JPH0670589B2 - 周波数ドメインのフォトディテクタ・アレイ - Google Patents
周波数ドメインのフォトディテクタ・アレイInfo
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- JPH0670589B2 JPH0670589B2 JP1285138A JP28513889A JPH0670589B2 JP H0670589 B2 JPH0670589 B2 JP H0670589B2 JP 1285138 A JP1285138 A JP 1285138A JP 28513889 A JP28513889 A JP 28513889A JP H0670589 B2 JPH0670589 B2 JP H0670589B2
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/28—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using photoemissive or photovoltaic cells
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- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
- G01J2001/4413—Type
- G01J2001/4426—Type with intensity to frequency or voltage to frequency conversion [IFC or VFC]
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- G—PHYSICS
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
- G01J2005/208—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices superconductive
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、一般に、放射検出器,特に放射光検出器(フ
ォトディテクタ)の配列(アレイ)によって得られるデ
ータが共通伝送手段に並行に出力され、個々のディテク
タ出力はそれぞれ固有の周波数帯域内の周波数として表
わされる放射光検出器配列に関する。本発明はまた、超
電導材料より作られるフォトディテクタ・アレイに関す
る。
ォトディテクタ)の配列(アレイ)によって得られるデ
ータが共通伝送手段に並行に出力され、個々のディテク
タ出力はそれぞれ固有の周波数帯域内の周波数として表
わされる放射光検出器配列に関する。本発明はまた、超
電導材料より作られるフォトディテクタ・アレイに関す
る。
[従来の技術] フォトディテクタの通常のアレイは、一般的にはディテ
クタ振幅情報を連続的に逐次多重化する。振幅情報は一
般的に、フォトディテクタの1次元アレイまたは2次元
アレイの個々のディテクタに入射する放射光束の関数で
ある。例えばディテクタの集積回路1個、2次元焦点面
アレイは、電磁スペクトラム(electromagnetic spekut
rum)の赤外線(IR)部内の入射光に対して感応でき
る。そのアレイ内の各フォトディテクタは、一般的にア
レイの単位セルとして定義される。各単位セルは更に、
関連した読取り回路アレイの単セルに接続され、読取り
回路アレイにおいては、各読取り単位セルは集積化相互
インピーダンス増幅器を構成できる。各相互インピーダ
ンス増幅器は、マルチプレクサに接続される出力を有す
る。このマルチプレクサは、所定時間においてフォトデ
ィテクタの単位セルの1つに入射する放射光束を表わす
信号を信号プロセッサに逐次出力する。
クタ振幅情報を連続的に逐次多重化する。振幅情報は一
般的に、フォトディテクタの1次元アレイまたは2次元
アレイの個々のディテクタに入射する放射光束の関数で
ある。例えばディテクタの集積回路1個、2次元焦点面
アレイは、電磁スペクトラム(electromagnetic spekut
rum)の赤外線(IR)部内の入射光に対して感応でき
る。そのアレイ内の各フォトディテクタは、一般的にア
レイの単位セルとして定義される。各単位セルは更に、
関連した読取り回路アレイの単セルに接続され、読取り
回路アレイにおいては、各読取り単位セルは集積化相互
インピーダンス増幅器を構成できる。各相互インピーダ
ンス増幅器は、マルチプレクサに接続される出力を有す
る。このマルチプレクサは、所定時間においてフォトデ
ィテクタの単位セルの1つに入射する放射光束を表わす
信号を信号プロセッサに逐次出力する。
焦点面やその他の用途に対して、フォトディテクタのア
レイは通常、デューア(Dewar)内に超低温度(cryroge
nic temperature)で保持される。例えばそのアレイ
は、液体窒素の超低温システム(cryrogenic system)
の作用によって約77度Kに保持される。
レイは通常、デューア(Dewar)内に超低温度(cryroge
nic temperature)で保持される。例えばそのアレイ
は、液体窒素の超低温システム(cryrogenic system)
の作用によって約77度Kに保持される。
[発明が解決しようとする課題] データ・ストリームの直列特性によって生じる、このよ
うな実際のシステムに関する1つの問題点は、アレイ中
の全てのフォトディテクタの単位セルに出力するために
必要となる時間量に関連する。リアルタイム検出動作を
実現するためには、リアルタイム動作に適合できる時間
内で読み取られ、処理される単位セル数に単位セルの全
数を置き換える必要がしばしば発生する。その結果とし
て、そのアレイの画像解像度は所定の用途のための最適
な状態より劣るかもしれない。
うな実際のシステムに関する1つの問題点は、アレイ中
の全てのフォトディテクタの単位セルに出力するために
必要となる時間量に関連する。リアルタイム検出動作を
実現するためには、リアルタイム動作に適合できる時間
内で読み取られ、処理される単位セル数に単位セルの全
数を置き換える必要がしばしば発生する。その結果とし
て、そのアレイの画像解像度は所定の用途のための最適
な状態より劣るかもしれない。
通常のイメージング・システムに関する他の問題点は、
アレイ内の特定の単位セル、または単位セルグループへ
のアクセスは、読取り回路の逐次特性によって抑制され
ることである。このことはズーム,背景除去(backgrou
nd substraction),ガンマ抑制(gamma suppression)
および,オフセット/ゲイン修正または、同様な操作を
行なうことが望まれる場合に、不利益を及ぼすかもしれ
ない。その結果、システムパワーの消耗、電気的ノイズ
およびパッケージ・サイズの増大に付随して、高速アナ
ログおよびデジタル信号処理回路を提供する必要が生じ
るかもしれない。
アレイ内の特定の単位セル、または単位セルグループへ
のアクセスは、読取り回路の逐次特性によって抑制され
ることである。このことはズーム,背景除去(backgrou
nd substraction),ガンマ抑制(gamma suppression)
および,オフセット/ゲイン修正または、同様な操作を
行なうことが望まれる場合に、不利益を及ぼすかもしれ
ない。その結果、システムパワーの消耗、電気的ノイズ
およびパッケージ・サイズの増大に付随して、高速アナ
ログおよびデジタル信号処理回路を提供する必要が生じ
るかもしれない。
[課題を解決するための手段、およびその作用] 本発明の放射光感応検出器アレイは複数の単位セルによ
り構成される。その単位セルのそれぞれは、入射放射光
に感応して、検出器に入射する放射光の関数である出力
信号を発生する放射光検出器と、前記検出器の出力に結
合され、前記放射光検出器に関連した周波数範囲内の値
を有する周波数であって、前記検出器出力信号の振幅の
関数である大きさの周波数を有する信号に前記検出器出
力信号を変換する変換手段とにより構成され、前記放射
光検出器のそれぞれに関連した前記範囲内の周波数は、
他の放射光検出器の範囲内の周波数とは異なり、前記変
換手段のそれぞれの周波数の出力は、周波数識別手段へ
の単一ライン上に伝達され得る。
り構成される。その単位セルのそれぞれは、入射放射光
に感応して、検出器に入射する放射光の関数である出力
信号を発生する放射光検出器と、前記検出器の出力に結
合され、前記放射光検出器に関連した周波数範囲内の値
を有する周波数であって、前記検出器出力信号の振幅の
関数である大きさの周波数を有する信号に前記検出器出
力信号を変換する変換手段とにより構成され、前記放射
光検出器のそれぞれに関連した前記範囲内の周波数は、
他の放射光検出器の範囲内の周波数とは異なり、前記変
換手段のそれぞれの周波数の出力は、周波数識別手段へ
の単一ライン上に伝達され得る。
また、この発明によると、Si,GaAl,InSb,またはHgCdTe
等の材料からなる半導体ディテクタより構成される通常
の放射光ディテクタ・アレイは、各単位セル内に振幅・
周波数変換要素を加えることにより周波数ドメイン構造
を設けてもよい。
等の材料からなる半導体ディテクタより構成される通常
の放射光ディテクタ・アレイは、各単位セル内に振幅・
周波数変換要素を加えることにより周波数ドメイン構造
を設けてもよい。
本発明の更なる重要な特徴は、超電導および電流または
電圧/周波数変換特性を本格的に表わす放射光ディテク
タのアレイを含むフォトディテクタ・アレイ単位セルが
提供されることである。
電圧/周波数変換特性を本格的に表わす放射光ディテク
タのアレイを含むフォトディテクタ・アレイ単位セルが
提供されることである。
本発明のこの局面によると、共通のフォトディテクタ,
電圧周波数変換器および、出力伝送ライン(これら全て
が共通基板に集積化されている)を含む超電導成分を有
した周波数定義域(ドメイン)放射光検出単位セルとし
て開示されている。
電圧周波数変換器および、出力伝送ライン(これら全て
が共通基板に集積化されている)を含む超電導成分を有
した周波数定義域(ドメイン)放射光検出単位セルとし
て開示されている。
[実施例] 本発明は赤外線放射線のような電磁放射を検出するため
のセンサアレイに関して記述されているが、本発明の教
示は、例えば音響センサアレイのようなセンサアレイの
数多くのタイプに一般的に応用できることが理解される
べきである。
のセンサアレイに関して記述されているが、本発明の教
示は、例えば音響センサアレイのようなセンサアレイの
数多くのタイプに一般的に応用できることが理解される
べきである。
第1図を参照すると、放射光センサアレイ10を表わすブ
ロック図が示されており、その放射光センサアレイ10
は、本発明によると、複数の放射光ディテクタにより構
成され、各放射光ディテクタは入射放射光に感応し、矢
印Aによって示される入射放射光を出力信号に変換す
る。
ロック図が示されており、その放射光センサアレイ10
は、本発明によると、複数の放射光ディテクタにより構
成され、各放射光ディテクタは入射放射光に感応し、矢
印Aによって示される入射放射光を出力信号に変換す
る。
ディテクタ12〜16の出力は、関連する電圧周波数(V/
F)変換デバイス18〜22の入力に結合される電圧(V1-V
n)として表わしても良い。各デバイス18〜22は、固有
の所定周波数レンジ内にある出力周波数を発生し、この
周波数レンジは、ここにおいて「周波数ビン(区分)
(frequency bin)」として示されている。故に、各デ
バイス18〜22の瞬時出力周波数は、対応するディテクタ
に入射する放射光束の関数である。すなわち、その各デ
バイス18〜22のそれぞれは、固有の周波数帯域内の周波
数(i)を出力する。各周波数帯域は、ディテクタの
固有のダイナミック・レンジ内の放射光ディテクタ出力
電圧の範囲に対して隣接する周波数帯域がオーバーラッ
プしないように選択される。
F)変換デバイス18〜22の入力に結合される電圧(V1-V
n)として表わしても良い。各デバイス18〜22は、固有
の所定周波数レンジ内にある出力周波数を発生し、この
周波数レンジは、ここにおいて「周波数ビン(区分)
(frequency bin)」として示されている。故に、各デ
バイス18〜22の瞬時出力周波数は、対応するディテクタ
に入射する放射光束の関数である。すなわち、その各デ
バイス18〜22のそれぞれは、固有の周波数帯域内の周波
数(i)を出力する。各周波数帯域は、ディテクタの
固有のダイナミック・レンジ内の放射光ディテクタ出力
電圧の範囲に対して隣接する周波数帯域がオーバーラッ
プしないように選択される。
各デバイス18〜22の周波数出力は、対応するコンダクタ
24〜28を介して、光ファイバーのような低損失伝送ライ
ン30に接続され、この伝送ラインはデバイス出力周波数
を周波数デスクリミネータ32に伝送する。この周波数デ
スクリミネータ32は、アレイ出力信号の大きさに関連す
る一出力信号を発生するために動作する。この周波数デ
スクリミネータ32の出力信号は、所定の期間内でそれぞ
れ発生する複数のパルスであっても良い。各所定期間
は、ある時間内でのパルスの発生が、ディテクタ出力Vi
の振幅の関数であるような特定のディテクタ12〜16と関
連する。周波数デスクリミネータ32は、好ましくは、各
所定期間内に特定のディテクタの「周波数ビン」に対応
する掃引周波数帯域を発生するために接続される周波数
シンセサイザ34を有する。一般的に、この周波数デスク
リミネータ32は、シンセサイザ34の周波数がディテクタ
12〜16の特定の1つの周波数Fiに対応するときに、1つ
の出力パルスまたは出力信号を発生する。
24〜28を介して、光ファイバーのような低損失伝送ライ
ン30に接続され、この伝送ラインはデバイス出力周波数
を周波数デスクリミネータ32に伝送する。この周波数デ
スクリミネータ32は、アレイ出力信号の大きさに関連す
る一出力信号を発生するために動作する。この周波数デ
スクリミネータ32の出力信号は、所定の期間内でそれぞ
れ発生する複数のパルスであっても良い。各所定期間
は、ある時間内でのパルスの発生が、ディテクタ出力Vi
の振幅の関数であるような特定のディテクタ12〜16と関
連する。周波数デスクリミネータ32は、好ましくは、各
所定期間内に特定のディテクタの「周波数ビン」に対応
する掃引周波数帯域を発生するために接続される周波数
シンセサイザ34を有する。一般的に、この周波数デスク
リミネータ32は、シンセサイザ34の周波数がディテクタ
12〜16の特定の1つの周波数Fiに対応するときに、1つ
の出力パルスまたは出力信号を発生する。
次ぎに第2図を参照すると、第1図の周波数デスクリミ
ネータ32の一実施例が示されている。デスクリミネータ
32への入力は、周波数ミクサー(混合器)36に逐次また
は同時に供給される複数の周波数(1,2,・・・
n)である。周波数シンセサイザ34はミクサー36の1入
力に接続され、掃引周波数帯域(B1,B2,B3,等)をミク
サーに供給する。増加帯域(Increment Band)信号は、
周波数の出力帯域をシフトまたは変更するシンセサイザ
34に供給される。実際には、このシンセサイザ34は一種
のチャープ(chirp)パルス発生器であっても良い。ミ
クサー36の出力は、シンセサイザ34のチャープ周波数出
力が入力信号周波数(1,2,・・・n)の1つに
対応するときに発生するパルスであっても良い。ローパ
ス・フィルタ38は、ミクサー出力がコンパレータ40に供
給される以前にミクサー36の出力をフィルタリングする
ために設けられても良い。コンパレータ40は、ミクサー
36のパルス出力が比較される基準入力VREFを含む。コン
パレータ40は、パルス振幅が基準レベルの振幅を超過す
るときに出力を発生する。このパルス出力は、カウンタ
動作を停止させるためにカウンタ42に供給されても良
い。このカウンタ42は、クロック・ソース44によって発
生されるクロック周波数に接続されるカウント入力を更
に有する。
ネータ32の一実施例が示されている。デスクリミネータ
32への入力は、周波数ミクサー(混合器)36に逐次また
は同時に供給される複数の周波数(1,2,・・・
n)である。周波数シンセサイザ34はミクサー36の1入
力に接続され、掃引周波数帯域(B1,B2,B3,等)をミク
サーに供給する。増加帯域(Increment Band)信号は、
周波数の出力帯域をシフトまたは変更するシンセサイザ
34に供給される。実際には、このシンセサイザ34は一種
のチャープ(chirp)パルス発生器であっても良い。ミ
クサー36の出力は、シンセサイザ34のチャープ周波数出
力が入力信号周波数(1,2,・・・n)の1つに
対応するときに発生するパルスであっても良い。ローパ
ス・フィルタ38は、ミクサー出力がコンパレータ40に供
給される以前にミクサー36の出力をフィルタリングする
ために設けられても良い。コンパレータ40は、ミクサー
36のパルス出力が比較される基準入力VREFを含む。コン
パレータ40は、パルス振幅が基準レベルの振幅を超過す
るときに出力を発生する。このパルス出力は、カウンタ
動作を停止させるためにカウンタ42に供給されても良
い。このカウンタ42は、クロック・ソース44によって発
生されるクロック周波数に接続されるカウント入力を更
に有する。
ゲート46は、周波数シンセサイザ34が他の「周波数ビ
ン」にシフトされていない時間だけ、カウンタ42にクロ
ック周波数を供給するために設けられている。それ故
に、コンパレータ40の出力パルスの発生は、カウンタ42
の動作を停止させ、カウンタが停止しているカウントサ
イクルの特定点は、ミクサー36に入力する周波数によっ
て決定される。カウンタ出力は関連する出力ラッチ48に
よってストア(記憶)される。好ましくは、カウンタ42
は、シンセサイザ34の周波数スイープ(掃引)の開始に
同期して所定値に初期化されるプリセットカウンタであ
っても良い。また、カウンタ42は、異なる「周波数ビ
ン」が選択される時にリセットされ、各「周波数ビン」
が個々のディテクタ12〜16に対応することが思い起こさ
れる。コンパレータ40からのパルス出力は、カウンタ42
の値をラッチ48にストアさせるために採用される。ラッ
チ48の出力は、入射放射光に関する信号処理が完了され
る信号プロッセサ(不図示)に入力される。この信号処
理は例えば、目標認識,情報獲得およびトラッキングに
関する。一般的に、信号処理は増加帯域(Increment Ba
nd)信号を処理する。
ン」にシフトされていない時間だけ、カウンタ42にクロ
ック周波数を供給するために設けられている。それ故
に、コンパレータ40の出力パルスの発生は、カウンタ42
の動作を停止させ、カウンタが停止しているカウントサ
イクルの特定点は、ミクサー36に入力する周波数によっ
て決定される。カウンタ出力は関連する出力ラッチ48に
よってストア(記憶)される。好ましくは、カウンタ42
は、シンセサイザ34の周波数スイープ(掃引)の開始に
同期して所定値に初期化されるプリセットカウンタであ
っても良い。また、カウンタ42は、異なる「周波数ビ
ン」が選択される時にリセットされ、各「周波数ビン」
が個々のディテクタ12〜16に対応することが思い起こさ
れる。コンパレータ40からのパルス出力は、カウンタ42
の値をラッチ48にストアさせるために採用される。ラッ
チ48の出力は、入射放射光に関する信号処理が完了され
る信号プロッセサ(不図示)に入力される。この信号処
理は例えば、目標認識,情報獲得およびトラッキングに
関する。一般的に、信号処理は増加帯域(Increment Ba
nd)信号を処理する。
1つのアレイ内におけるディテクタの総数のサブセット
の1つまたは数個の出力は、所望のディテクタまたは複
数のディテクタに対応する「周波数ビン」のみをミクサ
ー36に供給することによって得られるということが認識
されるべきである。このように、ズームおよびトラッキ
ング・ファンクションが遂行されても良い。更に、背景
除算(background subtraction)は、走査周波数を記録
し、カウンタ42を各ディテクタ・サイト12〜16位置にお
いて放射背景(バックグラウンド)レベルに対応する値
に初期設定することによって行われても良い。
の1つまたは数個の出力は、所望のディテクタまたは複
数のディテクタに対応する「周波数ビン」のみをミクサ
ー36に供給することによって得られるということが認識
されるべきである。このように、ズームおよびトラッキ
ング・ファンクションが遂行されても良い。更に、背景
除算(background subtraction)は、走査周波数を記録
し、カウンタ42を各ディテクタ・サイト12〜16位置にお
いて放射背景(バックグラウンド)レベルに対応する値
に初期設定することによって行われても良い。
本発明の一局面は、ジョセフソン効果を呈する超電導材
料から構成される周波数ドメイン放射光ディテクタ・ア
レイを提示している。本発明は特に、関連する臨界温度
以下で動作する超電導特性を示す超電導材料を採用する
場合に特に有益である。そのような材料の例としては、
YBaCuO,BiSrCaCuO,TlCaBaCuO等があげられる。このよう
な材料は高温電導体(HTS)として特徴づけられている
が、その他のいかなる超電導材料も本発明の範囲内に含
まれる。
料から構成される周波数ドメイン放射光ディテクタ・ア
レイを提示している。本発明は特に、関連する臨界温度
以下で動作する超電導特性を示す超電導材料を採用する
場合に特に有益である。そのような材料の例としては、
YBaCuO,BiSrCaCuO,TlCaBaCuO等があげられる。このよう
な材料は高温電導体(HTS)として特徴づけられている
が、その他のいかなる超電導材料も本発明の範囲内に含
まれる。
次ぎに第3A図を参照すると、ジョセフソン・ジャンクシ
ョンまたはジョセフソン・モードで動作する弱リンク等
の超電導素子52から成る適正な周波数デスクリミネータ
50が示されている。すなわち、超電導素子50は、方程式
V=2e/hに従って動作する。但し、eは電荷、hは
プランク定数(Planck′s constant)をそれぞれ表わ
す。この周波数デスクリミネータ50は、フォト検出アレ
イからの入力周波数(1,2,・・・n)を電流段
に変換するように動作する。ファンクション・ジェネレ
ータ(関数発生器)54は例えば、VBIAS信号として示さ
れる鋸波形を生成するために提供されている。コンパレ
ータ56の2つの入力ノード間に抵抗58が接続され、V
BIASと入力周波数とがこの抵抗58に現れる。
ョンまたはジョセフソン・モードで動作する弱リンク等
の超電導素子52から成る適正な周波数デスクリミネータ
50が示されている。すなわち、超電導素子50は、方程式
V=2e/hに従って動作する。但し、eは電荷、hは
プランク定数(Planck′s constant)をそれぞれ表わ
す。この周波数デスクリミネータ50は、フォト検出アレ
イからの入力周波数(1,2,・・・n)を電流段
に変換するように動作する。ファンクション・ジェネレ
ータ(関数発生器)54は例えば、VBIAS信号として示さ
れる鋸波形を生成するために提供されている。コンパレ
ータ56の2つの入力ノード間に抵抗58が接続され、V
BIASと入力周波数とがこの抵抗58に現れる。
また第3B図のグラフは、超電導素子52の動作特性を示
し、VBIASの大きさは、入力周波数にそれぞれ対応する
多数のステップ(段)が電流波形に現れるX軸に沿って
ほぼ直線的に増加されていくことがわかる。これらのス
テップは微分回路(不図示)に出力を供給するコンパレ
ータ56によって検出され、ジョセフソン素子52の動作に
よって直線的に増加する鋸波形の期間に関する特定電流
ステップに対応するフォトディテクタ出力の大きさを示
すものである。ジョセフソン素子52の固有の電圧周波数
変換特性により、直線的に増加する鋸波形は、複数の周
波数帯域にわたってミクサー50を効率的に「掃引」する
ことが評価される。
し、VBIASの大きさは、入力周波数にそれぞれ対応する
多数のステップ(段)が電流波形に現れるX軸に沿って
ほぼ直線的に増加されていくことがわかる。これらのス
テップは微分回路(不図示)に出力を供給するコンパレ
ータ56によって検出され、ジョセフソン素子52の動作に
よって直線的に増加する鋸波形の期間に関する特定電流
ステップに対応するフォトディテクタ出力の大きさを示
すものである。ジョセフソン素子52の固有の電圧周波数
変換特性により、直線的に増加する鋸波形は、複数の周
波数帯域にわたってミクサー50を効率的に「掃引」する
ことが評価される。
次ぎに第4図を参照すると、フォト検出アレイの単一単
位セル60が示されている。典型的なアレイは複数の単位
セルにより構成されていることが理解できる。例えばそ
のフォト検出アレイは、64×64の単位セルの2次元アレ
イであっても良い。単位セル60は、矢印で示すρ(λ)
によって示される入射放射光を電流に変換する超電導フ
ォトディテクタ62で構成されている。このフォトディテ
クタ62はHTSフィルム等の超電導領域を含み、バイアスV
B1を有し、抵抗的に分岐したジョセフソン・ジャンクシ
ョンまたは、弱リンク電圧制御オッシレータ(VCO)62
のための電源として動作する。
位セル60が示されている。典型的なアレイは複数の単位
セルにより構成されていることが理解できる。例えばそ
のフォト検出アレイは、64×64の単位セルの2次元アレ
イであっても良い。単位セル60は、矢印で示すρ(λ)
によって示される入射放射光を電流に変換する超電導フ
ォトディテクタ62で構成されている。このフォトディテ
クタ62はHTSフィルム等の超電導領域を含み、バイアスV
B1を有し、抵抗的に分岐したジョセフソン・ジャンクシ
ョンまたは、弱リンク電圧制御オッシレータ(VCO)62
のための電源として動作する。
ジョセフソン関係式 V=2e/hは、検出電流と出力
周波数iとの間の直線的関係を表わしている。この直
線的関係は、式IDET=VB1/Rsによって表わされる。I
TRIMiにより示されるオフセット電流を固定またはプロ
グラマブル抵抗RTRIMi66を介して得るために、直線性周
波数オフセットは第2のバイアス・電源VB2を付加する
ことによて達成される。アレイ中の各フォトディテクタ
のためのRTRIMiの抵抗値は、アレイ中の各フォトディテ
クタに対して異なるオフセット電圧値、しかも異なる非
重畳周波数帯域を提供するために、むしろ異なる値を示
す。出力伝送ラインに直列に接続されるチョーク68のよ
うなインピーダンスは、出力周波数iを生成する。前
述したVCO62からの出力周波数は、超電導伝送ライン70
に直接接続されての良く、またはジョセフソン・ジャン
クション電流スイッチ72を経由して接続されても良い。
好ましくは、伝送ライン70は、ジョセフソン・ジャンク
ションVCO62によって発生される周期的正弦波の出力ま
たはパルス列出力の反射を最少にするために、レースト
ラック(racetrack)タイプの伝送ラインとする。第3A
図のデスクリミネータ50のような周波数デスクリミネー
タは、周波数出力を検出するために伝送ライン70と接続
されている。
周波数iとの間の直線的関係を表わしている。この直
線的関係は、式IDET=VB1/Rsによって表わされる。I
TRIMiにより示されるオフセット電流を固定またはプロ
グラマブル抵抗RTRIMi66を介して得るために、直線性周
波数オフセットは第2のバイアス・電源VB2を付加する
ことによて達成される。アレイ中の各フォトディテクタ
のためのRTRIMiの抵抗値は、アレイ中の各フォトディテ
クタに対して異なるオフセット電圧値、しかも異なる非
重畳周波数帯域を提供するために、むしろ異なる値を示
す。出力伝送ラインに直列に接続されるチョーク68のよ
うなインピーダンスは、出力周波数iを生成する。前
述したVCO62からの出力周波数は、超電導伝送ライン70
に直接接続されての良く、またはジョセフソン・ジャン
クション電流スイッチ72を経由して接続されても良い。
好ましくは、伝送ライン70は、ジョセフソン・ジャンク
ションVCO62によって発生される周期的正弦波の出力ま
たはパルス列出力の反射を最少にするために、レースト
ラック(racetrack)タイプの伝送ラインとする。第3A
図のデスクリミネータ50のような周波数デスクリミネー
タは、周波数出力を検出するために伝送ライン70と接続
されている。
第5図を参照すると、高温半導体単位セル80の一実施例
が概略的に示されている。この例によれば、単位セル80
は、一辺が約20ミリメートルの直線的寸法を有してい
る。第5図に見られるように、この単位セル80は、HTS
フォトディテクタ82およびジョセフソン・ジャンクショ
ンVCO84より構成されている。はしご状の抵抗器ネット
ワーク86は複数のタップを持ち、その1つがVCO84に基
準電圧を供給する。一般に、このネットワーク86は多数
のタップを持ち、その各々がそれぞれ異なる電圧を有し
ている。全てのタップの数は、各単位セルが各々識別で
きる固有の周波数帯域を有するようにするために、アレ
イ中の単位セルの数に等しくしても良い。HSTフォトデ
ィテクタ82は、入力バイアス電流Iinが供給され、分岐
ジョセフソン・ジャンクション90および対応する分路コ
ンデンサCsを有するHTSフィルム・フォトディテクタ88
から構成されている。ディテクタ82の出力は、この場
合、基準電圧VREF2と合成される電圧VDETである。これ
らの2つの電圧は合算され、VCO84に供給される。VCO84
は、対応する分路抵抗器R5および対応する分路コンデン
サCsを有するジョセフソン・ジャンクション92から構成
されている。VCO84の出力は、式FOUT=2e(VDET+VREF2)
/hによって与えられる周波数FOUTである。すなわち、
周波数出力は固定された基準電圧の大きさによって設定
される周波数帯域内にある。帯域内の瞬時の周波数は、
フォトディテクタ82に入射する放射光の関数である。単
位セル80の周波数出力は、アレイの他の単位セルの周波
数出力と関連して、第3A図に示すデスクリミネータ50の
ような周波数デスクリミネータ(不図示)に供給され
る。
が概略的に示されている。この例によれば、単位セル80
は、一辺が約20ミリメートルの直線的寸法を有してい
る。第5図に見られるように、この単位セル80は、HTS
フォトディテクタ82およびジョセフソン・ジャンクショ
ンVCO84より構成されている。はしご状の抵抗器ネット
ワーク86は複数のタップを持ち、その1つがVCO84に基
準電圧を供給する。一般に、このネットワーク86は多数
のタップを持ち、その各々がそれぞれ異なる電圧を有し
ている。全てのタップの数は、各単位セルが各々識別で
きる固有の周波数帯域を有するようにするために、アレ
イ中の単位セルの数に等しくしても良い。HSTフォトデ
ィテクタ82は、入力バイアス電流Iinが供給され、分岐
ジョセフソン・ジャンクション90および対応する分路コ
ンデンサCsを有するHTSフィルム・フォトディテクタ88
から構成されている。ディテクタ82の出力は、この場
合、基準電圧VREF2と合成される電圧VDETである。これ
らの2つの電圧は合算され、VCO84に供給される。VCO84
は、対応する分路抵抗器R5および対応する分路コンデン
サCsを有するジョセフソン・ジャンクション92から構成
されている。VCO84の出力は、式FOUT=2e(VDET+VREF2)
/hによって与えられる周波数FOUTである。すなわち、
周波数出力は固定された基準電圧の大きさによって設定
される周波数帯域内にある。帯域内の瞬時の周波数は、
フォトディテクタ82に入射する放射光の関数である。単
位セル80の周波数出力は、アレイの他の単位セルの周波
数出力と関連して、第3A図に示すデスクリミネータ50の
ような周波数デスクリミネータ(不図示)に供給され
る。
第4図および/または第5図に示された単位セルは、フ
ォト検出素子と関連する電圧制御オッシレータとが互い
に密に接近するように、共通基板に組み込まれるごとく
に修正できることは理解できる。この事は、フォト検出
アレイおよびマルチプレクサおよび/または、トランス
インピーダンス増幅器のような出力結合のアレイを採用
する通常のシステムよりも回路の複雑性およびサイズに
おいて軽減される。
ォト検出素子と関連する電圧制御オッシレータとが互い
に密に接近するように、共通基板に組み込まれるごとく
に修正できることは理解できる。この事は、フォト検出
アレイおよびマルチプレクサおよび/または、トランス
インピーダンス増幅器のような出力結合のアレイを採用
する通常のシステムよりも回路の複雑性およびサイズに
おいて軽減される。
また更に、第4図および第5図の単位セルの構成要素
は、実質的に超電導材料によって構築されても良い。こ
の特徴は、電子ノイズや動作温度の著しい減少が達成さ
れる通常の単位セルのMOSFETタイプのデバイスよりも、
極めて大きな改良である。本発明によれば、第4図また
は第5図のいずれかの単位セルは、フォトディテクタ・
アレイの各フォトディテクタが固有に特定できる周波数
帯域に割り付けられる周波数ドメイン内において動作す
る。これは、そのアレイ内の特定なフォトディテクタの
1つのアドレッシング呼出しを容易にする。このアドレ
ッシングは、前述した如く掃引周波数帯域または、フォ
トディテクタの周波数帯域に対応する直線的に増加する
ポテンシャルを与えることによって達成される。
は、実質的に超電導材料によって構築されても良い。こ
の特徴は、電子ノイズや動作温度の著しい減少が達成さ
れる通常の単位セルのMOSFETタイプのデバイスよりも、
極めて大きな改良である。本発明によれば、第4図また
は第5図のいずれかの単位セルは、フォトディテクタ・
アレイの各フォトディテクタが固有に特定できる周波数
帯域に割り付けられる周波数ドメイン内において動作す
る。これは、そのアレイ内の特定なフォトディテクタの
1つのアドレッシング呼出しを容易にする。このアドレ
ッシングは、前述した如く掃引周波数帯域または、フォ
トディテクタの周波数帯域に対応する直線的に増加する
ポテンシャルを与えることによって達成される。
以上のように、ズームおよび他の機能は、容易に実施さ
れる。また、本発明に従って構成されたフォトディテク
タ・アレイは、ディテクタ出力の全て、または幾つかの
大きなサブセットが任意の所定時に信号プロセッサに利
用できる並列信号処理技術と互換性のあることが評価さ
れる。
れる。また、本発明に従って構成されたフォトディテク
タ・アレイは、ディテクタ出力の全て、または幾つかの
大きなサブセットが任意の所定時に信号プロセッサに利
用できる並列信号処理技術と互換性のあることが評価さ
れる。
通常のフォトディテクタ・アレイにおいて行われるよう
に、ある積分期間(integration period)を越えて積分
される光検出信号を発生することが望まれれば、複数の
ディテクタの読取り値は、アレイに接続されている信号
プロセッサによってそのように積分されても良い。積分
期間は読取りエレクトロニクスの関数ではないので、積
分期間自体は動作中において信号プロセッサにより容易
に変更され得る。
に、ある積分期間(integration period)を越えて積分
される光検出信号を発生することが望まれれば、複数の
ディテクタの読取り値は、アレイに接続されている信号
プロセッサによってそのように積分されても良い。積分
期間は読取りエレクトロニクスの関数ではないので、積
分期間自体は動作中において信号プロセッサにより容易
に変更され得る。
本発明の前述した記述に基づいて、この技術に精通する
者は、この記述に対して変形例を引き出すことができ
る。このように、本発明は上述した記述内容に限定され
るものではなく、本要旨を逸脱しない範囲内で請求項に
よって定義されたように限定される。
者は、この記述に対して変形例を引き出すことができ
る。このように、本発明は上述した記述内容に限定され
るものではなく、本要旨を逸脱しない範囲内で請求項に
よって定義されたように限定される。
[発明の効果] 上述した問題点および他の問題点が克服され、本発明に
従って構成され動作されるディテクタ・アレイによって
他の利点が実現される。すなわち、本発明によれば、放
射光ディテクタ・アレイは周波数ドメイン(定義域)構
造を有し、この構造において入射する放射光は放射光セ
ンサーアレイによって並列に映像化される。イメージン
グアレイは、シングル・バスに並列データ・ストリーム
として出力信号を供給し、このバスにおいて各フォトデ
ィテクタの出力は周波数の特別の識別帯域(バンド)内
の1つの周波数として表わされている。各周波数バンド
内の特定の周波数は、フォトディテクタの出力信号の振
幅の関数である。特定の周波数帯域を各フォトディテク
タに関連させることにより、データ・ストリームはシン
グル・バスで混合され、それによって通常の直列データ
・ストリーム・システムに関しては、アクセス・タイム
およびオーバーオール・アレイ(重畳配列)データ・リ
ダクションの両方について極めて重大な改良をなす。勿
論、電子ノイズに対する免疫性(immunity)、およびイ
オン化放射に対する固有のシステム強度に関して重要な
改良が得られる。
従って構成され動作されるディテクタ・アレイによって
他の利点が実現される。すなわち、本発明によれば、放
射光ディテクタ・アレイは周波数ドメイン(定義域)構
造を有し、この構造において入射する放射光は放射光セ
ンサーアレイによって並列に映像化される。イメージン
グアレイは、シングル・バスに並列データ・ストリーム
として出力信号を供給し、このバスにおいて各フォトデ
ィテクタの出力は周波数の特別の識別帯域(バンド)内
の1つの周波数として表わされている。各周波数バンド
内の特定の周波数は、フォトディテクタの出力信号の振
幅の関数である。特定の周波数帯域を各フォトディテク
タに関連させることにより、データ・ストリームはシン
グル・バスで混合され、それによって通常の直列データ
・ストリーム・システムに関しては、アクセス・タイム
およびオーバーオール・アレイ(重畳配列)データ・リ
ダクションの両方について極めて重大な改良をなす。勿
論、電子ノイズに対する免疫性(immunity)、およびイ
オン化放射に対する固有のシステム強度に関して重要な
改良が得られる。
また本発明は更に、所望の単一ディテクタまたは複数の
ディテクタと関連する1つまたは複数の周波数帯域を呼
出し(アドレッシング),または選択することにより、
1つ以上の固有のディテクタを読み出す。この特徴は、
過度の信号処理要求をしないでズームまたはトラッキン
グ機能を実現できる。勿論、放射によって比較的大きな
周波数シフトの基となる大きな信号のオフセットは、明
確に識別され得る。更に、システムノイズによる周波数
シフトは、信号の均一化によって減少され得る。本発明
の一実施例によれば、フォトディテクタの出力を表わす
周波数は低分散伝送ラインに直接入力されてもよく、こ
れによりスイッチング,回路およびデコーディング回路
の一般的な必要性を削減し、その結果、回路および全体
のパッケージサイズを顕著に縮小することができる。
ディテクタと関連する1つまたは複数の周波数帯域を呼
出し(アドレッシング),または選択することにより、
1つ以上の固有のディテクタを読み出す。この特徴は、
過度の信号処理要求をしないでズームまたはトラッキン
グ機能を実現できる。勿論、放射によって比較的大きな
周波数シフトの基となる大きな信号のオフセットは、明
確に識別され得る。更に、システムノイズによる周波数
シフトは、信号の均一化によって減少され得る。本発明
の一実施例によれば、フォトディテクタの出力を表わす
周波数は低分散伝送ラインに直接入力されてもよく、こ
れによりスイッチング,回路およびデコーディング回路
の一般的な必要性を削減し、その結果、回路および全体
のパッケージサイズを顕著に縮小することができる。
第1図は、周波数ディスクリミネータの入力に結合され
る伝送ラインに結合されている出力を有する電圧/周波
数変換装置に結合される放射光ディテクタを示すブロッ
ク図、 第2図は、第1図の周波数ディスクリミネータの一実施
例のブロック図、 第3A図は、個々の放射光検出単位セルの出力周波数を電
流に変換する電導体ミクサーおよび放射光検出単位セル
を電流階段波形(current steps)に変換するローパス
・フィルタを表わす図、 第3B図は、第3A図のミクサーの電圧の関数としての電流
を示したグラフである。 第4図は、弱リンク(weak link)またはジョセフソン
素子ジャンクション電圧/周波数コンバータを含む超電
導要素とで構成される単位セルの一実施例を表わす図、 第5図は、弱リンクまたはジョセフソン素子ジャンクシ
ョン電圧/周波数コンバータと結合される超電導フォト
ディテクタを含む超電導半導体材料からなるフォト検出
アレイのための単位セルの他の実施例を表わす図であ
る。 10……放射光センサアレイ、12,14,16……ディテクタ、
18,20,22……電圧周波数変換デバイス、24,26,28……コ
ンダクタ、30……低損失伝送ライン、32……周波数デス
クリミネータ、34……周波数シンセサイザ。
る伝送ラインに結合されている出力を有する電圧/周波
数変換装置に結合される放射光ディテクタを示すブロッ
ク図、 第2図は、第1図の周波数ディスクリミネータの一実施
例のブロック図、 第3A図は、個々の放射光検出単位セルの出力周波数を電
流に変換する電導体ミクサーおよび放射光検出単位セル
を電流階段波形(current steps)に変換するローパス
・フィルタを表わす図、 第3B図は、第3A図のミクサーの電圧の関数としての電流
を示したグラフである。 第4図は、弱リンク(weak link)またはジョセフソン
素子ジャンクション電圧/周波数コンバータを含む超電
導要素とで構成される単位セルの一実施例を表わす図、 第5図は、弱リンクまたはジョセフソン素子ジャンクシ
ョン電圧/周波数コンバータと結合される超電導フォト
ディテクタを含む超電導半導体材料からなるフォト検出
アレイのための単位セルの他の実施例を表わす図であ
る。 10……放射光センサアレイ、12,14,16……ディテクタ、
18,20,22……電圧周波数変換デバイス、24,26,28……コ
ンダクタ、30……低損失伝送ライン、32……周波数デス
クリミネータ、34……周波数シンセサイザ。
Claims (16)
- 【請求項1】複数の単位セルにより構成される放射光感
応検出器アレイにおいて、 前記単位セルのそれぞれは、 入射放射光に感応して、検出器に入射する放射光の関数
である出力信号を発生する放射光検出器と、 前記検出器の出力に結合され、前記放射光検出器に関連
した周波数範囲内の値を有する周波数であって、前記検
出器出力信号の振幅の関数である大きさの周波数を有す
る信号に前記検出器出力信号を変換する変換手段と、 により構成され、 前記放射光検出器のそれぞれに関連した前記範囲内の周
波数は、他の放射光検出器の範囲内の周波数とは異な
り、 前記変換手段のそれぞれの周波数の出力は、周波数識別
手段への単一ライン上に伝達され得ることを特徴とする
放射光感応検出器アレイ。 - 【請求項2】前記変換手段の出力周波数を周波数識別手
段に伝送するための伝送手段を更に有する、請求項1に
記載のアレイ。 - 【請求項3】掃引周波数帯域の発生手段と、 前記伝送手段および前記発生手段に結合され、掃引周波
数帯域に周波数出力を混合するためのミキシング手段
と、 周波数出力が掃引周波数帯域内の周波数に対応するとき
を指示するための指示手段と、 前記検出器出力信号の振幅内の周波数出力を相関するた
めの相関手段と、 から構成される請求項2に記載のアレイ。 - 【請求項4】前記発生手段は、 前記単位セルの1つの周波数レンジに対応する周波数を
それぞれ有する複数の掃引周波数帯域を、順次に発生す
るために動作できる、請求項3に記載のアレイ。 - 【請求項5】前記放射光検出器および前記変換手段は、 ジョセフソン効果を示す材料より構成される請求項1に
記載のアレイ。 - 【請求項6】前記放射光検出器は、超電導材料により構
成される、請求項5に記載のアレイ。 - 【請求項7】前記変換手段は、ジョセフソン・ジャンク
ション電圧制御オッシレータより構成される、請求項5
に記載のアレイ。 - 【請求項8】少なくとも、前記放射光検出器,前記変換
手段,前記伝送手段,および前記ミキシング手段は、 それぞれ、共通基板に設けられる高温超電導材料から構
成される、請求項3に記載のアレイ。 - 【請求項9】前記変換手段の各々が、他の全ての特定周
波数帯域と重畳しない特定周波数帯域内の周波数を出力
するように前記変換手段の各々をバイアスするためのバ
イアス手段を更に有する、請求項8に記載のアレイ。 - 【請求項10】入射放射光の特性の関数である大きさを
有する出力信号を発生するようにそれぞれ動作できる複
数の放射光検出器を提供するステップと、 各検出器の出力信号を、各検出器に対応する周波数範囲
内の周波数を有する周期信号に変換するステップであっ
て、前記各検出器の周波数範囲が互いに重なり合わず、
周波数の大きさが出力信号の大きさの関数であるところ
のステップと、 周波数ディスクリミネーターに前記周期信号を結合する
ステップと、 から構成されることを特徴とする複数の放射光検出器の
動作方法。 - 【請求項11】特定の検出器出力信号の大きさを決定す
るため、複数の検出器の特定の1つをアクセスするステ
ップを更に有し、 特定の検出器に関連する周波数レンジに実質的に等しい
周波数帯域を決定するステップと、 決定された周波数帯域に対応する掃引周波数帯域と各検
出器からの所定周波数を有する周期信号の周波数を比較
するステップと、 特定の検出器に関連する前記周期信号の周波数に実質的
に等しい掃引周波数帯域内の周波数を認識するステップ
と、 特定の検出器出力信号の大きさと掃引周波数帯域内の認
識された周波数を相関するステップと、 から構成される請求項10に記載の方法。 - 【請求項12】複数の放射光検出器を提供するステップ
は、 超電導遷移温度以下に複数の放射光検出器を冷却するス
テップを含む、請求項10に記載の方法。 - 【請求項13】検出器に入射する照射量の関数である大
きさの出力信号を有する超電導放射光検出器と、 前記出力信号をこの出力信号の大きさの関数である周波
数を有する周期信号に変換するため前記検出器出力信号
に結合され、ジョセフソン効果に従って動作する少なく
とも1つの構成要素により構成される変換手段と、 から構成されることを特徴とする超低温で動作するフォ
ト検出器アレイの単位セル。 - 【請求項14】超低温で動作するフォト検出器アレイ
は、 複数の単位セルにより構成され、各単位セルは入射する
照射量の関数である大きさの出力信号を有する超電導放
射光検出器と、 前記出力信号をこの出力信号の大きさの関数である周波
数を有する周期信号に変換するため前記検出器出力信号
に結合され、ジョセフソン効果に従って動作する少なく
とも1つの構成要素からなる変換手段と、 から構成され、 前記アレイは、更に、 前記変換手段のそれぞれからの周期信号を結合するため
前記変換手段の各々に結合される手段と、 前記周期信号の各々の周波数を認識するため、前記周期
信号を受けるための前記結合手段に接続された1つの入
力を有する入力手段と、 から構成されることを特徴とするフォト検出器アレイ。 - 【請求項15】前記変換手段の各々をバイアスするた
め、複数のバイアス信号を発生する発生手段を更に含
み、前記周期信号の周波数が前記バイアス信号の大きさ
により決定される周波数レンジ内に存在し、各々の周波
数レンジの各々は互いに重畳しない、請求項14に記載の
フォト検出器アレイ。 - 【請求項16】前記周期信号の周波数がであり、電圧
で表わされる検出器出力信号が電圧VDETで表わされ、前
記バイアス信号がVREFとして表わされるとき、前記周期
信号の周波数が方程式=(VDET+VREF)2e/hで与え
られる、請求項15に記載のフォト検出器アレイ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US266743 | 1988-11-03 | ||
| US07/266,743 US4982080A (en) | 1988-11-03 | 1988-11-03 | Radiation detecting array including unit cells with periodic output signals each within a unique frequency band |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361823A JPH0361823A (ja) | 1991-03-18 |
| JPH0670589B2 true JPH0670589B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=23015824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1285138A Expired - Lifetime JPH0670589B2 (ja) | 1988-11-03 | 1989-11-02 | 周波数ドメインのフォトディテクタ・アレイ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4982080A (ja) |
| JP (1) | JPH0670589B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5311020A (en) * | 1992-11-04 | 1994-05-10 | Trw Inc. | Monolithically-integrated semiconductor/superconductor infrared detector and readout circuit |
| US5526114A (en) * | 1994-07-20 | 1996-06-11 | Eselun; Steven A. | Time multiplexed fringe counter |
| US7410484B2 (en) | 2003-01-15 | 2008-08-12 | Cryodynamics, Llc | Cryotherapy probe |
| US7083612B2 (en) * | 2003-01-15 | 2006-08-01 | Cryodynamics, Llc | Cryotherapy system |
| US7273479B2 (en) * | 2003-01-15 | 2007-09-25 | Cryodynamics, Llc | Methods and systems for cryogenic cooling |
| JP5005179B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2012-08-22 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
| US8571614B1 (en) | 2009-10-12 | 2013-10-29 | Hypres, Inc. | Low-power biasing networks for superconducting integrated circuits |
| US8401600B1 (en) | 2010-08-02 | 2013-03-19 | Hypres, Inc. | Superconducting multi-bit digital mixer |
| JP2011041295A (ja) * | 2010-09-08 | 2011-02-24 | Sony Corp | 物理量分布検知装置および物理情報取得装置 |
| WO2015047961A2 (en) | 2013-09-24 | 2015-04-02 | Adagio Medical, Inc. | Endovascular near critical fluid based cryoablation catheter and related methods |
| US10617459B2 (en) | 2014-04-17 | 2020-04-14 | Adagio Medical, Inc. | Endovascular near critical fluid based cryoablation catheter having plurality of preformed treatment shapes |
| MX2016016169A (es) | 2014-07-09 | 2017-03-08 | Halliburton Energy Services Inc | Medicion basada en frecuencia de caracteristicas de una sustancia. |
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- 1989-11-02 JP JP1285138A patent/JPH0670589B2/ja not_active Expired - Lifetime
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