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JPH0659632B2 - Fine object handling device - Google Patents
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JPH0659632B2 - Fine object handling device - Google Patents

Fine object handling device

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Publication number
JPH0659632B2
JPH0659632B2 JP28027685A JP28027685A JPH0659632B2 JP H0659632 B2 JPH0659632 B2 JP H0659632B2 JP 28027685 A JP28027685 A JP 28027685A JP 28027685 A JP28027685 A JP 28027685A JP H0659632 B2 JPH0659632 B2 JP H0659632B2
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JP
Japan
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elastic body
shaped elastic
piezoelectric
rod
fine object
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日出夫 安達
朋樹 舟窪
到 遠藤
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Olympus Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は細胞等の微細物体を挟持操作あるいは回転操作
可能な微細物体操作装置に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a fine object manipulating apparatus capable of sandwiching or rotating a fine object such as a cell.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、個々の細胞を操作する技術としてマイクロマニピ
ュレーティングという技術がある。これは細胞操作を行
なう操作具を、例えば油圧リニアモータの先端に取付
け、ジョイスティック等で電気的に動作させることによ
って、細胞を顕微鏡下で吸引,切断,注入,選別等の操
作を行なう技術である。
Conventionally, there is a technique called micromanipulation as a technique for manipulating individual cells. This is a technique in which an operation tool for operating cells is attached to, for example, the tip of a hydraulic linear motor and electrically operated by a joystick or the like to perform operations such as aspiration, cutting, injection, and selection of cells under a microscope. .

細胞操作においては、10〜300μm程度の大きさを
有する細胞及びその中の5〜10μmの核プラスミド
(細胞中の染色体以外のDNA断片)を操作することが
必要であると言われている。
In cell manipulation, it is said that it is necessary to manipulate cells having a size of about 10 to 300 μm and nuclear plasmids (DNA fragments other than chromosomes in cells) of 5 to 10 μm therein.

このような細胞操作を従来のマイクロマニピュレータで
行なう場合、次のような問題があった。
When performing such cell manipulation with a conventional micromanipulator, there were the following problems.

リニア動作しか出来ない。Only linear operation is possible.

位置決め精度が悪い。Poor positioning accuracy.

腕が長すぎて、外部振動の影響を受け易い。Arms are too long and susceptible to external vibration.

細胞内注入,脱核,切断時の力の入れ方を微妙にコン
トロールしにくい。
It is difficult to delicately control how to apply force during intracellular injection, enucleation, and cutting.

ところで圧電素子を駆動源とした圧電アクチュエータ
は、次のような特徴を有している。
A piezoelectric actuator using a piezoelectric element as a drive source has the following features.

0.1μm以下の高精度な位置決めができる。Highly accurate positioning of 0.1 μm or less is possible.

高速、コンパクトなものとなる。It is fast and compact.

リニアな変位だけでなく屈曲,ねじれ,表面波の励起
など、フレキシブルな機械的動作が可能である。
Not only linear displacement, but also flexible mechanical operations such as bending, twisting, and excitation of surface waves are possible.

本発明者らは、上記特徴に注目して圧電アクチュエータ
のマイクロマニピュレータへの応用を検討し、従来のマ
ニピュレータの種々の欠点をもたない圧電型ピンセット
を開発した。すでに出願している圧電型ピンセットは以
上の様な圧電アクチュエータの特徴を利用したものであ
る。
The present inventors have studied the application of a piezoelectric actuator to a micromanipulator by paying attention to the above characteristics, and have developed piezoelectric tweezers that do not have various drawbacks of conventional manipulators. The piezoelectric tweezers that have already been applied utilize the characteristics of the piezoelectric actuator as described above.

第8図はその圧電型ピンセットの概要を示す図である。
第8図に示す如く、ピンセット本体1に圧電バイモルフ
又は積層圧電体等からなる圧電素子2a,2bを接合
し、端子T1,T2に所定極性の電圧を印加することに
よって、圧電素子を作動させ、ピンセット先端部3a,
3bを開閉脚させることにより、細胞4の挟持操作を行
なうようにしたものである。なお第8図中、5はステー
ジ、6は上記ステージに設けたセル、7は顕微鏡の対物
レンズである。
FIG. 8 is a diagram showing an outline of the piezoelectric tweezers.
As shown in FIG. 8, the tweezers body 1 is joined to the piezoelectric elements 2a and 2b made of a piezoelectric bimorph or a laminated piezoelectric material, and a voltage of a predetermined polarity is applied to the terminals T1 and T2 to operate the piezoelectric elements. Tweezers tip 3a,
The cell 3 is clamped by opening and closing the legs 3b. In FIG. 8, 5 is a stage, 6 is a cell provided on the stage, and 7 is a microscope objective lens.

上記圧電型ピンセットによれば、細胞等の微細物を高精
度に挟持操作することが可能となる。しかし、この圧電
型ピンセットには、シャーシ等に浮遊した細胞を挟持す
る前に、その位置で細胞を回転させるという機能はな
い。しかるに実際に細胞操作する場合、例えばマウス等
の受精卵への核移植の実験等を行なう場合、移植しよう
とする受精卵中の雌雄の前核をもとに同一平面にくるよ
うに受精卵を動かした後、保持するという操作が必要と
なる。このような場合、先ず、卵細胞をその位置で回転
させるという動作が必要になる。
According to the above-mentioned piezoelectric tweezers, it becomes possible to pinch and operate a fine object such as a cell with high accuracy. However, this piezoelectric tweezers does not have a function of rotating the cells at the position before holding the cells floating in the chassis or the like. However, when actually manipulating cells, for example, when carrying out an experiment such as nuclear transfer to a fertilized egg of a mouse or the like, the fertilized egg should be placed in the same plane based on the pronucleus of the male and female in the fertilized egg to be transplanted After moving it, it is necessary to hold it. In such a case, first, an operation of rotating the egg cell at that position is required.

第9図はこの様な細胞の回転を行なわせる為の従来の手
段を示す図である。この手段は、マイクロピペット8の
吸入,吐出による細胞浮遊液の流れaを利用し、細胞4
に矢印のような回転力を与えるようにしたものである。
FIG. 9 is a diagram showing a conventional means for performing such cell rotation. This means utilizes the flow a of the cell suspension liquid by the suction and discharge of the micropipette 8
It is designed to give a rotating force to the arrow.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかし上記回転操作手段では、浮遊液の吸入を、操作す
る細胞4の近傍では行なえない上、吸入した浮遊液を吐
出させる方向を決めることが非常に難しい。このため精
度の高い回転動作を繰返し行なうことができない。また
浮遊液の吐出時に細胞4を移動させてしまう難点もあ
る。特に細胞4を顕微鏡視野外に移動させてしまうと、
顕微鏡下での細胞操作が不可能になってしまうという問
題があった。
However, with the above rotating operation means, the suspension cannot be sucked in the vicinity of the cells 4 to be manipulated, and it is very difficult to determine the direction in which the sucked suspension is discharged. For this reason, it is not possible to repeatedly perform a highly accurate rotation operation. There is also a problem that the cells 4 are moved when the suspension is discharged. Especially when the cells 4 are moved out of the microscope field,
There was a problem that it became impossible to manipulate cells under a microscope.

そこで本発明は、細胞等の微細物体を挟持可能であるの
は勿論、迅速かつ適確に回転操作することが可能で、自
由度の高い微細物体操作装置を提供することを目的とす
る。
Therefore, an object of the present invention is to provide a fine object manipulating device having a high degree of freedom, in which not only a micro object such as a cell can be sandwiched but also a swiveling operation can be swiftly and appropriately performed.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は上記問題点を解決し、目的を達成するために次
のような手段を講じた。すなわち、微細物体を挟持可能
な複数の挟持部材を設け、これらの挟持部材の少なくと
も1つに、微細物体に回転運動を付与可能な如く2方向
に屈曲変位可能な圧電素子を装着した。
The present invention has taken the following means in order to solve the above problems and achieve the object. That is, a plurality of sandwiching members capable of sandwiching a fine object were provided, and at least one of these sandwiching members was equipped with a piezoelectric element capable of being bent and displaced in two directions so as to impart rotational movement to the fine object.

〔作用〕[Action]

このような手段を講じたことにより、細胞等の微細物体
を挟持可能であるのは勿論、適時回転操作することが可
能となる。
By taking such a means, it is possible not only to hold a fine object such as a cell but also to rotate the object at a proper time.

次に本発明の詳細を図面を用いて説明する。第1図〜第
3図は本発明の微細物体操作装置の概要を示す図であ
る。第1図は本装置において用いられる圧電バイモルフ
の基本構造を示す図である。図中10は基端ブロックで
あり、中央部に固定用ねじ穴10aが設けてある。11
は上記基端ブロック10と一体的に形成された金属板で
あり、その先端には挟持脚取付け孔11aと、この取付
け孔11aと直交するように固定ねじ穴11bが設けら
れている。12はバイモルフ構造の圧電素子であり、前
記金属板11の背面に装着されている。この圧電素子1
2は、複数の圧電板同士、又は圧電板と金属板、又は圧
電板とガラス板などを張合わせた構造になっていて、こ
れに端子T1,T2から電圧を印加し得るものとなって
いる。
Next, details of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 are views showing the outline of the fine object manipulating apparatus of the present invention. FIG. 1 is a diagram showing the basic structure of a piezoelectric bimorph used in this apparatus. In the figure, 10 is a base end block, and a fixing screw hole 10a is provided in the central portion. 11
Is a metal plate integrally formed with the base block 10, and has a clamping leg mounting hole 11a at its tip and a fixing screw hole 11b orthogonal to the mounting hole 11a. Reference numeral 12 denotes a piezoelectric element having a bimorph structure, which is mounted on the back surface of the metal plate 11. This piezoelectric element 1
Reference numeral 2 has a structure in which a plurality of piezoelectric plates are bonded together, or a piezoelectric plate and a metal plate, or a piezoelectric plate and a glass plate are laminated together, and a voltage can be applied to them from terminals T1 and T2. .

今、所定極性の電圧を印加すると、圧電バイモルフはそ
の電圧極性に応じて屈曲方向を変え、電圧の大きさに応
じて屈曲度を変える。そこで電圧印加を制御することに
より、圧電バイモルフの先端が円運動を描く様に変位さ
せると、細胞に回転力を与え得る。この場合、円または
楕円運動が生じなければ、近接した細胞を回転させるこ
とはできない。又単に一つの圧電バイモルフのみを円又
は楕円運動させただけでは、細胞が顕微鏡視野から逃げ
てしまうおそれがある。
When a voltage having a predetermined polarity is applied, the piezoelectric bimorph changes its bending direction according to its voltage polarity and changes its bending degree according to the magnitude of the voltage. Therefore, by controlling the voltage application, the tip of the piezoelectric bimorph is displaced so as to draw a circular motion, so that a rotational force can be applied to the cell. In this case, if circular or elliptical movement does not occur, cells in close proximity cannot be rotated. Further, if only one piezoelectric bimorph is moved in a circular or elliptic manner, cells may escape from the field of view of the microscope.

第2図は、これを防ぐ為の手段を示す図である。同図に
示す如く、回転操作用圧電バイモルフの先端(不図示)
と対向するように、細胞4を定置させる為に細胞対向面
を凹球面状に形成した支え部材21が設けられている。
このような支え部材21を用いることにより、細胞4に
円または楕円運動22を与えた場合でも、細胞4を定置
に保持し得ることになる。支え部材21としては他の複
数(例えば合計3つ以上)の圧電バイモルフを利用する
とよい。しかし必ずしも圧電バイモルフでなくても良
く、定置させ得る先端形状を有するガラス又はプラスチ
ック材で構成してもよい。
FIG. 2 is a diagram showing means for preventing this. As shown in the figure, the tip of the piezoelectric bimorph for rotation operation (not shown)
A support member 21 having a cell-facing surface formed into a concave spherical surface is provided so that the cells 4 can be fixed so as to face the cell 4.
By using such a support member 21, the cells 4 can be held in place even when the cells 4 are given a circular or elliptical movement 22. As the supporting member 21, a plurality of other piezoelectric bimorphs (for example, three or more in total) may be used. However, the piezoelectric bimorph is not always necessary, and it may be made of a glass or plastic material having a tip shape that can be fixed.

本発明においては、圧電バイモルフの先端部の変位軌跡
が円又は楕円になることが重要である。しかるに第1図
に示した構成のものでは、単に振子式の往復変位のみの
振動であるため、微小回転運動は可能であるが、360
°回転させるといった大きな角度の回転をさせるには不
具合がある。
In the present invention, it is important that the displacement locus of the tip portion of the piezoelectric bimorph is a circle or an ellipse. However, in the structure shown in FIG. 1, since the vibration is merely a pendulum type reciprocating displacement, a minute rotational motion is possible, but 360
There is a problem in rotating a large angle such as rotating by °.

第3図はこのような点を考慮して構成された圧電バイモ
ルフである。すなわち、31は弾性金属角棒であり、こ
の弾性金属角棒31の90°異なる面に、それぞれ第
1,第2の圧電素子32a,32bを接合したものであ
る。このような構成のものであれば、2つの直交した方
向A,Bの変化が可能であり、両変位間の位相と振幅を
変化させることにより、円運動や楕円運動を確実に生じ
させ得る。
FIG. 3 shows a piezoelectric bimorph constructed in consideration of such a point. That is, 31 is an elastic metal square bar, and the first and second piezoelectric elements 32a and 32b are joined to the surfaces of this elastic metal square bar 31 that differ by 90 °. With such a configuration, it is possible to change the two orthogonal directions A and B, and by changing the phase and the amplitude between the two displacements, it is possible to reliably generate a circular motion or an elliptic motion.

〔実施例〕〔Example〕

第4図は本発明の第1実施例を示す斜視図である。本実
施例は第2図に示した支え部材と、第3図に示した圧電
バイモルフとを組合わせた構成の微細物体操作装置であ
る。図中40は表面をガラス被膜処理した金属棒あるい
は化学的に安定な樹脂材料で形成した一方の挟持部材と
しての固定部材であり、その先端部には細胞固定用の凹
球面を有するヘッド40aが設けてある。41は他方の
挟持部材としての金属角棒であり、その異なる二面には
第1,第2の圧電素子42a,42bが接合されてい
る。このように形成された2方向変位圧電バイモルフの
先端取付け穴には、回転操作用のガラス棒43が取付け
られている。なお第4図においては、他端の図示を省略
しているが、各他端を別々の台座に固定しても良いし、
共通の台座に固定しても良いことは言うまでもない。
FIG. 4 is a perspective view showing the first embodiment of the present invention. The present embodiment is a fine object manipulating apparatus having a structure in which the supporting member shown in FIG. 2 and the piezoelectric bimorph shown in FIG. 3 are combined. In the figure, reference numeral 40 denotes a fixing member serving as one holding member formed of a metal rod whose surface is treated with a glass film or a chemically stable resin material, and a head 40a having a concave spherical surface for fixing cells is provided at the tip thereof. It is provided. Reference numeral 41 is a metal square rod as the other holding member, and the first and second piezoelectric elements 42a and 42b are joined to the two different surfaces thereof. A glass rod 43 for rotating operation is attached to the tip attachment hole of the bidirectional displacement piezoelectric bimorph thus formed. Although the other end is not shown in FIG. 4, each other end may be fixed to a separate pedestal,
It goes without saying that they may be fixed to a common pedestal.

このように構成された本装置においては、第1の圧電素
子42aに印加する交流電圧と第2の圧電素子42bに
印加する交流電圧との位相差ψおよび振幅比Kを種々組
合わせることによって、ガラス棒43の先端部の描く軌
跡を種々変えることができる。例えばψ=0の時は直線
運動となり、同時にKを変化させていくと、水平面に対
する角度が変化することになる。又、ψ=90°でK=
1とすると円運動、K≠0とすると楕円運動をすること
になる。かくして操作自由度の大きな微細物体操作装
置、特に細胞の回転操作を適確に行なえる装置を実現す
ることができる。
In the present device configured as described above, various combinations of the phase difference ψ and the amplitude ratio K between the AC voltage applied to the first piezoelectric element 42a and the AC voltage applied to the second piezoelectric element 42b are used. The trajectory drawn by the tip of the glass rod 43 can be variously changed. For example, when ψ = 0, the motion is linear, and when K is changed at the same time, the angle with respect to the horizontal plane changes. Also, when ψ = 90 °, K =
When it is set to 1, a circular motion is performed, and when K ≠ 0, an elliptical motion is performed. In this way, it is possible to realize a device for manipulating a fine object having a high degree of freedom of operation, particularly a device capable of appropriately rotating cells.

第5図は本発明の第2実施例を示す斜視図である。本実
施例においては、前記実施例のような細胞を支えるため
の固定部材は格別に設けられておらず、代りに3本の圧
電バイモルフ51,52,53が設けられている。
FIG. 5 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the fixing member for supporting the cells as in the above embodiments is not specially provided, but three piezoelectric bimorphs 51, 52 and 53 are provided instead.

このように構成された本実施例においては、圧電バイモ
ルフ51〜53のうち、2本が前記固定部材の役割を果
たし、残りの一本が細胞を回転操作する部材として働く
ことになる。したがって、3本のうち2本は特に圧電バ
イモルフである必要はないが、細胞4の挟持,回転のみ
ならず、細胞を故意に変形させるといった実験を同時に
行なうような場合もあるので、そのような場合には3本
とも圧電バイモルフである方が、利用価値が高いといえ
る。なお第5図においては圧電素子へのリード線の配線
は図示を省略してあるが、第1実施例と同じである。
In the present embodiment having such a configuration, two of the piezoelectric bimorphs 51 to 53 serve as the fixing member, and the remaining one serves as a member for rotating and operating cells. Therefore, it is not necessary for two of the three to be piezoelectric bimorphs in particular, but not only the sandwiching and rotation of the cells 4 but also the case of intentionally deforming the cells may be simultaneously performed. In this case, it can be said that the utility value is higher when all the three piezoelectric bimorphs are used. Although the wiring of the lead wire to the piezoelectric element is omitted in FIG. 5, it is the same as in the first embodiment.

第6図は本発明の第3実施例を示す斜視図である。本実
施例においては、2方向屈曲変位する2つの圧電バイモ
ルフ61,62をL字状固定部材60の一辺に取付け、
他の1つの圧電バイモルフ63をL字状固定部材60の
他の一辺に取付けた構造を有している。
FIG. 6 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention. In this embodiment, two piezoelectric bimorphs 61 and 62 that are bent and displaced in two directions are attached to one side of the L-shaped fixing member 60.
Another piezoelectric bimorph 63 is attached to the other side of the L-shaped fixing member 60.

この様に本実施例においては、複数の圧電バイモルフの
取付け方向が互いに直交する様に配置されているので、
第7図の様に圧電バイモルフ61,62による回転方向
と、圧電バイモルフ63による回転方向とを直交させる
ことが可能となる。したがって例えば移植しようとする
受精卵中の雌雄の前核をともに同一平面にくる様に動か
すという操作を容易に行なえる。
As described above, in this embodiment, the plurality of piezoelectric bimorphs are arranged so that the mounting directions thereof are orthogonal to each other.
As shown in FIG. 7, it is possible to make the rotation direction by the piezoelectric bimorphs 61 and 62 and the rotation direction by the piezoelectric bimorph 63 orthogonal to each other. Therefore, for example, the operation of moving the pronuclei of the male and female in the fertilized egg to be transplanted so as to come to the same plane can be easily performed.

なお本発明は前記核実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施例可能で
あるのは勿論である。
The present invention is not limited to the above-mentioned nuclear embodiment,
Needless to say, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、微細物体を挟持可能な複数の挟持部材
を設け、これらの挟持部材の少なくとも1つに、微細物
体に回転運動を付与可能な如く2方向に屈曲変位可能な
圧電素子を装着したので、細胞等の微細物体を挟持可能
であるのは勿論、細胞等の微細物体を迅速かつ適確に適
時回転操作することが可能で、操作自由度の高い微細物
体操作装置を提供できる。
According to the present invention, a plurality of sandwiching members capable of sandwiching a fine object are provided, and at least one of these sandwiching members is provided with a piezoelectric element that can be bent and displaced in two directions so as to impart rotational motion to the fine object. Therefore, it is possible to sandwich a fine object such as a cell, and it is possible to rotate a fine object such as a cell quickly and accurately and in a timely manner, and it is possible to provide a fine object operating device having a high degree of freedom in operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図〜第3図は本発明の微細物体操作装置の概要を示
す図である。第4図は本発明の第1実施例を示す斜視
図、第5図は本発明の第2実施例を示す斜視図、第6図
は本発明の第3実施例を示す斜視図、第7図は同第3実
施例の作用を示す図である。第8図は圧電型ピンセット
の概要を示す図、第9図は細胞に回転を与える従来の手
段を示す図である。 10……基端ブロック、11……金属板、12……バイ
モルフ構造の圧電素子、21……支え部材、31……弾
性金属角棒、32a,32b……第1,第2の圧電素
子、40……固定部材、41……弾性金属角棒、41,
42……第1,第2の圧電素子、51,52,53……
圧電バイモルフ、60……L字状固定部材、61〜63
……圧電バイモルフ。
1 to 3 are views showing the outline of the fine object manipulating apparatus of the present invention. 4 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 5 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention, and FIG. The figure is a diagram showing the operation of the third embodiment. FIG. 8 is a diagram showing an outline of piezoelectric tweezers, and FIG. 9 is a diagram showing a conventional means for imparting rotation to cells. 10 ... Base end block, 11 ... Metal plate, 12 ... Bimorph structure piezoelectric element, 21 ... Support member, 31 ... Elastic metal square bar, 32a, 32b ... First and second piezoelectric elements, 40: fixing member, 41: elastic metal square bar, 41,
42 ... First and second piezoelectric elements, 51, 52, 53 ...
Piezoelectric bimorph, 60 ... L-shaped fixing member, 61-63
...... Piezoelectric bimorph.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一端が固定された角棒状弾性体と、 この角棒状弾性体の伸長方向に対し直交する面にそれぞ
れ設けられた第1,第2の電気−機械エネルギー変換素
子と、 上記角棒状弾性体の他端に接合された棒状弾性体と、 この棒状弾性体の先端部に対向して設けられた挟持部
と、 を具備することを特徴とする微細物体操作装置。
1. A rectangular rod-shaped elastic body having one end fixed, first and second electric-mechanical energy conversion elements respectively provided on surfaces orthogonal to the extending direction of the rectangular rod-shaped elastic body, A fine object manipulating apparatus comprising: a rod-shaped elastic body joined to the other end of the rod-shaped elastic body; and a sandwiching portion provided so as to face a tip end portion of the rod-shaped elastic body.
【請求項2】角棒状弾性体と、この角棒状弾性体の伸長
方向に対し直交する面にそれぞれ設けられた第1,第2
の電気−機械エネルギー変換素子と、上記角棒状弾性体
の一端に接合された棒状弾性体とからなる振動体を複数
有しており、 これら複数の振動体が、角棒状弾性体の他端でそれぞれ
結合されていることを特徴とする微細物体操作装置。
2. A prismatic elastic body, and first and second prisms respectively provided on surfaces orthogonal to the extending direction of the prismatic elastic body.
The electro-mechanical energy conversion element of, and a plurality of vibrating body composed of a rod-shaped elastic body joined to one end of the square rod-shaped elastic body, the plurality of vibrating body at the other end of the square bar-shaped elastic body. A fine object manipulating device characterized in that they are respectively coupled.
【請求項3】一端が固定された角棒状弾性体と、この角
棒状弾性体の伸長方向に対し直交する面にそれぞれ設け
られた第1,第2の電気−機械エネルギー変換素子と、
上記角棒状弾性体の他端に接合された棒状弾性体とから
なる振動体を複数個有しており、 これら複数の振動体が、それぞれの角棒状弾性体の伸長
方向に直交して設けられていることを特徴とする微細物
体操作装置。
3. A rectangular rod-shaped elastic body having one end fixed, and first and second electric-mechanical energy conversion elements provided on surfaces orthogonal to the extension direction of the rectangular rod-shaped elastic body, respectively.
A plurality of vibrating bodies including a bar-shaped elastic body joined to the other end of the rectangular bar-shaped elastic body are provided, and the plurality of vibrating bodies are provided orthogonally to the extension direction of the respective rectangular bar-shaped elastic bodies. A fine object manipulating device characterized in that
JP28027685A 1985-12-13 1985-12-13 Fine object handling device Expired - Lifetime JPH0659632B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28027685A JPH0659632B2 (en) 1985-12-13 1985-12-13 Fine object handling device

Applications Claiming Priority (1)

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JP28027685A JPH0659632B2 (en) 1985-12-13 1985-12-13 Fine object handling device

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Publication Number Publication Date
JPS62140770A JPS62140770A (en) 1987-06-24
JPH0659632B2 true JPH0659632B2 (en) 1994-08-10

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ID=17622731

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JP28027685A Expired - Lifetime JPH0659632B2 (en) 1985-12-13 1985-12-13 Fine object handling device

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JP (1) JPH0659632B2 (en)

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JPS62140770A (en) 1987-06-24

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