JPH065296B2 - Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 - Google Patents
Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法Info
- Publication number
- JPH065296B2 JPH065296B2 JP60244900A JP24490085A JPH065296B2 JP H065296 B2 JPH065296 B2 JP H065296B2 JP 60244900 A JP60244900 A JP 60244900A JP 24490085 A JP24490085 A JP 24490085A JP H065296 B2 JPH065296 B2 JP H065296B2
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- wavelength
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Description
【発明の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本発明は波長分散型Ｘ線分光装置におけるピーク検出方
法に関する。
法に関する。
ロ．従来の技術 Ｘ線マイクロアナライザ等に用いられる波長分散型Ｘ線
分光器で、コンピュータを用いてスペクトルピークの位
置を決定する場合、Ｘ線検出信号の統計的変動を考慮し
た強度比較法とかスムージング手法を用いてＸ線の最大
強度位置を割り出してピーク位置としている。
分光器で、コンピュータを用いてスペクトルピークの位
置を決定する場合、Ｘ線検出信号の統計的変動を考慮し
た強度比較法とかスムージング手法を用いてＸ線の最大
強度位置を割り出してピーク位置としている。
ハ．発明が解決しようとする問題点 上述した従来のピーク位置決定方法では、連続したノイ
ズがあるとピーク位置の決定を誤ることがあった。本発
明は連続したノイズの混入があっても、その影響を除去
して確実なピーク位置の決定ができる方法を提供するも
のである。
ズがあるとピーク位置の決定を誤ることがあった。本発
明は連続したノイズの混入があっても、その影響を除去
して確実なピーク位置の決定ができる方法を提供するも
のである。
ニ．問題点解決のための手段 適宜のピーク位置決定手法に加えて、位置決定されたピ
ークの検証を行い、ピーク位置決定の確度を高めるもの
である。上記ピーク位置決定されたピークの検証手段
は、Ｘ線スペクトルのピークの半値幅はＸ線線分光器の
特性として予め決まっているので、ピーク位置決定され
たピークの半値幅を予め決まっている半値幅と比較する
もので測定された半値幅が予め決まっている半値幅と同
程度かそれより広い場合に真のピークとするものであ
る。
ークの検証を行い、ピーク位置決定の確度を高めるもの
である。上記ピーク位置決定されたピークの検証手段
は、Ｘ線スペクトルのピークの半値幅はＸ線線分光器の
特性として予め決まっているので、ピーク位置決定され
たピークの半値幅を予め決まっている半値幅と比較する
もので測定された半値幅が予め決まっている半値幅と同
程度かそれより広い場合に真のピークとするものであ
る。
ホ．作 用 波長分散型Ｘ線分光器により得られるＸ線スペクトルの
パークの半値幅の最小値は、そのＸ線分光器の分解能で
決まり、Ｘ線分光器について既知のデータである。実際
のＸ線スペクトルのピークの半値幅はそのピークの強さ
によって上記最小半値幅より幾分広がっている。従って
この最小半値幅よりせまいピークは真のピークではなく
ノイズを拾っているものと判断される。適宜のピーク検
出法（従来方法も含む）でピークを検出し、それに上述
した検証手段を付加すれば、検出されたピークが真のピ
ークである確度が著しく向上する。
パークの半値幅の最小値は、そのＸ線分光器の分解能で
決まり、Ｘ線分光器について既知のデータである。実際
のＸ線スペクトルのピークの半値幅はそのピークの強さ
によって上記最小半値幅より幾分広がっている。従って
この最小半値幅よりせまいピークは真のピークではなく
ノイズを拾っているものと判断される。適宜のピーク検
出法（従来方法も含む）でピークを検出し、それに上述
した検証手段を付加すれば、検出されたピークが真のピ
ークである確度が著しく向上する。
ヘ．実施例 第１図は本発明方法の一例を説明する図である。この図
の方法はＸ線分光器の波長走査を行ってＸ線強度のデー
タをメモリに取り込んだ後に実行される方法である。取
り込まれたＸ線強度のデータにスムージング処理を施し
て、極大値検出手段等適宜の手段によってピークを検出
する。第１図はこのようにして検出された一つのピーク
を示したものである。このピークの最大値をＩａ、ベー
スラインレベルをＩｂとすると、 であり、かつピークの半値幅即ち（Ｉａ＋Ｉｂ）／２に
おけるピーク幅Δλｗ、ピーク最大値に対応する波長λ
ｐにおけるＸ線分光器の最小半値幅をΔλｐとして、 Δλｗ＞Δλｐ であるとき、図示のピークは真のピークであるとする。
(1)式におけるδは確からしさを現す数で、 δ＝１とすると確らしさは６８．３％ δ＝２とすると ９５．４％ δ＝３とすると ９９．７％ である。
の方法はＸ線分光器の波長走査を行ってＸ線強度のデー
タをメモリに取り込んだ後に実行される方法である。取
り込まれたＸ線強度のデータにスムージング処理を施し
て、極大値検出手段等適宜の手段によってピークを検出
する。第１図はこのようにして検出された一つのピーク
を示したものである。このピークの最大値をＩａ、ベー
スラインレベルをＩｂとすると、 であり、かつピークの半値幅即ち（Ｉａ＋Ｉｂ）／２に
おけるピーク幅Δλｗ、ピーク最大値に対応する波長λ
ｐにおけるＸ線分光器の最小半値幅をΔλｐとして、 Δλｗ＞Δλｐ であるとき、図示のピークは真のピークであるとする。
(1)式におけるδは確からしさを現す数で、 δ＝１とすると確らしさは６８．３％ δ＝２とすると ９５．４％ δ＝３とすると ９９．７％ である。
第２図はＸ線分光器で波長走査を行いながらピーク検出
を行う場合を説明する図である。波長λｌまで波長走査
が進行して、λｋにおいて最大強度Ｉａが検出された。
こゝで前記(1)式と同様にして、 であり、かつλｌにおける最小半値幅Δλｐに対して、
実測半値幅Δλｋが Δλｋ＞ Δλｐ であるとき、λｋは真のピークのピーク位置である。
を行う場合を説明する図である。波長λｌまで波長走査
が進行して、λｋにおいて最大強度Ｉａが検出された。
こゝで前記(1)式と同様にして、 であり、かつλｌにおける最小半値幅Δλｐに対して、
実測半値幅Δλｋが Δλｋ＞ Δλｐ であるとき、λｋは真のピークのピーク位置である。
第３図は本発明を実施する装置構成の一例を示す。ｅは
電子ビーム、Ｓは試料、ＭはＸ線分光器でＤはＸ線検出
器である。１はＸ線分光器駆動装置でコンピュータＣＰ
Ｕによって制御されている。２は表示装置で検出された
Ｘ線ピークの波長，強度を表示する。３はメモリであ
る。ＣＰＵにはＸ線分光器の各波長値における最小半値
幅の表が記憶させてある。
電子ビーム、Ｓは試料、ＭはＸ線分光器でＤはＸ線検出
器である。１はＸ線分光器駆動装置でコンピュータＣＰ
Ｕによって制御されている。２は表示装置で検出された
Ｘ線ピークの波長，強度を表示する。３はメモリであ
る。ＣＰＵにはＸ線分光器の各波長値における最小半値
幅の表が記憶させてある。
第４図は第２図で説明したピーク検出動作のフローチャ
ートである。検出しようとする元素の一つのピーク波長
を中心に或る波長範囲を設定して、Ｘ線分光器の波長を
一ステップ進めて（イ）、Ｘ線強度Ｉｏをサンプリング
（ロ）し、 を算出（ハ）し、ＩｎをＩｏの波長と共にメモリに格納
（ニ）する。Ｉｎは今回のＸ線強度に１／２、その前の
Ｘ線強度に１／４、更にその前のＸ線強度に１／８、ｎ
回前のＸ線強度に（１／２）nの重みを与えて加算する
加重平均で、１１，１２，…Ｉｎ…はスムージングされ
たＸ線強度のデータで、これがメモリに蓄積されて行
く。ステップ（ニ）に次いでステップ（ホ）で Ｉn−Ｉn-1≦０ かどうか判定し、この判定がＮＯなら動作は（イ）に戻
り、ＹＥＳならメモリからそれ迄のデータを読出し、最
小半値幅のデータを用いて、第２図で説明したピーク判
定（ヘ）を行う。判定結果真のピークでなければ（イ）
へ戻り、真のピークであれば、Ｉｎに対応する波長λｋ
及びピーク強度Ｉｎを表示装置に出力し（ト）、動作は
（イ）に戻り、設定された波長範囲の走査を完了して一
元素検出動作を終わる。
ートである。検出しようとする元素の一つのピーク波長
を中心に或る波長範囲を設定して、Ｘ線分光器の波長を
一ステップ進めて（イ）、Ｘ線強度Ｉｏをサンプリング
（ロ）し、 を算出（ハ）し、ＩｎをＩｏの波長と共にメモリに格納
（ニ）する。Ｉｎは今回のＸ線強度に１／２、その前の
Ｘ線強度に１／４、更にその前のＸ線強度に１／８、ｎ
回前のＸ線強度に（１／２）nの重みを与えて加算する
加重平均で、１１，１２，…Ｉｎ…はスムージングされ
たＸ線強度のデータで、これがメモリに蓄積されて行
く。ステップ（ニ）に次いでステップ（ホ）で Ｉn−Ｉn-1≦０ かどうか判定し、この判定がＮＯなら動作は（イ）に戻
り、ＹＥＳならメモリからそれ迄のデータを読出し、最
小半値幅のデータを用いて、第２図で説明したピーク判
定（ヘ）を行う。判定結果真のピークでなければ（イ）
へ戻り、真のピークであれば、Ｉｎに対応する波長λｋ
及びピーク強度Ｉｎを表示装置に出力し（ト）、動作は
（イ）に戻り、設定された波長範囲の走査を完了して一
元素検出動作を終わる。
ト．効 果 本発明によれば従来のピーク判定に半値幅による確認を
加えたのでピーク検出の正確さが向上する。Ｘ線分光分
析の場合、一つの元素ついてそのＫα線と共にＫβ線も
検出されれば、検出された一つのピークがその元素のＫ
α線と確認できるが、このようにすると波長走査の範囲
が広くなって、分析に時間がかかる。本発明は単一ピー
クだけでも確実なピーク判定ができるから分析時間短縮
が得られる。
加えたのでピーク検出の正確さが向上する。Ｘ線分光分
析の場合、一つの元素ついてそのＫα線と共にＫβ線も
検出されれば、検出された一つのピークがその元素のＫ
α線と確認できるが、このようにすると波長走査の範囲
が広くなって、分析に時間がかかる。本発明は単一ピー
クだけでも確実なピーク判定ができるから分析時間短縮
が得られる。
第１図は本発明の一実施例を説明するグラフ、第２図は
他の実施例を説明するグラフ、第３図は本発明方法を実
施する装置の一例の構成を示すブロック図、第４図は第
３図の装置において第２図で説明した方法を実行する動
作のフローチャートである。
他の実施例を説明するグラフ、第３図は本発明方法を実
施する装置の一例の構成を示すブロック図、第４図は第
３図の装置において第２図で説明した方法を実行する動
作のフローチャートである。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線分光器の波長と最小半値幅との対応表
を記憶させておき、適宜方法でＸ線ピークが検出された
とき、そのピークの半値幅とその中心波長における上記
表から読出した最小半値幅とを比較して、前者が後者よ
り大なるとき、検出されたピークを真のピークと判定す
ることを特徴とするＸ線分光器におけるピーク検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244900A JPH065296B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244900A JPH065296B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103553A JPS62103553A (ja) | 1987-05-14 |
| JPH065296B2 true JPH065296B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=17125643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60244900A Expired - Fee Related JPH065296B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065296B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0797091B2 (ja) * | 1989-11-30 | 1995-10-18 | 株式会社島津製作所 | 分光分析装置におけるピークサーチ法 |
| JPH07104956B2 (ja) * | 1990-07-26 | 1995-11-13 | 株式会社島津製作所 | 高精度ピーク認定法 |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP60244900A patent/JPH065296B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62103553A (ja) | 1987-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |