JPH0675003B2 - スペクトル分離処理方法 - Google Patents
スペクトル分離処理方法Info
- Publication number
- JPH0675003B2 JPH0675003B2 JP16829086A JP16829086A JPH0675003B2 JP H0675003 B2 JPH0675003 B2 JP H0675003B2 JP 16829086 A JP16829086 A JP 16829086A JP 16829086 A JP16829086 A JP 16829086A JP H0675003 B2 JPH0675003 B2 JP H0675003B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectrum
- distribution curve
- peak
- separated
- energy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、Ｘ線光電子分光分析（XPS）、発光分光分
析、Ｘ線回折等により得られるエネルギースペクトルを
基準スペクトルを基準スペクトルに分離する場合に好適
なスペクトル分離処理方法に関する。
析、Ｘ線回折等により得られるエネルギースペクトルを
基準スペクトルを基準スペクトルに分離する場合に好適
なスペクトル分離処理方法に関する。
（ロ）従来技術とその問題点 一般に、Ｘ線光電子光分析などで得られるエネルギース
ペクトルは、多数のピークを含む分布曲線として与えら
れる。そして、このエネルギースペクトルの各ピークの
位置、高さ、半値幅から各ピークの示す物質の同定、定
量等を行なう。
ペクトルは、多数のピークを含む分布曲線として与えら
れる。そして、このエネルギースペクトルの各ピークの
位置、高さ、半値幅から各ピークの示す物質の同定、定
量等を行なう。
ところで、測定されたエネルギースペクトルは、各物質
ごとにピークが分離して現われることはむしろ少なく、
多くの場合は隣接したピーク同士が重なり合う。その結
果、測定されたスペクトルピークは、物質単独のスぺク
トルパターンとは異なっており、そのままではピーク高
さや半値幅等を決定することができない。したがって、
特に物質の定量が困難となる。
ごとにピークが分離して現われることはむしろ少なく、
多くの場合は隣接したピーク同士が重なり合う。その結
果、測定されたスペクトルピークは、物質単独のスぺク
トルパターンとは異なっており、そのままではピーク高
さや半値幅等を決定することができない。したがって、
特に物質の定量が困難となる。
そこで、従来は、測定されたエネルギースペクトルのパ
ーンをCRT等に表示し、表示されたこのネルギースペク
トルをガウス分布やローレンツ分布などの分布曲線から
なる集合と見なし、この分布曲線を拡大、縮小するなど
してエネルギースペクトルの各ピークにマッチングさせ
ることにより基準スペクトルを設定し、次に、エネルギ
ースペクトルからマッチングさせた基準スペクトルを減
算する。そして、上記の操作を順次繰り返すことによっ
て最終的に測定したエネルギースペクトルを基準スペク
トルにそれぞれ分離するようにしている。
ーンをCRT等に表示し、表示されたこのネルギースペク
トルをガウス分布やローレンツ分布などの分布曲線から
なる集合と見なし、この分布曲線を拡大、縮小するなど
してエネルギースペクトルの各ピークにマッチングさせ
ることにより基準スペクトルを設定し、次に、エネルギ
ースペクトルからマッチングさせた基準スペクトルを減
算する。そして、上記の操作を順次繰り返すことによっ
て最終的に測定したエネルギースペクトルを基準スペク
トルにそれぞれ分離するようにしている。
このようなエネルギースペクトルの分離方法においては
分布曲線のフィッティングが適切でないと、分離の結
果、想定位置以外のとことでピークが多く残存すること
になる。このように残存ピークが存在する場合、従来
は、測定した元のエネルギースペクトルのパーンに戻
し、最初から分布曲線を選定し直して、各ピークごとに
再び基準スペクトルの分離操作を行なっていた。
分布曲線のフィッティングが適切でないと、分離の結
果、想定位置以外のとことでピークが多く残存すること
になる。このように残存ピークが存在する場合、従来
は、測定した元のエネルギースペクトルのパーンに戻
し、最初から分布曲線を選定し直して、各ピークごとに
再び基準スペクトルの分離操作を行なっていた。
しかしながら、従来のこのような方法では、分離操作を
何度も繰り返されねばならず、分離操作が煩雑で、か
つ、極めて効率が悪いという不具合がある。
何度も繰り返されねばならず、分離操作が煩雑で、か
つ、極めて効率が悪いという不具合がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、測定により得られたエネルギースペクトルを基準ス
ペクトルへ分離する操作の手数を減らし、分離操作を効
率良く行なえるようにすることを目的とする。
て、測定により得られたエネルギースペクトルを基準ス
ペクトルへ分離する操作の手数を減らし、分離操作を効
率良く行なえるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、試料を測定し
て得られたエネルギースペクトルに含まれる各ピークに
ついて、ガウス分布やローレンツ分布等の分布曲線を選
定し、選定した分布曲線が前記エネルギースペクトルの
ピークにフィッティングするように分布曲線のピーク位
置や拡大率を調整して基準スペクトルを作成した後、前
記エネルギースペクトルから作成した基準スペクトルを
減算してエネルギースペクトルを各基準スペクトルに分
離する方法において、エネルギースペクトルから基準ス
ペクトルを分離した際に分離した近接位置に残存ピーク
が存在する場合には、分離した基準スペクトルを分離後
のスペクトルに再度加算し、この加算スペクトルに対し
て再び分布曲線を選定し直すとともに、選定した分布曲
線を加算スペクトルにフィッティングさせて新たに基準
スペクトルを作成し、前記直前スペクトルから新たに作
成した基準スペクトルを減算する分離操作を行なうよう
にしている。
て得られたエネルギースペクトルに含まれる各ピークに
ついて、ガウス分布やローレンツ分布等の分布曲線を選
定し、選定した分布曲線が前記エネルギースペクトルの
ピークにフィッティングするように分布曲線のピーク位
置や拡大率を調整して基準スペクトルを作成した後、前
記エネルギースペクトルから作成した基準スペクトルを
減算してエネルギースペクトルを各基準スペクトルに分
離する方法において、エネルギースペクトルから基準ス
ペクトルを分離した際に分離した近接位置に残存ピーク
が存在する場合には、分離した基準スペクトルを分離後
のスペクトルに再度加算し、この加算スペクトルに対し
て再び分布曲線を選定し直すとともに、選定した分布曲
線を加算スペクトルにフィッティングさせて新たに基準
スペクトルを作成し、前記直前スペクトルから新たに作
成した基準スペクトルを減算する分離操作を行なうよう
にしている。
（ニ）実施例 第１図は、本発明を適用するための分析データ処理装置
のブロック図である。この実施例の分析データ処理装置
１では、Ｘ線光電子分光分析等により測定されたデータ
がCPU2を介して一旦メモリ４に記憶され、メモリに記憶
された測定データがCPU2により読み出されてCRT6に横軸
をエネルギー、縦軸を強度とするエネルギースペクトル
として表示される。また、メモリ４には予め基準スペク
トルを設定する場合のガウス分布やローレンツ分布の分
布曲線のデータが記憶されている。８はエネルギースペ
クトルを基準スペクトルに分離する場合に操作される操
作部である。
のブロック図である。この実施例の分析データ処理装置
１では、Ｘ線光電子分光分析等により測定されたデータ
がCPU2を介して一旦メモリ４に記憶され、メモリに記憶
された測定データがCPU2により読み出されてCRT6に横軸
をエネルギー、縦軸を強度とするエネルギースペクトル
として表示される。また、メモリ４には予め基準スペク
トルを設定する場合のガウス分布やローレンツ分布の分
布曲線のデータが記憶されている。８はエネルギースペ
クトルを基準スペクトルに分離する場合に操作される操
作部である。
次に、エネルギースペクトルを基準スペクトルに分離す
る方法について、第２図に示すフローチャートを参照し
て説明する。
る方法について、第２図に示すフローチャートを参照し
て説明する。
たとえば、Ｘ線光電子分光分析等によってエネルギース
ペクトルが測定されると（ステップ１）、このエネルギ
ースペクトルについて、次の操作を行なう。まず、基準
スペクトルに分離すべきエネルギースペクトルがある区
間で、たとえば、第３（ａ）の実線に示すような形状を
しているものとする。このエネルギースペクトルは、２
つのピークP1、P2が重なり合っており、このままでは各
基準スペクトルのピーク高さ等を決定することができな
い。そこで、操作部８を操作して基準スペクトルに分離
するための初期条件を設定する（ステップ２）。すなわ
ち、基準スペクトルに分離するエネルギー区間、分離す
べきピーク本数、ガウス分布、ローレンツ分布等装置の
特性を考慮した分布曲線をそれぞれ設定する。また、定
量分析を行なう場合は、ピーク位置も予め分かっている
ので、そのピーク位置λ１、λ２も設定する。
ペクトルが測定されると（ステップ１）、このエネルギ
ースペクトルについて、次の操作を行なう。まず、基準
スペクトルに分離すべきエネルギースペクトルがある区
間で、たとえば、第３（ａ）の実線に示すような形状を
しているものとする。このエネルギースペクトルは、２
つのピークP1、P2が重なり合っており、このままでは各
基準スペクトルのピーク高さ等を決定することができな
い。そこで、操作部８を操作して基準スペクトルに分離
するための初期条件を設定する（ステップ２）。すなわ
ち、基準スペクトルに分離するエネルギー区間、分離す
べきピーク本数、ガウス分布、ローレンツ分布等装置の
特性を考慮した分布曲線をそれぞれ設定する。また、定
量分析を行なう場合は、ピーク位置も予め分かっている
ので、そのピーク位置λ１、λ２も設定する。
次に、ステップ３を経て、上記のように設定したピーク
位置λ１において選定した分布曲線のピーク高さ、半値
幅等を設定することによって分布曲線がエネルギースペ
クトルに最も近似するようにそのパーンを拡大し、縮小
し、分布曲線をエネルギースペクトルの一つのピークP1
にフィッテイングさせる（ステップ４）。これには、メ
モリ４に記憶されている分布曲線を読み出してCRT6に表
示し、この分布曲線を見ながら操作部８を操作しながら
行なう。こうして分布曲線をフィッティングさせて基準
スペクトルS1（第３図（ａ）の破線で示される）が作成
されると（ステップ５）、次に、エネルギースペクトル
から作成した基準スペクトルを減算する。これは、CPU2
によって行なわれる。基準スペクトルS1を減算すると、
第３図（ｂ）の実線で示すようなエネルギースペクトル
となる。
位置λ１において選定した分布曲線のピーク高さ、半値
幅等を設定することによって分布曲線がエネルギースペ
クトルに最も近似するようにそのパーンを拡大し、縮小
し、分布曲線をエネルギースペクトルの一つのピークP1
にフィッテイングさせる（ステップ４）。これには、メ
モリ４に記憶されている分布曲線を読み出してCRT6に表
示し、この分布曲線を見ながら操作部８を操作しながら
行なう。こうして分布曲線をフィッティングさせて基準
スペクトルS1（第３図（ａ）の破線で示される）が作成
されると（ステップ５）、次に、エネルギースペクトル
から作成した基準スペクトルを減算する。これは、CPU2
によって行なわれる。基準スペクトルS1を減算すると、
第３図（ｂ）の実線で示すようなエネルギースペクトル
となる。
次に、指定したピークP1、２について分離がすべて完了
していなければ（ステップ７）、ステップ３に戻り、上
記の分離操作を繰り返す。すなわち、この例では、ピー
ク位置λ２において基準スペクトルS2を別途作成し、作
成した基準スペクトルS2をエネルギースペクトルから減
算する。減算後のエネルギースペクトルは第３図（ｃ）
に示すようなパターンとなる。
していなければ（ステップ７）、ステップ３に戻り、上
記の分離操作を繰り返す。すなわち、この例では、ピー
ク位置λ２において基準スペクトルS2を別途作成し、作
成した基準スペクトルS2をエネルギースペクトルから減
算する。減算後のエネルギースペクトルは第３図（ｃ）
に示すようなパターンとなる。
測定されたエネルギースペクトルから基準スペクトル
S1、S2を分離する最に、分離が不充分で、分離した近接
位置に残存ピークP1、P2、P3が存在するような場合に
は、ステップ３において、再分離が必要と判断し、次
に、分離した基準スペクトル（たとえばS1）を分離後の
スペクトルに再度加算する（ステップ８）。加算したス
ペクトルは、第３図（ｄ）の実線に示すようなパターン
となる。そこで、この加算スペクトルに対してステップ
４からステップ７の分離操作を繰り返す。すなわち、再
び分布曲線を選定し、選定した分布曲線のピーク高さ、
半値幅等を再度設定し直して分布曲線を加算スペクトル
にフィッティングさせる。こうして、新たな基準スペク
トルS1′を作成し、前記直前スペクトルから新たに作成
した基準スペクトルS1′を減算する。減算後のエネルギ
ースペクトルは第３図（ｅ）に示すようなパターンとな
る。
S1、S2を分離する最に、分離が不充分で、分離した近接
位置に残存ピークP1、P2、P3が存在するような場合に
は、ステップ３において、再分離が必要と判断し、次
に、分離した基準スペクトル（たとえばS1）を分離後の
スペクトルに再度加算する（ステップ８）。加算したス
ペクトルは、第３図（ｄ）の実線に示すようなパターン
となる。そこで、この加算スペクトルに対してステップ
４からステップ７の分離操作を繰り返す。すなわち、再
び分布曲線を選定し、選定した分布曲線のピーク高さ、
半値幅等を再度設定し直して分布曲線を加算スペクトル
にフィッティングさせる。こうして、新たな基準スペク
トルS1′を作成し、前記直前スペクトルから新たに作成
した基準スペクトルS1′を減算する。減算後のエネルギ
ースペクトルは第３図（ｅ）に示すようなパターンとな
る。
上記のようにして、エネルギースペクトルに含まれる指
定したすべてのピークについて分離操作が終了するとス
テップ９に移行し、残存ピークが存在しなければ分離操
作を終了する（ステップ10）。
定したすべてのピークについて分離操作が終了するとス
テップ９に移行し、残存ピークが存在しなければ分離操
作を終了する（ステップ10）。
残存ピークが依然として存在する場合には、分離前のど
のピークに対して再分離するかを設定した後（ステップ
11）、ステップ３に戻り、上記の分離操作を再度繰り返
す。
のピークに対して再分離するかを設定した後（ステップ
11）、ステップ３に戻り、上記の分離操作を再度繰り返
す。
このようにして、最終的に分離して得られた基準スペク
トルについてのピーク高さと半値幅のデータに基づいて
CPU2で試料の含有量を算出し、そのデータをCRT6に表示
する。
トルについてのピーク高さと半値幅のデータに基づいて
CPU2で試料の含有量を算出し、そのデータをCRT6に表示
する。
（ホ）効果 本発明によれば、基準スペクトルに分離した後に残存ピ
ークが存在する場合は、従来のように測定した基のエネ
ルギースペクトルのパーンに戻し、最初から分布曲線を
選定し直して基準スペクトルの分離操作を行なうのでは
なくて、分離した基準スペクトルを分離後のスペクトル
に再度加算し、この加算スペクトルに対して分離操作を
行なうので、従来に比較して、基準スペクトルへの分離
操作手数が減少する。このため、分離操作を効率良く行
えるようになるなどの優れた効果が発揮される。
ークが存在する場合は、従来のように測定した基のエネ
ルギースペクトルのパーンに戻し、最初から分布曲線を
選定し直して基準スペクトルの分離操作を行なうのでは
なくて、分離した基準スペクトルを分離後のスペクトル
に再度加算し、この加算スペクトルに対して分離操作を
行なうので、従来に比較して、基準スペクトルへの分離
操作手数が減少する。このため、分離操作を効率良く行
えるようになるなどの優れた効果が発揮される。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は分析デー
タ処理装置のブロック図、第２図は本発明方法を説明す
るためのフローチャート、第３図は測定されたエネルギ
ースペクトルとこれから基準スペクトルを分離した後の
パターンを示す図である。 S1、S2……基準スペクトル、P1、P2……ピーク、λ１、
λ２……ピーク位置。
タ処理装置のブロック図、第２図は本発明方法を説明す
るためのフローチャート、第３図は測定されたエネルギ
ースペクトルとこれから基準スペクトルを分離した後の
パターンを示す図である。 S1、S2……基準スペクトル、P1、P2……ピーク、λ１、
λ２……ピーク位置。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を測定して得られたエネルギースペク
トルに含まれる各ピークについて、ガウス分布やローレ
ンツ分布等の分布曲線を選定し、選定した分布曲線が前
記エネルギースペクトルのピークにフィッティングする
ように分布曲線のピーク位置や拡大率等を調整して基準
スペクトルを作成した後、前記エネルギースペクトルか
ら作成した基準スペクトルを減算してエネルギースペク
トルを各基準スペクトルに分離する方法であって、 エネルギースペクトルから基準スペクトルを分離した際
に分離した近接位置に残存ピークが存在する場合には、
分離した基準スペクトルを分離後のスペクトルに再度加
算し、この加算スペクトルに対して再び分布曲線を選定
し直すとともに、選定した分布曲線を加算スペクトルに
フィッティングさせて新たに基準スペクトルを作成し、
前記直前スペクトルから新たに作成した基準スペクトル
を減算する分離操作を行なうことを特徴とするスペクト
ル分離処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16829086A JPH0675003B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | スペクトル分離処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16829086A JPH0675003B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | スペクトル分離処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6325521A JPS6325521A (ja) | 1988-02-03 |
| JPH0675003B2 true JPH0675003B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=15865276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16829086A Expired - Lifetime JPH0675003B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | スペクトル分離処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675003B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2208992A1 (en) * | 2003-11-21 | 2010-07-21 | Eisai R&D Management Co., Ltd. | Quantitation method using isotope labeled internal standard substance, analysis system for executing the quantitation method, and program for the analysis |
| JP2009025220A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Yokogawa Electric Corp | 光スペクトラムアナライザおよび光スペクトラムアナライザのピーク検出方法 |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP16829086A patent/JPH0675003B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6325521A (ja) | 1988-02-03 |
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