JPH0653366B2

JPH0653366B2 - ペレツト製造方法

Info

Publication number: JPH0653366B2
Application number: JP61018131A
Authority: JP
Inventors: 真暁国吉; 東吾鈴木; 成和鈴木; 勝敏樋口
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-01-31
Filing date: 1986-01-31
Publication date: 1994-07-20
Anticipated expiration: 2009-07-20
Also published as: JPS62176808A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、例えばサイリスタ用のペレットをシリコン(S
i)ウェーハより切抜く（trepanning；トレパニング）す
るときに用いられるペレット製造方法。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

一般に、大電力制御用に用いられるサイリスタ(thyrist
er)用の素材は、円筒状のダイヤモンド砥石によるトレ
パニングにより得られている。すなわち、第３図に示す
ように、まず、Siウェーハ(A)を接着剤により基台(B)に
固定し、トレパニング用のダイヤモンド砥石(C)を矢印
(D)方向に送りながら回転させることにより、円板状の
ペレット(E)を切抜いていた。

しかして、上記従来法によるペレット(E)の切抜きにお
いては、Siウェーハ(A)の他端側主面近傍にてダイヤモ
ンド砥石(C)の矢印(D)方向への送りを約10μｍ切残して
停止したのち、ペレット(E)がまだ付着したままのＳｉ
ウェーハ（Ａ）を接着剤を溶して、基台（Ｂ）より分離
した後、ブレーキング処理により、ペレット(E)を分離
していた。その結果、第４図に示すように、ブレーキン
グしたペレット(E)の端縁部にバリ状のエッジ部(F)が残
存する。このエッジ部(F)は、次のアロイ工程でのペレ
ット(E)と基板とを合金により接着する際に、欠け，割
れ等の損傷の原因となり、歩留低下の一因となってい
る。もし、エッジ部（Ｆ）を無理にでもなくそうとすれ
ば、接着剤部分まで切断しＳｉウェーハ（Ａ）を完全切
断することにより達成できるが、加工溝が閉じているた
め、研削液の掛りが悪く、ダイヤモンド砥石（Ｃ）の刃
部に接着剤が付着する。そのため、ダイヤモンド砥石
（Ｃ）は、目づまりを起しやすく、加工回数の増加とと
もに研削抵抗が顕著に増加して寿命に達するので、頻繁
にダイヤモンド砥石(C)を交換せねばならない不具合を
もっている。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情に着目してなされたもので、ペレッ
トの製造を高能率かつ高精度で行うことのできるペレッ
ト製造方法を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

例えば真空チャックなどの基台に着脱自在にトレパニン
グ研削砥石の目づまりを生じにくい可撓性の弾性部材か
らなる介挿板を着脱自在に装着させ、この介挿板を介し
てウェーハを基台に固着させたのち、トレパニング砥石
によりウェーハからペレットを切抜くに際して、トレパ
ニング砥石を介挿板の一部を切込むまで送りをかけ、ウ
ェーハからペレットを完全に切断分離するようにしたも
のである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

この実施例のペレット製造方法は、第１図に示すよう
に、円板をなすSi製のウェーハ(1)を真空チャック(2)に
介挿板(3)を介して真空吸着する保持工程と、この保持
工程において真吸チャック(2)に保持固定されているウ
ェーハ(1)をトレパニング研削砥石(4)により切抜き円板
をなすペレット(5)（第２図参照）を得るトレパニング
工程と、このトレパニング工程において得られたペレッ
ト(5)を水洗などにより洗浄する洗浄工程とからなって
いる。しかして、真空チャック(2)は、円柱状の基台(6)
と、この基台(6)の内部に配設され一端部が吸引口(7)…
として基台(6)の上面(8)に開口している吸引路(9)と、
この吸引路(9)の他端部に接続された真空源(10)と、基
台(6)の上面(8)に着脱自在に装設された可撓性の弾性部
材からなる前記介挿板(3)とからなっている。上記吸引
路(9)は、基台(6)の内部に同軸に配設された本路(11)
と、この本路(11)から分岐し吸引口(7)…として上面(8)
に開口する分岐路(12)…とからなっている。また、介挿
板(3)は、例えば硬質ゴムなどの研削砥石(4)に目づまり
を生じさせにくい合成樹脂により製造され、その形状
は、厚さ0.1mm，直径125mm程度の円板状をなしている。
そうして、介挿板(3)は、基台(6)の上面の所定位置に載
置されたときに、吸引口(7)…に連通する通孔(13)…が
穿設されている。この介挿板(3)の上面は、ウェーハ(1)
が吸着される吸着面(14)となっている。しかして、真空
源(10)を作動させることにより、分岐路(12)…及び本路
(11)を経由して真空引きを行い、介挿板(3)を介して吸
着面(14)上にウェーハ(1)を真空吸着することができる
ようになっている。しかして、上記トレパニング工程に
おいて用いられる研削砥石(4)は、中空円筒状の研削部
(15)と、この研削部の後端部に同軸に突設された円柱状
の取付部(16)とからなっている。上記研削部(15)は、金
属製で有底円筒状をなす芯体(17)と、この芯体(17)の厚
さ0.2mm程度の内外側壁面に形成された厚さ50μｍ程度
の砥粒層(18)とからなっている。この砥粒層(18)は、例
えば銅などの結合剤(19)と、この結合剤(19)中に分散保
持された例えばダイヤモンドなどの砥粒(20)…とからな
っている。また、取付部(16)は、図示せぬ駆動機構に取
付けられ、この駆動機構により、研削砥石(4)は、矢印
(21)方向に回転駆動されながら、矢印(22)方向に送り駆
動され、ウェーハ(1)のトレパニング加工が行われるよ
うになっている。そうして、研削砥石(4)は、第２図に
示すように、ウェーハ(1)の切抜きが終了後も、送りを
停止することなく、介挿板(3)の一部に切込ます。しか
るのち、研削砥石(4)を矢印(23)方向に後退させ、研削
を終了させる。かくて、ウェーハ(1)からは、ペレット
(5)が他部から完全に分離される。ついで、真空源(10)
の作動を停止させて、ウェーハ(1)の真空吸着を解除し
たのち、ペレット(5)のみを図示せぬ吸着アームにより
ピックアップして、前記洗浄処理を行う。

かくて、この実施例のペレット製造方法によれば、基台
(6)へのウェーハ(1)の固定をウェーハ(1)よりも目づま
りを起こしにくい可撓性の弾性部材からなり且つ基台
(6)及びウェーハ(1)に着脱自在に取付けられる介挿板
(3)を介して行い、かつ、トレパニング研削砥石(4)を介
挿板(3)の一部にも切込ませるようにしているので、ウ
ェーハ(1)からペレット(5)を完全に分離することができ
る。したがって、従来のように、ウェーハ(1)に対して
切残すことによりペレット(5)を付着させ、次のブレー
キング工程にて、ウェーハ(1)からペレット(5)を分離す
る煩雑さがなくなるとともに、工程が短縮し、加工能率
が向上する。また、ブレーキングに伴ってウェーハ(1)
端縁部に生じるバリ状のエッジ部がなくなるので、次工
程のペレット(5)と基板とを合金により接着させるアロ
イ工程における欠けなどの不良発生の虞がなくなる。ま
た、介挿板(3)は、研削砥石が目づまりを行しにくい材
種でできているので、研削砥石(4)の寿命が長くなる。
ちなみに、従来の不完全切断により、Siウェーハ(1)の
みを研削した場合、ペレット(5)を30個トレパニング加
工すると目づまりにより法線方向の研削抵抗が約２倍と
なるのに対して、この実施例の介挿板(3)を用いて完全
切断を行う方法によれば、ペレット(5)を30個加工して
もほとんど目づまりは生ぜず、法線方向の研削抵抗の増
加は、たかだか20％程度であった。

これは、一般に、研削砥石（４）のウェーハ（１）の送
り速度は、目づまりを生じない最適送り速度の範囲内で
行われているが、不完全切断の場合は、研削砥石（４）
の先端がウェーハ（１）の中途部で停止するのにともな
い、研削砥石（４）の送り速度が最適送り速度の範囲外
に偏倚し、研削砥石（４）の目づまりが生じやすくなる
ためである。これに対して、完全切断の場合は、研削砥
石（４）の先端が停止するのは、介挿板（３）に進入し
てからであるので、少なくともウェーハ（１）を切り抜
いているときの研削砥石（４）の送り速度は最適状態に
設定することが可能となり、研削砥石（４）の目づまり
を不完全切断の場合に比べて改善することができる。な
お、研削砥石（４）の先端が介挿板（３）に進入して
も、介挿板（３）はウェーハ（１）よりも目づまりしに
くい材料でできているので、介挿板（３）による研削砥
石（４）の目づまりは回避することができる。また、研
削砥石（４）の先端が介挿板（３）内部に到達し送りが
停止し、送り速度が最適送り速度の範囲外に偏倚して
も、このときのウェーハ（１）は研削砥石（４）により
完全切断された後であるので、研削砥石（４）の目づま
りはほとんど生じることはない。さらに、介挿板（３）
は基台（６）及びウェーハ（１）に対して着脱自在に取
付けられているのので、多数回のトレパニング加工に対
しての使用が可能となり、また、介挿板（３）が研削砥
石（４）による多数回の切込みにより減耗したとして
も、容易に交換が可能であり、生産能率上且つ経済上、
顕著な改善効果を奏する。

なお、上記実施例においては、介挿板(3)として硬質ゴ
ムを使用したが、研削砥石が目づまりをおこしにくいも
のであれば、例えばプラスチックシート等、どのような
ものでもよい。また、介挿板(3)に穿設されている通孔
(13)…は、吸引口(7)…に対応させることなく、ランダ
ムに分散配置したものでもよい。

さらに、上記実施例においては、介挿板(3)を介してウ
ェーハ(1)を真空チャックにより吸着したが、同じく、
静電チャックにより介挿板(3)を介してウェーハ(1)を吸
着固定してもよい。この場合、介挿板(3)には通孔を設
ける必要はない。

〔発明の効果〕

本発明のペレット製造方法によれば、ウェーハの固定を
トレパニング研削砥石の目づまりをおこしにくい可撓性
の弾性部材からなる介挿板を介して行い、かつ、トレパ
ニング加工によるウェーハの切抜きを研削砥石を介挿板
の一部に切込むまで行うことにより、ペレットをウェー
ハから完全切断するようにしているので、後工程でウェ
ーハからペレットをブレーキングにより分離する必要が
なくなる。その結果、ブレーキングにともなう種々の不
具合がなくなる。また、介挿板は、保持部及びウェーハ
に対して着脱自在に取付けられているので、多数回のト
レパニング加工に対しての使用が可能となり、また、ト
レパニング研削砥石による多数回の切込みにより減耗し
たとしても、容易に交換が可能である。以上の諸効果が
相俟って本発明によれば、生産能率および加工精度を大
幅に改善することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のペレット製造方法に用いら
れる装置の説明図，第２図は同じくトレパニング工程の
説明図，第３図は従来のペレット製造方法の説明図，第
４図は従来法によるペレットを示す図である。 (1)：ウェーハ，(2)：真空チャック（保持部材），
(3)：介挿板，(4)：研削砥石，(5)：ペレット。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者樋口勝敏神奈川県横浜市磯子区新杉田町８株式会社東芝生産技術研究所内 (56)参考文献特開昭60−31918（ＪＰ，Ａ) 特公昭57−43408（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェーハを保持部材に対して上記ウェーハ
よりも目づまりを起こしにくい可撓性の弾性部材からな
り且つ上記保持部材及び上記ウェーハに着脱自在に取付
けられる介挿板を介して保持する保持工程と、上記保持
部材に保持されているウェーハに対して中空円筒状のト
レパニング砥石を回転させながら上記介挿板の一部まで
切込み上記ウェーハから円板をなすペレットを切抜くト
レパニング工程とからなることを特徴とするペレット製
造方法。
【請求項２】保持部材への保持を有孔の介挿板を介して
真空吸着により行うことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のペレット製造方法。