JPH0676978B2 - Condition color mapping device - Google Patents
Condition color mapping deviceInfo
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- JPH0676978B2 JPH0676978B2 JP60124834A JP12483485A JPH0676978B2 JP H0676978 B2 JPH0676978 B2 JP H0676978B2 JP 60124834 A JP60124834 A JP 60124834A JP 12483485 A JP12483485 A JP 12483485A JP H0676978 B2 JPH0676978 B2 JP H0676978B2
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- counter
- channel
- gate
- value
- color
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子線マイクロアナライザ（EPMA装置）によ
り、分析試料の状態の二次元カラー分布像を得るための
状態マッピング装置に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a state mapping device for obtaining a two-dimensional color distribution image of the state of an analysis sample by an electron beam microanalyzer (EPMA device).
（従来の技術） 分析装置用のカラーマッピング装置により、例えば電子
線マイクロアナライザで元素濃度分布像を表示すること
が行なわれている。しかし、分析試料の状態マップをカ
ラーマッピング装置で表示することは行なわれていな
い。(Prior Art) A color mapping device for an analyzer is used to display an element concentration distribution image with, for example, an electron beam microanalyzer. However, the state map of the analysis sample is not displayed on the color mapping device.
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、カラーマッピング装置に状態マップを表示す
ることを目的とするものである。(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to display a status map on a color mapping device.
（問題点を解決するための手段） 本発明の状態カラーマッピング装置は、実施例を示す第
１図を参照して説明すると、電子線マイクロアナライザ
において分析試料の各測定点からの特性Ｘ線を互いに異
なった設定波長値で検出する第１のチャネル（CH1）及
び第２のチャネル（CH2）と、 第１のチャネル（CH1）の検出値を入力して計数する第
１のカウンタ（２）、このカウンタ（２）の計数値を設
定値と比較するコンパレータ（４）及びこのコンパレー
タ（４）に設定値を設定する数値設定手段（６）を備
え、ゲート回路（10）を制御するゲート信号（Ｂ）を出
力するゲート制御回路（８）と、 第２のチャネル（CH2）の検出値を入力し、ゲート制御
回路（８）のゲート信号（Ｂ）により制御されるゲート
回路（10）と、 このゲート回路（10）を通過した第２のチャネル（C
H2）の検出値を計数し、分析試料の測定点の状態を表わ
す信号として出力する第２のカウンタ（12）と、 この第２のカウンタ（12）の出力に従って色分け表示を
行なうカラーモニタと、を備えて構成されている。(Means for Solving Problems) The state color mapping device of the present invention will be described with reference to FIG. 1 showing an embodiment. In the electron beam microanalyzer, characteristic X-rays from respective measurement points of an analysis sample are analyzed. A first counter (CH 1 ) and a second channel (CH 2 ) which are detected with different set wavelength values, and a first counter (which inputs and counts detection values of the first channel (CH 1 ). 2), a comparator (4) for comparing the count value of the counter (2) with a set value and a numerical value setting means (6) for setting the set value in the comparator (4), and controlling the gate circuit (10) A gate control circuit (8) that outputs a gate signal (B) and a gate circuit (8) that receives the detection value of the second channel (CH 2 ) and is controlled by the gate signal (B) of the gate control circuit (8) 10) and this gate circuit (10 A second channel which has passed through the (C
A second counter (12) that counts the detected value of H 2 ) and outputs it as a signal representing the state of the measurement point of the analytical sample; and a color monitor that performs color-coded display according to the output of this second counter (12). , And are configured.
特性Ｘ線を検出する検出器は、互いに異なった波長値に
設定されている２個の検出器の場合もあり、又は１個の
位置検出形検出器であって互いに異なる位置から近似的
に異なる波長値の検出信号が取り出される場合もある。
そこで、本発明において使用されている「チャネル」の
語は、２個の検出器が設けられる場合には各検出器を意
味し、１個の位置検出形検出器が使用される場合には検
出信号が取り出される各位置を意味するものとする。The detector for detecting the characteristic X-ray may be two detectors set to different wavelength values, or may be one position detection type detector which is approximately different from different positions. The detection signal of the wavelength value may be taken out.
Therefore, the term "channel" used in the present invention means each detector when two detectors are provided, and the detection when one position detection type detector is used. It shall mean each position from which the signal is taken.
（作用） 電子線マイクロアナライザで検出される特性Ｘ線のスペ
クトルは、分析試料の状態（主に化学結合状態）により
変化する。(Operation) The spectrum of the characteristic X-ray detected by the electron beam microanalyzer changes depending on the state of the analysis sample (mainly the chemical bond state).
分析試料の状態変化に伴なう特性Ｘ線のスペクトル変化
は、例えば、ピーク波長値がシフトしたり、関連ピーク
（例えばFeのＬαとＬβなど）の強度比が変化したり、
波形の対称性が変化したり、又は半値幅が変化するとい
うような現像として観察される。The spectrum change of the characteristic X-ray accompanying the change of the state of the analysis sample may be, for example, a shift of the peak wavelength value, a change in the intensity ratio of related peaks (for example, Lα and Lβ of Fe),
It is observed as development such that the symmetry of the waveform changes or the half-width changes.
そこで、そのようなスペクトル変化に着目し、分析試料
の各測定点からの特性Ｘ線を、分光器により予め設定さ
れた２個の波長値で検出することにより、１個のスペク
トルの異なったエネルギー位置に対する強度の比により
分析試料の各測定点の状態を識別することができる。Therefore, by paying attention to such a spectrum change, the characteristic X-rays from each measurement point of the analytical sample are detected by the two wavelength values preset by the spectroscope, so that different energies of one spectrum are obtained. The state of each measuring point of the analytical sample can be identified by the ratio of the intensity to the position.
本発明においては、ゲート制御回路（８）からのゲート
信号（Ｂ）は、第１のカウンタ（２）が第１のチャネル
（CH1）のＸ線信号パルスI1の計数を開始してから設定
値に到達するまでの時間だけゲート回路（10）を開けて
第２のチャネル（CH2）のＸ線信号パルスI2を第２のカ
ウンタ（12）へ入力させる。したがって、第２のカウン
タ（12）の計数値はI2/I1に比例した値となる。In the present invention, the gate signal (B) from the gate control circuit (8) is supplied after the first counter (2) starts counting the X-ray signal pulse I 1 of the first channel (CH 1 ). The gate circuit (10) is opened for the time until the set value is reached, and the X-ray signal pulse I 2 of the second channel (CH 2 ) is input to the second counter (12). Therefore, the count value of the second counter (12) is a value proportional to I 2 / I 1 .
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を表わす。(Embodiment) FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.
第１のチャネルCH1、第２のチャネルCH2として、分光器
により互いに異なる波長値に設定された２個の検出器が
設けられている。８はゲート制御回路で、第１のチャネ
ルCH1からのＸ線信号パルスI1を入力とし基準クロック
Ａによりリセットれるカウンタ２と、数値設定手段とし
てのサムホイールスイッチ６と、カウンタ２の出力を一
方の入力としサムホイールスイッチ６の設定値を他方の
入力としてゲート信号Ｂを出力するコンパレータ４を備
えている。基準クロックＡは後述のカウンタ12の積分時
間ごとにカウンタ２をリセットする。ゲート信号Ｂはカ
ウンタ２の出力設定値より小さいときＨ（ハイ）レベル
であり、カウンタ２の出力が設定値以上になるとＬ（ロ
ー）レベルとなる。As the first channel CH 1 and the second channel CH 2 , two detectors set to different wavelength values by the spectroscope are provided. 8 is a gate control circuit, a counter 2 reset is by X-ray signal pulses I 1 and an input reference clock A from the first channel CH 1, and thumbwheel switch 6 as numerical value setting means, the output of the counter 2 The comparator 4 is provided which outputs the gate signal B with one set input value of the thumbwheel switch 6 as the other input. The reference clock A resets the counter 2 at every integration time of the counter 12 described later. The gate signal B is at the H (high) level when the output of the counter 2 is smaller than the set value, and becomes at the L (low) level when the output of the counter 2 is equal to or larger than the set value.
10はゲート回路としてのANDゲートであり、第２のチャ
ネルCH2からのＸ線信号パルスI2を一方の入力とし、ゲ
ート制御回路８からのゲート信号Ｂを他方の入力として
いる。ゲート回路10の出力信号はカウンタ12へ導かれて
計数され、カウンタ12の計数値はカラーモニタ（図示
略）で色分けされてカラー表示される。An AND gate 10 as a gate circuit receives the X-ray signal pulse I 2 from the second channel CH 2 as one input and the gate signal B from the gate control circuit 8 as the other input. The output signal of the gate circuit 10 is guided to the counter 12 and counted, and the count value of the counter 12 is color-coded and color-displayed by a color monitor (not shown).
第１のチャネルCH1のＸ線信号パルスI1はまたカウンタ1
4にも入力されている。カウンタ14は元素の濃度マップ
を得るためのものである。First X-ray signal pulse I 1 of channel CH 1 is also counter 1
It is also entered in 4. The counter 14 is for obtaining an element concentration map.
第１図及び第２図により本実施例の動作を説明する。The operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
時刻t1で基準クロックＡによりカウンタ２がリセットさ
れるとゲート信号ＢがＨレベルとなって、第２のチャネ
ルCH2のＸ線信号パルスI2がANDゲート10を通ってカウン
タ12に入力し計数される。この状態はカウンタ２による
第１のチャネルCH1からのＸ線信号パルスI1の計数値が
設定値と等しくなる時点t2まで継続し、カウンタ２の計
数値が設定値以上になるとゲート信号ＢがＬレベルとな
って第２のチャネルCH2のＸ線信号パルスI2は最早カウ
ンタ12へは入力しなくなる。When the counter 2 is reset by the reference clock A at time t 1 , the gate signal B becomes H level, and the X-ray signal pulse I 2 of the second channel CH 2 is input to the counter 12 through the AND gate 10. Counted. This state continues until time t 2 when the X-ray signal count value of the pulse I 1 from the first channel CH 1 of the counter 2 is equal to the set value, the count value of the counter 2 is greater than or equal to the specified value when a gate signal B There X-ray signal pulses I 2 of the second channel CH 2 at the L level will no longer enter into the longer counter 12.
以下、同じ動作を繰り返す。Hereinafter, the same operation is repeated.
（発明の効果） 本発明により、カラーマッピング装置に入力されるカウ
ンタ12の出力信号は、第２のチャネルCH2のＸ線信号パ
ルスI2と第１のチャネルCH1のＸ線信号パルスI1との比I
2/I1である。その結果、カラーモニタには従来のような
濃度分布像ではなく、状態に対応したI2/I1のマップ像
が表示されるので、カラーレベルすなわち色分けのレベ
ルを調整すれば状態カラーマップが得られる。The present invention (Effect of the Invention), the output signal of the counter 12 to be input to the color mapping system, the X-ray signal pulses I 1 of the X-ray signal pulse I 2 of the second channel CH 2 first channel CH 1 Ratio I
2 / I 1 . As a result, the color monitor rather than a concentration distribution image such as the conventional, since the map image of I 2 / I 1 corresponding to the state is displayed, the state color map by adjusting the level of the color level or color is obtained To be
また、I2/I1を得る回路を、第１のカウンタ（２）、コ
ンパレータ（４）及び数値設定手段（６）からなるゲー
ト制御回路（８）と、ゲート回路（10）と、第２のカウ
ンタ（12）とにより構成したので、回路構成が簡単にな
る利点がある。A circuit for obtaining I 2 / I 1 is provided with a gate control circuit (8) including a first counter (2), a comparator (4) and a numerical value setting means (6), a gate circuit (10), and a second circuit. Since it is composed of the counter (12), there is an advantage that the circuit structure is simple.
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
同実施例の動作を示す波形図である。 CH1……第１のチャネル、 CH2……第２のチャネル、 ２……第１のカウンタ、 ４……コンパレータ、 ６……数値設定手段としてのサムホイールスイッチ、 ８……ゲート制御回路、 10……ゲート回路としてのANDゲート、 12……第２のカウンタ。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a waveform diagram showing the operation of the embodiment. CH 1 ... 1st channel, CH 2 ... 2nd channel, 2 ... 1st counter, 4 ... Comparator, 6 ... Thumbwheel switch as numerical setting means, 8 ... Gate control circuit, 10 …… AND gate as a gate circuit, 12 …… Second counter.
Claims (1)
料の各測定点からの特性Ｘ線を互いに異なった設定波長
値で検出する第１のチャネル及び第２のチャネルと、 前記第１のチャネルの検出値を入力して計数する第１の
カウンタ、この第１のカウンタの計数値を設定値と比較
するコンパレータ及びこのコンパレータに設定値を設定
する数値設定手段を備え、後記ゲート回路を制御するゲ
ート信号を出力するゲート制御回路と、 前記第２のチャネルの検出値を入力し、前記ゲート制御
回路のゲート信号により制御されるゲート回路と、 このゲート回路を通過した前記第２のチャネルの検出値
を計数し、分析試料の測定点の状態を表わす信号として
出力する第２のカウンタと、 この第２のカウンタの出力に従って色分け表示を行なう
カラーモニタと、 を備えたことを特徴とする状態カラーマッピング装置。1. A first channel and a second channel for detecting characteristic X-rays from respective measurement points of an analysis sample at different set wavelength values in an electron beam microanalyzer, and a detected value of the first channel. A first counter for inputting and counting, a comparator for comparing the count value of the first counter with a set value, and a numerical value setting means for setting the set value in the comparator, and a gate signal for controlling a gate circuit described later. A gate control circuit that outputs, a gate circuit that receives the detection value of the second channel and is controlled by a gate signal of the gate control circuit, and a detection value of the second channel that passes through the gate circuit Then, a second counter for outputting as a signal representing the state of the measurement point of the analytical sample, and a color monitor for performing color-coded display according to the output of the second counter. A state color mapping device comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124834A JPH0676978B2 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Condition color mapping device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124834A JPH0676978B2 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Condition color mapping device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61281953A JPS61281953A (en) | 1986-12-12 |
| JPH0676978B2 true JPH0676978B2 (en) | 1994-09-28 |
Family
ID=14895246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60124834A Expired - Lifetime JPH0676978B2 (en) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | Condition color mapping device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676978B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627718B2 (en) * | 1983-12-26 | 1994-04-13 | 株式会社島津製作所 | Area analysis method |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP60124834A patent/JPH0676978B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61281953A (en) | 1986-12-12 |
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