JPH0667765B2 - 石英ガラスの製造方法および製造装置 - Google Patents
石英ガラスの製造方法および製造装置Info
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- JPH0667765B2 JPH0667765B2 JP19576485A JP19576485A JPH0667765B2 JP H0667765 B2 JPH0667765 B2 JP H0667765B2 JP 19576485 A JP19576485 A JP 19576485A JP 19576485 A JP19576485 A JP 19576485A JP H0667765 B2 JPH0667765 B2 JP H0667765B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、石英ガラスの製造方法およびその製造装置に
関するものである。
関するものである。
F、N、Ne、Ar、Xe、Kr、Nd、Yb、Euなどの元素を含む石
英ガラスの製造方法としては、従来、下記のような方法
が知られていた。
英ガラスの製造方法としては、従来、下記のような方法
が知られていた。
(1)SiCl4などのガラス形成用原料化合物を火炎加水分解
などによって作製した多孔質ガラス体を常圧（１気圧）
下で該元素を含む気体ガスに曝しながら、焼結、透明ガ
ラス化する方法（いわゆる「気相添加法」）。
などによって作製した多孔質ガラス体を常圧（１気圧）
下で該元素を含む気体ガスに曝しながら、焼結、透明ガ
ラス化する方法（いわゆる「気相添加法」）。
(2)火炎加水分解などによって作製した多孔質ガラス体
中に、該元素を含む液体を含浸させたのち、焼結、透明
ガラス化する方法（いわゆる「液浸法」）。
中に、該元素を含む液体を含浸させたのち、焼結、透明
ガラス化する方法（いわゆる「液浸法」）。
(3)該添加元素を含む原料ガスを供給して多孔質ガラス
体を形成し、焼結、透明ガラス化する方法。
体を形成し、焼結、透明ガラス化する方法。
しかしながら、上述の方法はいずれも前記元素を１気圧
または１気圧以下で加熱焼結しているため、該元素の添
加量を充分大きくできず、また蒸気圧の高い元素は添加
できないという欠点があった。たとえばフッ素を添加し
た石英ガラスを気相添加法で製造する場合、１気圧の圧
力下で多孔質ガラス体をフッ素を含む雰囲気ガスに曝
し、1500〜1600℃に加熱焼結すると、比屈折率差△ｎに
して△ｎ＝−0.7％程度のフッ素添加石英ガラスは得ら
れるが、△ｎが−１％以上の石英ガラスをえることは極
めて困難であった。
または１気圧以下で加熱焼結しているため、該元素の添
加量を充分大きくできず、また蒸気圧の高い元素は添加
できないという欠点があった。たとえばフッ素を添加し
た石英ガラスを気相添加法で製造する場合、１気圧の圧
力下で多孔質ガラス体をフッ素を含む雰囲気ガスに曝
し、1500〜1600℃に加熱焼結すると、比屈折率差△ｎに
して△ｎ＝−0.7％程度のフッ素添加石英ガラスは得ら
れるが、△ｎが−１％以上の石英ガラスをえることは極
めて困難であった。
本発明は上述の点に鑑みなされたものであり、り、F、
N、Ne、Ar、Xe、Kr、Nd、Yb、Euなどの元素を適当量含
有させることのできる石英ガラスの製造方法およびその
方法を実施するための製造装置を提供することを目的と
する。
N、Ne、Ar、Xe、Kr、Nd、Yb、Euなどの元素を適当量含
有させることのできる石英ガラスの製造方法およびその
方法を実施するための製造装置を提供することを目的と
する。
したがって、本発明による石英ガラスの製造方法は、多
孔質ガラス体を電気炉内で高温に加熱・焼結し透明ガラ
ス化する石英ガラスの製造方法において、前記焼結・透
明ガラス化は、１気圧を超える添加剤含有雰囲気ガス中
で行うことを特徴とするものである。
孔質ガラス体を電気炉内で高温に加熱・焼結し透明ガラ
ス化する石英ガラスの製造方法において、前記焼結・透
明ガラス化は、１気圧を超える添加剤含有雰囲気ガス中
で行うことを特徴とするものである。
また本発明による石英ガラスの製造装置は、電気炉内に
設けられ、かつ多孔質ガラス体をその内部に設置可能な
密閉容器と、この密閉容器を加熱するための発熱体と、
前記電気炉内と密閉容器内の圧力をほぼ等しくなるよう
に調整でき、かつ前記容器内の添加物含有雰囲気ガスを
１気圧を超えた圧力に加圧可能な圧力調整装置とを有す
ることを特徴とするものである。
設けられ、かつ多孔質ガラス体をその内部に設置可能な
密閉容器と、この密閉容器を加熱するための発熱体と、
前記電気炉内と密閉容器内の圧力をほぼ等しくなるよう
に調整でき、かつ前記容器内の添加物含有雰囲気ガスを
１気圧を超えた圧力に加圧可能な圧力調整装置とを有す
ることを特徴とするものである。
本発明による石英ガラスの製造方法によれば、多孔質ガ
ラスを高温高圧下において添加剤を含む雰囲気ガスに曝
すので、所定量の添加剤を容易に添加可能であるという
利点がある。
ラスを高温高圧下において添加剤を含む雰囲気ガスに曝
すので、所定量の添加剤を容易に添加可能であるという
利点がある。
また本発明による石英ガラスの製造装置によれば、１気
圧を超える添加剤雰囲気ガスの状態を達成でき、簡便
に、かつ良好に前記添加剤を添加した石英ガラスを製造
できるという利点がある。
圧を超える添加剤雰囲気ガスの状態を達成でき、簡便
に、かつ良好に前記添加剤を添加した石英ガラスを製造
できるという利点がある。
本発明による石英ガラスの製造方法によれば、まず、多
孔質ガラス体を用意する。
孔質ガラス体を用意する。
このような多孔質ガラス体の製造方法は、本発明におい
て限定されるものではなく、従来の多孔質ガラス体を製
造する方法を有効に用いることができる。たとえばガラ
ス形成用原料化合物を火炎加水分解あるいは単に加水分
解（ゾル・ゲル法など）して製造した多孔質石英ガラス
であることができる。
て限定されるものではなく、従来の多孔質ガラス体を製
造する方法を有効に用いることができる。たとえばガラ
ス形成用原料化合物を火炎加水分解あるいは単に加水分
解（ゾル・ゲル法など）して製造した多孔質石英ガラス
であることができる。
次ぎにこのような多孔質ガラス体を、１気圧を超える添
加剤含有雰囲気ガス中に、高温下において曝して、前記
多孔質ガラスを焼結、透明ガラス化する。
加剤含有雰囲気ガス中に、高温下において曝して、前記
多孔質ガラスを焼結、透明ガラス化する。
一般に火炎加水分解あるいは単なる加水分解になどの方
法によって合成した多孔質ガラス体を添加剤を含む雰囲
気ガス中に曝しながら、焼結透明ガラス化して該添加剤
をガラス中に混入するメカニズム（気相添加法）は、次
のようなものであると考えられている。
法によって合成した多孔質ガラス体を添加剤を含む雰囲
気ガス中に曝しながら、焼結透明ガラス化して該添加剤
をガラス中に混入するメカニズム（気相添加法）は、次
のようなものであると考えられている。
すなわち、炉内で添加剤を含む雰囲気ガス中に曝された
多孔質ガラス体は、炉内温度が上昇するにつれ、収縮
し、透明なガラス体になるが、この過程はつぎの４つの
工程に分けられる（文献、Ｓ．SUDO：他“Sintering pr
ocess of porous prefor ms made by VAD method for o
ptical fiber fabrication”Trams.IECE Japan.Vol.E6
3,No.10.p.731） (1)多孔質ガラス体の収縮、 (2)開孔状態、 (3)閉孔状態、 (4)閉孔の収縮。
多孔質ガラス体は、炉内温度が上昇するにつれ、収縮
し、透明なガラス体になるが、この過程はつぎの４つの
工程に分けられる（文献、Ｓ．SUDO：他“Sintering pr
ocess of porous prefor ms made by VAD method for o
ptical fiber fabrication”Trams.IECE Japan.Vol.E6
3,No.10.p.731） (1)多孔質ガラス体の収縮、 (2)開孔状態、 (3)閉孔状態、 (4)閉孔の収縮。
このような過程において、(1)、(2)の段階では、添加剤
を含んだ雰囲気ガスは多孔質ガラス体の空隙を自由に移
動しうるが、多孔質ガラス体がさらに収縮して(3)の閉
孔状態になると雰囲気ガスはガス体中の閉孔内に閉じ込
められることになる。さらに、温度が上昇して該閉孔が
収縮する段階で閉孔内の添加剤はガラス体中へ溶解する
こととなる。したがって、ガラス体中へ溶解あるいは混
入する添加剤の量は閉孔内に閉じ込められる雰囲気ガス
中の添加剤の量に依存することになる。
を含んだ雰囲気ガスは多孔質ガラス体の空隙を自由に移
動しうるが、多孔質ガラス体がさらに収縮して(3)の閉
孔状態になると雰囲気ガスはガス体中の閉孔内に閉じ込
められることになる。さらに、温度が上昇して該閉孔が
収縮する段階で閉孔内の添加剤はガラス体中へ溶解する
こととなる。したがって、ガラス体中へ溶解あるいは混
入する添加剤の量は閉孔内に閉じ込められる雰囲気ガス
中の添加剤の量に依存することになる。
従来、上記気相添加は、１気圧の圧力下で行われていた
ため、閉孔中に閉じ込められる添加剤の量は制限され、
したがって最終的に得られるガラス体中の添加剤濃度を
高くすることは困難であった。
ため、閉孔中に閉じ込められる添加剤の量は制限され、
したがって最終的に得られるガラス体中の添加剤濃度を
高くすることは困難であった。
本発明は、前述のような従来技術の問題点を解決するた
め、多孔質ガラス体を高温下において、１気圧を超える
添加剤含有ガス雰囲気中に曝し、焼結・透明ガラス化す
るものであり、この結果、閉孔内に閉じ込められる添加
剤を所望の量とすることができるとともに、最終的に得
られるガラス体の添加剤の量を増加できるものである。
め、多孔質ガラス体を高温下において、１気圧を超える
添加剤含有ガス雰囲気中に曝し、焼結・透明ガラス化す
るものであり、この結果、閉孔内に閉じ込められる添加
剤を所望の量とすることができるとともに、最終的に得
られるガラス体の添加剤の量を増加できるものである。
本発明によって多孔質ガラス体に添加される添加剤とし
ては、たとえば前述のF、N、Ne、Ar、Xe、Kr、Nd、Yb、
Euなどの元素を例として挙げることができる。前述の添
加剤は、単体あるいは高温中で分解し、単体を生じるよ
うな化合物の形で雰囲気ガスに添加される。
ては、たとえば前述のF、N、Ne、Ar、Xe、Kr、Nd、Yb、
Euなどの元素を例として挙げることができる。前述の添
加剤は、単体あるいは高温中で分解し、単体を生じるよ
うな化合物の形で雰囲気ガスに添加される。
この添加剤を含む雰囲気ガスの添加剤量は、たとえば光
学ガラスを製造する場合は、５〜９５％であるのが好ま
しい。５％未満であると、多孔質ガラス体に充分に添加
剤を添加できない虞があり、一方９５％を超えると、製
造された石英ガラスの光学特性に問題を生じる虞があ
る。
学ガラスを製造する場合は、５〜９５％であるのが好ま
しい。５％未満であると、多孔質ガラス体に充分に添加
剤を添加できない虞があり、一方９５％を超えると、製
造された石英ガラスの光学特性に問題を生じる虞があ
る。
多孔質ガラス体は、このような添加剤を含む雰囲気ガス
中に高圧下で曝されるものであるが、このような圧力
は、多孔質ガラス体に添加される添加剤の量、種類、多
孔質ガラス体の嵩密度などにによって変化し、種々選択
可能である。しかしながら、通常圧力は２〜８気圧であ
るのが好ましい。２気圧未満であると、通常の気相添加
とあまり変化がなくなり、８気圧を超えると、光学ガラ
スの特性損なう虞を生じる。
中に高圧下で曝されるものであるが、このような圧力
は、多孔質ガラス体に添加される添加剤の量、種類、多
孔質ガラス体の嵩密度などにによって変化し、種々選択
可能である。しかしながら、通常圧力は２〜８気圧であ
るのが好ましい。２気圧未満であると、通常の気相添加
とあまり変化がなくなり、８気圧を超えると、光学ガラ
スの特性損なう虞を生じる。
また、前記多孔質ガラスの嵩密度は、好ましくは0.1〜
1.5g/cm3であるのがよい。前記嵩密度が小さい程、基本
的に添加剤量は多くなるが、嵩密度が0.1g/cm3を超える
と、多孔質ガラスの形状を保持するのが困難になる。ま
た、1.5g/cm3を超えると、前記多孔質ガラス体中への添
加剤の添加が極めて困難になるからである。
1.5g/cm3であるのがよい。前記嵩密度が小さい程、基本
的に添加剤量は多くなるが、嵩密度が0.1g/cm3を超える
と、多孔質ガラスの形状を保持するのが困難になる。ま
た、1.5g/cm3を超えると、前記多孔質ガラス体中への添
加剤の添加が極めて困難になるからである。
次ぎに本発明の石英ガラスの製造装置について説明す
る。
る。
第１図は本発明による石英ガラスの製造装置の一実施例
の断面図であり、図中、１は炉体、２は断熱材、３は発
熱体、４は石英ガラスの製などの密閉容器、５は多孔質
ガラス体、６は添加物ガス導入管、７は添加物ガス圧力
調整器、８、９は雰囲気ガス導入管、１０は雰囲気ガス
圧力調整器、１１、１２はリークバルブである。
の断面図であり、図中、１は炉体、２は断熱材、３は発
熱体、４は石英ガラスの製などの密閉容器、５は多孔質
ガラス体、６は添加物ガス導入管、７は添加物ガス圧力
調整器、８、９は雰囲気ガス導入管、１０は雰囲気ガス
圧力調整器、１１、１２はリークバルブである。
この第１図より明らかなように、本発明による石英ガラ
スの製造装置においては、密閉された炉体１内に断熱材
２が備えられており、炉体１内の温度が一定に保持され
るようになっている。そして前記断熱材２の内側には、
この炉体１内を加熱するための発熱体３が設けられてお
り、この発熱体３に囲まれた位置に密閉容器４が設置さ
れている。この密閉容器４は、その内部に多孔質ガラス
体５が設置可能になっている。さらに、前記炉体１の上
部には添加物（あるいは添加物を含む化合物）を密閉容
器４内に供給するための添加物ガス導入管６が設けら
れ、前記添加物ガス導入管６は添加物ガス圧力調整器７
を介し、前記密閉容器４内に添加剤ガスを導入可能にな
っている。このガス導入管６は雰囲気ガス導入管８と連
通しており、この雰囲気ガス導入管８はガス導入管９を
介して雰囲気ガス調整器１０に接続している。このため
前記密閉容器４内に雰囲気ガスと添加剤ガスの混合ガ
ス、すなわち添加剤含有ガスを導入可能になる。さら
に、ガス導入管９は密閉容器４の周囲の炉体１内部にも
連通しているため、前記炉体１と密閉容器４はほぼ等し
い圧力になる。
スの製造装置においては、密閉された炉体１内に断熱材
２が備えられており、炉体１内の温度が一定に保持され
るようになっている。そして前記断熱材２の内側には、
この炉体１内を加熱するための発熱体３が設けられてお
り、この発熱体３に囲まれた位置に密閉容器４が設置さ
れている。この密閉容器４は、その内部に多孔質ガラス
体５が設置可能になっている。さらに、前記炉体１の上
部には添加物（あるいは添加物を含む化合物）を密閉容
器４内に供給するための添加物ガス導入管６が設けら
れ、前記添加物ガス導入管６は添加物ガス圧力調整器７
を介し、前記密閉容器４内に添加剤ガスを導入可能にな
っている。このガス導入管６は雰囲気ガス導入管８と連
通しており、この雰囲気ガス導入管８はガス導入管９を
介して雰囲気ガス調整器１０に接続している。このため
前記密閉容器４内に雰囲気ガスと添加剤ガスの混合ガ
ス、すなわち添加剤含有ガスを導入可能になる。さら
に、ガス導入管９は密閉容器４の周囲の炉体１内部にも
連通しているため、前記炉体１と密閉容器４はほぼ等し
い圧力になる。
さらに炉体１の下部および密閉容器４の下部にはそれぞ
れ、リークバルブ１１および１２が備えられている。
れ、リークバルブ１１および１２が備えられている。
前記添加剤ガス圧力調整器７および雰囲気ガス圧力調整
器１０は前記密閉管４および炉体１内に導入する添加剤
ガスおよび雰囲気ガスの量および混合比などを制御し、
前記密閉容器４内および炉体１内の圧力を調整可能にな
っている。また、この圧力の制御の微調整は前記リーク
バルブ１１および１２によって行われる。
器１０は前記密閉管４および炉体１内に導入する添加剤
ガスおよび雰囲気ガスの量および混合比などを制御し、
前記密閉容器４内および炉体１内の圧力を調整可能にな
っている。また、この圧力の制御の微調整は前記リーク
バルブ１１および１２によって行われる。
このような本発明による石英ガラスの製造装置によれ
ば、まず、密閉容器４内に、たとえばＶＡＤ法で製造し
た多孔質ガラス体５を設置し、該炉体１内および該密閉
容器４内に、たとえばHeガス、およびSF6ガスを、それ
ぞれ圧力調整器１０、７によって圧力を調整しながら導
入する。この際、密閉容器４内および炉体１内の圧力
は、リークバルブ１２および１１によってガスを排出す
るもとにより微調整される。また、密閉容器４と炉体１
内の圧力は、ガス導入管８によって連通しているので、
つねに等しい圧力になっている。
ば、まず、密閉容器４内に、たとえばＶＡＤ法で製造し
た多孔質ガラス体５を設置し、該炉体１内および該密閉
容器４内に、たとえばHeガス、およびSF6ガスを、それ
ぞれ圧力調整器１０、７によって圧力を調整しながら導
入する。この際、密閉容器４内および炉体１内の圧力
は、リークバルブ１２および１１によってガスを排出す
るもとにより微調整される。また、密閉容器４と炉体１
内の圧力は、ガス導入管８によって連通しているので、
つねに等しい圧力になっている。
このような状態において、この密閉容器４の廻りに設け
られた発熱体３に電力を供給し、1500〜1600℃に加熱し
て、前記多孔質ガス体５を焼結・透明ガラス化するもの
である。
られた発熱体３に電力を供給し、1500〜1600℃に加熱し
て、前記多孔質ガス体５を焼結・透明ガラス化するもの
である。
実施例１ 第１図に示す製造装置を用いて、石英ガラスを製造し
た。
た。
Heガスを圧力調整器１０によって、2.0Kg/cm2の圧力に
調整し、ガス導入管８および９より炉体１内および密閉
容器４内にそれぞれ、前記Heガスを導入した。またSF6
ガスを圧力調整器７によって、2.1Kg/cm2の圧力に調整
し、ガス導入管６より密閉容器４内に導入した。多孔質
ガラス体５としてはＶＡＤ法によって製造したSiO2ガラ
スのみよりなる多孔質ガラス体５（嵩密度0.2g/cm3）を
使用した。
調整し、ガス導入管８および９より炉体１内および密閉
容器４内にそれぞれ、前記Heガスを導入した。またSF6
ガスを圧力調整器７によって、2.1Kg/cm2の圧力に調整
し、ガス導入管６より密閉容器４内に導入した。多孔質
ガラス体５としてはＶＡＤ法によって製造したSiO2ガラ
スのみよりなる多孔質ガラス体５（嵩密度0.2g/cm3）を
使用した。
そこで、発熱体３に電力を供給し、毎時100℃の割合で
昇温し、前記多孔質ガラス体５を圧力2.0Kg/cm2のHe−S
F6混合ガス（組成比；He：25％、SF6：75％）雰囲気下
で焼結・透明ガラス下した。
昇温し、前記多孔質ガラス体５を圧力2.0Kg/cm2のHe−S
F6混合ガス（組成比；He：25％、SF6：75％）雰囲気下
で焼結・透明ガラス下した。
このようにして製造された透明ガラス体の屈折率ｎ１を
純粋なSiO2ガラスの屈折率ｎｏとの比で測定した結果、
比屈折率差（Δｎ＝ｎ１／ｎｏ−１）は−1.0％であっ
た。また、上記条件において、混合ガスの圧力を3.0Kg/
cm3としたときは、Δｎは−1.5％となった。しかしなが
ら、上記条件において、混合ガラスの圧力を1.0Kg/cm2
としたときの透明ガラス体の屈折率はΔｎ＝0.6％であ
り、本発明の方法によって良好にFが添加されているこ
とが確認された。
純粋なSiO2ガラスの屈折率ｎｏとの比で測定した結果、
比屈折率差（Δｎ＝ｎ１／ｎｏ−１）は−1.0％であっ
た。また、上記条件において、混合ガスの圧力を3.0Kg/
cm3としたときは、Δｎは−1.5％となった。しかしなが
ら、上記条件において、混合ガラスの圧力を1.0Kg/cm2
としたときの透明ガラス体の屈折率はΔｎ＝0.6％であ
り、本発明の方法によって良好にFが添加されているこ
とが確認された。
また前述のように作製された本発明による石英ガラスを
クラッド材として用いて光ファイバを製造したところ、
良好な特性の光ファイバが得られた。
クラッド材として用いて光ファイバを製造したところ、
良好な特性の光ファイバが得られた。
実施例２ 前記第１図に示した装置において、雰囲気ガスの添加剤
ガスとしてSF6の変わりにNH3を使用し、さらに混合ガス
圧力を3.0Kg/cm3としたとき、Δｎは1.0％となった。さ
らに、、このように製造したNドープガラスをコアガラ
スとし、SiO2ガラスをクラッドガラスとして光ファイバ
を作製した結果、良好な光伝送特性を示した。
ガスとしてSF6の変わりにNH3を使用し、さらに混合ガス
圧力を3.0Kg/cm3としたとき、Δｎは1.0％となった。さ
らに、、このように製造したNドープガラスをコアガラ
スとし、SiO2ガラスをクラッドガラスとして光ファイバ
を作製した結果、良好な光伝送特性を示した。
また、加水分解反応によってゾル・ゲル法で作製した多
孔質ガラス体を使用した場合も同様な結果が期待でき
る。この場合F等の添加量は、使用する多孔質ガラス体
の嵩密度に多く依存し、嵩密度が小さい程添加量が多く
なる傾向を示した。
孔質ガラス体を使用した場合も同様な結果が期待でき
る。この場合F等の添加量は、使用する多孔質ガラス体
の嵩密度に多く依存し、嵩密度が小さい程添加量が多く
なる傾向を示した。
また、Ｎ、Ｆのほか、Nb、Euなどのハロゲン化物を雰囲
気ガス中に混合し、実施例１と同様の操作によってNb、
Euなどを含む透明ガラス体が得られた。
気ガス中に混合し、実施例１と同様の操作によってNb、
Euなどを含む透明ガラス体が得られた。
以上説明したように本発明による石英ガラスの製造方法
によれは、多孔質ガラスを１気圧を超える圧力下におい
て、添加剤を含む雰囲気ガスに曝し、焼結・透明ガラス
化するので、従来においては微小量しか添加できなかっ
たF、Nなどの添加剤の添加量を高濃度に添加できるとい
う利点がある。
によれは、多孔質ガラスを１気圧を超える圧力下におい
て、添加剤を含む雰囲気ガスに曝し、焼結・透明ガラス
化するので、従来においては微小量しか添加できなかっ
たF、Nなどの添加剤の添加量を高濃度に添加できるとい
う利点がある。
特に、Fなどを高濃度に添加した透明ガラス体の場合、
光ファイバクラッド層として使用すれば、良好な特性の
光ファイバを得られるという利点もある。
光ファイバクラッド層として使用すれば、良好な特性の
光ファイバを得られるという利点もある。
さらに本発明による製造装置によれば、前記方法を容易
に、かつ簡便に実施できるばかりでなく、多孔質ガラス
体を、たとえば石英ガラス製の密閉容器内に密閉してい
るため、意図したに不純物の混入を防止できるととも
に、前記石英ガラス製の密閉容器の内外が同圧に保持さ
れているため、加熱によって石英ガラスが軟化しても前
記ガラスが変形することがなく、良好に１気圧以上の雰
囲気ガスを導入できるという利点がある。
に、かつ簡便に実施できるばかりでなく、多孔質ガラス
体を、たとえば石英ガラス製の密閉容器内に密閉してい
るため、意図したに不純物の混入を防止できるととも
に、前記石英ガラス製の密閉容器の内外が同圧に保持さ
れているため、加熱によって石英ガラスが軟化しても前
記ガラスが変形することがなく、良好に１気圧以上の雰
囲気ガスを導入できるという利点がある。
第１図は本発明による石英ガラスの製造装置の一実施例
の断面図である。 １…炉体、２…断熱材、３…発熱体、４…密閉容器、５
…多孔質ガラス体、６…添加物ガス導入管、７…添加物
ガス圧力調整器、８、９…雰囲気ガス導入管、１０…雰
囲気ガス圧力調整器、１１、１２…リークバルブ。
の断面図である。 １…炉体、２…断熱材、３…発熱体、４…密閉容器、５
…多孔質ガラス体、６…添加物ガス導入管、７…添加物
ガス圧力調整器、８、９…雰囲気ガス導入管、１０…雰
囲気ガス圧力調整器、１１、１２…リークバルブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塙 文明 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (72)発明者 大森 保治 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (56)参考文献 特開 昭62−27342（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−255638（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−3032（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−116733（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】多孔質ガラス体を電気炉内で高温に加熱・
焼結し透明ガラス化する石英ガラスの製造方法におい
て、前記焼結・透明ガラス化は、１気圧を超える添加剤
含有雰囲気ガス中で行うことを特徴とする石英ガラスの
製造方法。 - 【請求項２】電気炉内に設けられ、かつ多孔質ガラス体
をその内部に設置可能な密閉容器と、この密閉容器を加
熱するための発熱体と、前記電気炉内と密閉容器内の圧
力をほぼ等しくなるように調整でき、かつ前記容器内の
添加物含有雰囲気ガスを１気圧を超えた圧力に加圧可能
な圧力調整装置とを有することを特徴とする石英ガラス
の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19576485A JPH0667765B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラスの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19576485A JPH0667765B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラスの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6259535A JPS6259535A (ja) | 1987-03-16 |
| JPH0667765B2 true JPH0667765B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=16346568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19576485A Expired - Lifetime JPH0667765B2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 石英ガラスの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667765B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2582592B2 (ja) * | 1987-10-06 | 1997-02-19 | 三菱電線工業株式会社 | 光機能素子用母材の製造方法 |
| JP2830617B2 (ja) * | 1992-06-17 | 1998-12-02 | 日立電線株式会社 | 希土類元素添加マルチコアファイバ及びその製造方法 |
| EP3205630B1 (de) * | 2016-02-12 | 2020-01-01 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Diffusormaterial aus synthetisch erzeugtem quarzglas sowie verfahren zur herstellung eines vollständig oder teilweise daraus bestehenden formkörpers |
| US11554981B2 (en) | 2019-06-11 | 2023-01-17 | Corning Incorporated | Apparatuses and methods for processing optical fiber preforms |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP19576485A patent/JPH0667765B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6259535A (ja) | 1987-03-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |