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JPH0667632B2 - Thermal head - Google Patents
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JPH0667632B2 - Thermal head - Google Patents

Thermal head

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Publication number
JPH0667632B2
JPH0667632B2 JP17565387A JP17565387A JPH0667632B2 JP H0667632 B2 JPH0667632 B2 JP H0667632B2 JP 17565387 A JP17565387 A JP 17565387A JP 17565387 A JP17565387 A JP 17565387A JP H0667632 B2 JPH0667632 B2 JP H0667632B2
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JP
Japan
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layer
protective layer
printing
thermal head
resistance
Prior art date
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JP17565387A
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Japanese (ja)
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JPS6418650A (en
Inventor
陽三 小林
徳人 望月
真一 水島
Original Assignee
東京電気株式会社
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、多数の発熱部を選択的に発熱させて印字を行
なうサーマルヘツドに関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal head for printing by selectively heating a large number of heating portions.

従来の技術 従来のサーマルヘツドの一例を第2図に示す。このサー
マルヘツド1は、アルミナ基板2上にガラスグレーズ層
3と発熱抵抗層4とが順次積層形成され、さらに電極層
5と保護層6とが順次積層形成されてなる。電極層5は
アルミニウム(以下、Alという)よりなる。また、保護
層6としては、次に示す構造のものが良く用いられてい
る。すなわち、 SiO2とTa2O5とを積層した薄膜 Si3N4による単層薄膜 SiCによる単層薄膜 Al2O3による単層薄膜 等の構造のものである。しかして、第2図に示すのはサ
ーマルヘツドの1ドツト分の断面形状であり、実際には
電極層5が所定のパターンにエツチングされることによ
り、このような積層構造が多数のドツト分だけ連続的に
形成されている。
2. Description of the Related Art An example of a conventional thermal head is shown in FIG. This thermal head 1 is formed by sequentially laminating a glass glaze layer 3 and a heating resistance layer 4 on an alumina substrate 2, and further laminating an electrode layer 5 and a protective layer 6 in this order. The electrode layer 5 is made of aluminum (hereinafter referred to as Al). As the protective layer 6, the structure shown below is often used. That is, it has a structure such as a single-layer thin film of SiO 2 and Ta 2 O 5 laminated single-layer thin film of Si 3 N 4 single-layer thin film of SiC single-layer thin film of Al 2 O 3 . FIG. 2 shows the cross-sectional shape of one dot of the thermal head. In practice, the electrode layer 5 is etched into a predetermined pattern, so that such a laminated structure has a large number of dots. It is formed continuously.

なお、第2図には、実際にサーマルヘツド1を使用する
場合の一例として、このサーマルヘツド1が記録紙7を
介してプラテン8に当接している状態を示す。
Note that FIG. 2 shows a state in which the thermal head 1 is in contact with the platen 8 via the recording paper 7 as an example of actually using the thermal head 1.

このような構造のものは、記録紙7として感熱紙または
熱転写紙を用い、ドツトを形成すべき部分の発熱抵抗層
4を発熱させる。発熱抵抗層4の発熱は電極層5に通電
することにより行なう。これにより、記録紙7には発熱
した発熱抵抗層4に接触する部分にドヅトが形成され
る。そこで、プラテン8を回転させることにより記録紙
7とサーマルヘツド1とを相対的に移動させ、その過程
において選択的にドツトを形成すれば、記録紙7に印字
がなされる。
In the case of such a structure, a heat sensitive paper or a thermal transfer paper is used as the recording paper 7, and the heating resistance layer 4 in the portion where the dots are to be formed is heated. The heat generation of the heating resistance layer 4 is performed by energizing the electrode layer 5. As a result, dots are formed on the recording paper 7 at the portions that come into contact with the heat generating resistance layer 4 that has generated heat. Therefore, if the recording paper 7 and the thermal head 1 are relatively moved by rotating the platen 8 and dots are selectively formed in the process, the recording paper 7 is printed.

発明が解決しようとする問題点 近年、サーマルヘツド1を用いた印字装置においては、
高密度化やカラー印字化、多重印字や階調印字の表現
等、高性能化が進んでいる。これらのいずれの印字にお
いても、印字速度を高速化する必要がある。このため、
保護層6と記録紙7との間の摩擦が増大する。同時に、
高速印字を行なう場合、1ドツトを形成するために与え
られる時間的な余裕は当然に少なくなる。したがつて、
短時間で鮮明なドツトを形成するためには、発熱抵抗層
4に与える印加電圧をより強くする必要がある。このた
め、サーマルヘツド1が高温化する。
Problems to be Solved by the Invention In recent years, in a printing apparatus using the thermal head 1,
Higher densities, color printing, multiple printing, gradation printing, etc. are being advanced. In any of these printings, it is necessary to increase the printing speed. For this reason,
Friction between the protective layer 6 and the recording paper 7 increases. at the same time,
When high-speed printing is performed, the time margin provided for forming one dot is naturally small. Therefore,
In order to form a clear dot in a short time, it is necessary to increase the applied voltage applied to the heating resistance layer 4. Therefore, the temperature of the thermal head 1 rises.

また、サーマルヘツド1により印字を行なう対象たる記
録紙7は、常に理想的なものが使用されるとは限らな
い。ユーザー側の諸般の事情により、発色感度の悪いも
のや平滑度の低いもの、厚紙に発色剤が塗布された感熱
紙等の特殊なものが用いられることもある。そこで、こ
のような特殊な記録紙7に対しても、印字むらや印字か
すれ等がない高品質な印字を行なうためには、通常の二
倍程度の押圧力をもつてサーマルヘツド1をプラテン8
に押圧させる必要がある。このため、保護層6と記録氏
7との間の摩擦が増大する。同時に、電極層5の切目部
分において保護層6にクラツクが生じ易い。
Further, the recording paper 7 to be printed by the thermal head 1 is not always ideal one. Due to various circumstances on the user side, special ones such as those having poor color development sensitivity or low smoothness, and thermal paper in which a color former is applied to thick paper may be used. Therefore, in order to perform high-quality printing on such a special recording paper 7 without print unevenness or print blurring, the thermal head 1 is pressed with a platen 8 with a pressing force about twice as high as usual.
Need to be pressed. Therefore, the friction between the protective layer 6 and the recording layer 7 increases. At the same time, cracks are likely to occur in the protective layer 6 at the cut portions of the electrode layer 5.

したがつて、保護層6として用いられるものは、高速度
印字及びプラテン8に対する強い押圧力に対応し、初期
の性能を維持できるものでなければならない。しかしな
がら、保護層6として例示した前述の〜の構造のも
のは、そのような高速度印字や特殊な記録紙に対応した
印字を行なつた場合に生ずる各種の状況に完全に対処す
ることができないという欠点を有する。以下、〜の
構造のものにつき、それらの欠点を個別的に説明する。
Therefore, the material used as the protective layer 6 must be capable of supporting high-speed printing and strong pressing force on the platen 8 and maintaining the initial performance. However, the above-mentioned structures (1) to (3) exemplified as the protective layer 6 cannot completely deal with various situations that occur when such high speed printing or printing corresponding to a special recording paper is performed. It has the drawback. The drawbacks of the structures (1) to (3) will be individually described below.

のSiO2/Ta2O5の積層薄膜は、硬度が低く、耐摩耗性
に劣るという欠点を有する。したがつて、高速度印字に
も特殊な記録紙に対応した印字にも不向きである。
The SiO 2 / Ta 2 O 5 laminated thin film has the drawbacks of low hardness and poor wear resistance. Therefore, it is not suitable for high-speed printing or printing on special recording paper.

のSi3N4単層薄膜は、電極層5の切目部分でクラツク
が生じ易いという欠点を有する。これは、電極層5とし
て通常用いられるAlは柔らかなため、硬度の高いSi3N4
による保護層6ではその内部応力が強くなるからであ
る。したがつて、プラテン8に強く当接させる必要があ
る特殊な記録紙に対応した印字に不向きである。
The Si 3 N 4 single-layer thin film has a drawback that cracks are likely to occur at the cut portion of the electrode layer 5. This is because Al, which is commonly used as the electrode layer 5 is soft, high hardness Si 3 N 4
This is because the internal stress of the protective layer 6 is increased. Therefore, it is not suitable for printing corresponding to a special recording paper which needs to be strongly brought into contact with the platen 8.

のSiCの単層薄膜は、化学的に不安定であり、記録紙
7の発色剤と反応し易く、その結果として異常摩耗を起
すという欠点を有する。このような悪癖は、サーマルヘ
ツド1が高温になればより顕著に発現する。また、耐ク
ラツク性に劣るという欠点も有する。したがつて、高速
度印字にも特殊な記録紙に対応した印字にも不向きであ
る。
The SiC single-layer thin film is chemically unstable and easily reacts with the color former on the recording paper 7, resulting in abnormal wear. Such bad habit becomes more prominent when the thermal head 1 is heated to a high temperature. It also has the drawback of being poor in crack resistance. Therefore, it is not suitable for high-speed printing or printing on special recording paper.

のAl2O3の単層薄膜は、耐湿性に劣るという欠点を有
する。しかも、サーマルヘツド1が高温になれば益々耐
湿性が悪くなる。そこで、電極層5として通常用いられ
るAlは、記録紙7に含まれる水分の蒸発やイオンにより
侵され、いわゆる電界腐食を生じ易い。このように電界
腐食が生ずると、電極層5の抵抗値が上昇して印字時に
ドツト抜けを誘発してしまう。したがつて、高速度印字
に不向きである。
The Al 2 O 3 single-layer thin film has a drawback of being inferior in moisture resistance. Moreover, the higher the temperature of the thermal head 1, the worse the moisture resistance becomes. Therefore, Al, which is usually used as the electrode layer 5, is easily corroded by evaporation of water contained in the recording paper 7 and ions, so-called electrolytic corrosion. When the electric field corrosion occurs in this way, the resistance value of the electrode layer 5 rises, which causes dot dropout during printing. Therefore, it is not suitable for high speed printing.

問題点を解決するための手段 本発明は、基板上において最上層に形成される保護層
を、Al2O3を主成分とするAl2O3とSiO2との混合物により
形成した。
Means for Solving the Problems In the present invention, the protective layer formed as the uppermost layer on the substrate is formed of a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 containing Al 2 O 3 as a main component.

作用 このような保護層は、耐摩耗性、耐クラツク性、化学安
定性及び耐湿性等に関し、いずれも所定の性能を発揮す
る。したがつて、高速度印字を行つたとしても、摩耗が
少なく、高温化による不都合も無視できる程少ない。ま
た、特殊な記録紙に対応するためにプラテンへの圧接力
を強めたとしても、摩耗が少ないのは勿論、電極層の切
目部分におけるクラツクの発生も防止することができ
る。
Action Such a protective layer exhibits a predetermined performance with respect to wear resistance, crack resistance, chemical stability, moisture resistance and the like. Therefore, even if high-speed printing is performed, the wear is small and the inconvenience caused by high temperature is negligible. Further, even if the pressure contact force to the platen is increased in order to deal with a special recording paper, it is possible to prevent the occurrence of cracks in the cut portion of the electrode layer, as well as the wear.

実施例 本発明の一実施例を第1図に基づいて説明する。本実施
例は、サーマルヘツド10における1ドツト分に対応する
膜構成を示すものである。すなわち、Al2O3よりなる基
板11が設けられ、この基板11上にはガラスグレーズ層12
が形成されている。さらに、発熱抵抗層13、電極層14及
び保護層15が順次積層形成されている。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment shows a film structure corresponding to one dot in the thermal head 10. That is, the substrate 11 made of Al 2 O 3 is provided, and the glass glaze layer 12 is provided on the substrate 11.
Are formed. Further, the heating resistance layer 13, the electrode layer 14, and the protective layer 15 are sequentially laminated.

前記発熱抵抗層13は、BaRuO3をRFスパツタリング法によ
り成膜した1000Åの薄膜である。
The heat generating resistance layer 13 is a 1000 Å thin film formed of BaRuO 3 by the RF sputtering method.

前記電極層14は、アルミニウム(以下、Alという)をDC
スパツタリング法により成膜した1μmの薄膜である。
この電極層14は、フオトエツチング等の微細加工技術に
より所定の形状に形成され、その除去部分における発熱
抵抗層13は発熱抵抗体16とされている。この発熱抵抗体
16は、サーマルヘツド10全体としてはアレイ状に多数個
配列され、1ドツト分の大きさは100μm×120μmで1m
m2当り8ドツト分形成されている。
The electrode layer 14 is made of aluminum (hereinafter referred to as Al) DC
It is a 1 μm thin film formed by the sputtering method.
The electrode layer 14 is formed into a predetermined shape by a fine processing technique such as photo-etching, and the heat generating resistor layer 13 in the removed portion serves as a heat generating resistor 16. This heating resistor
The thermal head 10 has a large number of 16 arranged in an array, and the size of one dot is 100 μm × 120 μm and 1 m.
Eight dots are formed per m 2 .

前記保護層15は、Al2O3とSiO2との混合物をRFスパツタ
リング法や電子ビーム蒸着法等により成膜した5μmの
薄膜である。その混合比は、Al2O3が65モル%、SiO2が3
5モル%である。
The protective layer 15 is a 5 μm thin film formed by forming a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 by RF sputtering or electron beam evaporation. The mixing ratio is 65 mol% for Al 2 O 3 and 3 for SiO 2.
It is 5 mol%.

このような構成において、サーマルヘツド10による印字
動作は従来の一例として説明したものと同一であり、そ
の説明は省略する。一方、本実施例における保護層15
は、耐摩耗性,耐クラツク性、化学安定性及び耐湿性に
つき、いずれの性能も所定の基準を上回る。したがつ
て、不都合なく高速度印字や特殊記録紙に対応した印字
を行うことができる。以下、実測値を基に、これを実証
する。
In such a configuration, the printing operation by the thermal head 10 is the same as that described as a conventional example, and the description thereof is omitted. On the other hand, the protective layer 15 in the present embodiment
Has a wear resistance, a crack resistance, a chemical stability, and a moisture resistance, all of which exceed predetermined standards. Therefore, high-speed printing and printing corresponding to special recording paper can be performed without inconvenience. Below, this will be verified based on the measured values.

まず、耐摩耗性を調べるために、ビツカース硬度を測定
した。比較のため、従来の技術の項でも説明した以下の
構造の保護層も同時に測定した。
First, in order to examine wear resistance, Vickers hardness was measured. For comparison, the protective layer having the following structure described in the section of the prior art was also measured at the same time.

SiO2とTa2O5とを積層した薄膜 Si3N4による単層薄膜 SiCによる単層薄膜 Al2O3による単層薄膜 なお、これらの保護層は、本実施例における保護層15と
条件を同じにするため、すべて5μmの薄膜とした。し
かして、実験の結果、表1に示すような測定値が得られ
た。表1より明らかなよう に、Al2O3とSiO2との混合物である保護層15は、他のも
のとの比較においては特に高硬度であるとはいえない
が、ビツカース硬度が500〜700km/mm2であるSiO2/Ta2
O5の積層薄膜による保護層よりも硬度に優る。ここで、
高速度印字や特殊な記録紙に対応した印字を行う場合、
ビツカース硬度が500〜700km/mm2程度では直ぐに摩耗
してしまい現実の使用に耐えられないが、ビツカース硬
度が1000〜1200km/mm2であれば一応の耐摩耗性が得ら
れる。したがつて、本実施例の保護層15でも高速度印字
等に対応した耐摩耗性は充分に確保されているといえ
る。
Thin film of SiO 2 and Ta 2 O 5 laminated Single layer thin film of Si 3 N 4 Single layer thin film of SiC Single layer thin film of Al 2 O 3 These protective layers are the same as the protective layer 15 in this example and the conditions. In order to make the same, the thin film was 5 μm in thickness. As a result of the experiment, the measured values shown in Table 1 were obtained. As is clear from Table 1 In addition, the protective layer 15 which is a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 does not have particularly high hardness in comparison with other materials, but has a Vickers hardness of 500 to 700 km / mm 2. 2 / Ta 2
It is superior in hardness to the protective layer formed by the laminated thin film of O 5 . here,
When performing high speed printing or printing corresponding to special recording paper,
When the Vickers hardness is about 500 to 700 km / mm 2 , it wears out quickly and cannot be used in actual use. However, when the Vickers hardness is 1000 to 1200 km / mm 2 , the wear resistance is tentatively obtained. Therefore, it can be said that even the protective layer 15 of the present embodiment has sufficiently secured abrasion resistance for high-speed printing and the like.

ついで、耐湿性を調べるために、プレツシヤークツカー
試験を行つた。試験対象は、前述のビツカース硬度を測
定したもの全部である。試験条件は、120℃、2気圧で4
8時間放置した。その結果、のAl2O3の単層薄膜による
保護層のみ、薬品に侵されたようなしま模様やしみが発
生し、その他のものには異常が生じなかつた。したがつ
て、Al2O3よりなる保護層のみが耐湿性に劣つているこ
とが確かめられた。
Then, in order to examine the moisture resistance, a pre-tackiness tester test was conducted. The test objects are all the ones obtained by measuring the above-mentioned Vickers hardness. The test conditions are 120 ° C and 2 atm.
Leave for 8 hours. As a result, only the protective layer formed of the Al 2 O 3 single-layer thin film generated stripes or stains that seemed to be affected by the chemical, and no abnormality occurred in the other. Therefore, it was confirmed that only the protective layer made of Al 2 O 3 had poor moisture resistance.

さらに、サーマルヘツド10を実際に印字装置に装着して
実験してみた。比較のため、上記〜の構造の保護層
を有するものも同一条件下で実験した。実験は、特殊な
記録紙に対応した高速度印字という条件下で行つた。具
体的には、図示しない記録紙として、厚紙に白色剤や発
色剤が塗布された発色感度の低い特殊紙を用いた。そこ
で、図示しないプラテンに対するサーマルヘツド10の押
圧力は、900〜1000g/cm2と通常の二倍程度にした。ま
た、印加エネルギーを50mJ/secとし、記録紙の送り速
度は75mm/secと高速度化した。以下、保護層15及び他
の四種の保護層についての実験結果を示す。
Furthermore, the thermal head 10 was actually attached to the printing device to perform an experiment. For comparison, those having the protective layers having the above structures 1 to 3 were also tested under the same conditions. The experiment was conducted under the condition of high-speed printing corresponding to a special recording paper. Specifically, as the recording paper (not shown), a special paper having a low color development sensitivity in which a white agent or a color developing agent is applied to a thick paper is used. Therefore, the pressing force of the thermal head 10 against the platen (not shown) is 900 to 1000 g / cm 2, which is about twice the normal pressure. The applied energy was set to 50 mJ / sec, and the recording paper feed speed was increased to 75 mm / sec. The experimental results for the protective layer 15 and the other four types of protective layers are shown below.

まず、のSiO2/Ta2O5の積層薄膜による保護層は、約3
km走行させた時点で表面に大きな傷が無数にできた。こ
れは、記録紙中に含まれる硬質粒子や空気中のごみ等の
異物がプラテとの圧接部に巻き込まれたためと推定され
る。その後、約18km走行させた時点で傷が発熱抵抗層12
にまで達し、印字不良となつた。したがつて、ビツカー
ス硬度の測定値とも符号し、このような保護層が耐摩耗
性に劣ることが実証された。
First, the protective layer consisting of a laminated thin film of SiO 2 / Ta 2 O 5 is about 3
There were numerous large scratches on the surface when the vehicle was driven for km. It is presumed that this is because foreign matter such as hard particles and dust in the air contained in the recording paper was caught in the pressure contact portion with the platen. After that, when running for about 18 km, the scratches were generated on the heating resistance layer 12
And the printing was defective. Therefore, it was also referred to as the measured value of Vickers hardness, and it was proved that such a protective layer was inferior in abrasion resistance.

ついで、のSi3N4の単層薄膜による保護層は、約3km走
行後に発熱抵抗体16の中央部に保護層膜の膨れが生じ、
約5km走行後には当該部分が欠落して印字不良となつ
た。電極層14の切目部分にクラツクが生じたためと思わ
れる。
Next, in the protective layer made of a single-layer thin film of Si 3 N 4 , the protective layer film swells in the central portion of the heating resistor 16 after traveling for about 3 km,
After running for about 5 km, the part was missing and printing failure occurred. It is considered that cracking occurred in the cut portion of the electrode layer 14.

ついで、はSiCの単層薄膜による保護層は、約3km走行
後にクラツクが発生し、発熱抵抗層13が傷ついて印字不
良となつた。
Next, the protective layer made of a single layer of SiC was cracked after running for about 3 km, and the heating resistance layer 13 was scratched, resulting in defective printing.

ついで、のAl2O3の単層薄膜による保護層は、約10km
走行した時点で電極層14の抵抗値が数%上昇し、さらに
16km走行した時点では電極層14の抵抗値は数十%上昇し
てドツト抜けを起した。これは、電極層14に電界腐食が
生じたためであり、プレツシヤークツカー試験の試験結
果とも符合し、このような保護層が耐湿性に劣ることが
実証された。
Next, the protective layer consisting of a single-layer thin film of Al 2 O 3 is about 10 km.
At the time of running, the resistance value of the electrode layer 14 increased by several%, and
At the time of traveling 16 km, the resistance value of the electrode layer 14 increased by several tens of percent, and the dot omission occurred. This is because the electrode layer 14 was galvanically corroded, which was also in agreement with the test results of the Prescler-Kutker test, and it was proved that such a protective layer was inferior in moisture resistance.

しかして、本実施例における保護層15に関しては、30km
走行させた後もクラツクや膜の膨れ等がなく、電極層14
の抵抗値変化も初期状態から1%程度と安定していた。
これにより、ビツカース硬度測定で確かめられたように
一応の硬度を有し、プレツシヤークツカー試験で確かめ
られたように耐湿性に問題がないことが裏付けられた。
また、耐クラツク性や化学安定性にも優れていることが
実証された。
Then, regarding the protective layer 15 in this embodiment, 30 km
After running, there is no crack or swelling of the film, and the electrode layer 14
The change in the resistance value was stable from the initial state to about 1%.
This proves that the hardness is tentative as confirmed by Vickers hardness measurement and that there is no problem in moisture resistance as confirmed by the Prescler-Kutker test.
It was also proved to be excellent in crack resistance and chemical stability.

一方、電極層14として用いたAlは、従来から一般に用い
られている安価なものであり、柔軟性が高いために保護
層15内の内部応力を高め易く、クラツク発生の一因であ
るとされていた。ところが、実験によつても、このよう
な電極層14を用いたとしても保護層15にはクラツクが生
じないことが確かめられた。
On the other hand, Al used as the electrode layer 14 is an inexpensive material that has been generally used in the past, and since it has high flexibility, it is easy to increase the internal stress in the protective layer 15, which is considered to be a cause of cracking. Was there. However, it has been confirmed by experiments that cracking does not occur in the protective layer 15 even if such an electrode layer 14 is used.

なお、保護層15におけるSiO2の混合比に関しては、60モ
ル%以上になると硬度が低下して耐摩耗性に劣り、5モ
ル%以下になると耐クラツク性や化学安定性に劣ること
が実験により確かめられた。したがつて、実施にあたつ
ては、SiO2の混合比が20モル%〜45モル%のAl2O3を主
成分とした保護層15を形成することが望ましい。
Regarding the mixing ratio of SiO 2 in the protective layer 15, if it is 60 mol% or more, the hardness decreases and the wear resistance is poor, and if it is 5 mol% or less, the crack resistance and the chemical stability are poor. I was confirmed. Therefore, in practice, it is desirable to form the protective layer 15 mainly composed of Al 2 O 3 having a mixing ratio of SiO 2 of 20 mol% to 45 mol%.

発明の効果 本発明は、基板上の積層構造のうち最上部の保護層をAl
2O3を主成分とするAl2O3とSiO2との混合物により形成し
たので、耐摩耗性、耐クラツク性、耐湿性及び化学安定
性に優れた保護層が得られ、したがつて、高速度印字や
特殊な記録紙に対応した印字が可能となり、印字の高密
度化やカラー化、多重印字や階調印字の実現に供し、記
録紙に関しては発色感度の悪いものや平滑度の低いもの
等の特殊なものに対する印字を可能にし、印字可能性の
拡大に寄与する等の効果を有する。
EFFECTS OF THE INVENTION The present invention provides that the uppermost protective layer of the laminated structure on the substrate is made of Al.
Since it is formed of a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 containing 2 O 3 as a main component, it is possible to obtain a protective layer having excellent wear resistance, crack resistance, moisture resistance and chemical stability. High-speed printing and printing compatible with special recording paper are possible, providing high density and color printing, multiple printing and gradation printing, and recording paper with poor color development sensitivity and low smoothness It has the effect of enabling printing on special objects such as objects and contributing to the expansion of printability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す1ドツト分の縦断側面
図、第2図は従来の一例を示す1ドツト分の縦断側面図
である。 11……基板、13……発熱抵抗層、14……電極層、15……
保護層
FIG. 1 is a vertical sectional side view of one dot showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a vertical sectional side view of one dot showing an example of the prior art. 11 …… Substrate, 13 …… Heating resistance layer, 14 …… Electrode layer, 15 ……
Protective layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−90050(JP,A) 特開 昭57−25976(JP,A) 特開 昭62−46656(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-57-90050 (JP, A) JP-A-57-25976 (JP, A) JP-A-62-46656 (JP, A)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】絶縁性を有する基板上に発熱抵抗層と所定
のパターンの電極層と保護層とを順次積層形成してなる
サーマルヘツドにおいて、前記保護層をAl2O3を主成分
とするAl2O3とSiO2との混合物により形成したことを特
徴とするサーマルヘツド。
1. A thermal head comprising a heating resistor layer, an electrode layer having a predetermined pattern, and a protective layer, which are sequentially laminated on an insulating substrate, wherein the protective layer contains Al 2 O 3 as a main component. A thermal head formed by a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 .
【請求項2】電極層をアルミニウムまたはアルミニウム
を主成分とした合金により形成したことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のサーマルヘツド。
2. The thermal head according to claim 1, wherein the electrode layer is formed of aluminum or an alloy containing aluminum as a main component.
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