JPH0661666B2 - 摺動体の静圧支持装置 - Google Patents
摺動体の静圧支持装置Info
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- JPH0661666B2 JPH0661666B2 JP62207292A JP20729287A JPH0661666B2 JP H0661666 B2 JPH0661666 B2 JP H0661666B2 JP 62207292 A JP62207292 A JP 62207292A JP 20729287 A JP20729287 A JP 20729287A JP H0661666 B2 JPH0661666 B2 JP H0661666B2
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- sliding
- sliding body
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、静圧スライドテーブル等に使用するのに適し
た摺動体の静圧支持装置に関する。
た摺動体の静圧支持装置に関する。
この種の静圧支持装置においては、固定側となるガイド
部材の案内面に摺動体を摺動自在に係合し、摺動体側の
摺動面に静圧ポケットを形成し、この静圧ポケットに加
圧潤滑油を導入して摺動体を静圧支持している。しかし
て静圧ポケットへの潤滑油の導入は、例えば特開昭６１
−２０９８３４号公報にも開示されている如く、摺動体
に連結した可撓性の給油ホースを介して行い、また摺動
体内に形成した給油路には案内面と摺動面の間の隙間の
減少に応じて静圧ポケット内の静圧を高めるために固定
オリフィスを設けている。
部材の案内面に摺動体を摺動自在に係合し、摺動体側の
摺動面に静圧ポケットを形成し、この静圧ポケットに加
圧潤滑油を導入して摺動体を静圧支持している。しかし
て静圧ポケットへの潤滑油の導入は、例えば特開昭６１
−２０９８３４号公報にも開示されている如く、摺動体
に連結した可撓性の給油ホースを介して行い、また摺動
体内に形成した給油路には案内面と摺動面の間の隙間の
減少に応じて静圧ポケット内の静圧を高めるために固定
オリフィスを設けている。
このような従来技術においては、摺動体は給油ホースの
変形による複雑な外力を受け、この力は移動等により変
化するので、摺動体の案内精度が低下するという問題が
ある。また案内面と摺動面の間の隙間が所定値以下にな
ると静圧ポケット内の静圧が高くなりすぎ、このためガ
イド部材または摺動体が局部的に変形して、やはり案内
精度が低下するという問題がある。
変形による複雑な外力を受け、この力は移動等により変
化するので、摺動体の案内精度が低下するという問題が
ある。また案内面と摺動面の間の隙間が所定値以下にな
ると静圧ポケット内の静圧が高くなりすぎ、このためガ
イド部材または摺動体が局部的に変形して、やはり案内
精度が低下するという問題がある。
本発明はこのような各問題を同時に解決して、摺動体の
静圧支持装置の案内精度を大きく高めるとともに軸受の
剛性を向上させ、しかも構造を簡略化して製造コストを
低下させようとするものである。
静圧支持装置の案内精度を大きく高めるとともに軸受の
剛性を向上させ、しかも構造を簡略化して製造コストを
低下させようとするものである。
このために、請求項１の発明による摺動体の静圧支持装
置は、添付図面に例示する如く、ガイド部材１０の案内
面１１に摺動体２０の摺動面２１を摺動自在に係合さ
せ、案内面１１と摺動面２１間に加圧潤滑油の静圧を発
生させることによって摺動体２０を摺動可能に支持した
摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面１１に開口
する第１給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、
この第１給油路３３と連通する位置で前記摺動面２１に
細長い給油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成
し、前記摺動面２１に静圧を発生させる溝深さを有する
静圧ポケット２２Ａを摺動体２０の移動方向に独立して
複数設けるとともに前記給油溝３１の両側に２列設け、
各静圧ポケット２２Ａに給油溝３１からの加圧潤滑油を
独立して供給ししかも表面絞りを発生させる第２給油路
３２Ａを前記摺動面２１に前記給油溝３１と前記静圧ポ
ケット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成したことを特
徴とするものである。
置は、添付図面に例示する如く、ガイド部材１０の案内
面１１に摺動体２０の摺動面２１を摺動自在に係合さ
せ、案内面１１と摺動面２１間に加圧潤滑油の静圧を発
生させることによって摺動体２０を摺動可能に支持した
摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面１１に開口
する第１給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、
この第１給油路３３と連通する位置で前記摺動面２１に
細長い給油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成
し、前記摺動面２１に静圧を発生させる溝深さを有する
静圧ポケット２２Ａを摺動体２０の移動方向に独立して
複数設けるとともに前記給油溝３１の両側に２列設け、
各静圧ポケット２２Ａに給油溝３１からの加圧潤滑油を
独立して供給ししかも表面絞りを発生させる第２給油路
３２Ａを前記摺動面２１に前記給油溝３１と前記静圧ポ
ケット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成したことを特
徴とするものである。
また、請求項２の発明による摺動体の静圧支持装置は、
第６図〜第８図に例示する如く、ガイド部材１０の複数
の案内面１１に摺動体２０の複数の摺動面２１をそれぞ
れ摺動自在に嵌合させ、それぞれの案内面１１と摺動面
２１間に加圧潤滑油の静圧を発生させることによって摺
動体２０を摺動可能に支持した摺動体の静圧支持装置で
あって、前記複数の案内面１１の内１つに開口する第１
給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、この第１
給油路３３と対応する位置で前記摺動面２１に細長い給
油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成し、前記
給油溝３１を形成した前記摺動面２１に静圧を発生させ
る溝深さを有する第１静圧ポケット２２Ａを摺動体２０
の移動方向に独立して複数設けるとともに前記給油溝３
１の両側に２列設け、各第１静圧ポケット２２Ａに給油
溝３１からの加圧潤滑油を独立して供給ししかも表面絞
りを発生させる第２給油路３２Ａを前記給油溝３１を形
成した前記摺動面２１に前記給油溝３１と前記静圧ポケ
ット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成し、給油溝３１
を形成した摺動面２１と異なる他の摺動面２１に静圧を
発生させる溝深さを有する第２静圧ポケット２２を摺動
体２０の移動方向に独立して複数設け、各第２静圧ポケ
ット２２に一端がそれぞれ固定絞りを介して開口し、他
端が前記給油溝３１に開口する第３給油路３２を前記摺
動体２０内に形成したことを特徴とするものである。
第６図〜第８図に例示する如く、ガイド部材１０の複数
の案内面１１に摺動体２０の複数の摺動面２１をそれぞ
れ摺動自在に嵌合させ、それぞれの案内面１１と摺動面
２１間に加圧潤滑油の静圧を発生させることによって摺
動体２０を摺動可能に支持した摺動体の静圧支持装置で
あって、前記複数の案内面１１の内１つに開口する第１
給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、この第１
給油路３３と対応する位置で前記摺動面２１に細長い給
油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成し、前記
給油溝３１を形成した前記摺動面２１に静圧を発生させ
る溝深さを有する第１静圧ポケット２２Ａを摺動体２０
の移動方向に独立して複数設けるとともに前記給油溝３
１の両側に２列設け、各第１静圧ポケット２２Ａに給油
溝３１からの加圧潤滑油を独立して供給ししかも表面絞
りを発生させる第２給油路３２Ａを前記給油溝３１を形
成した前記摺動面２１に前記給油溝３１と前記静圧ポケ
ット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成し、給油溝３１
を形成した摺動面２１と異なる他の摺動面２１に静圧を
発生させる溝深さを有する第２静圧ポケット２２を摺動
体２０の移動方向に独立して複数設け、各第２静圧ポケ
ット２２に一端がそれぞれ固定絞りを介して開口し、他
端が前記給油溝３１に開口する第３給油路３２を前記摺
動体２０内に形成したことを特徴とするものである。
また、請求項３の発明による摺動体の静圧支持装置は、
第３図〜第５図に例示する如く、ガイド部材１０の案内
面１１に摺動体２０の摺動面２１を摺動自在に係合さ
せ、案内面１１と摺動面２１間に加圧潤滑油の静圧を発
生させることによって摺動体２０を摺動可能に支持した
摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面１１に開口
する第１給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、
この第１給油路３３と連通する位置で前記摺動面２１に
細長い給油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成
し、前記摺動面２１に静圧を発生させる溝深さを有する
第１静圧ポケット２２Ａを摺動体２０の移動方向に独立
して複数設けるとともに前記給油溝３１の両側に２列設
け、各第１静圧ポケット２２Ａに給油溝３１からの加圧
潤滑油を独立して供給ししかも表面絞りを発生させる第
２給油路３２Ａを前記摺動面２１に前記給油溝３１と前
記第１静圧ポケット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成
し、前記摺動面２１に前記給油溝３１に対し摺動体２０
の移動方向前後に静圧を発生させる溝深さを有する第２
静圧ポケット２２を形成し、各第２静圧ポケット２２に
一端が固定絞りを介してそれぞれ開口し、他端が前記給
油溝３１に開口する第３給油路３２を前記摺動体２０内
に形成したことを特徴とするものである。
第３図〜第５図に例示する如く、ガイド部材１０の案内
面１１に摺動体２０の摺動面２１を摺動自在に係合さ
せ、案内面１１と摺動面２１間に加圧潤滑油の静圧を発
生させることによって摺動体２０を摺動可能に支持した
摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面１１に開口
する第１給油路３３を前記ガイド部材１０内に形成し、
この第１給油路３３と連通する位置で前記摺動面２１に
細長い給油溝３１を摺動体２０の移動方向に沿って形成
し、前記摺動面２１に静圧を発生させる溝深さを有する
第１静圧ポケット２２Ａを摺動体２０の移動方向に独立
して複数設けるとともに前記給油溝３１の両側に２列設
け、各第１静圧ポケット２２Ａに給油溝３１からの加圧
潤滑油を独立して供給ししかも表面絞りを発生させる第
２給油路３２Ａを前記摺動面２１に前記給油溝３１と前
記第１静圧ポケット２２Ａよりも深さの浅い溝状に形成
し、前記摺動面２１に前記給油溝３１に対し摺動体２０
の移動方向前後に静圧を発生させる溝深さを有する第２
静圧ポケット２２を形成し、各第２静圧ポケット２２に
一端が固定絞りを介してそれぞれ開口し、他端が前記給
油溝３１に開口する第３給油路３２を前記摺動体２０内
に形成したことを特徴とするものである。
第１給油路３３に供給された外部からの加圧潤滑油は、
摺動体２０の移動に拘らず給油溝３１に導入され、次い
で第２給油路３２Ａを経て各静圧ポケット２２Ａ内に導
入されて、摺動体２０をガイド部材１０に対し摺動自在
に静圧支持する。静圧ポケット２２Ａよりも深さの浅い
溝状に摺動面２１に形成された第２給油路３２Ａは表面
絞りを発生させるので、静圧ポケット２２Ａ内の静圧は
給油溝３１内の静圧より小さくなる。案内面１１と摺動
面２１の間の隙間が減少すれば静圧ポケット２２Ａから
外部への潤滑油排出量が減少して静圧ポケット２２Ａ内
の静圧は高くなろうとするが、同時に摺動面２１に溝状
に形成されて表面絞りを発生させる第２給油路３２Ａも
も実質的な高さが減少して抵抗が増大するので給油溝３
１から第２給油路３２Ａ内への潤滑油流入量も減少し、
従って静圧ポケット２２Ａ内の静圧増大の割合は、固定
絞りの場合に比して緩やかになる。請求項２の発明によ
る摺動体の静圧支持装置では、給油溝３１内の加圧潤滑
油は、前述のように各第１静圧ポケット２２Ａに導入さ
れるのに加えて、給油溝３１を形成した摺動面２１と異
なる他の摺動面２１に設けた各第２静圧ポケット２２に
も、第３給油路３２及び固定絞りを介して導入され、上
述した他の摺動面２１においても摺動体２０をガイド部
材１０に対し静圧支持する。
摺動体２０の移動に拘らず給油溝３１に導入され、次い
で第２給油路３２Ａを経て各静圧ポケット２２Ａ内に導
入されて、摺動体２０をガイド部材１０に対し摺動自在
に静圧支持する。静圧ポケット２２Ａよりも深さの浅い
溝状に摺動面２１に形成された第２給油路３２Ａは表面
絞りを発生させるので、静圧ポケット２２Ａ内の静圧は
給油溝３１内の静圧より小さくなる。案内面１１と摺動
面２１の間の隙間が減少すれば静圧ポケット２２Ａから
外部への潤滑油排出量が減少して静圧ポケット２２Ａ内
の静圧は高くなろうとするが、同時に摺動面２１に溝状
に形成されて表面絞りを発生させる第２給油路３２Ａも
も実質的な高さが減少して抵抗が増大するので給油溝３
１から第２給油路３２Ａ内への潤滑油流入量も減少し、
従って静圧ポケット２２Ａ内の静圧増大の割合は、固定
絞りの場合に比して緩やかになる。請求項２の発明によ
る摺動体の静圧支持装置では、給油溝３１内の加圧潤滑
油は、前述のように各第１静圧ポケット２２Ａに導入さ
れるのに加えて、給油溝３１を形成した摺動面２１と異
なる他の摺動面２１に設けた各第２静圧ポケット２２に
も、第３給油路３２及び固定絞りを介して導入され、上
述した他の摺動面２１においても摺動体２０をガイド部
材１０に対し静圧支持する。
請求項３の発明による摺動体の静圧支持装置では、給油
溝３１内の加圧潤滑油は、前述のように各第１静圧ポケ
ット２２Ａに導入されるのに加えて、給油溝３１を形成
した摺動面２１にその移動方向前後に形成した各第２静
圧ポケット２２にも、第３給油路３２及び固定絞りを介
して導入され、摺動面２１の前後部においても摺動体２
０をガイド部材１０に対し静圧支持する。
溝３１内の加圧潤滑油は、前述のように各第１静圧ポケ
ット２２Ａに導入されるのに加えて、給油溝３１を形成
した摺動面２１にその移動方向前後に形成した各第２静
圧ポケット２２にも、第３給油路３２及び固定絞りを介
して導入され、摺動面２１の前後部においても摺動体２
０をガイド部材１０に対し静圧支持する。
上述の如く、請求項１の発明によれば、加圧潤滑油を静
圧ポケットに導入するための部材を摺動体に連結するこ
となく摺動体をガイド部材に対し静圧支持することがで
きるので、滑らかに移動するのを妨げるような外力が摺
動体に加わることはなく、また案内面と摺動面の間の隙
間を減少に伴う静圧ポケット内の静圧増大の割合は緩や
かでありこの静圧が過度に上昇することによるガイド部
材または摺動体の局部的変形もないので、摺動体の静圧
支持装置の案内精度を大きく高めることができる。しか
も、摺動体に形成される油路手段である給油溝と第２給
油路は摺動面に溝状に形成することができ、複雑な孔あ
けを必要としないので構造簡単となり、製造コストを低
下させることができる。静圧ポケットが摺動体の移動方
向に沿って平行に２列設けられ、摺動体の移動方向に複
数設けられているので、摺動面と直交方向及び摺動体の
揺動方向における軸受の剛性が高められる。
圧ポケットに導入するための部材を摺動体に連結するこ
となく摺動体をガイド部材に対し静圧支持することがで
きるので、滑らかに移動するのを妨げるような外力が摺
動体に加わることはなく、また案内面と摺動面の間の隙
間を減少に伴う静圧ポケット内の静圧増大の割合は緩や
かでありこの静圧が過度に上昇することによるガイド部
材または摺動体の局部的変形もないので、摺動体の静圧
支持装置の案内精度を大きく高めることができる。しか
も、摺動体に形成される油路手段である給油溝と第２給
油路は摺動面に溝状に形成することができ、複雑な孔あ
けを必要としないので構造簡単となり、製造コストを低
下させることができる。静圧ポケットが摺動体の移動方
向に沿って平行に２列設けられ、摺動体の移動方向に複
数設けられているので、摺動面と直交方向及び摺動体の
揺動方向における軸受の剛性が高められる。
請求項２の発明によれば、上記各効果に加えて、給油溝
を形成した摺動面と異なる他の摺動面においてもガイド
部材に対し摺動体を摺動自在に静圧支持することができ
る。
を形成した摺動面と異なる他の摺動面においてもガイド
部材に対し摺動体を摺動自在に静圧支持することができ
る。
また請求項３の発明によれば、上記請求項１の各効果に
加えて、給油溝を形成した摺動面の軸受の剛性、特に摺
動体の揺動方向の軸受剛性を一層高めることができる。
加えて、給油溝を形成した摺動面の軸受の剛性、特に摺
動体の揺動方向の軸受剛性を一層高めることができる。
以下に添付図面に示す実施例により本発明の説明を行
う。
う。
第１図及び第２図に示す第１実施例において、固定側と
なるガイド部材１０は平坦な案内面１１を有し、可動側
となる摺動体２０の摺動面２１は案内面１１と摺動自在
に係合している。案内面１１と摺動面２１は、例えば第
６図〜第８図に示すスライド支持装置（後述）の如く複
数が組み合わされて、摺動体２０は一方向（第１図及び
第２図においては左右方向）にのみ移動自在にガイド部
材１０に案内支持されている。
なるガイド部材１０は平坦な案内面１１を有し、可動側
となる摺動体２０の摺動面２１は案内面１１と摺動自在
に係合している。案内面１１と摺動面２１は、例えば第
６図〜第８図に示すスライド支持装置（後述）の如く複
数が組み合わされて、摺動体２０は一方向（第１図及び
第２図においては左右方向）にのみ移動自在にガイド部
材１０に案内支持されている。
主として第１図に示す如く、摺動面２１には、中央に沿
って給油溝３１が配置され、各６個の静圧ポケット２２
Ａが給油溝３１の両側に沿って配置され、各静圧ポケッ
ト２２Ａを給油溝３１に連通するとともに表面絞りを発
生させる第２給油路３２Ａが摺動面２１に形成されてい
る。この第２給油路３２Ａは静圧ポケット２２Ａよりも
深さの浅い溝状に形成され、絞り機能をも備えるように
比較的小断面積に形成されている。ガイド部材１０内に
は第１給油路３３が形成され、この第１給油路３３の一
端は摺動体２０の移動に拘らず常に給油溝３１と連通す
る位置において開口している。この第１給油路３３、給
油溝３１及び第２給油路３２Ａにより、静圧ポケット２
２Ａに加圧潤滑油を導入する油路手段３０が構成され
る。
って給油溝３１が配置され、各６個の静圧ポケット２２
Ａが給油溝３１の両側に沿って配置され、各静圧ポケッ
ト２２Ａを給油溝３１に連通するとともに表面絞りを発
生させる第２給油路３２Ａが摺動面２１に形成されてい
る。この第２給油路３２Ａは静圧ポケット２２Ａよりも
深さの浅い溝状に形成され、絞り機能をも備えるように
比較的小断面積に形成されている。ガイド部材１０内に
は第１給油路３３が形成され、この第１給油路３３の一
端は摺動体２０の移動に拘らず常に給油溝３１と連通す
る位置において開口している。この第１給油路３３、給
油溝３１及び第２給油路３２Ａにより、静圧ポケット２
２Ａに加圧潤滑油を導入する油路手段３０が構成され
る。
図略の潤滑油ポンプ等から第１給油路３３に供給された
潤滑油は、摺動体２０が移動ストロークのどの位置にあ
っても給油溝３１に導入され、次いで第２給油路３２Ａ
を経て各静圧ポケット２２Ａ内に導入されて摺動体２０
をガイド部材１０に対し摺動自在に静圧支持し、各静圧
ポケット２２Ａ周囲の摺動面２１と案内面１１との間の
隙間を通って排出される。
潤滑油は、摺動体２０が移動ストロークのどの位置にあ
っても給油溝３１に導入され、次いで第２給油路３２Ａ
を経て各静圧ポケット２２Ａ内に導入されて摺動体２０
をガイド部材１０に対し摺動自在に静圧支持し、各静圧
ポケット２２Ａ周囲の摺動面２１と案内面１１との間の
隙間を通って排出される。
第２給油路３２Ａは静圧ポケット２２Ａよりも深さの浅
い溝状に形成され、絞り機能をも備えるように比較的小
断面積に形成されているので、静圧ポケット２２Ａ内の
静圧は給油溝３１内の静圧より小さくなる。案内面１１
と摺動面２１の間の隙間が減少すれば静圧ポケット２２
Ａから外部への潤滑油排出量が減少して静圧ポケット２
２Ａ内の静圧は高くなろうとするが、同時に摺動面２１
に溝状に形成された第２給油路３２Ａも実質的な高さが
減少して抵抗が増大するので給油溝３１から静圧ポケッ
ト２２Ａ内への潤滑油流入量も減少する。従って案内面
１１と摺動面２１の間の隙間の減少に対する静圧ポケッ
ト２２Ａ内の静圧増大の割合は、第２給油路に固定絞り
を設けた場合に比して緩やかになる。静圧ポケット２２
Ａが摺動体２０の移動方向に複数設けられているので、
摺動体２０の移動方向と直交しかつ摺動面２１と平行な
軸線回りの軸受の剛性が高められる。また静圧ポケット
２２Ａが摺動体２０の移動方向に沿って平行に２列設け
られているので、摺動体２０の移動方向と平行な軸線回
りの軸受の剛性が高められる。
い溝状に形成され、絞り機能をも備えるように比較的小
断面積に形成されているので、静圧ポケット２２Ａ内の
静圧は給油溝３１内の静圧より小さくなる。案内面１１
と摺動面２１の間の隙間が減少すれば静圧ポケット２２
Ａから外部への潤滑油排出量が減少して静圧ポケット２
２Ａ内の静圧は高くなろうとするが、同時に摺動面２１
に溝状に形成された第２給油路３２Ａも実質的な高さが
減少して抵抗が増大するので給油溝３１から静圧ポケッ
ト２２Ａ内への潤滑油流入量も減少する。従って案内面
１１と摺動面２１の間の隙間の減少に対する静圧ポケッ
ト２２Ａ内の静圧増大の割合は、第２給油路に固定絞り
を設けた場合に比して緩やかになる。静圧ポケット２２
Ａが摺動体２０の移動方向に複数設けられているので、
摺動体２０の移動方向と直交しかつ摺動面２１と平行な
軸線回りの軸受の剛性が高められる。また静圧ポケット
２２Ａが摺動体２０の移動方向に沿って平行に２列設け
られているので、摺動体２０の移動方向と平行な軸線回
りの軸受の剛性が高められる。
第６図〜第８図は、上述の第１実施例を別の形式の静圧
支持装置と組み合わせて実施した静圧スライド装置を示
す。主として第６図に示す如く、摺動体２０両側の上下
面及び外側面にはそれぞれ摺動面２１が形成され、ガイ
ド部材１０には各摺動面２１と多少の隙間をおいて対向
して摺動体２０を案内支持する６つの案内面１１が、コ
字状に対向して配置されている。しかして、摺動体２０
両側の摺動面２１の中央に沿って給油溝３１が形成され
ると共にその上下両側には第１実施例と同様の静圧ポケ
ット２２Ａが形成され、また両側部上下の各摺動面２１
にも第２静圧ポケット２２が形成され、外部の供給源よ
り第１給油路３３に供給された加圧潤滑油は給油溝３１
に導入され、次いで第２給油路３２Ａを介して上下両側
の静圧ポケット２２Ａに導入されて左右方向の静圧支持
を行い、また摺動体２０内部に形成されて固定オリフィ
スを備えた第３給油路３２を介して上下の静圧ポケット
２２に導入されて上下方向の静圧支持を行う。しかし
て、第６図において左右方向に荷重が加われば、荷重方
向の両面１１，２１間の隙間が多少減少すると共にその
部分の静圧ポケット２２Ａ内の静圧が上昇してその方向
の荷重を支持し、また上下方向に荷重が加われば、同様
に静圧ポケット２２内の静圧が上昇してその方向の荷重
を支持する。
支持装置と組み合わせて実施した静圧スライド装置を示
す。主として第６図に示す如く、摺動体２０両側の上下
面及び外側面にはそれぞれ摺動面２１が形成され、ガイ
ド部材１０には各摺動面２１と多少の隙間をおいて対向
して摺動体２０を案内支持する６つの案内面１１が、コ
字状に対向して配置されている。しかして、摺動体２０
両側の摺動面２１の中央に沿って給油溝３１が形成され
ると共にその上下両側には第１実施例と同様の静圧ポケ
ット２２Ａが形成され、また両側部上下の各摺動面２１
にも第２静圧ポケット２２が形成され、外部の供給源よ
り第１給油路３３に供給された加圧潤滑油は給油溝３１
に導入され、次いで第２給油路３２Ａを介して上下両側
の静圧ポケット２２Ａに導入されて左右方向の静圧支持
を行い、また摺動体２０内部に形成されて固定オリフィ
スを備えた第３給油路３２を介して上下の静圧ポケット
２２に導入されて上下方向の静圧支持を行う。しかし
て、第６図において左右方向に荷重が加われば、荷重方
向の両面１１，２１間の隙間が多少減少すると共にその
部分の静圧ポケット２２Ａ内の静圧が上昇してその方向
の荷重を支持し、また上下方向に荷重が加われば、同様
に静圧ポケット２２内の静圧が上昇してその方向の荷重
を支持する。
第３図〜第５図に示す第２実施例は、摺動面２１の移動
方向中間部に第１実施例と同様の静圧ポケット２２Ａを
形成して中央の給油溝３１から第２給油路３２Ａを介し
て潤滑油を導入し、また摺動面２１の移動方向両端部に
第２静圧ポケット２２を形成して、摺動体２０内部に形
成され固定オリフィス３５を備えた第１給油路３２を介
して潤滑油を導入したものである。その他の構成及び作
用は第１実施例と同様であるので対応する部分に同一符
号を付して示し、詳細な説明は省略する。なお、この第
２実施例によれば、第２静圧ポケット２２を設けた分だ
け、摺動体２０の軸受の剛性、特に摺動体２０の揺動方
向の軸受剛性は増大する。
方向中間部に第１実施例と同様の静圧ポケット２２Ａを
形成して中央の給油溝３１から第２給油路３２Ａを介し
て潤滑油を導入し、また摺動面２１の移動方向両端部に
第２静圧ポケット２２を形成して、摺動体２０内部に形
成され固定オリフィス３５を備えた第１給油路３２を介
して潤滑油を導入したものである。その他の構成及び作
用は第１実施例と同様であるので対応する部分に同一符
号を付して示し、詳細な説明は省略する。なお、この第
２実施例によれば、第２静圧ポケット２２を設けた分だ
け、摺動体２０の軸受の剛性、特に摺動体２０の揺動方
向の軸受剛性は増大する。
上記各実施例によれば、摺動体２０をガイド部材１０に
静圧支持することができるのみならず、加圧潤滑油を静
圧ポケット２２Ａに導入するために可撓性の給油ホース
等の部材を摺動体２０に連結する必要がないので、滑ら
かに移動するのを妨げるような外力が摺動体２０に加わ
ることがなくなり、また案内面１１と摺動面２１の間の
隙間の減少に伴う静圧ポケット２２Ａ内の静圧増大の割
合は緩やかでありこの静圧が過度に上昇することによる
ガイド部材１０または摺動体２０の局部的変形もなくな
るので、摺動体２０の案内精度を高めることができ、し
かも静圧ポケット２２Ａにより摺動面２１と直交方向及
び摺動体２０の揺動方向における軸受の剛性を高めるこ
とができる。
静圧支持することができるのみならず、加圧潤滑油を静
圧ポケット２２Ａに導入するために可撓性の給油ホース
等の部材を摺動体２０に連結する必要がないので、滑ら
かに移動するのを妨げるような外力が摺動体２０に加わ
ることがなくなり、また案内面１１と摺動面２１の間の
隙間の減少に伴う静圧ポケット２２Ａ内の静圧増大の割
合は緩やかでありこの静圧が過度に上昇することによる
ガイド部材１０または摺動体２０の局部的変形もなくな
るので、摺動体２０の案内精度を高めることができ、し
かも静圧ポケット２２Ａにより摺動面２１と直交方向及
び摺動体２０の揺動方向における軸受の剛性を高めるこ
とができる。
更に、摺動体２０に形成される油路手段３０である給油
溝３１と第２給油路３２Ａは摺動面２１に溝状に形成す
ることができ、複雑な孔あけを必要としないので構造簡
単となり、製造コストを低下させることができる。
溝３１と第２給油路３２Ａは摺動面２１に溝状に形成す
ることができ、複雑な孔あけを必要としないので構造簡
単となり、製造コストを低下させることができる。
第１図及び第２図は第１実施例を示し、第１図は摺動体
の下面図、第２図はガイド部材を含む第１図のII−II断
面図、第３図〜第５図は第２実施例を示し、第３図は給
油溝に沿った縦断面図、第４図は摺動体の下面図、第５
図は第３図のＶ−Ｖ断面図、第６図〜第８図は静圧スラ
イドテーブルに第１実施例を別形式の静圧支持装置と組
み合わせて適用した例を示し、第６図は全体の横断面
図、第７図は第６図のVII−VII断面図、第８図は第６図
のVIII−VIII断面図である。 符号の説明 １０……ガイド部材、１１……案内面、２０……摺動
体、２１……摺動面、２２……第２静圧ポケット、２２
Ａ……静圧ポケット（第１静圧ポケット）、３０……油
路手段、３１……給油溝、３２……第３給油路、３２Ａ
……第２給油路、３３……第１給油路。
の下面図、第２図はガイド部材を含む第１図のII−II断
面図、第３図〜第５図は第２実施例を示し、第３図は給
油溝に沿った縦断面図、第４図は摺動体の下面図、第５
図は第３図のＶ−Ｖ断面図、第６図〜第８図は静圧スラ
イドテーブルに第１実施例を別形式の静圧支持装置と組
み合わせて適用した例を示し、第６図は全体の横断面
図、第７図は第６図のVII−VII断面図、第８図は第６図
のVIII−VIII断面図である。 符号の説明 １０……ガイド部材、１１……案内面、２０……摺動
体、２１……摺動面、２２……第２静圧ポケット、２２
Ａ……静圧ポケット（第１静圧ポケット）、３０……油
路手段、３１……給油溝、３２……第３給油路、３２Ａ
……第２給油路、３３……第１給油路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−13119（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−85332（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−93623（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】ガイド部材の案内面に摺動体の摺動面を摺
動自在に係合させ、案内面と摺動面間に加圧潤滑油の静
圧を発生させることによって摺動体を摺動可能に支持し
た摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面に開口す
る第１給油路を前記ガイド部材内に形成し、この第１給
油路と連通する位置で前記摺動面に細長い給油溝を摺動
体の移動方向に沿って形成し、前記摺動面に静圧を発生
させる溝深さを有する静圧ポケットを摺動体の移動方向
に独立して複数設けるとともに前記給油溝の両側に２列
設け、各静圧ポケットに給油溝からの加圧潤滑油を独立
して供給ししかも表面絞りを発生させる第２給油路を前
記摺動面に前記給油溝と前記静圧ポケットよりも深さの
浅い溝状に形成したことを特徴とする摺動体の静圧支持
装置。 - 【請求項２】ガイド部材の複数の案内面に摺動体の複数
の摺動面をそれぞれ摺動自在に嵌合させ、それぞれの案
内面と摺動面間に加圧潤滑油の静圧を発生させることに
よって摺動体を摺動可能に支持した摺動体の静圧支持装
置であって、前記複数の案内面の内１つに開口する第１
給油路を前記ガイド部材内に形成し、この第１給油路と
対応する位置で前記摺動面に細長い給油溝を摺動体の移
動方向に沿って形成し、前記給油溝を形成した前記摺動
面に静圧を発生させる溝深さを有する第１静圧ポケット
を摺動体の移動方向に独立して複数設けるとともに前記
給油溝の両側に２列設け、各第１静圧ポケットに給油溝
からの加圧潤滑油を独立して供給ししかも表面絞りを発
生させる第２給油路を前記給油溝を形成した前記摺動面
に前記給油溝と前記静圧ポケットよりも深さの浅い溝状
に形成し、給油溝を形成した摺動面と異なる他の摺動面
に静圧を発生させる溝深さを有する第２静圧ポケットを
摺動体の移動方向に独立して複数設け、各第２静圧ポケ
ットに一端がそれぞれ固定絞りを介して開口し、他端が
前記給油溝に開口する第３給油路を前記摺動体内に形成
したことを特徴とする摺動体の静圧支持装置。 - 【請求項３】ガイド部材の案内面に摺動体の摺動面を摺
動自在に係合させ、案内面と摺動面間に加圧潤滑油の静
圧を発生させることによって摺動体を摺動可能に支持し
た摺動体の静圧支持装置であって、前記案内面に開口す
る第１給油路を前記ガイド部材内に形成し、この第１給
油路と連通する位置で前記摺動面に細長い給油溝を摺動
体の移動方向に沿って形成し、前記摺動面に静圧を発生
させる溝深さを有する第１静圧ポケットを摺動体の移動
方向に独立して複数設けるとともに前記給油溝の両側に
２列設け、各第１静圧ポケットに給油溝からの加圧潤滑
油を独立して供給ししかも表面絞りを発生させる第２給
油路を前記摺動面に前記給油溝と前記第１静圧ポケット
よりも深さの浅い溝状に形成し、前記摺動面に前記給油
溝に対し摺動体の移動方向前後に静圧を発生させる溝深
さを有する第２静圧ポケットを形成し、各第２静圧ポケ
ットに一端が固定絞りを介してそれぞれ開口し、他端が
前記給油溝に開口する第３供給路を前記摺動体内に形成
したことを特徴とする摺動体の静圧支持装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62207292A JPH0661666B2 (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 | 摺動体の静圧支持装置 |
| DE3850825T DE3850825T2 (de) | 1987-08-20 | 1988-08-19 | Hydrostatische Lagerung für Gleitschiene. |
| US07/233,748 US4865465A (en) | 1987-08-20 | 1988-08-19 | Hydrostatically supporting device for slide |
| EP88113528A EP0304090B1 (en) | 1987-08-20 | 1988-08-19 | Hydrostatically supporting device for slide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62207292A JPH0661666B2 (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 | 摺動体の静圧支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6451241A JPS6451241A (en) | 1989-02-27 |
| JPH0661666B2 true JPH0661666B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=16537378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62207292A Expired - Fee Related JPH0661666B2 (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 | 摺動体の静圧支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661666B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3811284B2 (ja) * | 1998-03-18 | 2006-08-16 | シーケーディ株式会社 | エアベアリングシリンダ、エアベアリングシリンダ用ロッド及びマニホールドシリンダ |
| JP2001248643A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Toyoda Mach Works Ltd | 静圧スライドテーブル装置 |
| WO2007077878A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Pneumatic Servo Controls Ltd. | 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置 |
| JP5286962B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2013-09-11 | 株式会社ジェイテクト | 調心輪付き転がり軸受、及びこれを用いた連続鋳造機用のロール装置 |
| JP2013130260A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Canon Inc | 液体静圧直動案内装置 |
| US10137490B2 (en) | 2013-08-28 | 2018-11-27 | Stolle Machinery Company, Llc | Outboard hydrostatic bearing assembly for can bodymaker |
| CN103899644B (zh) * | 2014-03-12 | 2016-11-23 | 哈尔滨工程大学 | 阶梯式复合节流气浮导轨 |
| JP6340933B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2018-06-13 | トヨタ自動車株式会社 | ステージ装置 |
| JP6559937B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2019-08-14 | 東芝機械株式会社 | 油静圧案内機構および工作機械 |
| EP3402617A4 (en) * | 2016-01-12 | 2019-11-13 | Stolle Machinery Company, LLC | HYDROSTATIC OUTBOARD BEARING ARRANGEMENT FOR A MACHINE FOR THE PRODUCTION OF CANNULAR BODIES |
| CN110587424A (zh) * | 2019-10-23 | 2019-12-20 | 机械科学研究总院海西（福建）分院有限公司 | 一种精度高的超精密非球面成型磨床用静压导轨 |
| CN115351595B (zh) * | 2022-10-21 | 2023-04-07 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的反馈式节流装置及机床 |
| CN115351562B (zh) * | 2022-10-21 | 2023-04-07 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的液体静压主轴组件及机床 |
| CN115351561B (zh) * | 2022-10-21 | 2023-04-07 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的液体静压导轨组件及机床 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230186Y2 (ja) * | 1985-11-19 | 1990-08-14 |
-
1987
- 1987-08-20 JP JP62207292A patent/JPH0661666B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6451241A (en) | 1989-02-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |