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JPH0675309B2 - Pickup for magneto-optical recording medium - Google Patents
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JPH0675309B2 - Pickup for magneto-optical recording medium - Google Patents

Pickup for magneto-optical recording medium

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JPH0675309B2
JPH0675309B2 JP62096718A JP9671887A JPH0675309B2 JP H0675309 B2 JPH0675309 B2 JP H0675309B2 JP 62096718 A JP62096718 A JP 62096718A JP 9671887 A JP9671887 A JP 9671887A JP H0675309 B2 JPH0675309 B2 JP H0675309B2
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optical
magneto
recording medium
optical waveguide
pickup
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寛 砂川
敏明 栖原
浩 西原
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に記録さ
れている信号を読み取るためのピックアップ、特に詳細
には光導波路を用いたピックアップに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pickup for reading a signal recorded on a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical disk, and more particularly to a pickup using an optical waveguide. It is a thing.

(従来の技術) 近時、画像信号や音声信号等の記録媒体として、光磁気
ディスク等の光磁気記録媒体が広く実用に供されてい
る。この光磁気記録媒体に磁化の向きの形で記録されて
いる信号は、光学式のピックアップによって読み取られ
る。このピックアップは、例えばレーザ光等の直線偏光
光を光磁気記録媒体表面に照射し、該記録媒体において
反射した光の偏光面が磁化の向きに対応して回転する現
象(磁気カー効果)を利用して、記録媒体上の磁化の向
きを検出するようにしたものである。
(Prior Art) Recently, a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical disk has been widely put into practical use as a recording medium for image signals and audio signals. A signal recorded in the direction of magnetization on this magneto-optical recording medium is read by an optical pickup. This pickup utilizes a phenomenon (a magnetic Kerr effect) in which the surface of a magneto-optical recording medium is irradiated with linearly polarized light such as laser light, and the plane of polarization of the light reflected by the recording medium rotates in accordance with the direction of magnetization. Then, the direction of magnetization on the recording medium is detected.

具体的にこの光磁気記録媒体用ピックアップにおいて
は、記録媒体からの反射光を検光子を通して光検出器に
より検出し、該反射光の偏光面回転に応じて検出光量が
変化することを利用して上記磁化の向き、すなわち記録
情報を読み取るようにしている。またこのピックアップ
においては、上述のようにして記録情報読取りを行なう
とともに、トラッキングエラー検出、つまり磁化状態検
出のための光ビームが所定のグルーブに沿ったトラック
の中心から左右どちら側にずれて照射されているかを検
出するための機能、およびフォーカスエラー検出、つま
り上記光ビームの焦点が光磁気記録媒体の反射面よりも
近くにあるかあるいは遠くにあるかを検出するための機
能を備えることが求められる。すなわちこのトラッキン
グエラー、フォーカスエラーの検出信号は、該信号が打
ち消されるようにトラッキング制御、フォーカス制御を
かけて、光ビームを所定のトラックに正しく照射するた
め、また該光ビームを光磁気記録媒体の反射面上で正し
く合焦させるために利用される。なお従来より、トラッ
キングエラー検出方法としてはプッシュプル法、ヘテロ
ダイン法、時間差検出法等が知られており、一方フォー
カスエラー検出方法としては、非点収差法、臨界角検出
法、フーコー法等が知られている。
Specifically, in this magneto-optical recording medium pickup, by utilizing the fact that the reflected light from the recording medium is detected by a photodetector through an analyzer and the detected light amount changes according to the rotation of the polarization plane of the reflected light. The magnetization direction, that is, the recorded information is read. Further, in this pickup, the recording information is read as described above, and the light beam for tracking error detection, that is, for detecting the magnetized state is emitted while deviating to the left or right side from the center of the track along the predetermined groove. And a function for detecting focus error, that is, a function for detecting whether the focus of the light beam is closer or farther than the reflecting surface of the magneto-optical recording medium. To be That is, the tracking error and focus error detection signals are subjected to tracking control and focus control so that the signals are canceled so that the light beam is correctly irradiated to a predetermined track, and the light beam is applied to the magneto-optical recording medium. Used to focus properly on the reflective surface. Conventionally, push-pull method, heterodyne method, time difference detection method, etc. are known as tracking error detection methods, while astigmatism method, critical angle detection method, Foucault method, etc. are known as focus error detection methods. Has been.

信号読取機能に加えて上述のような機能を備えるために
従来の光磁気記録媒体用ピックアップは、光磁気記録媒
体において反射したビームを、該媒体に向けて照射され
ている光ビームから分離するためのビームスプリッタ
や、この反射ビームをフォトダイオード等の光検出器の
近傍で集束させるためのレンズや、前述の検光子や、さ
らには上記トラッキングエラー検出方法およびフォーカ
スエラー検出方法を実行するためのプリズム等の微小光
学素子から構成されていた。
In order to have the above-described function in addition to the signal reading function, the conventional magneto-optical recording medium pickup separates the beam reflected by the magneto-optical recording medium from the light beam emitted toward the medium. Beam splitter, a lens for focusing the reflected beam in the vicinity of a photodetector such as a photodiode, the analyzer described above, and a prism for executing the tracking error detection method and the focus error detection method. And the like.

(発明が解決しようとする問題点) しかし上記のような微小光学素子は精密な加工を要し、
またピックアップ組立てに際しての相互の位置調整も面
倒であるので、このような光学素子を用いるピックアッ
プは必然的に高価なものとなっていた。さらにこのよう
な構成のピックアップは、大型で重いものとなるので、
読取装置の小型軽量化や、アクセスタイム短縮化の点で
不利なものとなっていた。特に、読取信号のS/N向上の
ために差動検出を実行する場合には、反射ビームを2本
に分割するためのハーフミラー等が必要になり、その上
差動検出光学系によっては検光子を2個必要とすること
もあるので、ピックアップはより一層複雑化し、大型で
重いものとなる。
(Problems to be solved by the invention) However, the minute optical element as described above requires precise processing,
Further, since it is troublesome to adjust the mutual positions when assembling the pickup, a pickup using such an optical element is inevitably expensive. Furthermore, since the pickup with such a configuration is large and heavy,
It is disadvantageous in terms of downsizing and weight saving of the reading device and shortening of access time. In particular, when performing differential detection in order to improve the S / N of the read signal, a half mirror for splitting the reflected beam into two beams is required. Since it may require two photons, the pickup becomes even more complex, bulky and heavy.

上記の不具合を解消するため従来より、例えば非球面レ
ンズ等の特殊な光学素子を用いてピックアップの構成を
簡素化する試みも種々なされている。しかしこの種の光
学素子は特に高価であるので、このような素子を用いる
ピックアップは、構成は簡素化されても、コストの点で
は前述のようなピックアップとさほど変わり無いものと
なっている。
In order to solve the above problems, various attempts have conventionally been made to simplify the structure of the pickup by using a special optical element such as an aspherical lens. However, since an optical element of this kind is particularly expensive, a pickup using such an element has a structure similar to that of the above-mentioned pickup in terms of cost.

本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであ
り、小型軽量で、しかも極めて安価に形成されうる光磁
気記録媒体用ピックアップを提供することを目的とする
ものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a pickup for a magneto-optical recording medium which is small in size and light in weight and can be formed at an extremely low cost.

(問題点を解決するための手段) 本発明の光磁気記録媒体用ピックアップは、先に述べた
ビームスプリッタ、レンズ、プリズム、検光子、さらに
は差動検出を実行するためのハーフミラーなどが果たす
作用を、集光性回折格子を備えた2つの光導波路素子に
よって得るようにしたものであり、具体的には、 光ディスク等の光磁気記録媒体の表面に直線偏光した光
ビームを照射する光源と、上記光ビームを光磁気記録媒
体の反射面上で集束させる対物レンズと、互いに重なる
状態に一体化され、光磁気記録媒体で反射した反射ビー
ムを一表面で受けるような向きに配置された第1および
第2の光導波路とを設け、 第1の光導波路の表面の反射ビーム照射位置には、それ
ぞれ上記反射ビームを該第1の光導波路内に入射させる
第1,第2の集光性回折格子を並設し、 一方第2の光導波路の表面の反射ビーム照射位置、つま
り上記第1および第2の集光性回折格子と重なる位置に
は、反射ビームを該第2の光導波路内に入射させる第3
の集光性回折格子を設け、 上記第1,第2の集光性回折格子は、第1の光導波路を照
射する反射ビームの略中心を通りかつ該光導波路の表面
上をトラッキング方向に略直角に延びる軸をはさんで並
び、それぞれがTE、TMいずれか一方の導波モードを励振
し、この光導波路内を互いに等しい導波モードで導波す
る反射ビームを上記軸をはさんで互いに離れた位置に各
々集束させるように形成し、 一方第3の集光性回折格子は、第1および第2の集光性
回折格子による導波モードとは異なる導波モード(つま
り例えば第1,第2の集光性回折格子がTE導波モードを励
起する場合はTM導波モード)を励振して上記反射ビーム
を第2の光導波路内に入射させ、この光導波路内を導波
する反射ビームを集束させるように形成し、 また上記第1または第2の光導波路の表面あるいは端面
に、上記第1,第2および第3の集光性回折格子により集
束された各反射ビームをそれぞれ検出する第1,第2およ
び第3の光検出器を取り付け、 さらに上記第1および第2の光検出器の出力に基づいて
トラッキングエラーとフォーカスエラー検出を行なうエ
ラー検出回路と、 上記第1および/または第2の光検出器の出力と、第3
の光検出器の出力の差とに基づいて記録情報を検出する
差動検出回路とを設けてなるものである。
(Means for Solving the Problems) The pickup for a magneto-optical recording medium of the present invention is achieved by the beam splitter, the lens, the prism, the analyzer, and the half mirror for performing the differential detection described above. The function is obtained by two optical waveguide elements having a converging diffraction grating. Specifically, a light source for irradiating a surface of a magneto-optical recording medium such as an optical disk with a linearly polarized light beam is used. An objective lens that focuses the light beam on the reflecting surface of the magneto-optical recording medium and is integrated in a state of overlapping with each other, and is oriented so that the reflected beam reflected by the magneto-optical recording medium is received on one surface. The first and second optical waveguides are provided, and the first and second light-converging properties for causing the reflected beam to enter the first optical waveguide are provided at the reflected beam irradiation positions on the surface of the first optical waveguide. Folded gratings are arranged side by side, and on the other hand, at the position where the surface of the second optical waveguide is irradiated with the reflected beam, that is, at the position where it overlaps with the first and second converging diffraction gratings, the reflected beam is guided inside the second optical waveguide. Incident on the third
Is provided, and the first and second converging diffraction gratings pass through substantially the center of the reflected beam irradiating the first optical waveguide and on the surface of the optical waveguide in the tracking direction. Lined up with axes extending at right angles, each of which excites either TE or TM guided mode, and the reflected beams guided in the same waveguide mode in this optical waveguide are sandwiched by the axes described above. The third converging diffraction grating is formed so as to be focused at distant positions, while the third converging diffraction grating is different from the guided mode (that is, the first and second converging modes, for example, by the first and second converging diffraction gratings). When the second converging diffraction grating excites the TE waveguide mode, the TM waveguide mode is excited to cause the above-mentioned reflected beam to enter the second optical waveguide, and the reflection is guided in this optical waveguide. The beam is formed so as to be focused, and the first or second light guide is formed. First, second and third photodetectors for detecting the respective reflected beams focused by the first, second and third converging diffraction gratings are attached to the surface or the end face of the path, and further An error detection circuit for detecting a tracking error and a focus error based on outputs of the first and second photodetectors; an output of the first and / or second photodetector;
And a differential detection circuit for detecting recorded information based on the difference between the outputs of the photodetectors.

上記集光性回折格子(FGC:Focusing Grating Coupler)
は、曲りとチャープ、または曲りを有する回折格子であ
り、光導波路外の空間光波面と光導波路内を進行する導
波光の波面とを直接結合し、また光導波路内において反
射ビームを集束させる。
The above condensing diffraction grating (FGC: Focusing Grating Coupler)
Is a diffraction grating having a bend and a chirp or a bend, which directly couples the spatial light wavefront outside the optical waveguide and the wavefront of the guided light traveling inside the optical waveguide, and also focuses the reflected beam inside the optical waveguide.

(作用) 光磁気記録媒体からの反射ビームを上記の集光性回折格
子によって光導波路内に取り込むことにより、該反射ビ
ームは光源から光磁気記録媒体に向かう光ビームの光路
から分離される。これは前述のビームスプリッタが果た
す作用と同じである。また集光性回折格子は光導波路内
で反射ビームを集束させるが、これは前述のレンズが果
たす作用と同じである。さらに第1および第2の集光性
回折格子が2個前述のような位置に配されているから、
光磁気記録媒体からの反射ビームは互いにトラッキング
方向に分離されて2箇所で集束する。これは前述のプリ
ズムが果たす作用と同じである。
(Operation) By taking the reflected beam from the magneto-optical recording medium into the optical waveguide by the above-mentioned converging diffraction grating, the reflected beam is separated from the optical path of the light beam traveling from the light source to the magneto-optical recording medium. This is the same as the function performed by the beam splitter described above. The converging diffraction grating focuses the reflected beam in the optical waveguide, which is the same as the function of the lens described above. Furthermore, since two first and second converging diffraction gratings are arranged at the positions as described above,
The reflected beams from the magneto-optical recording medium are separated from each other in the tracking direction and focused at two points. This is the same as the function of the prism described above.

また第1,第2の集光性回折格子はTE(TM)導波モードを
励振し、一方第3の集光性回折格子はTM(TE)導波モー
ドを励振するように形成しておくことにより、第1およ
び/または第2の光検出器の出力と第3の光検出器の出
力は、反射ビームの偏光の向きに応じて相補的に変化す
るようになるので、上記2組の出力の差を差動検出回路
で検出すれば、反射ビームの偏光の向き、つまり光磁気
記録媒体の記録情報が読み取れることになる。これによ
り、差動検出光学系を設けて差動検出を行なう場合と同
様に、S/Nの高い読取信号を得ることができる。すなわ
ち第1および第2の集光性回折格子に加えて第3の集光
性回折格子を設けたことにより、前述のハーフミラー等
が果たすビーム分割作用が得られ、そして各集光性回折
格子による励振導波モードを上記のように設定すること
により、前述の2つの検光子が果たす作用が得られる。
The first and second condensing diffraction gratings are formed so as to excite the TE (TM) guided mode, while the third condensing diffraction grating is formed so as to excite the TM (TE) guided mode. As a result, the output of the first and / or second photodetector and the output of the third photodetector will change in a complementary manner according to the direction of polarization of the reflected beam. If the difference in output is detected by the differential detection circuit, the direction of polarization of the reflected beam, that is, the recorded information on the magneto-optical recording medium can be read. As a result, a read signal with a high S / N can be obtained as in the case where the differential detection optical system is provided and differential detection is performed. That is, by providing the third converging diffraction grating in addition to the first and second converging diffraction gratings, the beam splitting function achieved by the above-mentioned half mirror or the like can be obtained, and each converging diffraction grating can be obtained. By setting the excitation waveguide mode by the above, the action achieved by the above two analyzers can be obtained.

なお上記第1,第2および第3の集光性回折格子を1つの
光導波路の表面上に並べて配置することも考えられる
が、第1および第2の集光性回折格子によりTE(TM)モ
ード導波光と結合する反射ビームのS(P)偏光成分が
第3の集光性回折格子によっては光導波路内に入射し得
ない、ということがあるので、この場合は、このような
反射ビームのS(P)偏光成分のうち第3の集光性回折
格子の部分に照射された分は、全く利用され得ないこと
になる。また当然ながら、この反対のことも起こりう
る。しかし本発明装置におけるように第1,第2の集光性
回折格子と、第3の集光性回折格子とを、互いに重なる
状態に設けておけば、第1,第2(第3)の集光性回折格
子によって第1(第2)の光導波路内に入射しなかった
反射ビームの偏光成分も、この回折格子を透過して、第
3(第1,第2)の集光性回折格子により第2(第1)の
光導波路内に入射しうるようになるから、反射ビームの
検出効率ひいては光利用効率が上記の場合よりも向上す
る。
It is possible to arrange the above-mentioned first, second and third converging diffraction gratings side by side on the surface of one optical waveguide, but it is possible to use TE (TM) by the first and second converging diffraction gratings. In some cases, the S (P) polarization component of the reflected beam that is coupled with the mode-guided light cannot enter the optical waveguide due to the third converging diffraction grating. The portion of the S (P) polarization component of irradiating the portion of the third condensing diffraction grating cannot be used at all. And, of course, the opposite can happen. However, if the first and second converging diffraction gratings and the third converging diffraction grating are provided so as to overlap each other as in the device of the present invention, the first and second (third) The polarization component of the reflected beam that did not enter the first (second) optical waveguide due to the condensing diffraction grating also passes through this diffraction grating, and the third (first, second) converging diffraction Since the grating allows the light to enter the second (first) optical waveguide, the detection efficiency of the reflected beam and thus the light utilization efficiency are improved as compared with the above case.

(実施例) 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を詳細に説明
する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example shown in the drawings.

第1図は本発明の第1実施例による光磁気記録媒体用ピ
ックアップを示すものであり、第2図はこのピックアッ
プの光導波路の平面形状と電気回路を示すものである。
第1図に示されるようにこのピックアップは、紙面に略
垂直な方向に延びるロッド11,11に沿って移動自在とさ
れたブロック12を有している。このブロック12は所定の
グルーブに沿った信号列(トラック)に追随するため
に、例えば精密送りネジと光学系送りモータ等により、
上記トラックの方向(ビーム照射位置において矢印U方
向)に直角な方向、あるいはそれに近い方向に移動され
るようになっている。
FIG. 1 shows a pickup for a magneto-optical recording medium according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a plan view of an optical waveguide of this pickup and an electric circuit.
As shown in FIG. 1, this pickup has a block 12 which is movable along rods 11 extending in a direction substantially perpendicular to the plane of the drawing. In order to follow the signal train (track) along a predetermined groove, this block 12 uses, for example, a precision feed screw and an optical system feed motor,
The track is moved in a direction perpendicular to the direction of the track (direction of arrow U at the beam irradiation position) or a direction close thereto.

上記ブロック12には、光磁気ディスク13の反射面14に向
けて直線偏光した光ビーム(レーザビーム)15を発する
半導体レーザ16と、該半導体レーザ16から発せられた発
散ビームを平行ビームにするコリメータレンズ17と、平
行ビームとされた光ビーム15を上記反射面14で集束させ
る対物レンズ18とが取り付けられている。この対物レン
ズ18は後に詳述するトラッキング制御、フォーカス制御
のために、トラッキング方向(矢印U方向に直角な方
向)およびフォーカス方向(矢印V方向)に移動可能に
支持され、トラッキングコイル19、フォーカスコイル20
によりそれぞれ上記の方向に移動されるようになってい
る。
The block 12 includes a semiconductor laser 16 that emits a linearly polarized light beam (laser beam) 15 toward a reflecting surface 14 of a magneto-optical disk 13, and a collimator that converts a divergent beam emitted from the semiconductor laser 16 into a parallel beam. A lens 17 and an objective lens 18 for focusing a parallel light beam 15 on the reflecting surface 14 are attached. The objective lens 18 is movably supported in the tracking direction (direction perpendicular to the arrow U direction) and the focus direction (direction V) for tracking control and focus control, which will be described in detail later. 20
Are moved in the above directions respectively.

上記コリメータレンズ17と対物レンズ18との間には、光
磁気ディスク13で反射した反射ビーム15′を表面29aで
受けるような向きにして、第2の光導波路29が配置され
ている。この第2の光導波路29は、透明な基板23上に形
成された第1の光導波路22と、バッファ層28を介して重
ね合わせて一体化されている。バッファ層28は、光導波
路22,29よりも低屈折率の透明材料から形成されてい
る。また上記反射ビーム15′が照射される位置において
第1の光導波路22の表面22aには、第1,第2の集光性回
折格子(以下、FGCと称する)31,32が相隣接して設けら
れている(第3図参照)。これらのFGC31,32は曲りとチ
ャープ、あるいは曲りを有する回折格子であり、それぞ
れが反射ビーム15′を第1の光導波路22内に入射させ、
そしてこの光導波路22内の一点で集束させるように形成
されている。第1,第2のFGC31,32は、前述のトラッキン
グ方向に対して直角で反射ビーム15′のほぼ中心を通る
光導波路22上の軸(第2図のy軸)をはさんで並設さ
れ、またそれぞれがこのy軸をはさんで互いに離れた位
置に反射ビーム15′を集束させるように形成されてい
る。
A second optical waveguide 29 is arranged between the collimator lens 17 and the objective lens 18 in such a direction that the reflected beam 15 'reflected by the magneto-optical disk 13 is received by the surface 29a. The second optical waveguide 29 is integrated with the first optical waveguide 22 formed on the transparent substrate 23 via the buffer layer 28. The buffer layer 28 is formed of a transparent material having a lower refractive index than the optical waveguides 22 and 29. Further, at the position where the reflected beam 15 'is irradiated, the first and second converging diffraction gratings (hereinafter, referred to as FGC) 31, 32 are adjacent to each other on the surface 22a of the first optical waveguide 22. It is provided (see FIG. 3). These FGCs 31 and 32 are diffraction gratings having bends and chirps, or bends, and each of them makes the reflected beam 15 ′ enter the first optical waveguide 22,
The optical waveguide 22 is formed so as to be focused at one point. The first and second FGCs 31 and 32 are arranged side by side with an axis (y-axis in FIG. 2) on the optical waveguide 22 which is orthogonal to the above-mentioned tracking direction and which passes through substantially the center of the reflected beam 15 '. Further, each is formed so as to focus the reflected beam 15 'at positions apart from each other across the y-axis.

一方第2の光導波路29の表面29aには、第3のFGC33が設
けられている。この第3のFGC33は基本的に上記第1,第
2のFGC31,32と同様のもので、これらFGC31および32の
開口面積とほぼ等しい開口面積を有し、FGC31,32と互い
に重なる位置に設けられている。
On the other hand, the third FGC 33 is provided on the surface 29a of the second optical waveguide 29. The third FGC 33 is basically the same as the first and second FGCs 31 and 32, and has an opening area substantially equal to the opening areas of these FGCs 31 and 32, and is provided at a position overlapping with the FGCs 31 and 32. Has been.

ここで第1,第2のFGC31,32はTE導波モードを励振し、一
方第3のFGC33はTM導波モードを励振するようにそれぞ
れ格子ピッチが設定されている。そして光導波路22,29
は第2図に示すように、反射ビーム15′の直線偏光の向
き(矢印P方向)に対して、x軸が45°傾くような向き
に配置されている。なお反射ビーム15′の直線偏光の向
きは、光磁気ディスク13における磁化の向きに対応して
回転するので、本例においては、磁化されていない部分
で反射した反射ビーム15′の直線偏光の向きを基準と
し、この向きとx軸とが45°の角度をなすようにしてい
る。なおFGC31,32は、光導波路22の表面22aとは反対側
の表面(第1図中の下表面)に設けられてもよい。また
FGC33についても同様である。
Here, the grating pitch is set so that the first and second FGCs 31 and 32 excite the TE waveguide mode, while the third FGC 33 excites the TM waveguide mode. And optical waveguide 22,29
As shown in FIG. 2, is arranged such that the x axis is inclined by 45 ° with respect to the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 '(direction of arrow P). Since the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 ′ rotates in correspondence with the direction of the magnetization of the magneto-optical disk 13, in this example, the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 ′ reflected by the non-magnetized portion. With this as a reference, this direction and the x-axis form an angle of 45 °. The FGCs 31 and 32 may be provided on the surface of the optical waveguide 22 opposite to the surface 22a (lower surface in FIG. 1). Also
The same applies to FGC33.

上記のような作用を果たすFGC31,32のm番目の格子パタ
ーン形状式は、光導波路22上の位置を第2図図示のx軸
(トラッキング方向軸)とy軸とによって規定してFGC3
1,32によるビーム集束位置の座標をそれぞれ(−Fx,F
y)、(Fx,Fy)とし、そして反射ビーム15′の光波長を
λ、該ビーム15′のFGC31,32への入射角をθ、TEモード
光に対する第1の光導波路22の実効屈折率をNTEとする
と、 [複号はFGC31に関して+、FGC32に関して−]で与えら
れる。
The m-th lattice pattern shape formula of the FGCs 31 and 32 that performs the above-described action defines the position on the optical waveguide 22 by the x-axis (tracking direction axis) and the y-axis shown in FIG.
The coordinates of the beam focus position by 1,32 are (-Fx, F
y), (Fx, Fy), and the optical wavelength of the reflected beam 15 ′ is λ, the incident angle of the beam 15 ′ on the FGCs 31, 32 is θ, and the effective refractive index of the first optical waveguide 22 for TE mode light. Is N TE , [Compounds are given as + for FGC31 and-for FGC32].

一方、FGC33のm番目の格子パターン形状式は、FGC33に
よるビーム集束位置の座標を(0,Fy)、TMモード光に対
する第2の光導波路29の実効屈折率をNTM、その他は上
記と同様に規定すると、 で与えられる。
On the other hand, the m-th grating pattern shape formula of FGC33 is the coordinates of the beam focusing position by FGC33 (0, Fy), the effective refractive index of the second optical waveguide 29 for TM mode light is N TM , and others are the same as above. If you specify Given in.

第1の光導波路22は、例えばパイレックスガラス製基板
23上に#7059ガラスをスパッタして形成することができ
る。また第2の光導波路29も、第1の光導波路22上に例
えばSiO2からなる透明バッファ層28を設けた後、その上
に#7059ガラスをスパッタする等して形成することがで
きる。一方FGC31,32,33は、光導波路22あるいは29上にS
i-NをPCVDにて製膜し、電子ビーム直接描画によりレジ
ストパターンを形成した後、RIEでSi−N膜に転写す
る、等の方法によって形成することができる。ちなみ
に、上記の材料で光導波路22,29(厚さ0.76μm)およ
びFGC31,32,33を形成した場合、前述の各形状式で格子
パターンが規定されるFGC31,32(TEモード励振とする)
の中心周期は0.782μm、FGC33(TMモード励振とする)
の中心周期は0.786μmとなる。
The first optical waveguide 22 is, for example, a Pyrex glass substrate
# 7059 glass can be sputtered onto the 23. The second optical waveguide 29 can also be formed by providing the transparent buffer layer 28 made of, for example, SiO 2 on the first optical waveguide 22, and then sputtering # 7059 glass on the transparent buffer layer 28. On the other hand, the FGC 31, 32, and 33 are S on the optical waveguide 22 or 29.
It can be formed by a method of forming a film of iN by PCVD, forming a resist pattern by direct writing with an electron beam, and then transferring it to a Si-N film by RIE. By the way, when the optical waveguides 22 and 29 (thickness 0.76 μm) and FGCs 31, 32 and 33 are formed from the above materials, the FGC31 and 32 (TE mode excitation) in which the lattice pattern is defined by the above-mentioned shape formulas
Center period of 0.782 μm, FGC33 (TM mode excitation)
The center period of is 0.786 μm.

一方第1の光導波路22のみを示した第3図に表わされて
いるように、該光導波路22の表面22aには、前述のよう
にして集束された反射ビーム15′をそれぞれ検出するよ
うに、第1の光検出器24および第2の光検出器25が設け
られている。また第2の光導波路29の表面29aには、同
様に第3の光検出器26が設けられている。第1の光検出
器24は一例として前記y軸と平行に延びるギャップで2
分割されたフォトダイオードPD1,PD2からなり、また第
2の光検出器25も同様のフォトダイオードPD3,PD4から
なる。一方第3の光検出器26は1つのフォトダイオード
PD5からなる。フォトダイオードPD5は一例として第4図
に詳しく示すように、光導波路29上に下部透明電極27
a、薄膜状光導電性材料27b、および上部電極27cをこの
順に装荷して形成されたものである。そして下部透明電
極27aと上部電極27cとの間には、電源27dから所定の電
界が印加される。この構成のフォトダイオードPD5にお
いては、光導電性材料27bが光照射を受けるとその光量
に応じた光電流が流れる。したがって、端子27eにおけ
る電位変化を検出すれば、光導電性材料27bの受光光量
を検出することができる。フォトダイオードPD1〜4
も、フォトダイオードPD5と同様に形成されている。な
お薄膜状光導電性材料27bは、例えばIV族のSi、Ge、IV
族のSe、III-V族のGaAs、II−VI族のZnO、CdS、IV-VI族
のPbS等のエピタキシャル膜、多結晶体膜、非晶質膜等
から形成可能であり、また非晶質カルコゲン膜(a-Se、
a-Se-As-Teなど)、非晶質Siを主体として水素および/
またはフッ素を含む膜(a-Si:H、a-SiGe:H、a-SiC:Hな
ど)にIII族、V族の原子(B、Pなど)を添加するこ
とによりpn接合、p-i-n接合を得てフォトダイオードを
形成する膜、前記非晶質Siを主体とし水素および/また
はフッ素を含む膜とショットキー接合を構成する電極を
用いてフォトダイオードを形成する膜等から形成するこ
ともできる。
On the other hand, as shown in FIG. 3 showing only the first optical waveguide 22, the reflected beams 15 'focused as described above are respectively detected on the surface 22a of the optical waveguide 22. Further, a first photodetector 24 and a second photodetector 25 are provided. A third photodetector 26 is similarly provided on the surface 29a of the second optical waveguide 29. As an example, the first photodetector 24 has a gap extending in parallel with the y-axis.
It is composed of divided photodiodes PD1 and PD2, and the second photodetector 25 is also composed of similar photodiodes PD3 and PD4. On the other hand, the third photodetector 26 is a photodiode
It consists of PD5. The photodiode PD5 is, for example, as shown in detail in FIG. 4, a lower transparent electrode 27 on the optical waveguide 29.
It is formed by loading a, a thin film photoconductive material 27b, and an upper electrode 27c in this order. Then, a predetermined electric field is applied from the power source 27d between the lower transparent electrode 27a and the upper electrode 27c. In the photodiode PD5 having this configuration, when the photoconductive material 27b is irradiated with light, a photocurrent corresponding to the amount of light flows. Therefore, the amount of received light of the photoconductive material 27b can be detected by detecting the potential change at the terminal 27e. Photodiodes PD1-4
Is also formed similarly to the photodiode PD5. The thin film photoconductive material 27b is, for example, a group IV Si, Ge, IV
Group Se, III-V group GaAs, II-VI group ZnO, CdS, IV-VI group PbS, etc. epitaxial films, polycrystalline films, amorphous films, etc. Chalcogen film (a-Se,
a-Se-As-Te, etc.), mainly amorphous Si and hydrogen and /
Alternatively, a pn junction or a pin junction can be formed by adding a Group III or V group atom (B, P, etc.) to a film containing fluorine (a-Si: H, a-SiGe: H, a-SiC: H, etc.). It can also be formed from a film that forms a photodiode, a film that forms a photodiode using an electrode that forms a Schottky junction with the film that mainly contains amorphous Si and contains hydrogen and / or fluorine.

第2図に示すようにフォトダイオードPD1,PD2の出力は
加算アンプ34で加算され、またフォトダイオードPD3,PD
4の出力も同様に加算アンプ37で加算され、そして第1,
第2の光検出器24,25それぞれの外側のフォトダイオー
ドPD1,PD4の出力が加算アンプ35で加算され、内側のフ
ォトダイオードPD2,PD3の出力が加算アンプ36で加算さ
れる。また上記加算アンプ34,37の出力は加算アンプ38
および差動アンプ40に入力され、そして加算アンプ35,3
6の出力は差動アンプ39に入力される。上記加算アンプ3
8の出力とフォトダイオードPD5の出力は差動アンプ41に
入力される。この差動アンプ41の出力S1、差動アンプ39
の出力S2、および差動アンプ40の出力S3はそれぞれ、読
取回路42、フォーカスコイル駆動制御回路43およびトラ
ッキングコイル駆動制御回路44に入力される。
As shown in FIG. 2, the outputs of the photodiodes PD1 and PD2 are added by the adding amplifier 34, and the photodiodes PD3 and PD2 are also added.
The outputs of 4 are likewise summed by the summing amplifier 37, and
The outputs of the outer photodiodes PD1 and PD4 of the second photodetectors 24 and 25 are added by the adding amplifier 35, and the outputs of the inner photodiodes PD2 and PD3 are added by the adding amplifier 36. The outputs of the summing amplifiers 34 and 37 are the summing amplifier 38.
Input to differential amplifier 40, and summing amplifier 35,3
The output of 6 is input to the differential amplifier 39. Above summing amplifier 3
The output of 8 and the output of the photodiode PD5 are input to the differential amplifier 41. The output S1 of this differential amplifier 41, the differential amplifier 39
Of the differential amplifier 40 and the output S3 of the differential amplifier 40 are input to the reading circuit 42, the focus coil drive control circuit 43, and the tracking coil drive control circuit 44, respectively.

次に、上記構成のピックアップの作動について説明す
る。半導体レーザ16から発せられ平行ビームとされた光
ビーム(レーザビーム)15は基板23,第1の光導波器22,
バッファ層28および第2の光導波路29を透過し、光磁気
ディスク13の反射面14上で合焦するように対物レンズ18
によって集束される。光磁気ディスク13は図示しない回
転駆動手段により、上記光ビーム15の照射位置において
トラックが矢印U方向に移動するように回転される。周
知の通り上記トラックは、磁化の向き(第1図において
反射面14の上側に矢印で示す)の形で記録された画像信
号や音声信号等の列であり、光磁気ディスク13からの反
射ビーム15′の直線偏光の向きは、磁化されていない部
分からの反射ビーム15′の直線偏光の向きと比べると、
磁化の向きに応じて互いに反対方向に回転する。つまり
ある方向に磁化している部分からの反射ビーム15′の偏
光の向きは、第2図の矢印Pで示す偏光方向から時計方
向に回転し、それとは反対方向に磁化している部分から
の反射ビーム15′の偏光の向きは、上記矢印Pで示す偏
光方向から反時計方向に回転する。
Next, the operation of the pickup having the above structure will be described. A light beam (laser beam) 15 emitted from the semiconductor laser 16 and made into a parallel beam is a substrate 23, a first optical director 22,
The objective lens 18 passes through the buffer layer 28 and the second optical waveguide 29 and is focused on the reflecting surface 14 of the magneto-optical disk 13.
Be focused by. The magneto-optical disk 13 is rotated by a rotation driving means (not shown) so that the track moves in the arrow U direction at the irradiation position of the light beam 15. As is well known, the track is a train of image signals and audio signals recorded in the direction of magnetization (indicated by an arrow above the reflecting surface 14 in FIG. 1). The direction of linear polarization of 15 'is compared with the direction of linear polarization of the reflected beam 15' from the unmagnetized part,
They rotate in opposite directions depending on the direction of magnetization. That is, the direction of polarization of the reflected beam 15 'from the part magnetized in a certain direction rotates clockwise from the polarization direction shown by the arrow P in FIG. 2 and from the part magnetized in the opposite direction. The polarization direction of the reflected beam 15 'rotates counterclockwise from the polarization direction indicated by the arrow P.

この反射ビーム15′のS偏光成分は対物レンズ18を通過
し、FGC33によって第2の光導波路29内に取り込まれ
る。また、この光導波路29を透過した反射ビーム15′の
P偏光成分は、FGC31,32によって第1の光導波路22内に
取り込まれる。第2の光導波路29内を導波する反射ビー
ム15′は、FGC33のビーム集束作用により、y軸上の1
点で集束する。一方第1の光導波路22内を導波する反射
ビーム15′は、FGC31,32それぞれのビーム集束作用によ
り、y軸をはさんだ2点で集束するようになる。ここ
で、先に述べたように第1,第2のFGC31,32はTE導波モー
ドを励振するように形成され、第2図の矢印Eで示す方
向の電界ベクトルを有する光を光導波路22内において導
波させ、一方第3のFGC33はTM導波モードを励振するよ
うに形成され、第2図中紙面に垂直な方向の電界ベクト
ルを有する光を光導波路29内において導波させる。した
がって、反射ビーム15′の直線偏光の向きが矢印Pで示
す方向よりも時計方向に回転すれば、第3のFGC33によ
り光導波路29内に取り込まれる反射ビーム15′の光量が
増大する一方、第1,第2のFGC31,32により光導波路22内
に取り込まれる反射ビーム15′の光量が減少する。反射
ビーム15′の直線偏光の向きが矢印P方向よりも反時計
方向に回転すれば、上記の逆となる。より詳しく説明す
れば、反射ビーム15′の直線偏光の向きと第2図のx軸
がなす角度をφとし、FGC31および32の開口面積とFGC33
の開口面積が等しいとすると、FGC31および32によって
第1の光導波路22内に取り込まれる光量I1と、FGC33に
よって第2の光導波路29内に取り込まれる光量I2は、そ
れぞれ第11図に曲線,で示すようにcos2φ,sin2φ
に比例して変化する。つまり上記角度φが45°未満の場
合は、FGC31および32によって光導波路22内に取り込ま
れる光量I1が、FGC33によって光導波路29内に取り込ま
れる光量I2より大となり、角度φが45°を超えると上記
の関係は逆転する。したがって、例えば加算アンプ38の
ゲインを適当に設定すれば、反射ビーム15′の直線偏光
の向きが第2図の矢印Pで示す方向より時計方向に回転
しているときは差動アンプ41の出力を−(マイナス)と
し、反対に反時計方向に回転しているときは差動アンプ
41の出力を+(プラス)とすることができる。こうして
差動アンプ41の出力S1を判別することにより、光磁気デ
ィスク13上の磁化の向き、つまり記録情報を読み取るこ
とができる。
The S-polarized component of the reflected beam 15 'passes through the objective lens 18 and is taken into the second optical waveguide 29 by the FGC 33. The P-polarized light component of the reflected beam 15 ′ that has passed through the optical waveguide 29 is taken into the first optical waveguide 22 by the FGCs 31 and 32. The reflected beam 15 ′ guided in the second optical waveguide 29 is 1 on the y axis due to the beam focusing action of the FGC 33.
Focus on points. On the other hand, the reflected beam 15 'guided in the first optical waveguide 22 is focused at two points across the y axis by the beam focusing action of each of the FGCs 31 and 32. Here, as described above, the first and second FGCs 31 and 32 are formed so as to excite the TE waveguide mode, and the light having the electric field vector in the direction indicated by the arrow E in FIG. On the other hand, the third FGC 33 is formed so as to excite the TM waveguide mode, and guides light having an electric field vector in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. Therefore, if the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 'rotates clockwise relative to the direction shown by the arrow P, the light amount of the reflected beam 15' taken into the optical waveguide 29 by the third FGC 33 increases, while The first and second FGCs 31 and 32 reduce the light amount of the reflected beam 15 'taken into the optical waveguide 22. If the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 'rotates counterclockwise as compared with the direction of arrow P, the above is reversed. More specifically, the angle between the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 ′ and the x-axis of FIG. 2 is φ, and the aperture areas of FGC31 and 32 and FGC33 are
Assuming that the aperture areas of the two are equal, the light quantity I 1 taken into the first optical waveguide 22 by the FGCs 31 and 32 and the light quantity I 2 taken into the second optical waveguide 29 by the FGC 33 are shown in FIG. , Cos 2 φ, sin 2 φ
Changes in proportion to. That is, when the angle φ is less than 45 °, the light amount I 1 taken into the optical waveguide 22 by the FGCs 31 and 32 is larger than the light amount I 2 taken into the optical waveguide 29 by the FGC 33, and the angle φ is 45 °. When exceeded, the above relationship is reversed. Therefore, for example, if the gain of the summing amplifier 38 is set appropriately, the output of the differential amplifier 41 when the direction of the linearly polarized light of the reflected beam 15 'is rotated clockwise from the direction shown by the arrow P in FIG. Is- (minus), and when it is rotating counterclockwise, the differential amplifier
The output of 41 can be + (plus). By discriminating the output S1 of the differential amplifier 41 in this way, the direction of magnetization on the magneto-optical disk 13, that is, the recorded information can be read.

第1〜3の光検出器24,25,26が出力する光検出信号に
は、例えば半導体レーザ16の光強度変動によるノイズ、
光磁気ディスク13の記録磁性膜の反射率の変動や結晶粒
に起因するノイズ等が含まれることが多い。これらのノ
イズ成分は第1,2の光検出器24,25の出力と、第3の光検
出器26の出力とにおいて互いに同相となるので、上述の
ような信号成分の差動検出を行なうことにより、これら
のノイズ成分が打ち消され、S/Nの高い読取信号S1を得
ることができる。
The photodetection signals output by the first to third photodetectors 24, 25, 26 include, for example, noise due to variations in the light intensity of the semiconductor laser 16,
In many cases, fluctuations in the reflectance of the recording magnetic film of the magneto-optical disk 13 and noise due to crystal grains are included. Since these noise components are in phase with each other in the outputs of the first and second photodetectors 24 and 25 and the output of the third photodetector 26, the differential detection of the signal components as described above should be performed. As a result, these noise components are canceled out, and the read signal S1 having a high S / N can be obtained.

また前記第11図から明らかなように、角度φの変化幅が
一定ならば、φ=45°を変化の中心としたときが光量
I1、I2の変化量が最大となり、差動出力S1も最大とな
る。したがって、光磁気ディスク13上の磁化の向きの違
いによる反射ビーム15′の直線偏光面回転角(カー回転
角)が、極めて小さいものであっても(一般に0.3〜0.5
°程度)、この偏光面の回転を精度良く検出可能とな
る。
Also, as is clear from FIG. 11, if the change width of the angle φ is constant, the light amount is when the change center is φ = 45 °.
The amount of change in I 1 and I 2 is maximum, and the differential output S1 is also maximum. Therefore, even if the linear polarization plane rotation angle (Kerr rotation angle) of the reflected beam 15 'due to the difference in the magnetization direction on the magneto-optical disk 13 is extremely small (generally 0.3 to 0.5).
The rotation of the polarization plane can be detected with high accuracy.

なお上記例においては、第1および第2の光検出器24,2
5の出力を加算した信号と、第3の光検出器26の出力信
号との差を検出するようにしているが、光検出器24,25
の一方の出力信号と光検出器26の出力信号との差を検出
して信号読取りを行なうことも可能である。しかしその
場合は、トラッキングエラーによって光検出器24または
25の出力が変動するので、この変動による信号誤検出を
防止するためには上記実施例におけるようにするのが好
ましい。
In the above example, the first and second photodetectors 24,2
The difference between the signal obtained by adding the outputs of 5 and the output signal of the third photodetector 26 is detected.
It is also possible to read the signal by detecting the difference between the output signal of one side and the output signal of the photodetector 26. However, in that case, due to tracking error, the photodetector 24 or
Since the output of 25 fluctuates, it is preferable to do as in the above embodiment in order to prevent erroneous signal detection due to this fluctuation.

ブロック12は先に述べたように光学系送りモータの駆動
によって矢印U方向と直角な方向、あるいはそれに近い
方向に送られ、それにより光磁気ディスク13上の光ビー
ム15の照射位置(ディスク径方向位置)が変えられて、
記録信号が連続的に読み取られる。ここで上記光ビーム
15は、所定の信号列(トラック)の中心に正しく照射さ
れなければならない。以下、このように光ビーム15の照
射位置を正しく維持する制御、すなわちトラッキング制
御について説明する。反射ビーム15′の中心がちょうど
FGC31とFGC32との間に位置するとき、第1の光検出器24
(フォトダイオードPD1とPD2)によって検出される光量
と、第2の光検出器25(フォトダイオードPD2とPD4)に
よって検出される光量とは一致する。したがってこの場
合は差動アンプ40の出力S3は0(ゼロ)となる。一方光
ビーム15の照射位置が不正になって、反射ビーム15′の
光強度分布が第2図中上方側に変位すると、第1の光検
出器24の検出光量が第2の光検出器25の検出光量を上回
る。したがって差動アンプ40の出力S3は+(プラス)と
なる。反対に反射ビーム15′の光強度分布が第2図中下
方側に変位すると、差動アンプ40の出力S3は−(マイナ
ス)となる。つまり差動アンプ40の出力S3は、トラッキ
ングエラーの方向(第2図の矢印x方向)を示すものと
なる。この出力S3はトラッキングエラー信号としてトラ
ッキングコイル駆動制御回路44に送られる。なおこのよ
うにフォトダイオードPD1〜4の出力を処理してトラッ
キングエラーを検出する方法は、プッシュプル法として
従来から確立されているものである。トラッキングコイ
ル駆動制御回路44は上記トラッキングエラー信号S3を受
け、該信号S3が示すトラッキングエラーの方向に応じた
電流Itをトラッキングコイル19に供給し、このトラッキ
ングエラーが解消される方向に対物レンズ18を移動させ
る。それにより光ビーム15は、常に信号列の中心に正し
く照射されるようになる。
As described above, the block 12 is fed by the drive of the optical system feed motor in the direction perpendicular to the direction of the arrow U or in the direction close thereto, whereby the irradiation position of the light beam 15 on the magneto-optical disc 13 (the disc radial direction). Position) is changed,
The recording signal is continuously read. Where the above light beam
15 must be correctly illuminated in the center of a given signal train (track). Hereinafter, the control for properly maintaining the irradiation position of the light beam 15, that is, the tracking control will be described. The center of the reflected beam 15 'is just
When located between FGC31 and FGC32, the first photodetector 24
The amount of light detected by (photodiodes PD1 and PD2) and the amount of light detected by the second photodetector 25 (photodiodes PD2 and PD4) match. Therefore, in this case, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes 0 (zero). On the other hand, when the irradiation position of the light beam 15 becomes incorrect and the light intensity distribution of the reflected beam 15 'is displaced to the upper side in FIG. 2, the amount of light detected by the first photodetector 24 is changed to the second photodetector 25. Exceeds the detected light intensity of. Therefore, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes + (plus). On the contrary, when the light intensity distribution of the reflected beam 15 'is displaced downward in FIG. 2, the output S3 of the differential amplifier 40 becomes-(minus). That is, the output S3 of the differential amplifier 40 indicates the direction of tracking error (direction of arrow x in FIG. 2). This output S3 is sent to the tracking coil drive control circuit 44 as a tracking error signal. The method of processing the outputs of the photodiodes PD1 to PD4 to detect the tracking error in this way is conventionally established as a push-pull method. The tracking coil drive control circuit 44 receives the tracking error signal S3, supplies a current It corresponding to the direction of the tracking error indicated by the signal S3 to the tracking coil 19, and moves the objective lens 18 in the direction in which the tracking error is eliminated. To move. As a result, the light beam 15 is always radiated correctly to the center of the signal train.

次にフォーカス制御、すなわち光ビーム15を光磁気ディ
スク13の反射面14上に正しく集束させる制御について説
明する。光ビーム15が光磁気ディスク13の反射面14上で
合焦しているとき、FGC31により集束される反射ビーム1
5′はフォトダイオードPD1とPD2との中間位置で集束す
る。このとき同様にFGC32により集束される反射ビーム1
5′は、フォトダイオードPD3とPD4との中間位置で集束
する。したがって加算アンプ35の出力と加算アンプ36の
出力は等しくなり、差動アンプ39の出力S2は0(ゼロ)
となる。一方光ビーム15が上記反射面14よりも近い位置
で集束しているときは、FGC31,32に入射する反射ビーム
15′は収束ビームとなり、光検出器24,25の各々におけ
る反射ビーム15′の照射位置はそれぞれ内側(フォトダ
イオードPD2側およびフォトダイオードPD3側)に変位す
る。したがってこの場合は加算アンプ35の出力が加算ア
ンプ36の出力を下回り、差動アンプ39の出力S2は−(マ
イナス)となる。反対に光ビーム15が反射面14よりも遠
い位置で集束しているときは、FGC31,32に入射する反射
ビーム15′は発散ビームとなり、光検出器24,25の各々
における反射ビーム15′の照射位置はそれぞれ外側(フ
ォトダイオードPD1側およびフォトダイオードPD4側)に
変位する。したがってこの場合は加算アンプ35の出力が
加算アンプ36の出力を上回り、差動アンプ39の出力S2は
+(プラス)となる。このように差動アンプ39の出力S2
は、フォーカスエラーの方向を示すものとなる。この出
力S2は、フォーカスエラー信号としてフォーカスコイル
駆動制御回路43に送られる。なおこのようにフォトダイ
オードPD1〜4の出力を処理してフォーカスエラーを検
出する方法は、従来より、フーコープリズムを用いるフ
ーコー法において実行されているものである。フォーカ
スコイル駆動制御回路43は上記フォーカスエラー信号S2
を受け、該信号S2が示すフォーカスエラーの方向に応じ
た電流Ifをフォーカスコイル20に供給し、このフォーカ
スエラーが解消される方向に対物レンズ18を移動させ
る。それにより光ビーム15は、常に光磁気ディスク13の
反射面14上で正しく集束するようになる。
Next, focus control, that is, control for correctly focusing the light beam 15 on the reflecting surface 14 of the magneto-optical disk 13 will be described. When the light beam 15 is focused on the reflecting surface 14 of the magneto-optical disk 13, the reflected beam 1 focused by the FGC 31
5'is focused at an intermediate position between the photodiodes PD1 and PD2. At this time, the reflected beam 1 similarly focused by the FGC 32
5'is focused at an intermediate position between the photodiodes PD3 and PD4. Therefore, the output of the adding amplifier 35 and the output of the adding amplifier 36 become equal, and the output S2 of the differential amplifier 39 is 0 (zero).
Becomes On the other hand, when the light beam 15 is focused at a position closer than the reflecting surface 14, the reflected beam incident on the FGC 31, 32
15 'becomes a convergent beam, and the irradiation position of the reflected beam 15' on each of the photodetectors 24 and 25 is displaced inward (to the photodiode PD2 side and the photodiode PD3 side). Therefore, in this case, the output of the addition amplifier 35 becomes lower than the output of the addition amplifier 36, and the output S2 of the differential amplifier 39 becomes-(minus). On the contrary, when the light beam 15 is focused at a position farther than the reflecting surface 14, the reflected beam 15 ′ incident on the FGCs 31, 32 becomes a divergent beam, and the reflected beam 15 ′ at each of the photodetectors 24, 25 becomes The irradiation positions are respectively displaced to the outside (the photodiode PD1 side and the photodiode PD4 side). Therefore, in this case, the output of the adding amplifier 35 exceeds the output of the adding amplifier 36, and the output S2 of the differential amplifier 39 becomes + (plus). Thus, the output S2 of the differential amplifier 39
Indicates the direction of the focus error. This output S2 is sent to the focus coil drive control circuit 43 as a focus error signal. The method of processing the outputs of the photodiodes PD1 to PD4 to detect the focus error in this way is conventionally executed in the Foucault method using a Foucault prism. The focus coil drive control circuit 43 uses the focus error signal S2
In response to this, a current If corresponding to the direction of the focus error indicated by the signal S2 is supplied to the focus coil 20, and the objective lens 18 is moved in the direction in which this focus error is eliminated. As a result, the light beam 15 is always correctly focused on the reflecting surface 14 of the magneto-optical disk 13.

なお、半導体レーザ16から発せられた光ビーム15は、コ
リメータレンズ17から対物レンズ18に向かう際にFGC31,
32,33によって一部が光導波路22,29に取り込まれるの
で、この光ビーム15が光導波路22,29の端面22c,29cで反
射して光検出器24,25,26に受光されることがないよう
に、上記端面22c,29cには光吸収部材45を貼着したり、
あるいはこの端面22c,29cを粗面加工しておくのが望ま
しい。
It should be noted that the light beam 15 emitted from the semiconductor laser 16 is generated by the FGC 31, when traveling from the collimator lens 17 to the objective lens 18.
Since a part of the light beam 15 is taken into the optical waveguides 22 and 29 by 32 and 33, the light beam 15 may be reflected by the end faces 22c and 29c of the optical waveguides 22 and 29 and received by the photodetectors 24, 25 and 26. So that the light absorbing member 45 is attached to the end faces 22c and 29c,
Alternatively, it is desirable to roughen the end surfaces 22c and 29c.

またこの実施例において2つのFGC31,32は、それぞれの
格子が連続して互いに密接した状態に形成されている
が、これらのFGC31,32は少しの距離をおいて互いに独立
に形成されてもよい。これは以下に説明する実施例にお
いても同様である。
Further, in this embodiment, the two FGCs 31 and 32 are formed in a state where their respective lattices are continuous and in close contact with each other, but these FGCs 31 and 32 may be formed independently of each other with a small distance. . This also applies to the embodiments described below.

またFGC31,32によってそれぞれ集束される反射ビーム1
5′を互いに交差させる、つまり第2図で説明すればFGC
31によるビーム集束位置がy軸の下側に、FGC32による
ビーム集束位置がy軸の上側に位置するようにFGC31,32
を形成しても構わない。
In addition, the reflected beam 1 which is respectively focused by FGC31, 32
5'cross each other, that is, FGC if explained in FIG.
FGC31, 32 so that the beam focusing position by 31 is below the y-axis and the beam focusing position by FGC32 is above the y-axis.
May be formed.

さらに上記実施例では第1,第2のFGC31,32がTE導波モー
ドを、第3のFGC33がTM導波モードを励振するようにし
てあるが、これとは反対に第1,第2のFGC31,32がTM導波
モードを、第3のFGC33がTE導波モードを励振するよう
にしてもよい。また上記実施例では、第1,第2のFGC31,
32が設けられた第1の光導波路22を基板23上に設け、そ
の上に第2の光導波路29を設けているが、両光導波路2
2,29はその反対に配置されても構わない。
Further, in the above embodiment, the first and second FGCs 31 and 32 excite the TE waveguide mode and the third FGC 33 excites the TM waveguide mode. On the contrary, the first and second FGCs 31 and 32 excite the TM waveguide mode. The FGCs 31 and 32 may excite the TM guided mode, and the third FGC 33 may excite the TE guided mode. In the above embodiment, the first and second FGC31,
The first optical waveguide 22 provided with 32 is provided on the substrate 23, and the second optical waveguide 29 is provided thereon.
2,29 may be placed opposite.

次に第5図を参照して本発明の第2実施例について説明
する。なおこの第5図において、第1図中の要素と同等
の要素には同番号を付し、それらについては必要の無い
限り説明を省く(以下、同様)。この第2実施例のピッ
クアップにおいては、第1図の装置において設けられた
コリメータレンズ17が省かれ、光磁気ディスク13からの
反射ビーム15′は収束ビームの状態で光導波路22,29内
に取り込まれるようになっている。この場合も、光導波
路22,29内において収束する3系統の反射ビーム15′
を、第2図図示のような第1,第2,第3の光検出器24,25,
26で検出し、それらの検出信号を前述のように処理すれ
ば、記録信号、トラッキングエラー、フォーカスエラー
を検出できる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the same elements as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted unless necessary (the same applies hereinafter). In the pickup of the second embodiment, the collimator lens 17 provided in the apparatus of FIG. 1 is omitted, and the reflected beam 15 'from the magneto-optical disk 13 is taken into the optical waveguides 22 and 29 in the converged beam state. It is supposed to be. In this case also, the reflected beams 15 'of the three systems converge in the optical waveguides 22 and 29.
The first, second, and third photodetectors 24, 25, as shown in FIG.
The recording signal, the tracking error, and the focus error can be detected by detecting at 26 and processing those detection signals as described above.

この実施例におけるFGC31,32のm番目の格子パターン形
状式は、光導波路22上の位置、およびFGC31,32によるビ
ーム収束位置の座標を第1実施例におけるのと同様に規
定し、反射ビーム15′の光波長をλ、該ビーム15′の中
心軸と光導波路22がなす角をθ、ビーム発散点からFGC3
1,32までのビーム中心軸の距離をl(第5図参照)、TE
モード光に対する光導波路22の実効屈折率をNTEとする
と、 [複号はFGC31に関して+、FGC32に関して−]で与えら
れる。
The m-th grating pattern shape formula of the FGCs 31 and 32 in this embodiment defines the position on the optical waveguide 22 and the coordinates of the beam convergence position by the FGCs 31 and 32 in the same manner as in the first embodiment, and the reflected beam 15 ′ Is the wavelength of light, λ is the angle between the central axis of the beam 15 ′ and the optical waveguide 22, and θ is the beam divergence point.
The distance of the central axis of the beam to 1,32 is l (see Fig. 5)
Let N TE be the effective refractive index of the optical waveguide 22 for mode light, [Compounds are given as + for FGC31 and-for FGC32].

一方FGC33のm番目の格子パターン形状式は、FGC33によ
るビーム集束位置の座標を第1実施例におけるのと同様
に規定し、ビーム発散点からFGC33までのビーム中心軸
の距離をL、TMモード光に対する光導波路29の実効屈折
率をNTM、その他は上記と同様に規定すると、 で与えられる。
On the other hand, the m-th grating pattern shape formula of the FGC33 defines the coordinates of the beam focusing position by the FGC33 in the same manner as in the first embodiment, and the distance of the beam central axis from the beam divergence point to the FGC33 is L, TM mode light. If the effective refractive index of the optical waveguide 29 with respect to N TM is specified in the same manner as above, Given in.

次に第6図を参照して本発明の第3実施例について説明
する。この第3実施例のピックアップにおいては、基板
50が十分屈折率が大きい材料から形成され、光ビーム15
はこの基板50と透明なバッファ層51の界面で反射して光
磁気ディスク13側に進行するようになっている。なお上
記のように光ビーム15を反射させるために、バッファ層
51と基板50との間に金属等の反射性薄膜を設けてもよ
い。この場合も光磁気ディスク13からの反射ビーム15′
は、3つのFGC31,32,33によって光導波路22,29内に取り
込まれる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the pickup of the third embodiment, the substrate
50 is formed of a material having a sufficiently high refractive index, and the light beam 15
Is reflected at the interface between the substrate 50 and the transparent buffer layer 51 and travels toward the magneto-optical disk 13 side. In addition, in order to reflect the light beam 15 as described above, the buffer layer
A reflective thin film such as metal may be provided between the substrate 51 and the substrate 50. Also in this case, the reflected beam 15 ′ from the magneto-optical disk 13
Are taken into the optical waveguides 22, 29 by the three FGCs 31, 32, 33.

上記の構成とする場合には、基板50を透明部材から形成
する必要がない。したがってこの場合は基板50を例えば
nタイプのSi基板から形成し、導波している反射ビーム
15′の浸み出し光(エバネッセント光)が上記基板50内
に入射することを防ぐバッファ層51を設け、第7図図示
のようなpタイプSi層52と電極53を設けてフォトダイオ
ードPD1〜PD5を集積化することが可能となる。このよう
にして集積化されたフォトダイオードPD1〜PD5は、高速
応答が可能であるので特に好ましい。
In the case of the above configuration, it is not necessary to form the substrate 50 from a transparent member. Therefore, in this case, the substrate 50 is formed of, for example, an n-type Si substrate, and the reflected beam is guided.
A buffer layer 51 for preventing the leaked light (evanescent light) of 15 'from entering the substrate 50 is provided, and a p-type Si layer 52 and an electrode 53 as shown in FIG. PD5 can be integrated. The photodiodes PD1 to PD5 integrated in this way are particularly preferable because they can respond at high speed.

上記のように本実施例においては、第1の光導波路22の
表面にすべてのフォトダイオードPD1〜PD5が形成されて
いる。そこで第6図に示されるように、第2の光導波路
29のバッファ層28側の表面には、この光導波路29内を集
束しつつ導波している反射ビーム15′を該光導波路29外
に出射させる線状回折格子(Linear Grating Coupler:
以下LGCと称する)55が設けられ、一方第1の光導波路2
2のバッファ層28側の表面にも、上記LGC55に対向する位
置においてLGC56が設けられている。LGC55によって第2
の光導波路29から出射した反射ビーム15′は、上記LGC5
6によって第1の光導波路22内に取り込まれ、フォトダ
イオードPD5によって検出される。フォトダイオードPD1
〜5の平面的な位置関係は、第2図に示す第1実施例に
おけるのと同様である。
As described above, in this embodiment, all the photodiodes PD1 to PD5 are formed on the surface of the first optical waveguide 22. Therefore, as shown in FIG. 6, the second optical waveguide
On the surface of the buffer layer 28 side of 29, a linear diffraction grating (Linear Grating Coupler: for emitting the reflected beam 15 ′ which is guided while focusing inside the optical waveguide 29 to the outside of the optical waveguide 29.
(Hereinafter referred to as LGC) 55 is provided, while the first optical waveguide 2 is provided.
The LGC56 is also provided on the surface of the second buffer layer 28 side at a position facing the LGC55. Second by LGC55
The reflected beam 15 ′ emitted from the optical waveguide 29 of the
It is taken into the first optical waveguide 22 by 6 and detected by the photodiode PD5. Photodiode PD1
The planar positional relationships of 5 to 5 are the same as in the first embodiment shown in FIG.

なお、上記の例におけるのとは反対に、第1の光導波路
22から集束しつつある2系統の導波光(反射ビーム1
5′)を出射させて第2の光導波路29内に入射させると
ともに、この第2の光導波路29にすべてのフォトダイオ
ードPD1〜5を設けて、それらによって3系統の導波光
を検出するようにしてもよい。
In contrast to the above example, the first optical waveguide
Two systems of guided light focusing from 22 (reflected beam 1
5 ') is emitted and made incident into the second optical waveguide 29, and all the photodiodes PD1 to PD5 are provided in the second optical waveguide 29 so that the guided light of three systems can be detected. May be.

第8図は本発明の第4実施例によるピックアップを示す
ものである。この実施例においては、半導体レーザ16か
ら発せられた光ビーム15を発散ビームの状態のまま基板
50とバッファ層51の界面において反射させ、光磁気ディ
スク13に向けて進行させるようにしている点が、上記第
3実施例と異なっている。
FIG. 8 shows a pickup according to the fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, the light beam 15 emitted from the semiconductor laser 16 is used as a divergent beam on the substrate.
This is different from the third embodiment in that the light is reflected at the interface between the buffer layer 51 and the buffer layer 51 and travels toward the magneto-optical disk 13.

次に第9図を参照して本発明の第5実施例について説明
する。この実施例においては、光導波路22,29と対物レ
ンズ18とが1つのヘッド60に固定されて一体化され、こ
のヘッド60がブロック12に対してトラッキング方向およ
びフォーカス方向に移動自在に支持されている。そして
このヘッド60は、トラッキングコイル19、フォーカスコ
イル20によって移動される。つまり本例ではトラッキン
グ制御、フォーカス制御のために、光導波路22,29が対
物レンズ18とともに移動される。このようにすれば、対
物レンズ18のみを移動させる場合のようにトラッキング
制御によって対物レンズ18が光導波路22,29に対してオ
フセットすることが無くなり、トッラキング制御をより
精度良く行なえるようになる。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the optical waveguides 22 and 29 and the objective lens 18 are fixed to and integrated with one head 60, and the head 60 is movably supported with respect to the block 12 in the tracking direction and the focus direction. There is. The head 60 is moved by the tracking coil 19 and the focus coil 20. That is, in this example, the optical waveguides 22 and 29 are moved together with the objective lens 18 for tracking control and focus control. By doing so, the objective lens 18 does not offset with respect to the optical waveguides 22 and 29 due to the tracking control as in the case of moving only the objective lens 18, and the tracking control can be performed more accurately.

なおこの第9図の例においては、基板50とバッファ層51
の界面で反射した光ビーム15を光磁気ディスク13に照射
させるようにしているが、上述のように光導波路22,29
と対物レンズ18を一体的に移動させる場合においても、
光導波路22,29を透過した光ビーム15を光磁気ディスク1
3に照射させることも可能であるし、また光ビームが発
散ビームの状態で光導波路22,29を透過あるいは上記界
面で反射するようにしてもよいことは勿論である。ま
た、半導体レーザ16およびコリメータレンズ17もヘッド
60に固定して、光導波路22,29および対物レンズ18と一
体的に移動させることも可能である。
In the example of FIG. 9, the substrate 50 and the buffer layer 51 are
The light beam 15 reflected at the interface of the optical waveguides is irradiated onto the magneto-optical disk 13.
Even when integrally moving the objective lens 18 and
The optical beam 15 transmitted through the optical waveguides 22 and 29 is converted into a magneto-optical disk 1.
It is also possible to irradiate the light beam on the light source 3, and it goes without saying that the light beam may be transmitted through the optical waveguides 22 and 29 or reflected on the interface in the state of a divergent beam. In addition, the semiconductor laser 16 and the collimator lens 17 are also heads.
It is also possible to fix it to 60 and move it integrally with the optical waveguides 22 and 29 and the objective lens 18.

次に、第10図を参照して本発明の第6実施例について説
明する。この実施例においては、第1実施例におけるの
と同様に第1の光導波路22は透明基板23上に形成され、
また第1および第2の光検出器24,25を構成するフォト
ダイオードPD1,2およびPD3,4は、光導波路22の端面22b
を研磨した上でその上に密着固定されている。一方第2
の光導波路29は、上記基板23とは別の透明基板70上に形
成され、フォトダイオードPD5もこの光導波路29の端面2
9bに結合されている。そして第1,第2の光導波路22,29
は、第1,第2のPGC31,32と第3のPGC33とが互いに重な
るようにして一体化されている。以上述べた点以外、本
実施例装置は第1実施例装置と同様に形成されている。
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, the first optical waveguide 22 is formed on the transparent substrate 23 as in the first embodiment,
The photodiodes PD1, 2 and PD3, 4 forming the first and second photodetectors 24, 25 are the end faces 22b of the optical waveguide 22.
Is ground and then adhered and fixed on it. While the second
The optical waveguide 29 is formed on a transparent substrate 70 different from the substrate 23, and the photodiode PD5 also has an end face 2 of the optical waveguide 29.
Bound to 9b. And the first and second optical waveguides 22, 29
Are integrated so that the first and second PGCs 31 and 32 and the third PGC 33 overlap each other. Except for the points described above, the device of this embodiment is formed similarly to the device of the first embodiment.

上述のように第1,第2の光導波路22,29を別々の基板上
に形成してから重ね合わせても、共通基板上に両光導波
路22,29を積層する場合と同様の効果が得られる。な
お、先に述べた第2〜5実施例のようにピックアップを
構成する場合においても、上述のように第1,第2の光導
波路22,29を別々の基板上に形成しうることは勿論であ
る。
As described above, even if the first and second optical waveguides 22 and 29 are formed on different substrates and then stacked, the same effect as when both optical waveguides 22 and 29 are laminated on the common substrate can be obtained. To be Even when the pickup is constructed as in the second to fifth embodiments described above, it goes without saying that the first and second optical waveguides 22 and 29 can be formed on different substrates as described above. Is.

以上説明した6つの実施例においては、第1,第2,第3の
光検出器24,25,26が光導波路22,29の表面22a,29aに装荷
あるいは集積化され、さらには端面22b,29bに結合され
ているが、これらの光検出器24,25,26はその他の形態で
光導波路22,29に取り付けることも可能である。すなわ
ち例えば第12図に示すように、光導波路29の表面29aに
近接させて光検出器24,25,26を配置することもできる。
この場合は先に第3実施例で説明したようにして、光導
波路22内を導波する導波光をそこから出射させて第2の
光導波路29内に取り込むようにすればよい。またこのよ
うに光導波路29の表面29aに光検出器24,25,26を近接さ
せて配置する場合、第13図図示のように、光導波路29の
表面29aに反射ビーム15′(導波光)を光導波路29外に
出射させる回折格子80を設けて、光検出器24,25,26の受
光効率を高めることも可能である。
In the six embodiments described above, the first, second, and third photodetectors 24, 25, and 26 are loaded or integrated on the surfaces 22a and 29a of the optical waveguides 22 and 29, and the end face 22b, Although coupled to 29b, these photodetectors 24, 25, 26 can be attached to the optical waveguides 22, 29 in other forms. That is, for example, as shown in FIG. 12, the photodetectors 24, 25, 26 can be arranged close to the surface 29a of the optical waveguide 29.
In this case, the guided light guided in the optical waveguide 22 may be emitted therefrom and taken into the second optical waveguide 29 as described in the third embodiment. When the photodetectors 24, 25, and 26 are arranged close to the surface 29a of the optical waveguide 29 in this way, as shown in FIG. 13, the reflected beam 15 '(guided light) is reflected on the surface 29a of the optical waveguide 29. It is also possible to increase the light receiving efficiency of the photodetectors 24, 25 and 26 by providing a diffraction grating 80 for emitting the light to the outside of the optical waveguide 29.

またPGC31,32,33は、先に述べた製造方法に限らず、公
知のフォトリソ法、ホログラフィック転写法等によりす
べてプレーナ技術で形成可能であり、容易に大量複製可
能である。
The PGCs 31, 32, and 33 are not limited to the above-described manufacturing method, but can be formed by the planar technique by a known photolithography method, holographic transfer method, or the like, and can be easily mass-replicated.

(発明の効果) 以上詳細に説明した通り本発明の光磁気記録媒体用ピッ
クアップにおいては、従来のピックアップにおいてビー
ムスプリッタ、レンズ、プリズム、ハーフミラーおよび
検光子等の光学素子が果たしていた作用が光導波路上に
形成した集光性回折格子によって得られるようになって
いる。したがって本発明のピックアップは、部品点数が
極めて少なく小形軽量に形成されるので、従来装置に比
べて大幅なコストダウンが可能となり、またアクセスタ
イムの短縮も可能となる。
(Effects of the Invention) As described in detail above, in the magneto-optical recording medium pickup of the present invention, the optical elements such as the beam splitter, the lens, the prism, the half mirror, and the analyzer in the conventional pickup perform the optical waveguide. It can be obtained by a converging diffraction grating formed on the road. Therefore, since the pickup of the present invention has a very small number of parts and is formed in a small size and light weight, the cost can be significantly reduced as compared with the conventional device, and the access time can be shortened.

そして本発明のピックアップは、その主要部分がプレー
ナ技術により容易に大量生産されうるので、この点から
も大幅なコストダウンを実現できるものとなる。
Since the main part of the pickup of the present invention can be easily mass-produced by the planar technique, a significant cost reduction can be realized from this point as well.

また本発明のピックアップにおいては、上記のような光
学素子の位置調整は勿論不要であり、また光導波路に光
検出器を結合したことにより光学素子と光検出器との位
置調整も不要であり、この点でもコストダウンが達成さ
れる。
Further, in the pickup of the present invention, it is of course unnecessary to adjust the position of the optical element as described above, and it is also unnecessary to adjust the position of the optical element and the photodetector by coupling the photodetector to the optical waveguide, Also in this respect, cost reduction can be achieved.

さらに本発明のピックアップにおいては、第1,第2の集
光性回折格子と第3の集光性回折格子を互いに重なるよ
うに配置しているので、光利用効率が高められ、よって
消費電力を低く抑える効果も得られる。
Further, in the pickup of the present invention, the first and second light-collecting diffraction gratings and the third light-collecting diffraction grating are arranged so as to overlap each other, so that the light utilization efficiency is improved and thus the power consumption is reduced. The effect of keeping it low is also obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の第1実施例装置を示す側面図、 第2図は上記第1実施例装置の光導波路の平面形状と電
気回路を示す概略図、 第3図は上記第1実施例装置の第1の光導波路を示す部
分平面図、 第4図は上記第1実施例装置の光検出器を詳しく示す側
面図、 第5および6図はそれぞれ、本発明の第2実施例装置、
第3実施例装置を示す側面図、 第7図は上記第3実施例装置の光検出器を詳しく示す側
面図、 第8,9および10図はそれぞれ、本発明の第4,5および6実
施例装置を示す側面図、 第11図は本発明に係る反射ビーム直線偏光面角度と、集
光性回折格子により光導波路内に取り込まれる光量との
関係を示すグラフ、 第12および13図はそれぞれ、本発明装置に用いられる光
検出器の他の例を示す側面図である。 13…光磁気ディスク、14…ディスクの反射面 15…光ビーム、15′…反射ビーム 16…半導体レーザ、17…コリメータレンズ 18…対物レンズ、19…トラッキングコイル 20…フォーカスコイル、22…第1の光導波路 22a…第1の光導波路の表面 22b…第1の光導波路の端面 23,50,70…基板、24…第1の光検出器 25…第2の光検出器、26…第3の光検出器 28,51…バッファ層、29…第2の光導波路 29a…第2の光導波路の表面 29b…第2の光導波路の端面 31…第1のFGC、32…第2のFGC 33…第3のFGC 34,35,36,37,38…加算アンプ 39,40,41…差動アンプ、42…読取回路 43…フォーカスコイル駆動制御回路 44…トラッキングコイル駆動制御回路 60…ヘッド、PD1〜5…フォトダイオード
FIG. 1 is a side view showing the first embodiment device of the present invention, FIG. 2 is a schematic view showing the planar shape of an optical waveguide and an electric circuit of the first embodiment device, and FIG. 3 is the first embodiment. FIG. 4 is a partial plan view showing a first optical waveguide of the device, FIG. 4 is a side view showing the photodetector of the first embodiment device in detail, and FIGS. 5 and 6 are respectively second embodiment device of the present invention.
FIG. 7 is a side view showing a device of the third embodiment, FIG. 7 is a side view showing the photodetector of the device of the third embodiment in detail, and FIGS. 8, 9 and 10 are respectively the fourth, sixth and sixth embodiments of the present invention. FIG. 11 is a side view showing an example device, FIG. 11 is a graph showing the relationship between the reflected beam linear polarization plane angle according to the present invention and the amount of light taken into the optical waveguide by the converging diffraction grating, and FIGS. 12 and 13 are respectively FIG. 6 is a side view showing another example of the photodetector used in the device of the present invention. 13 ... Magneto-optical disc, 14 ... Reflective surface of disc 15 ... Light beam, 15 '... Reflected beam 16 ... Semiconductor laser, 17 ... Collimator lens 18 ... Objective lens, 19 ... Tracking coil 20 ... Focus coil, 22 ... First Optical waveguide 22a ... Surface of first optical waveguide 22b ... End surface of first optical waveguide 23, 50, 70 ... Substrate, 24 ... First photodetector 25 ... Second photodetector, 26 ... Third Photodetectors 28, 51 ... Buffer layer, 29 ... Second optical waveguide 29a ... Second optical waveguide surface 29b ... Second optical waveguide end face 31 ... First FGC, 32 ... Second FGC 33 ... Third FGC 34,35,36,37,38 ... Addition amplifier 39,40,41 ... Differential amplifier, 42 ... Reading circuit 43 ... Focus coil drive control circuit 44 ... Tracking coil drive control circuit 60 ... Head, PD1 ... 5 ... Photodiode

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光磁気記録媒体の表面に直線偏光した光ビ
ームを照射する光源と、 前記光ビームを前記光磁気記録媒体の反射面上で集束さ
せる対物レンズと、 互いに重なる状態に一体化され、前記光磁気記録媒体で
反射した反射ビームを一表面で受ける向きに配置された
第1および第2の光導波路と、 この第1の光導波路の表面の反射ビーム照射位置におい
て、該ビームの略中心を通りかつ該表面上をトラッキン
グ方向に略直角に延びる軸をはさんで並設され、それぞ
れがTE、TMいずれか一方の導波モードを励振して前記反
射ビームを該第1の光導波路内に入射させるとともに、
この光導波路内を互いに等しい導波モードで導波する反
射ビームを前記軸をはさんで互いに離れた位置に各々集
束させる第1,第2の集光性回折格子と、 前記第2の光導波路の表面の反射ビーム照射位置におい
て前記第1および第2の集光性回折格子と重なる状態に
設けられ、これらの回折格子による導波モードとは異な
る導波モードを励振して前記反射ビームを該第2の光導
波路内に入射させ、集束させる第3の集光性回折格子
と、 前記第1または第2の光導波路の表面あるいは端面に取
り付けられ、前記第1,第2および第3の集光性回折格子
により集束された各反射ビームを検出する第1,第2およ
び第3の光検出器と、 前記第1および第2の光検出器の出力に基づいてトラッ
キングエラーとフォーカスエラー検出を行なうエラー検
出回路と、 前記第1および/または第2の光検出器の出力と、前記
第3の光検出器の出力との差に基づいて、前記記録媒体
に記録された情報を検出する差動検出回路とからなる光
磁気記録媒体用ピックアップ。
1. A light source for irradiating a surface of a magneto-optical recording medium with a linearly polarized light beam, and an objective lens for converging the light beam on a reflecting surface of the magneto-optical recording medium, which are integrated in a state of overlapping with each other. A first and second optical waveguides arranged in a direction to receive a reflected beam reflected by the magneto-optical recording medium on one surface, and the reflected beam irradiation position on the surface of the first optical waveguide, The first and second optical waveguides are arranged in parallel with each other with an axis passing through the center and extending on the surface substantially at right angles to the tracking direction, each of which excites either TE or TM waveguide mode. And let it enter inside,
First and second converging diffraction gratings for converging the reflected beams guided in the optical waveguide in the same waveguide mode at positions separated from each other with the axis in between, and the second optical waveguide Is provided in a position where the reflected beam is irradiated on the surface of the first and second converging diffraction gratings, and the reflected beam is excited by exciting a guided mode different from the guided mode by these diffraction gratings. A third converging diffraction grating that is incident on the second optical waveguide and focuses the light; and the first or second and third converging gratings attached to the surface or the end face of the first or second optical waveguide. Tracking error and focus error detection based on the outputs of the first, second and third photodetectors, which detect each reflected beam focused by the optical diffraction grating, and the outputs of the first and second photodetectors. Error detection circuit And a differential detection circuit that detects information recorded on the recording medium based on the difference between the output of the first and / or second photodetector and the output of the third photodetector. Pickup for magneto-optical recording medium.
【請求項2】前記第1,第2の光導波路が、互いに透明な
バッファ層を介して共通の基板上に形成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気記録媒
体用ピックアップ。
2. A magneto-optical recording device according to claim 1, wherein the first and second optical waveguides are formed on a common substrate via a transparent buffer layer. Media pickup.
【請求項3】前記第1,第2の光導波路がそれぞれ別個の
基板上に形成され、両光導波路の間に位置する基板が透
明基板とされていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。
3. The first and second optical waveguides are formed on separate substrates, respectively, and the substrate located between the optical waveguides is a transparent substrate. The pickup for a magneto-optical recording medium according to item 1.
【請求項4】前記軸と反射ビームの中心軸とを含む面
と、反射ビームの偏光方向が略45°傾くように、前記第
1および第2の光導波路が配置されていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項から第3項いずれか1項記載
の光磁気記録媒体用ピックアップ。
4. The first and second optical waveguides are arranged such that a plane including the axis and the central axis of the reflected beam and the polarization direction of the reflected beam are inclined by approximately 45 °. A pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】前記第1,第2の光検出器がそれぞれ、トラ
ッキングエラー検出、フォーカスエラー検出をそれぞれ
プッシュプル法,フーコー法で行なえるように、前記軸
と略平行に延びるギャップで分割された2分割光検出器
からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第
4項いずれか1項記載の光磁気記録媒体用ピックアッ
プ。
5. The first and second photodetectors are divided by a gap extending substantially parallel to the axis so that tracking error detection and focus error detection can be performed by the push-pull method and Foucault method, respectively. A magneto-optical recording medium pickup according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises a two-part photodetector.
【請求項6】前記第1および第2の光導波路の基板が透
明部材からなり、これの光導波路が前記光源と対物レン
ズとの間に配置されていることを特徴とする特許請求の
範囲第1項から第5項いずれか1項記載の光磁気記録媒
体用ピックアップ。
6. A substrate for the first and second optical waveguides is made of a transparent member, and the optical waveguides are arranged between the light source and the objective lens. The pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of items 1 to 5.
【請求項7】前記第1または第2の光導波路と基板との
間にバッファ層が設けられ、該光導波路が、前記光源か
ら発せられた光ビームを前記バッファ層と基板の界面に
おいて反射させて、前記光磁気記録媒体に向けて進行さ
せるように配置されていることを特徴とする特許請求の
範囲第1項から第5項いずれか1項記載の光磁気記録媒
体用ピックアップ。
7. A buffer layer is provided between the first or second optical waveguide and the substrate, and the optical waveguide reflects a light beam emitted from the light source at an interface between the buffer layer and the substrate. The magneto-optical recording medium pickup according to any one of claims 1 to 5, wherein the pickup is arranged so as to move toward the magneto-optical recording medium.
【請求項8】前記第1,第2の光導波路と対物レンズとが
互いに独立して配設され、該対物レンズのみがトラッキ
ング制御およびフォーカス制御のために移動されるよう
になっていることを特徴とする特許請求の範囲第1項か
ら第7項いずれか1項記載の光磁気記録媒体用ピックア
ップ。
8. The first and second optical waveguides and an objective lens are arranged independently of each other, and only the objective lens is moved for tracking control and focus control. The pickup for a magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 7, which is characterized.
【請求項9】前記第1,第2の光導波路が前記対物レンズ
と一体化され、トラッキング制御およびフォーカス制御
のために該対物レンズとともに移動されるようになって
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第7項
いずれか1項記載の光磁気記録媒体用ピックアップ。
9. The first and second optical waveguides are integrated with the objective lens, and are moved together with the objective lens for tracking control and focus control. The magneto-optical recording medium pickup according to any one of claims 1 to 7.
【請求項10】前記第1および第2の光導波路の表面
に、これらのうちの一方の光導波路内を導波している前
記反射ビームを該光導波路から出射させて他方の光導波
路内に入射させる回折格子がそれぞれ設けられ、前記第
1,2および3の光検出器がすべてこの他方の光導波路の
表面あるいは端面に取り付けられていることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項から第9項いずれか1項記載の
光磁気記録媒体用ピックアップ。
10. The reflected beam, which is guided in one of the first and second optical waveguides, is emitted from the optical waveguide to the surfaces of the first and second optical waveguides, and is introduced into the other optical waveguide. Diffraction gratings for incidence are provided respectively,
10. The magneto-optical recording device according to claim 1, wherein the photodetectors 1, 2, and 3 are all mounted on the surface or the end face of the other optical waveguide. Media pickup.
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