrylic UV-curable etching resist ink. The screen plate used for this printing was a 300 mesh polyester screen, and the pattern used was a minimum line width of 50 μm, which was thickened by 50 μm, and four L-shaped wires with the same line width and spacing were 200 × 200 mm. Arranged in 10 rows and 10 columns (maximum line width is 300μ
m). The increase in ink viscosity was about 10% after printing 200 sheets.

印刷した基板は、即4.0m/minのコンベアスピード
を有し、80W3燈の高圧水銀灯を装備した紫外線照射
装置へ投入し、硬化した。印刷からレジスト硬化までに
要した時間は40分であつた。
The printed substrate had a conveyor speed of 4.0 m / min immediately and was put into an ultraviolet irradiation device equipped with a high pressure mercury lamp of 80 W3 and cured. The time required from printing to resist curing was 40 minutes.

レジストを硬化した基板を顕微鏡で検査した結果、パタ
ーンの解像性は大変良く、150μmの線が解像できて
いた。またスクリーンの目詰り等の不良は皆無であつ
た。設計幅250μmの線幅を50枚目ごとに測定した
ところ270μm±15μmの範囲内に入つており、安
定した印刷が出来ていた。
As a result of inspecting the substrate on which the resist was cured with a microscope, the resolution of the pattern was very good, and 150 μm lines could be resolved. Moreover, there were no defects such as clogging of the screen. When the line width of the design width of 250 μm was measured for every 50th sheet, it was within the range of 270 μm ± 15 μm, and stable printing was achieved.

次に紫外線硬化したエツチングレジスト付基板に、 苛性ソーダ20重量%他を含む強アルカリ性の水溶液を
60℃で2分間スプレーし、複合箔のアルミニウム箔を
パターン状にエツチングした。その後、基板を水洗乾燥
し、1,1,1−トリクロロエタンを室温でスプレーし
て、該エツチングレジストを剥離した。
Then, a UV-cured substrate with an etching resist was sprayed with a strongly alkaline aqueous solution containing 20% by weight of caustic soda for 2 minutes at 60 ° C. to etch the aluminum foil of the composite foil in a pattern. Then, the substrate was washed with water and dried, and 1,1,1-trichloroethane was sprayed at room temperature to remove the etching resist.

最終的に得られたアルミニウム配線の顕微鏡検査ではエ
ツチング中の有害なレジスト剥れはなく、また配線上の
レジストの残存もなかつた。
Microscopic inspection of the finally obtained aluminum wiring showed no harmful resist peeling during etching, and no resist remained on the wiring.

実施例2 実施例1で出来上つたアルミニウム配線上に実施例1で
使用した同じスクリーン版、同じ配線パターン、同じ紫
外線硬化型エツチングレジストインクを用いて、該配線
パターンが部分的に直交する様にエツチングレジストイ
ンクを200枚の基板に連続印刷した。
Example 2 Using the same screen plate, the same wiring pattern, and the same UV-curable etching resist ink as used in Example 1 on the aluminum wiring completed in Example 1, the wiring patterns were made to be partially orthogonal to each other. The etching resist ink was continuously printed on 200 substrates.

印刷した基板は、実施例1と同様に即、紫外線硬化装置
を通し、レジストインクを硬化させた。硬化したレジス
トインクを顕微鏡で検査した結果、40μmの厚みを有
するアルミニウム配線に直交した部分のレジストインク
には有害な断線や(第1図)やにじみ(第2図)がなか
つた。
The printed substrate was passed through an ultraviolet curing device in the same manner as in Example 1 to cure the resist ink. As a result of inspecting the cured resist ink with a microscope, no harmful disconnection or (FIG. 1) or bleeding (FIG. 2) was found in the resist ink in the portion orthogonal to the aluminum wiring having a thickness of 40 μm.

次に紫外線硬化したエツチングレジスト付基板を硫酸2
0容量%とパーマエツチ(荏原電産(株)商品名:50容
量%の過酸化水素を主成分とする)12容量%とから成
るエツチング剤で54℃1分間スプレーエツチングし
た。その後、基板を水洗乾燥し、1,1,1−トリクロ
ロエタンを室温でスプレーして、該エツチングレジスト
を剥離した。
Next, a substrate with an etching resist that has been ultraviolet-cured is treated with sulfuric acid 2
Spray etching was performed at 54 ° C. for 1 minute with an etching agent consisting of 0% by volume and 12% by volume of PermaEtchi (trade name of Ebara Densan Co., Ltd .: containing 50% by volume of hydrogen peroxide as a main component). Then, the substrate was washed with water and dried, and 1,1,1-trichloroethane was sprayed at room temperature to remove the etching resist.

最終的に得られたアルミニウム配線と銅配線からなる混
合配線の顕微鏡検査では、エツチング中の有害なレジス
ト剥れはなく、また配線上のレジストの残存もなかつ
た。
Microscopic inspection of the finally obtained mixed wiring consisting of aluminum wiring and copper wiring showed no harmful stripping of the resist during etching, and no resist remained on the wiring.

比較例1 実施例1と同じプリント配線用基板を用い、熱乾燥型レ
ジストインクで強アルカリ耐性のあるMR−500(ア
サヒ化研社製)を使用して、スクリーン印刷を実施例1
と同様200枚連続して行つたところ、10枚目までの
印刷においてはインクの出が悪かつた。更に50〜10
0枚目では良好な印刷が出来たものの、100枚目以降
ではインクのかすれが出始めた。印刷後のインクの粘度
上昇は約200%であつた。
Comparative Example 1 Using the same printed wiring board as in Example 1, screen-printing was carried out using MR-500 (manufactured by Asahi Kaken Co., Ltd.) having a strong alkali resistance with a heat-drying type resist ink.
When 200 sheets were continuously printed in the same manner as above, the ink did not come out well in the printing up to the 10th sheet. 50 to 10
Good printing was achieved on the 0th sheet, but ink fading started to appear on the 100th and subsequent sheets. The increase in the viscosity of the ink after printing was about 200%.

次に110℃で10分間、送風乾燥機で乾燥の後、印刷
した配線を顕微鏡で検査したところ、良好に印刷できた
基板でも解像できた配線幅は最小200μmであり、そ
の他の基板ではインクのかすれが多く、悪い基板では断
線した配線も見られた。
Next, after drying with a blast dryer for 10 minutes at 110 ° C., the printed wiring was inspected with a microscope. As a result, the wiring width that could be resolved even with a well printed board was 200 μm minimum, and with other boards, ink There was a lot of fading, and some wirings were broken on bad boards.

印刷から乾燥までに要した時間は60分であつたが、実
際のプリント配線板の製造においてはインクのかすれが
生じると製品にならないため、一担印刷をストツプし、
版を溶剤で拭くため、作業時間は大幅に増え、生産性が
低下することになる。
The time required from printing to drying was 60 minutes, but in the actual manufacture of printed wiring boards, if ink fading occurs, it will not be a product, so stop printing
Since the plate is wiped with a solvent, the working time is significantly increased and the productivity is reduced.

尚、実施例1と同条件でエツチングした後の検査ではエ
ツチング時の異常なレジストの剥れはなかつた。
In the inspection after etching under the same conditions as in Example 1, no abnormal resist peeling occurred during etching.

(発明の効果) 以上のとおり本発明は、硬化膜が耐アルカリ性と特殊な
溶剤への溶解性を有する紫外線硬化型エツチングレジス
トインクを用いたアルミニウム配線の製造方法であり、
生産性及び信頼性の両方が高い特徴を有するものであ
る。
(Effect of the invention) As described above, the present invention is a method for producing an aluminum wiring using a UV-curable etching resist ink in which a cured film has alkali resistance and solubility in a special solvent,
It has both high productivity and high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、実施例2における配線の有害な断線を説明す
るためのプリント配線板の部分拡大断面図である。ま
た、第2図は同じく実施例2における段差部に印刷され
たエツチングレジストインクの有害なにじみを示す部分
拡大平面図である。 符号1……アルミニウム板 2……絶縁層 3……銅箔 4……アルミニウム配線 5……レジストインク 6……エツチングにより断線する部分 7……にじみ部
FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a printed wiring board for explaining harmful wiring disconnection in the second embodiment. Also, FIG. 2 is a partially enlarged plan view showing harmful bleeding of the etching resist ink printed on the step portion in the same manner as in the second embodiment. Reference numeral 1 ... Aluminum plate 2 ... Insulation layer 3 ... Copper foil 4 ... Aluminum wiring 5 ... Resist ink 6 ... Breakage due to etching 7 ... Bleed portion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−33894(JP,A) 特開 昭61−284991(JP,A) 特開 昭55−30840(JP,A) 特開 昭61−276394(JP,A) 特開 昭54−122878(JP,A) 特公 昭47−33642(JP,B1) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-59-33894 (JP, A) JP-A-61-284991 (JP, A) JP-A-55-30840 (JP, A) JP-A-61- 276394 (JP, A) JP 54-122878 (JP, A) JP 47-33642 (JP, B1)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】アルミニウム箔またはアルミニウム/銅複
合箔を積層したプリント配線用基板のアルミニウム箔面
上に 1) 少なくとも耐アルカリ性の紫外線硬化型エッチング
レジストインクをスクリーン印刷する工程 2) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、強アルカリ性のエッチング液で前記アルミニウム箔
をパターン状にエッチングする工程 3) 更に主成分として炭素原子2個を有する含塩素系有
機溶剤で前記レジストインク硬化物を除去する工程 の少なくとも3工程を有することを特徴とするプリント
配線板の製造方法。
1. A step of screen-printing at least an alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist ink on an aluminum foil surface of a printed wiring board on which an aluminum foil or an aluminum / copper composite foil is laminated. Step of etching the aluminum foil in a pattern with a strong alkaline etching solution after it is cured with ultraviolet rays 3) Further, the resist ink cured product is removed with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component A method for manufacturing a printed wiring board, which comprises at least three steps.
【請求項2】プリント配線用基板が金属板上の少なくと
も一主面上に絶縁層を介して積層されていることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載のプリント配線板の製
造方法。
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the printed wiring board is laminated on at least one main surface of the metal plate with an insulating layer interposed therebetween.
【請求項3】紫外線硬化型エッチングレジストインク硬
化物が5〜30重量%の苛性ソーダを主成分とするエッ
チング液に耐え、かつ1、1、1−トリクロロエタンで
除去できることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
のプリント配線板の製造方法。
3. The ultraviolet curable etching resist ink cured product is resistant to an etching solution containing 5 to 30% by weight of caustic soda as a main component and can be removed with 1,1,1-trichloroethane. The method for manufacturing a printed wiring board according to item 1.
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