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JPH0648530B2 - Magnetic head - Google Patents
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JPH0648530B2 - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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Publication number
JPH0648530B2
JPH0648530B2 JP29714585A JP29714585A JPH0648530B2 JP H0648530 B2 JPH0648530 B2 JP H0648530B2 JP 29714585 A JP29714585 A JP 29714585A JP 29714585 A JP29714585 A JP 29714585A JP H0648530 B2 JPH0648530 B2 JP H0648530B2
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Japan
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magnetic
thin film
ferromagnetic
metal thin
forming surface
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JP29714585A
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俊行 岡田
庄一 加納
清記 今野
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ヘッドに関するものであり、特に磁気ギャ
ップが強磁性金属薄膜同士をギャップスペーサを介して
突き合わせることにより構成されるとともに、コアの大
部分が強磁性酸化物により形成されてなる、いわゆる複
合型の磁気ヘッドに関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic head, and in particular, a magnetic gap is formed by abutting ferromagnetic metal thin films to each other via a gap spacer, and The present invention relates to a so-called composite type magnetic head which is mostly formed of a ferromagnetic oxide.

〔発明の概要〕[Outline of Invention]

本発明は、強磁性酸化物よりなる磁気コア部とこの磁気
コア部の強磁性薄膜形成面上に真空薄膜形成技術により
形成される強磁性金属薄膜とから磁気コア半体が形成さ
れ、前記強磁性金属薄膜同士を直列状に対向させること
により磁気ギャップが構成されるとともに、磁気記録媒
体対接面で上記強磁性薄膜形成面と磁気ギャップ形成面
とが所定角度で傾斜してなる磁気ヘッドにおいて、 上記強磁性薄膜形成面が、磁気ギャップ近傍で磁気ギャ
ップ形成面に対して10゜<θ≦35゜なる角度θで傾
斜する傾斜面と、磁気ギャップ形成面に対して45゜≦
α≦70゜なる角度αで傾斜する傾斜面とで構成するこ
とにより、 トラック幅の拡大を図るとともに、クロストークや擬似
ギャップの影響が少ない磁気ヘッドを提供しようとする
ものである。
According to the present invention, a magnetic core half is formed from a magnetic core part made of a ferromagnetic oxide and a ferromagnetic metal thin film formed by a vacuum thin film forming technique on the ferromagnetic thin film forming surface of the magnetic core part. In a magnetic head in which magnetic metal thin films are made to face each other in series to form a magnetic gap, and the ferromagnetic thin film forming surface and the magnetic gap forming surface are inclined at a predetermined angle on the contact surface of the magnetic recording medium. The ferromagnetic thin film forming surface is inclined near the magnetic gap at an angle θ of 10 ° <θ ≦ 35 ° with respect to the magnetic gap forming surface, and 45 ° ≦ with respect to the magnetic gap forming surface.
It is intended to increase the track width and to provide a magnetic head which is less affected by crosstalk and pseudo gaps by constituting it with an inclined surface inclined at an angle α of α ≦ 70 °.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

磁気記録の分野においては、情報信号の高密度記録化や
高周波数化等が進められており、これに対応して、磁気
記録媒体として磁性粉にFe,Co,Ni等の強磁性金
属の粉末を用いた、いわゆるメタルテープや、磁性金属
材料を蒸着等の真空薄膜形成技術によりベースフィルム
上に直接被着した、いわゆる蒸着テープ等が実用化され
ている。
In the field of magnetic recording, high-density recording of information signals and high frequency are being promoted, and in response to this, magnetic powders such as powders of ferromagnetic metals such as Fe, Co and Ni are used as magnetic recording media. A so-called metal tape using the above, a so-called vapor deposition tape in which a magnetic metal material is directly deposited on a base film by a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition, and the like have been put into practical use.

ところで、この種の磁気記録媒体は高い抗磁力や残留磁
束密度を有するので、記録・再生に用いる磁気ヘッドの
ヘッド材料には、高飽和磁束密度,高透磁率を有するこ
とが要求される。例えば、従来、ヘッド材料として多用
されているフェライト材では、飽和磁束密度が低く、上
述の高抗磁力化に対処しきれない。
By the way, since this kind of magnetic recording medium has high coercive force and residual magnetic flux density, the head material of the magnetic head used for recording / reproducing is required to have high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability. For example, a ferrite material, which has been widely used as a head material, has a low saturation magnetic flux density and cannot cope with the above-described high coercive force.

そこで従来、上記高抗磁力の磁気記録媒体に対応するた
めに、セラミック等の非磁性基板やフェライト等の磁性
基板上に高飽和磁束密度を有する強磁性金属薄膜を被着
し、これら強磁性金属薄膜同士を突き合わせて磁気ギャ
ップを構成するようにした、いわゆる複合型の磁気ヘッ
ドが提案されている。
Therefore, conventionally, in order to correspond to the magnetic recording medium having a high coercive force, a ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density is deposited on a non-magnetic substrate such as ceramic or a magnetic substrate such as ferrite. A so-called composite type magnetic head has been proposed in which thin films are butted against each other to form a magnetic gap.

しかしながら、これら従来の複合型の磁気ヘッドでは、
生産性や信頼性等の点で問題が多い。
However, in these conventional composite type magnetic heads,
There are many problems in terms of productivity and reliability.

例えば、セラミックス等の非磁性基板で挟みつけた強磁
性金属薄膜同士を突き合わせ、この強磁性金属薄膜の膜
厚をトラック幅とした複合型の磁気ヘッドが提案されて
いるが、この場合には、磁路の全てが膜厚の薄い強磁性
金属薄膜のみにより構成されるので、磁気抵抗が大きく
なり効率が低下するばかりか、所定のトラック幅となる
ように強磁性金属薄膜をある程度厚く被着する必要があ
り、膜形成に長時間を要する等の問題がある。
For example, a composite magnetic head has been proposed in which ferromagnetic metal thin films sandwiched by non-magnetic substrates such as ceramics are abutted with each other, and the thickness of the ferromagnetic metal thin films is set as a track width. Since the entire magnetic path is composed of only a thin ferromagnetic metal thin film, not only does the magnetic resistance increase and the efficiency decreases, but the ferromagnetic metal thin film is deposited to a certain thickness so that the track width becomes a predetermined value. Therefore, there is a problem that it takes a long time to form a film.

あるいは、磁気コア部がフェライト等の強磁性酸化物か
らなり、これら各磁気コア部の磁気ギャップ形成面に強
磁性金属薄膜を被着した複合型の磁気ヘッドも提案され
ているが、この場合には磁路と上記金属薄膜とが直交す
る方向に位置するため、擬似ギャップの影響が大きく、
また渦電流損失が発生し再生出力の低下を招く虞れがあ
り、充分な信頼性が得られない等の問題がある。
Alternatively, a composite type magnetic head in which the magnetic core portion is made of a ferromagnetic oxide such as ferrite and a magnetic metal thin film is adhered to the magnetic gap forming surface of each of these magnetic core portions is proposed. Is located in a direction in which the magnetic path and the metal thin film are orthogonal to each other, the influence of the pseudo gap is large,
In addition, there is a possibility that eddy current loss may occur and the reproduction output may be reduced, and there is a problem that sufficient reliability cannot be obtained.

そこで、上述の欠点を解消すべく、先に本願出願人は、
特願昭58−250988号明細書、あるいは特願昭60−153745
号明細書において、強磁性金属薄膜を斜めめに被着し、
信頼性、生産性の改善を図った磁気ヘッドを提案した。
なかでも、特願昭60−153745号明細書に記載される磁気
ヘッドは、強磁性薄膜形成面の中途部に屈曲をもたせも
のであって、薄い強磁性金属薄膜であってもある程度の
トラック幅が確保でき、ヒビ割れによる破壊がなく、信
頼性や生産性に優れる、等の特徴を有している。
Therefore, in order to eliminate the above-mentioned drawbacks, the applicant of the present application
Japanese Patent Application No. 58-250988 or Japanese Patent Application No. 60-153745
In the specification, a ferromagnetic metal thin film is obliquely applied,
We proposed a magnetic head with improved reliability and productivity.
In particular, the magnetic head described in Japanese Patent Application No. 60-153745 has a bend in the middle of the surface on which the ferromagnetic thin film is formed, and even a thin ferromagnetic metal thin film has a certain track width. It is possible to secure the above-mentioned characteristics, there is no damage due to cracking, and the reliability and productivity are excellent.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明は、かかる磁気ヘッドの一層の改善を目的とする
ものである。
The present invention aims to further improve such a magnetic head.

すなわち、前述の磁気ヘッドにおいて、トラック幅拡大
の他、クロストークや擬似ギャップ,再生出力等を考慮
して、強磁性薄膜形成面の傾斜角の最適値を求め、電磁
変換特性に優れ、信頼性,生産性の点でも有利な磁気ヘ
ッドの提供を目的とする。
That is, in the above-described magnetic head, the optimum value of the inclination angle of the ferromagnetic thin film formation surface is obtained in consideration of the crosstalk, the pseudo gap, the reproduction output, etc. in addition to the track width expansion, and the electromagnetic conversion characteristics are excellent and the reliability is high. The purpose is to provide a magnetic head that is also advantageous in terms of productivity.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上述のような目的を達成するために、本発明は、強磁性
酸化物よりなる磁気コア部とこの磁気コア部の強磁性薄
膜形成面上に真空薄膜形成技術により形成される強磁性
金属薄膜とから磁気コア半体が形成され、前記強磁性金
属薄膜同士を直列状に対向させることにより磁気ギャッ
プが構成されるとともに、磁気記録媒体対接面で上記強
磁性薄膜形成面と磁気ギャップ形成面とが所定角度で傾
斜してなる磁気ヘッドであって、上記強磁性薄膜形成面
が、磁気ギャップ近傍で磁気ギャップ形成面に対して1
0゜<θ≦35゜なる角度θで傾斜する傾斜面と、磁気
ギャップ形成面に対して45゜≦α≦70゜なる角度α
で傾斜する傾斜面とから構成されることを特徴とするも
のである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a magnetic core portion made of a ferromagnetic oxide and a ferromagnetic metal thin film formed by a vacuum thin film forming technique on the ferromagnetic thin film forming surface of the magnetic core portion. A magnetic core half body is formed, and a magnetic gap is formed by arranging the ferromagnetic metal thin films to face each other in series, and at the contact surface of the magnetic recording medium, the ferromagnetic thin film forming surface and the magnetic gap forming surface are formed. Is a magnetic head inclined at a predetermined angle, and the ferromagnetic thin film forming surface is 1 in the vicinity of the magnetic gap with respect to the magnetic gap forming surface.
An inclined surface inclined at an angle θ of 0 ° <θ ≦ 35 ° and an angle α of 45 ° ≦ α ≦ 70 ° with respect to the magnetic gap forming surface
It is characterized in that it is composed of an inclined surface inclined at.

〔作用〕[Action]

強磁性薄膜形成面の傾斜角を磁気ギャップ近傍部で、磁
気ギャップ形成面に対して10゜<θ≦35゜なる角度
θに設定しているので、強磁性金属薄膜の膜厚が薄くて
もトラック幅が確保される。
Since the inclination angle of the ferromagnetic thin film forming surface is set to an angle θ of 10 ° <θ ≦ 35 ° with respect to the magnetic gap forming surface in the vicinity of the magnetic gap, even if the ferromagnetic metal thin film is thin. The track width is secured.

また、上記強磁性薄膜形成面の傾斜角を上記角度θに設
定することにより、強磁性金属薄膜と強磁性酸化物の界
面が擬似ギャップとして作用することはない。
Further, by setting the tilt angle of the surface on which the ferromagnetic thin film is formed to the angle θ, the interface between the ferromagnetic metal thin film and the ferromagnetic oxide does not act as a pseudo gap.

さらに、磁気ギャップから遠方の傾斜面の角度を45゜
≦α≦70゜に設定することにより、磁気ギャップ近傍
部における磁気コア部の体積が確保されるとともに、強
磁性金属薄膜と強磁性酸化物との接触面積が拡大し、再
生特性が向上する。
Further, by setting the angle of the inclined surface distant from the magnetic gap to 45 ° ≦ α ≦ 70 °, the volume of the magnetic core portion near the magnetic gap can be secured, and the ferromagnetic metal thin film and the ferromagnetic oxide can be secured. The contact area with and the reproduction characteristics are improved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明を適用した複合型の磁気ヘッドの一例を
示す外観斜視図であり、第2図はその磁気記録媒体対接
面を示す要部拡大平面図である。
FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a composite type magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part showing a contact surface of the magnetic recording medium.

この磁気ヘッドにおいては、磁気コア部(11),(12) が強
磁性酸化物、たとえばMn−Zn系フェライトで形成さ
れ、これら磁気コア部(11),(12) の接合面を斜めに切り
欠いた強磁性薄膜形成面(13),(14) には、フロントギャ
ップ形成面からバックギャップ形成面に至るまで連続し
て高透磁率合金、たとえばFe−Al−Si系合金膜で
ある強磁性金属薄膜(15),(19) が真空薄膜形成技術によ
り被着形成され、それぞれ磁気コア半体(21),(22) が構
成されている。そして、これら一対の磁気コア半体(2
1),(22) をSiO等のギャップ材を介して突き合わ
せ、上記強磁性金属薄膜(15),(19) の当接面がトラック
幅Twの磁気ギャップgとなるように構成されている。
In this magnetic head, the magnetic core portions (11) and (12) are formed of a ferromagnetic oxide, for example, Mn-Zn ferrite, and the joining surface of these magnetic core portions (11) and (12) is cut diagonally. On the missing ferromagnetic thin film forming surfaces (13) and (14), a ferromagnetic material which is a high-permeability alloy, for example, a Fe-Al-Si alloy film is continuously formed from the front gap forming surface to the back gap forming surface. The metal thin films (15) and (19) are deposited and formed by the vacuum thin film forming technique to form magnetic core halves (21) and (22), respectively. The pair of magnetic core halves (2
1) and 22) are butted against each other via a gap material such as SiO 2 so that the contact surfaces of the ferromagnetic metal thin films 15 and 19 are the magnetic gap g having the track width Tw. .

ここで、上記強磁性金属薄膜形成面(13),(14) は、磁気
記録媒体対接面から見たときに、磁気コア半体(21),(2
2) の突き合わせ面である接合面、すなわち磁気ギャッ
プ形成面(16)に対してθなる角度で傾斜する第1の傾斜
面(13a),(14a) と、上記磁気ギャップ形成面(16)に対し
てαなる角度をもって傾斜する第2の傾斜面(13b),(14
b) とから構成され、その中途部に鈍角からなる屈曲部
(13c),(14c) を有している。
Here, the ferromagnetic metal thin film forming surfaces (13) and (14) are the magnetic core halves (21) and (2) when viewed from the contact surface of the magnetic recording medium.
2) the joining surface which is the abutting surface, that is, the first inclined surfaces (13a) and (14a) inclined at an angle of θ with respect to the magnetic gap forming surface (16) and the magnetic gap forming surface (16). The second inclined surface (13b), (14
b) a bent part consisting of and with an obtuse angle in the middle
It has (13c) and (14c).

そして、上記磁気ギャップ形成面(16)に対してθなる角
度で傾斜する第1の傾斜面(13a),(14a) 上に被着される
部分の強磁性金属薄膜(15),(19) 同士が突き合わされ
て、磁気ギャップgが構成されている。
Then, the ferromagnetic metal thin films (15), (19) of the portions adhered on the first inclined surfaces (13a), (14a) inclined at an angle of θ with respect to the magnetic gap forming surface (16). The magnetic gaps g are formed by abutting each other.

上記磁気ギャップg近傍部に配置される第1の傾斜面
(13a),(14a) と磁気ギャップ形成面(16)とがなす角度
θは、10゜<θ≦35゜の範囲内に設定される。この
傾斜角度θが35゜を越えると、広いトラック幅のヘッ
ドとするために上記強磁性金属薄膜(15),(19) の膜厚を
充分に確保しなくてはならず、生産性が劣化し好ましく
ない。逆に、傾斜角度θが10゜以下では、磁気ギャッ
プgと第1の傾斜面(13a),(14a) とが平行に近づくた
め、クロストークや擬似ギャップが発生し、記録再生特
性が劣化する。
The angle θ formed by the first inclined surfaces (13a), (14a) arranged near the magnetic gap g and the magnetic gap forming surface (16) is set within the range of 10 ° <θ ≦ 35 °. It When the inclination angle θ exceeds 35 °, the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) must have a sufficient film thickness in order to obtain a head having a wide track width, which deteriorates the productivity. However, it is not preferable. On the contrary, when the inclination angle θ is 10 ° or less, the magnetic gap g and the first inclined surfaces (13a) and (14a) approach parallel to each other, so that crosstalk or pseudo gap occurs and the recording / reproducing characteristics deteriorate. .

また、上記第1の傾斜面(13a),(14a) と連続して形成さ
れる第2の傾斜面(13b),(14b) と、磁気ギャップ形成面
(16)とがなす角度αは、45゜≦α≦70゜の範囲内に
設定される。この傾斜角度αが70゜を越えると、磁気
ギャップg近傍で磁気コア部(11),(12) の体積が減少し
再生出力が低下したり、あるいは耐摩耗性が劣化する等
の不都合が生じる。逆に、上記傾斜角度αが45゜未満
に形成されると、クロストークが大きくなり、ヘッドの
信頼性が低下し好ましくない。
Further, the second inclined surfaces (13b) and (14b) formed continuously with the first inclined surfaces (13a) and (14a), and the magnetic gap forming surface.
The angle α formed by (16) is set within the range of 45 ° ≦ α ≦ 70 °. If the inclination angle α exceeds 70 °, the volume of the magnetic core portions (11) and (12) is reduced in the vicinity of the magnetic gap g, the reproduction output is reduced, or the wear resistance is deteriorated. . On the contrary, if the inclination angle α is less than 45 °, the crosstalk becomes large and the reliability of the head deteriorates, which is not preferable.

また、上記磁気ギャップg近傍、すなわち磁気記録媒体
対接面における磁気ギャップgの両側部には、トラック
幅を規制し上記強磁性金属薄膜(15),(19) の摩耗を防止
するための非磁性材(17),(18) が溶融充填されている。
In addition, in the vicinity of the magnetic gap g, that is, on both sides of the magnetic gap g on the contact surface of the magnetic recording medium, a non-magnetic layer for controlling the track width and preventing abrasion of the ferromagnetic metal thin films (15), (19) is provided. The magnetic materials (17) and (18) are melt-filled.

なお、本実施例においては、上記磁気コア部(11),(12)
に形成されるトラック幅規制溝(11b),(12b) は、上記非
磁性材(18)と強磁性酸化物との界面の形状が屈曲する如
く形成されているが、たとえば磁気ヘッドを磁気記録媒
体対接面から見たときに上記界面の形状が略円弧状とな
るような曲面をもって切削加工し、このトラック幅規制
溝(11b),(12b) に臨む強磁性酸化物とこれに対向する強
磁性金属薄膜(15),(19) との距離を確保するとともに、
この溝の対称バランスによって加工時の強磁性酸化物に
対するストレスを小さなものとなし、磁気コア部(11),
(12) のマイクロクラックの発生を防止するようにして
もよい。
In this embodiment, the magnetic core portions (11), (12)
The track width regulating grooves (11b), (12b) formed on the magnetic recording medium are formed such that the shape of the interface between the non-magnetic material (18) and the ferromagnetic oxide is bent. The ferromagnetic oxide facing the track width regulating grooves (11b), (12b) is opposed to this by cutting with a curved surface such that the shape of the above interface becomes a substantially arc shape when viewed from the medium facing surface. While maintaining a distance from the ferromagnetic metal thin films (15) and (19),
Due to the symmetrical balance of the groove, the stress on the ferromagnetic oxide during processing is made small, and the magnetic core (11),
The generation of microcracks in (12) may be prevented.

一方、上記強磁性金属薄膜(15),(19) の材質としては、
強磁性非晶質金属合金、いわゆるアモルファス合金(例
えばFe,Ni,Coの1つ以上の元素とP,C,B,
Siの1つ以上の元素とからなる合金、またはこれを主
成分としAl,Ge,Be,Sn,In,Mo,W,T
i,Mn,Cr,Zr,Hf,Nb等を含んだ合金等の
メタル−メタロイド系アモルファス合金、あるいはC
o,Hf,Zr等の遷移元素や希土類元素を主成分とす
るメタル−メタル系アモルファス合金)、Fe−Al−
Si系合金であるセンダスト合金、Fe−Al系合金、
Fe−Si系合金、Fe−Si−Co系合金、パーマロ
イ等が使用可能であり、その膜付け方法としても、フラ
ッシュ蒸着,真空蒸着,イオンプレーティング,スパッ
タリング,クラスター・イオンビーム法等に代表される
真空薄膜形成技術が採用される。
On the other hand, as the material of the ferromagnetic metal thin films (15) and (19),
A ferromagnetic amorphous metal alloy, a so-called amorphous alloy (for example, one or more elements of Fe, Ni, Co and P, C, B,
Alloy consisting of one or more elements of Si, or Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, T containing this as a main component
A metal-metalloid amorphous alloy such as an alloy containing i, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb, or the like, or C
O-, Hf, Zr, and other transition elements and rare-earth elements as the main components, metal-metal amorphous alloys), Fe-Al-
Sendust alloy, which is a Si-based alloy, Fe-Al-based alloy,
Fe-Si alloys, Fe-Si-Co alloys, permalloys, etc. can be used, and the film deposition methods are represented by flash vapor deposition, vacuum vapor deposition, ion plating, sputtering, cluster ion beam method and the like. Vacuum thin film forming technology is adopted.

上記Fe−Al−Si系合金を使用する場合に、その主
成分であるFe,Al,Siの組成範囲としては、Al
の含有量が2〜10重量%、Siの含有量が4〜15
%、残部がFeであることが好ましい。すなわち、上記
Fe−Al−Si系合金を FeAlSi (a,b,cは各成分の重量比を表す。) で表したときに、その組成範囲が 70≦a<95 2≦b≦10 4≦c≦15 であることが望ましい。上記AlやSiが少なすぎて
も、また逆に多すぎてもFe−Al−Si系合金の磁気
特性が劣化してしまう。
When the above Fe-Al-Si alloy is used, the composition range of Fe, Al, and Si as the main components is Al.
Content of 2 to 10% by weight, Si content of 4 to 15
%, And the balance is Fe. In other words, the Fe-Al-Si alloy Fe a Al b Si c (a , b, c represents the weight ratio of each component.) When expressed in, the composition range 70 ≦ a <95 2 ≦ It is desirable that b ≦ 10 4 ≦ c ≦ 15. If the amount of Al or Si is too small, or vice versa, the magnetic properties of the Fe-Al-Si alloy will deteriorate.

また、上記Feの一部をCoあるいはNiのうち少なく
とも1種と置換することも可能である。
It is also possible to replace part of the Fe with at least one of Co and Ni.

上記Feの一部をCoと置換することにより飽和磁束密
度を上げることができる。特に、Feの40重量%をC
oで置換したもので最大の飽和磁束密度が得られる。こ
のCoの置換量としては、Feに対して0〜60重量%
の範囲内であることが好ましい。
The saturation magnetic flux density can be increased by substituting a part of Fe for Co. In particular, 40 wt% of Fe is C
The maximum saturation magnetic flux density can be obtained by replacing with o. The substitution amount of Co is 0 to 60% by weight with respect to Fe.
It is preferably within the range.

上記Feの一部をNiと置換することにより、飽和磁束
密度を減少することなく透磁率を高い状態に保つことが
できる。このNiの置換量としては、Feに対して0〜
40重量%の範囲内であることが好ましい。
By substituting a part of Fe for Ni, the magnetic permeability can be kept high without decreasing the saturation magnetic flux density. The substitution amount of Ni is 0 to Fe.
It is preferably in the range of 40% by weight.

さらに、上述のFe−Al−Si系合金には、耐蝕性や
耐摩耗性を改善するために各種元素を添加剤として加え
てもよい。上記添加剤として使用される元素としては、
Sc,Y,La,Ce,Nd,Gd等のランタン系列を
含むIIIa族元素、Ti,Zr,Hf等のIVa族元素、
V,Nb,Ta等のVa族元素、Cr,Mo,W等のVI
a族元素、Mn,Tc,Re等のVIIa族元素、Cu,
Ag,Au等のIb族元素、Ga,In,Ge,Sn,
Sb等が挙げられる。
Further, various elements may be added as an additive to the above Fe-Al-Si alloy in order to improve the corrosion resistance and the wear resistance. As the element used as the additive,
Group IIIa elements including lanthanum series such as Sc, Y, La, Ce, Nd and Gd, Group IVa elements such as Ti, Zr and Hf,
Va group elements such as V, Nb and Ta, and VI such as Cr, Mo and W
Group a elements, Group VIIa elements such as Mn, Tc, Re, Cu,
Ib group elements such as Ag and Au, Ga, In, Ge, Sn,
Sb etc. are mentioned.

ところで、上記強磁性金属薄膜(15),(19) は、この例で
は真空薄膜形成技術により単層として形成しているが、
例えばSiO2,Ta25,Al23,ZrO2,Si3
4等の高耐摩耗性絶縁膜を介して複数層積層形成して
もよい。この場合、強磁性金属薄膜の積層数は任意に設
定することができる。
By the way, although the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) are formed as a single layer by the vacuum thin film forming technique in this example,
For example, SiO 2 , Ta 2 O 5 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , Si 3
A plurality of layers may be laminated through a high abrasion resistant insulating film such as N 4 . In this case, the number of laminated ferromagnetic metal thin films can be set arbitrarily.

なお、上記磁気コア半体(21),(22) のうち、一方の磁気
コア半体(22)には、巻線溝(20)が穿設され、この巻線溝
(20)にコイルを巻回することによって、磁気ヘッドに信
号を供給し、あるいは信号を取り出すようになってい
る。
In addition, one of the magnetic core halves (21) and (22) is provided with a winding groove (20) in one of the magnetic core halves (22).
By winding a coil around (20), a signal is supplied to the magnetic head or a signal is taken out.

このように構成される磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップg近傍の第1の傾斜面(13a),(14a)が磁気ギャップ
形成面(16)と10゜<θ≦35゜となるように形成され
ているので、強磁性金属薄膜(15),(19) が薄くても広い
トラック幅の磁気ヘッドが形成できる。したがって、生
産性が大幅に向上する。
In the magnetic head having such a structure, the first inclined surfaces (13a) and (14a) near the magnetic gap g are formed so as to be 10 ° <θ ≦ 35 ° with the magnetic gap forming surface (16). Therefore, a magnetic head having a wide track width can be formed even if the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) are thin. Therefore, productivity is significantly improved.

また、上述の如く強磁性酸化物と強磁性金属薄膜との界
面部、すなわち第1の傾斜面(13a),(14a) は、磁気ギャ
ップgに対して所定の角度をもって形成されるので、隣
接トラックあるいは隣々トラックからのクロストークが
減少され、しかも擬似ギャップの影響も低減される。
Further, as described above, the interface between the ferromagnetic oxide and the ferromagnetic metal thin film, that is, the first inclined surfaces (13a) and (14a) are formed at a predetermined angle with respect to the magnetic gap g, and therefore, they are adjacent to each other. Crosstalk from tracks or adjacent tracks is reduced, and the effects of pseudo gaps are also reduced.

さらに、強磁性酸化物である磁気コア半体(21),(22) 上
に被着される強磁性金属薄膜(15),(19) は、強磁性金属
薄膜形成面(13),(14) の屈曲部(13c),(14c) において、
磁気コア部(11),(12) と強磁性金属薄膜(15),(19) との
熱膨張係数の差に起因する応力が緩和・分散されるの
で、ヒビ割れ等の破壊が生ずることもなくなっている。
Further, the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) deposited on the magnetic core halves (21) and (22), which are ferromagnetic oxides, are the ferromagnetic metal thin film forming surfaces (13) and (14). ) At the bends (13c) and (14c),
Since stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between the magnetic core parts (11) and (12) and the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) is relaxed and dispersed, damage such as cracks may occur. It's gone.

さらに、強磁性薄膜形成面(13),(14) が、その中途部に
鈍角からなる屈曲部(13c),(14c) を有することより、磁
気ギャップg近傍において、強磁性酸化物の占める体積
が大きくなり耐摩耗性が改善されるとともに、強磁性金
属薄膜(15),(19) と磁気コア部(11),(12) との接触面積
が拡大され記録再生特性が向上する。
Further, since the ferromagnetic thin film forming surfaces (13) and (14) have bent portions (13c) and (14c) formed by obtuse angles in the middle thereof, the volume occupied by the ferromagnetic oxide near the magnetic gap g. And the wear resistance is improved, and the contact area between the ferromagnetic metal thin films (15) and (19) and the magnetic core parts (11) and (12) is expanded to improve the recording / reproducing characteristics.

ところで、本発明は上述の実施例に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨を逸脱することなくその他種々の構
造をとり得る。
By the way, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various other structures can be adopted without departing from the gist of the present invention.

例えば、第3図に示すように、磁気ギャップg近傍の第
1の傾斜面(13a),(14a) の一部を切り欠くようにトラッ
ク幅規制溝(31a),(32a) を形成しても良い。このような
構成とすることにより、例えば一方の磁気コア半体(35)
の強磁性金属薄膜(15)と他方の磁気コア半体(36)の磁気
コア部(32)との距離が確保されるので、クロストークの
影響をより低減できる。なお、この第3図において、第
1図及び第2図と同一部材には同一符号を付し、詳細な
説明は省略した。
For example, as shown in FIG. 3, track width regulating grooves (31a) and (32a) are formed so as to cut out a part of the first inclined surfaces (13a) and (14a) near the magnetic gap g. Is also good. With such a configuration, for example, one magnetic core half body (35)
Since a distance is secured between the ferromagnetic metal thin film (15) and the magnetic core portion (32) of the other magnetic core half body (36), the influence of crosstalk can be further reduced. In FIG. 3, the same members as those in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明からも明らかなように、本発明においては、
強磁性金属薄膜形成面を磁気ギャップ形成面に対してこ
となる角度で傾斜する2つの傾斜面から構成しているの
で、磁気ギャップ近傍部において、強磁性金属薄膜の突
き当て幅(トラック幅)を拡大することができる。した
がって、例えば所定のトラック幅を確保するための強磁
性金属薄膜の膜厚は薄くて済み、生産性の点で有利であ
る。
As is clear from the above description, in the present invention,
Since the ferromagnetic metal thin film formation surface is composed of two inclined surfaces that are inclined at different angles with respect to the magnetic gap formation surface, the abutting width (track width) of the ferromagnetic metal thin film is set in the vicinity of the magnetic gap. Can be expanded. Therefore, for example, the film thickness of the ferromagnetic metal thin film for ensuring a predetermined track width can be thin, which is advantageous in terms of productivity.

また、本発明においては、上記各傾斜面の傾斜角度を磁
気ギャップ近傍部で10゜<θ≦35゜とし、磁気ギャ
ップから遠方の傾斜角度を45゜≦α≦70゜と設定し
たので、クロストークや擬似ギャップの影響を抑えるこ
とができる。したがって、良好な電磁変換特性が得られ
る。
Further, in the present invention, the inclination angle of each of the inclined surfaces is set to 10 ° <θ ≦ 35 ° near the magnetic gap, and the inclination angle far from the magnetic gap is set to 45 ° ≦ α ≦ 70 °. The influence of talk and pseudo gap can be suppressed. Therefore, good electromagnetic conversion characteristics can be obtained.

さらに、強磁性金属薄膜形成面に鈍角の屈曲部が形成さ
れるので、この部分で強磁性金属薄膜と強磁性酸化物と
の熱膨張率の差等に起因する歪が分散,吸収され、ヒビ
割れがなく信頼性の高い磁気ヘッドとなる。
Furthermore, since an obtuse-angled bent portion is formed on the surface where the ferromagnetic metal thin film is formed, the strain caused by the difference in the coefficient of thermal expansion between the ferromagnetic metal thin film and the ferromagnetic oxide is dispersed and absorbed in this portion, and cracks are generated. The magnetic head has no cracks and is highly reliable.

さらに、上記屈曲部を形成することにより、磁気ギャッ
プ近傍での強磁性酸化物の占める体積が大きくなり、再
生出力が確保されるとともに、耐摩耗性が向上し信頼性
に優れた磁気ヘッドとなる。
Further, by forming the bent portion, the volume occupied by the ferromagnetic oxide in the vicinity of the magnetic gap is increased, the reproduction output is ensured, and the wear resistance is improved and the magnetic head has excellent reliability. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す外観
斜視図であり、第2図はその磁気記録媒体対接面を示す
要部拡大平面図である。 第3図は本発明の他の例を示すものであり、磁気ギャッ
プ近傍で強磁性金属薄膜の一部がトラック幅規制溝によ
り切り欠かれている磁気ヘッドの磁気記録媒体対接面を
示す要部拡大平面図である。 11,12……磁気コア部 13,14……強磁性薄膜形成面 13a,14a……第1の傾斜面 13b,14b……第2の傾斜面 15,19……強磁性金属薄膜 16……磁気ギャップ形成面 21,22……磁気コア半体
FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a main part enlarged plan view showing a contact surface of the magnetic recording medium. FIG. 3 shows another example of the present invention, which shows a magnetic recording medium contact surface of a magnetic head in which a part of a ferromagnetic metal thin film is cut out by a track width regulating groove in the vicinity of a magnetic gap. FIG. 11, 12 ...... Magnetic core 13, 14 ...... Ferromagnetic thin film forming surface 13a, 14a ...... First inclined surface 13b, 14b ...... Second inclined surface 15, 19 ...... Ferromagnetic metal thin film 16 ...... Magnetic gap forming surface 21,22 ... Magnetic core half

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】強磁性酸化物よりなる磁気コア部とこの磁
気コア部の強磁性薄膜形成面上に真空薄膜形成技術によ
り形成される強磁性金属薄膜とから磁気コア半体が形成
され、前記強磁性金属薄膜同士を直列状に対向させるこ
とにより磁気ギャップが構成されるとともに、磁気記録
媒体対接面で上記強磁性薄膜形成面と磁気ギャップ形成
面とが所定角度で傾斜してなる磁気ヘッドであって、 上記強磁性薄膜形成面が、磁気ギャップ近傍で磁気ギャ
ップ形成面に対して10゜<θ≦35゜なる角度θで傾
斜する傾斜面と、磁気ギャップ形成面に対して45゜≦
α≦70゜なる角度αで傾斜する傾斜面とから構成され
ることを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic core half body is formed from a magnetic core portion made of a ferromagnetic oxide and a ferromagnetic metal thin film formed by a vacuum thin film forming technique on a ferromagnetic thin film forming surface of the magnetic core portion. A magnetic gap is formed by arranging ferromagnetic metal thin films to face each other in series, and the magnetic thin film forming surface and the magnetic gap forming surface are inclined at a predetermined angle on the contact surface of the magnetic recording medium. Where the ferromagnetic thin film forming surface is inclined near the magnetic gap at an angle θ of 10 ° <θ ≦ 35 ° with respect to the magnetic gap forming surface and 45 ° ≦ with respect to the magnetic gap forming surface.
A magnetic head comprising an inclined surface inclined at an angle α of α ≦ 70 °.
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