JPH0680728B2

JPH0680728B2 - ダイシングラインの角度調整方法およびペレットボンディング装置

Info

Publication number: JPH0680728B2
Application number: JP6220984A
Authority: JP
Inventors: 久彌鈴木; 誠有江
Original assignee: Toshiba Seiki Co Ltd
Current assignee: Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority date: 1984-03-31
Filing date: 1984-03-31
Publication date: 1994-10-12
Anticipated expiration: 2009-10-12
Also published as: JPS60207351A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、ペレットボンディング装置におけるダイシン
グラインの角度調整方法およびペレットボンディング装
置に関する。

［従来の技術］半導体素子等の素子群をその表面に２次元的に配置、形
成してなるウエハは、ダイヤモンドポイント等を用いて
その表面のxy方向にダイシングラインを刻設され、複数
の素子群を各素子に区画、分離するようにしている。区
画、分離された各素子は、粘着シートに被着された状態
でダイシングラインに沿って各々素子片としてのペレッ
トに破折、分離され、第１図に示すようなペレットボン
ディング装置により各ペレットを摘出し、基板等にマウ
ントさせるようにしている。すなわちこのペレットボン
ディング装置１は、架台２に対しXY方向に移動するXYテ
ーブル３を有してなり、該XYテーブル３上に固定された
支持フレーム４に対し、ウエハ５を被着させた粘着シー
ト６の外周部位を支持する支持部７を備えてなる支持リ
ング８を取着自在としている。コレット９は、支持リン
グ８の上方に位置し、粘着シート６上のウエハ５に対し
矢示Ａ方向に上下動可能としている。コレット９の先端
の開口部10は、ウエハ５を破折、分離させた各ペレット
11を保持可能なものとし、開口部10の形状を各ペレット
11の形状に合わせた方形状として不図示の真空配管によ
りエアを矢示Ｂ方向に吸引し、開口部10により各ペレッ
ト11を吸着、摘出するようにしている。開口部10により
各ペレット11を吸着する際、コレット９は下方へ移動
し、これとともに粘着シート６の裏面よりニードル13を
ペレット11に対し、突き上げ可能としている。すなわ
ち、このニートル13は粘着シート６の裏面で矢示Ｃ方向
に上下動可能であり、各ペレット11を突き上げることに
より、粘着シート６からのペレット11の剥離を容易に
し、コレット９によるペレット11の吸着を円滑化させて
いる。ペレット11を吸着したコレット９は、不図示の基
板上へと移動し、基板の所定マウント点で吸着解放し、
ペレット11を所定マウント点に接着させるようにしてい
る。

粘着シート６に被着された各ペレット11間には、予め粘
着シート６を加熱、引き伸ばすことにより間隔が形成さ
れ、これにより、各ペレットが粘着シート６上に等間隔
で分離、整列され、コレット９による吸着作業が容易に
行えるようにしている。分割、整列された各ペレット11
が被着された粘着シート６は、支持リング８の側部に形
成した凹溝14の部分でゴムリング15によりチャックさ
れ、この状態で第１図に示すように支持リング８を支持
フレーム４に取着するようにしている。支持リング８の
取着は、粘着シート６に被着されたウエハ５のダイシン
グライン16のxy方向とXYテーブル３の移動方向であるXY
方向とが合致するように行われ、これによりXYテーブル
３のXY方向へのピッチ移動を介し、順次、分割、整列さ
せたペレット11をコレット９の吸着点Ｄに位置させるこ
とが可能となり、また分割、整列されたペレット11のう
ち予め半導体検査装置による検査の結果、希望する特性
を有するペレット11のみを選別、吸着するようにXYテー
ブル３を移動調整することも可能となる。

しかるに、ペレットボンディング装置として、ダイシン
グラインに沿って各ペレットに分割されたウエハと、こ
のウエハを指示する支持リングと、この支持リングを回
転可能に支持するθテーブルと、このθテーブルを載置
するXYテーブルと、前記ペレットを順次摘出するコレッ
トとを有するものがある。このペレットボンディング装
置によれば、比較的小型のθテーブルを、大きなXYテー
ブル上に載置することとなり、全体形状を小型化できる
（大きなXYテーブルをθテーブル上に載置する場合に
は、θテーブル、得にその駆動源が大型化する）。

しかるに、ウエハ上の各ペレットは、半導体検査装置に
より、予め各素子の良、不良およびＡ、Ｂ、Ｃ等のラン
ク判別が行なわれ、それらの情報は、ウエハの中心に対
するxy方向（ダイシングライン方向）での座標位置でフ
ロッピーディスク、磁気テープ等の記録媒体に記憶され
ている。したがって、ペレットボンディング装置では、
それら各ペレットの座標位置の認定を行い、必要なペレ
ットをコレットにより選別、摘出可能とするため、粘着
シート上にて分割、整列される各ペレットの座標位置の
認定を行なうための基準整列角度に設定する必要があ
る。このため、ペレットボンディング装置にあっては、
検知カメラにより検知されたウエハのダイシングライン
がXY方向に対してなす角度を、基準整列角度と比較し、
比較の結果ウエハのダイシングラインを基準整列角度と
するための角度の補正値を算出するようにしている。そ
して、この角度補正値に基づき、支持リングを回転し、
ダイシングラインの角度を基準整列角度に補正した後、
新たに検知カメラの照準点をダイシングラインのいずれ
かの位置に合わせて補正状態を確認することとしてい
る。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、ウエハの支持リングがθテーブルに支持
され、このθテーブルがXYテーブルに支持されてなるペ
レットボンディング装置において、任意のダイシングラ
インを検知カメラにて検知し、ダイシングラインが基準
整列角度に対してなす角度ずれを算出し、算出した角度
ずれに基づいてθテーブルだけを回転動させた場合に
は、下記の理由、等により、ダイシングライン上の
任意部分が、この任意部分とθテーブルの回転中心間距
離を半径とする円弧状を移動することになる。すなわ
ち、理由はウエハ中心と支持リング中心とが異なるこ
と、理由は検知カメラの光軸と支持リング中心とが異
なることである。

したがって、特に検知領域の狭い検知カメラを用いた場
合、補正回転後において、先の検知に用いたダイシング
ラインが検知領域からはずれてしまう。したがって、整
合状態の確認或いは再補正移動を行なうためには、検知
のためのダイシングラインを新たに設定し直さなければ
ならない。

本発明は、ダイシングラインの角度ずれに基づいてウエ
ハを補正移動させた後における整合状態の確認或いは再
補正移動を容易かつ短時間に行なえることを目的とす
る。

また、本発明は、すでにダイシングされたウエハから個
々の半導体ペレットを順次摘出するペレットボンディン
グ装置において、半導体ペレット整列方向（ダイシング
ラインの方向）を任意に設定される基準整列角度に合致
せしめるように自動的に調整し、該調整作業を確実にか
つ高精度で行なえることを目的とする。

さらに本発明は、検知領域が狭い検知カメラを用いても
角度補正が行なえることを目的とする。

［課題を解決するための手段］請求項１に記載の本発明は、ダイシングラインに沿って
各ペレットに分割されたウエハと、このウエハを支持す
る支持リングと、この支持リングを回転可能に支持する
XYテーブルと、前記ペレットを順次摘出するコレットと
を有するペレットボンディング装置におけるダイシング
ラインの角度調整方法において、前記ウエハにおける任
意のダイシングラインを検知カメラにて検知するととも
に該ダイシングラインが基準整列角度に対してなす角度
ずれを算出し、算出した角度ずれに基づいて前記支持リ
ングを回転動させて前記ウエハを補正移動させるに際
し、補正移動中、前記検知カメラにて前記任意のダイシ
ングラインを捕捉し続ける状態となるように前記支持リ
ングの回転動とともに前記XYテーブルを移動させ、補正
移動後、該ダイシングラインを前記検知カメラにて検出
して整合状態の確認或いは再補正移動させるようにした
ものである。

請求項２に記載の本発明は、ダイシングラインに沿って
各ペレットに分割されたウエハを支持する支持リング
と、架台に対しXY方向に移動可能とし、支持リングを回
転可能に支持するXYテーブルと、XYテーブルを架台に対
しXY方向に駆動させるXYテーブル駆動手段と、支持リン
グの回転位置を調整し、ウエハのダイシングラインがXY
方向に対してなす角度を調整自在とする支持リング回転
手段と、前記ペレットを順次摘出するコレットとを有す
るペレットボンディング装置において、XYテーブルの上
方位置に配置され、ウエハのうち任意のダイシングライ
ンの一部を検知し、ダイシングラインがXY方向に対して
なす角度を検知する検知カメラと、ダイシングラインが
XY方向に対してなすべき基準整列角度を設定する基準整
列角度の設定手段と、基準整列角度と検知カメラにより
検知されたウエハのダイシングラインがXY方向に対して
なす角度とを比較し、角度の補正値（θK₁）を算出する
手段と、検知カメラにより上記任意のダイシングライン
の一部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆動手段およ
び支持リング回転手段を上記角度の補正値（θK₁）に基
づき駆動可能とする駆動信号を出力する手段と、角度補
正のなされたウエハのうち上記任意のダイシングライン
を検知カメラにより再検知し、上記任意のダイシングラ
インの一部と基準整列角度との整合性を確認する確認手
段と、上記確認手段による確認の結果、基準整列角度と
ダイシングラインがXY方向に対してなす角度に差が検出
された場合、該角度差を補正する角度の補正値（θK₂）
を算出する手段と、検知カメラにより上記任意のダイシ
ングラインの一部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆
動手段および支持リング回転手段を上記角度の補正値
（θK₂）に基づき駆動可能とする駆動信号を出力する手
段と、を有してなるようにしたものである。

請求項３に記載の本発明は、ダイシングラインに沿って
各ペレットに分割されたウエハを支持する支持リング
と、架台に対しXY方向に移動可能とし、支持リングを回
転可能に支持するXYテーブルと、XYテーブルを架台に対
しXY方向に駆動させるXYテーブル駆動手段と、支持リン
グの回転位置を調整し、ウエハのダイシングラインがXY
方向に対してなす角度を調整自在とする支持リング回転
手段と、前記ペレットを順次摘出するコレットとを有す
るペレットボンディング装置において、XYテーブルの上
方位置に配置され、ウエハのうち任意のダイシングライ
ンの一部を検知し、ダイシングラインがXY方向に対して
なす角度を検知する検知カメラと、ダイシングラインが
XY方向に対してなすべき基準整列角度を設定する基準整
列角度の設定手段と、基準整列角度と検知カメラにより
検知されたウエハのダイシングラインがXY方向に対して
なす角度とを比較し、角度の補正値（θK₁）を算出する
手段と、検知カメラにより上記任意のダイシングライン
の一部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆動手段およ
び支持リング回転手段を上記角度の補正値（θK₁）に基
づき駆動可能とする駆動信号を出力する手段と、角度補
正のなされたウエハのうち上記任意のダイシングライン
を検知カメラにより再検知し、上記任意のダイシングラ
インの一部と基準整列角度との整合性を確認する確認手
段と、上記確認手段による確認の結果、基準整列角度と
ダイシングラインがXY方向に対してなす角度に差が検出
された場合、該角度差を補正する角度の補正値（θK₂）
を算出する手段と、検知カメラにより上記任意のダイシ
ングラインの一部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆
動手段および支持リング回転手段を上記角度の補正値
（θK₂）に基づき駆動可能とする駆動信号を出力する手
段と、上記任意のダイシングラインの一部におけるXY方
向に対してなす角度が基準整列角度に整列された状態
で、上記任意のダイシングラインと同一のダイシングラ
イン上における他の部分の基準整列角度との整合性を確
認する再認識手段と、上記再認識手段による確認の結
果、基準整列角度と上記任意のダイシングラインと同一
のダイシングライン上における他の部分のXY方向に対し
てなす角度に差が検出された場合、該角度差を補正する
角度の補正値（θK₃）を算出する手段と、支持リング回
転手段を上記角度の補正値（θK₃）に基づき駆動可能と
する駆動信号を出力する手段と、を有してなるようにし
たものである。

［作用］本発明のダイシングラインの角度調整方法にあって
は、ダイシングラインが基準整列角度に対してなす角度
ずれを補正するに際し、支持リングによる回転動ととも
にXYテーブルの駆動を行い、これにより補正移動中、検
知カメラにて任意のダイシングラインを捕捉し続ける状
態とされることから、補正移動後に整合状態の確認或い
は再補正移動を行なうにおいても、新たなダイシングラ
インの設定し直しを必要とせずに即座に行える。

本発明のペレットボンディング装置にあっては、半導
体ペレットの基準整列角度を任意に設定できる設定手段
を有し、この設定手段に設定された基準整列角度と検知
カメラにて検知した半導体ペレットの実際の整列方向と
を比較して角度の補正値を算出し、この補正値に基づい
てウエハを支持する支持リングを回転調整するととも
に、角度補正後の確認も基準整列角度との整合性を確認
するように構成したものである。したがって、本発明で
は、基準整列角度の設定手段に設定する角度を変えさえ
すれば、半導体ペレットの整列方向がXYテーブルの移動
方向に対して所望の角度となるように設定調整すること
が可能となる。すなわち、基準整列角度をXY方向（例え
ば０度）と設定すれば、半導体ペレットの整列方向をXY
テーブルの移動方向に整合させることができ、基準整列
角度を45度と設定すれば、半導体ペレットの整列方向を
XYテーブルの移動方向に対して45度の角度に設定でき
る。

本発明にあっては、角度ずれを補正するに際し、補正
移動中、検知カメラて任意のダイシングラインを捕捉し
続ける状態とされることから、検知領域の狭い検知カメ
ラであっても角度補正を行なうことができる。

第３図は本発明の一実施例に係るウエハのダイシングラ
インの角度調整装置を備えてなるペレットボンディング
装置の全体を示す平面図、第４図は第３図のIV−IV線に
沿う拡大断面図、第５図は粘着シートを引き伸ばす前の
状態を示す断面図、第６図はチャック・引き伸ばし手段
により、粘着シートを引き伸ばした状態を示す断面図、
第７図は破折、分離された各ペレット間に間隔を形成す
る前の状態を示す断面図、第８図は各ペレット間に間隔
を形成した状態を示す断面図、第９図はウエハのダイシ
ングラインの角度を補正する前の状態を示す平面図、第
10図はウエハのダイシングラインを角度の補正値（θ
K₁）に基づき補正した状態を示す平面図、第11図および
第12図は検知カメラによりダイシングラインの一部を検
知したモニタ図に係り、第11図はダイシングラインの角
度を補正する前の状態、第12図は角度の補正値（θK₁）
に基づき補正した後の状態をそれぞれ示す図、第13図は
ウエハのうち検知カメラにより検知する部分を示す平面
図、第14図は検知カメラにより任意のダイシングライン
と同一のダイシングライン上における他の部分を検知し
た状態を示すモニタ図に係り、角度の補正を行う前の状
態を示す図、第15図は角度の補正値（θK₃）に基づき角
度を補正した後の状態を示すモニタ図、第16図はウエハ
の中心を検出する状態を示す平面図である。

このペレットボンディング装置は、XYテーブル21上に分
割、整列されてなる各ペレット22をコレット23で選別、
摘出し、コレット23により摘出されたペレット22を位置
決め装置24の位置決め台25上へ移載後、ペレット23を位
置決め台25上で整列させ、さらに整列されたペレット22
をXY方向に駆動可能なマウントユニット26により、搬送
ラインＥ上に搬送される基板27上のマウント位置28にマ
ウントさせるものである。

ペレットボンディング装置のXYテーブル21は、架台29上
をXY方向に移動可能としており、該XYテーブル21上に支
持リング30を回転可能に支持する支持枠31を備えた支持
枠台32をボルト33により固定させている。支持枠部31に
支持された支持リング30は、支持部34を備え、該支持部
34にて半導体素子等の素子群をその表面に配置、形成さ
せたウエハ35を被着させた粘着シート36のウエハ35被着
部分の外周部位を支持するようにしている。

粘着シート36に被着されるウエハ35は、円形状をしてお
り予めその表面に配置、形成された素子群の一つ一つに
ついて不図示の半導体検査装置を用いて検査が行われ、
温度特性、動作特性についての各素子の良、不良および
該特定についての優劣をＡ、Ｂ、Ｃ等のランクで判別
し、その結果をウエハ35の中心に対するxy方向での座標
位置の設定により、フロッピィデイスク、磁気テープ等
の記憶媒体に記憶させるようにしている。検査の終了し
たウエハ35は、粘着シート36に被着させた後、第７図に
示すようにダイヤモンドポイント38を用いて各素子ごと
にスクライブされ、ウエハ35をxy方向に第13図に示され
るようなダイシングライン39が刻設されることとなる。
ウエハ35は、このダイシングライン39に沿って破折、分
離され、複数の素子群を素子片としてのペレット22に分
割させるようにしている。ウエハ35を被着した粘着シー
ト36の上部には、コレット23が矢示Ｆ方向に上下動可能
な状態で設けられ、不図示の真空配管によりエアを吸引
して先端の開口部41にて分割、整列されたペレット22を
選別、摘出するようにしている。開口部41により各ペレ
ット22を吸着する際、コレット23は下方へ移動し、これ
とともに粘着シート36の裏面より、矢示Ｇ方向に上下動
可能なニードル42がペレット22を突き上げ可能としてい
る。開口部41の形状は各ペレット22の形状に合わせて方
形状のものとし、断面は略台形状としている。

粘着シート36における支持リング30に支持部34によって
支持される部分の外周部位には、該外周部位を保持する
状態でウエハリング43が被着されている。支持リング30
の支持部34の外周位置には、ウエハリング43および粘着
シート36の外周部位をチャックするとともに、支持リン
グ30の支持部34の支持面44に対し略直交する方向［Ｈ方
向］に相対移動して粘着シート36を引き伸ばし可能とす
るチャック・引き伸ばし手段45を設けている。

チャック・引き伸ばし手段45は、ウエハリング43および
粘着シート36の外周部位を下方より支持し、支持リング
30の支持部34の外周側47と当接する状態で上下動するイ
ンナリング48とウエハリング43および粘着シート36の外
周部位を上方より押付け、インナリング48との間でそれ
らを挟持可能とするクランパ49を備え、インナリング48
の外周側面50と当接する状態で上下動するアウタリング
51とからなる。

インナリング48は、支持リング30に対し、ボルト52を介
して取着され、インナリング48と支持リング30との間の
ボルト52の軸53には圧縮スプリング54が介装されてい
る。すなわちボルト52の軸53は、支持リング30に対しイ
ンナリング48を上下動する際のガイド軸としている。ア
ウタリング51は、内周側面57をインナリング48の外周側
面50との当接面とし、外周側面58には、凹部59が形成さ
れている。該凹部59は、支持枠台32に支持、固定された
シリンダブラケット60に取着されてなるシリンダ61の駆
動力により上下動するクランプアーム62の先端部に形成
された凸部63を嵌入可能としている。クランプアーム62
は、支持枠台32に支持された軸受部64に対し回動自在に
支持され、また該クランプアーム62は、アウタリング51
の外周側面58に沿う状態で形成され、該クランプアーム
62の先端部の２ケ所に形成された凸部63は、アウタリン
グ51の中心線Ｍ上の凹部59内に位置させている。クラン
プアーム62は、軸受部64を中心として上記凸部63の反対
側をシリンダ61のシリンダロッド65と係合可能な係合ア
ーム部66とし、該係合アーム部66の先端には、シリンダ
ロッド65の先端に形成された係合凸部67を係入可能とす
る長孔68が形成され、係合アーム66とシリンダロッド65
を係合している。シリンダ61は、シリンダロッド65を上
下方向［Ｊ方向］に駆動可能とし、シリンダロッド65の
先端に形成された係合凸部67を上下方向［Ｊ方向］に移
動可能としている。シリンダブラケット60には、シリン
ダロッド65が必要以上に上方移動しないようにストッパ
69が設けられている。シリンダロッド65の上下動は、係
合凸部67と長孔68との係合によりクラプアーム62側に伝
達され、クランプアーム62の先端部の凸部63を矢示Ｋ方
向に上下動可能としている。すなわちクランプアーム62
は軸受部64を支点としててこ運動し、いうなればシリン
ダロッド65の係合凸部67を力点、クランプアーム62の凸
部63を作用点として、シリンダロッド65の上下動を第４
図に２点鎖線ＰおよびＱで示すようにクランプアーム62
の凸部63の上下動とし、ひいては該凸部63と凹部59の嵌
合によりアウタリング51を上下動させている。

これにより第５図に示されるようにインナリング48と、
クランパ49間の間隙Ｗにウエハリング43および粘着シー
ト36の外周部位を位置せしめ、次いでシリンダ61を駆動
させ、シリンダロッド65を上方移動させればクランプア
ーム62の凸部63は軸受部64を中心として下方移動し、支
持リング30の支持部34の支持面47に対し、略直交する方
向［Ｈ方向］でアウタリング51が下方移動可能となる。
この結果先ずインナリング48とクランパ49間でウエハリ
ング43および粘着シート36の外周部位が挟持され、それ
らのチャックが可能となり、さらにシリンダ61を駆動さ
せ凸部63を下方移動させれば、アウタリング51およびイ
ンナリング48は、第６図に示すように下方移動し、チャ
ックした粘着シート36は中心より外方へと矢示Ｒ方向
［第７図］に引き伸ばされ、第８図に示すようにペレッ
ト22間に間隔が形成され、粘着シート36上に各ペレット
22が等間隔で分割、整列されることが可能となる。

XYテーブル21上の支持枠台32には、支持枠台32に対し支
持リング30を周方向［Ｓ方向］に回転可能とし、支持リ
ング30の回転位置の調整により、粘着シート36に被着さ
れたウエハ35のダイシングライン39がXY方向に対してな
す角度を調整自在とする支持リング回転手段71が設けら
れている。支持リング回転手段71は、支持枠台32に固着
されたモータブラケット72に対しステッピングモータ73
を支持させてなり、支持リング30の外周位置に設けたセ
クタギヤ74とモータシャフト75に装着させたピニオン76
を噛み合わせ、ステッピングモータ73の回転力により、
支持リング30を支持枠台31に対して回転可能とし、ウエ
ハ35のダイシングライン39がXY方向に対してなす角度を
調整自在としている。

XYテーブル21の上方位置には、ウエハ35のうちの任意の
ダイシングライン39の一部を検知し、ダイシングライン
39がXY方向に対してなす角度を検知可能とする検知カメ
ラ77が配置、固定されている。すなわち、この検知カメ
ラ77は、ウエハ35のダイシングライン39を上方より捕捉
し、例えば第９図に示すようにウエハ35のダイシングラ
イン39がXY方向に対し45度の角度となっていた場合、任
意のダイシングライン39上の一部の点Ｔを第11図に示す
ように検知カメラ77のモニタ上のXY照準線78および79の
交点である照準点Ｕに合わせて検知し、XY照準線に対す
るダイシングライン39の角度θ_１＝45度を求めるように
している。

粘着シート36上に分割、整列される各ペレット22は、前
述のように不図示の半導体検査装置により、予め各素子
の良、不良およびＡ、Ｂ、Ｃ等のランク判別が行われ、
それらの情報は、ウエハ35の中心に対するxy方向での座
標位置でフロッピィディスク、磁気テープ等の記憶媒体
に記憶されているため、それら各ペレット22の座標位置
の設定を行い、必要なペレット22をコレット23により選
別、摘出可能とするため、分割、整列される各ペレット
22の座標位置の認定を行うための基準整列角度に設定す
る必要がある。本実施例では、ウエハ35上の各素子の
良、不良およびＡ、Ｂ、Ｃ等のランク判別の結果をウエ
ハ35の中心に対し、xy方向での座標位置の設定により行
っているため、該ウエハ35のxy方向とXYテーブル21の移
動方向であるXY方向とを一致させる必要がある。言うな
ればXY方向が分割、整列されるペレット22の基準整列角
度ということになり、基準整列角度は、XYテーブル21の
移動方向および検知カメラ77のモニタ上のXY照準線78、
79により設定される［基準整列角度設定手段］。

検知カメラ77により検知されたウエハ35のダイシングラ
イン39がXY方向に対してなす角度は、上記基準整列角度
と比較され、比較の結果ウエハ35のダイシングライン39
を基準整列角度とするための角度の補正値（θK₁）を検
知カメラ77の演算部81で算出するようにされる［角度の
補正値（θK₁）を算出する手段］。さらに上記角度の
補正値（θK₁）に基づき支持リング30を回転駆動させる
ため、駆動信号を出力する手段から支持リング回転手
段へ回転駆動信号を出力するようにしている。支持リ
ング30を回転し、ダイシングライン39の角度を基準整列
角度に補正した後、新たに検知カメラ77の照準点Ｕをダ
イシングライン39のいずれかの位置に合わせて補正状態
を確認する必要がある。この際、検知範囲の狭い検知カ
メラ77のモニタの照準点Ｕとダイシングライン39の任意
部分を新たに合わせる作業は手間がかかるため、補正前
に検知カメラ77により検知される任意のダイシングライ
ン39の一部の点Ｔを照準点Ｕに合わせたままの状態で角
度補正を行うようにしている。すなわち、検知カメラ77
の狭い検知領域に同一のダイシングライン39を捕捉し続
ける状態で角度の補正を行うようにしている。このため
上記駆動信号を出力する手段は、ウエハ22のダイシン
グライン39の一部の点Ｔを検知したままの状態で角度の
補正が行われるようにXYテーブル駆動手段および支持
リング回転手段に対しそれぞれXY駆動信号および回転
駆動信号を出力するようにしている。このことは、ウエ
ハ35がその中心を支持リング30の回転中心Ｏと異なる位
置の状態で支持リング30に支持されていること、ならび
に検知カメラ77の光軸と支持リング30の中心とが異なっ
ていること等による。

第９図に示すようにウエハ35のダイシングライン39が例
えばXY方向に対し45度の角度状態となっている場合、検
知カメラ77は、第11図のモニタ上で示すように任意のダ
イシングライン39の点Ｔと照準点Ｕを合わせた状態にし
てダイシングライン39がXY方向に対してなる角度θ_１＝
45度を求め、次いで検知カメラ77の演算部81で角度の補
正値（θK₁）を算出させるようにする。本実施例では、
基準整列角度がXY方向であり、該XY方向とウエハ35のxy
方向との角度差が角度の補正値（θK₁）となる。従って
角度の補正値θK₁＝45度となり、駆動信号を出力する手
段から支持リング回転手段およびXYテーブル駆動手
段へ駆動信号が出力され、支持リング30が回転して第
10図に示されるように、任意の点Ｔを検知したままの状
態でウエハ35のダイシングライン39の角度補正が行われ
る。角度の補正の結果の検知は、第12図のモニタで示す
ように任意のダイシングライン39の点Ｔと照準点Ｕを合
わせた状態で行われ、その結果モニタ上でXY照準線78、
79に対するダイシングライン39の角度を再検知し、基準
整列角度、すなわち、本実施例ではXY方向と、ダイシン
グライン39のxy方向の整合性の確認して行うようにして
いる［整合性を確認する手段］。基準整列角度に対す
る整合性を確認した結果、ダイシングライン39がXY方向
に対してなす角度に差が検出された場合、該角度差を補
正する角度の補正値θk₂を検知カメラ77の演算部81で算
出するようにしている［角度の補正値（θK₂）を算出す
る手段］。さらにウエハ35のダイシングライン39の一
部の点Ｔとモニタ上の照準点Ｕを合わせたままの状態で
角度の補正値θK₂に基づき角度の補正が行われるように
するため、支持リング回転手段およびXYテーブル駆動
手段に、駆動信号を出力する手段より、回転駆動信
号およびXY駆動信号を出力させるようにしている。

ウエハ35のうち任意のダイシングライン39の一部の点Ｔ
において、ダイシングライン39が基準整列角度に整列さ
れたことが確認されたら、上記任意のダイシングライン
39と同一のダイシングライン39上における他の部分で基
準整列角度に対する整合性を再確認するようにしている
［整合性を確認する再確認手段］。この再確認手段
は、検知カメラ77により上記任意のダイシングライン39
と同一のダイシングライ39上における他の部分のXY方向
に対してなす角度を検出するものであり、第12図に示す
ようにモニタにおいてダイシングライン39の一部の点Ｔ
と照準点Ｕが合わせられ、ダイシングライン39が基準整
列角度に整列されたことが確認された状態で、例えば第
13図で示す同一ダイシングライン39上の他の部分85を検
知するようにする。すなわちダイシングライン39上にお
ける一部の点Ｔを検知した後にXYテーブル21をそのまま
Ｘ方向に移動させ、検知カメラ77により他の部分85を検
知した場合に、XY方向に対してなす角度が、基準整列角
度に対してずれを生じていた場合、それはダイシングラ
イン39が基準整列角度に整列されていないことを意味す
る。例えばXYテーブル21をダイシングライン39の一部の
点Ｔから他の部分85までＸ方向に移動させ、検知カメラ
77で他の部分85を検知した場合に、第14図に示すモニタ
のように照準点Ｕとダイシングライン39上の点Ｚの間に
ずれが検知された場合にこれらのずれを補正させる必要
性がある。このずれはウエハ35のダイシングライン39上
におけるＴ点を基準にして角度がXY方向にしθ_３だけず
れていることを意味し、θ_３は次式で表される。

θ_３は、検知カメラ77のよる検知の結果、演算部81で算
出され、次いでθ_３に基づき角度の補正値（θK₃）を算
出するようにしている［角度の補正値（θK₃）を算出す
る手段］。さらに角度の補正値（θK₃）に基づき駆動
信号を出力する手段から支持リング回転手段へ回転
駆動信号が出力され、第15図のモニタで示すようにウエ
ハ35のダイシングライン39が基準整列角度、すなわちXY
方向に整列されることとなる。ウエハ35のダイシングラ
イン39が基準整列角度に整列された後、支持リング30に
支持されたウエハ35の中心位置の検出を行うようにす
る。すなわちウエハ35上に配置、形成された各素子の
良、不良およびＡ、Ｂ、Ｃ等のランクは、ウエハ35の中
心に対するxy方向での座標位置の設定によりフロッピィ
ディスク、磁気テープ等の記憶媒体に記憶されているた
め、必要なペレット22を該記憶媒体に基づき選別、摘出
を行う場合、支持リング30上におけるウエハ35の中心を
求め各ペレット22の座標位置の設定を行う必要がある。
支持リング30上におけるウエハ35の中心の検出は第16図
に示すように円形のウエハ35の周上に二つの弦を設定す
ることにより行われ、検知カメラ77によりウエハ35の周
上に任意の三点87、88、89を設定することにより、二つ
の弦90、91を作成し、各弦90、91の垂直二等分線93、94
の交点の座標位置95を検知カメラ77の演算部81で算出さ
せることにより行う。これにより支持リング30上におけ
るウエハ35の中心座標95が算出される。フロッピィディ
スク、磁気テープ等の記憶媒体に記憶された各ペレット
22の良、不良あるいはＡ、Ｂ、Ｃ等ランク別に関するそ
れぞれのペレット22の座標位置に関する情報は、XYテー
ブル駆動手段に上記記憶媒体をセットすることにより
入力され、XYテーブル駆動手段は上記ウエハ35の中心
座標95を認定した状態で各ペレット22の座標位置の認定
が可能となる。これにより、粘着シート36上における基
準整列角度に整列された各ペレット22のうち必要なペレ
ット22の座標位置の認定が可能となり、テーブル21を必
要な座標位置に移動制御すれば必要なペレット22をコレ
ット23吸着点に位置させることが可能となり、必要な良
品ペレットあるいは必要なランクのペレット22を選別、
摘出することが可能となる。

次に上記実施例の作用を説明する。

ウエハ35上の各素子は、予め半導体検査装置により各素
子における温度特性、動作特性の良、不良あるいは該特
性の優劣に基づきＡ、Ｂ、Ｃ等のランク分け等が行わ
れ、それらの情報は、例えばウエハ35の中心位置に対す
るxy座標でフロッピィディスク、磁気テープ等の記録媒
体に記憶される。粘着シート36に被着されたウエハ35
は、xy方向に刻設されたダイシングライン39に沿って破
折、分離され、素子片としての各ペレット22に分割され
た状態で支持リング30上に支持される。この状態で粘着
シート36および粘着シート36に被着されるウエハリング
43をチャック・引き伸ばし手段45によりチャックし、検
知カメラ77のよりウエハ35のダイシングライン39がXY方
向に対してなす角度を検知して基準整列角度［XY方向］
との比較を行うようにする。すなわち、上記記憶媒体に
おいて記憶され、予め座標設定を行われた各ペレット22
をXYテーブル21上においてそれぞれ座標位置の認定を行
う場合、ウエハ35を座標設定が行われた基準整列角度
［XY方向］に整列させる必要がある。このためウエハ35
のダイシングライン39を検知カメラ77により検知させ、
XY方向に対してなすダイシングライン39の角度と基準整
列角度とを比較し、角度の補正値（θK₁）を算出してウ
エハ35を基準整列角度に整列させるようにする。

角度の補正は、検知カメラ77により任意のダイシングラ
イン39の一部を検知可能な状態で行われ、これにより角
度の補正後、ダイシングライン39のXY方向に対してなす
角度と基準整列角度との整合性を確認する再、新たに検
知カメラ77の検知範囲、具体的には照準点Ｕにダイシン
グライン39を合わせる必要がなくなる。

角度の補正値（θK₁）に基づき補正がされた後に基準整
列角度との整合性を確認を行う。整合性を確認した結
果、基準整列角度とダイシングライン39がXY方向に対し
てなす角度の間に差が検出された場合、角度の補正値
（θK₂）を算出し、該補正値（θK₂）に基づき角度補正
を行うようにする。これにより、ウエハ35を確実かつ高
精度にXYテーブル21上に整列可能となる。

さらに上記任意のダイシングライン39の一部が基準整列
角度に整列されたことを確認した状態で、XYテーブル21
を移動し、上記任意のダイシングライン39と同一のダイ
シングライン39上における他の部分の基準整列角度との
整合性を検知カメラ77により確認する。すなわち、上記
任意のダイシングライン39の一部において、検知カメラ
77で検知不可能な基準整列角度との角度差が生じていた
としても、XYテーブル21の移動により、他の部分を検知
することで該角度差が検知カメラ77で検知可能なものに
拡開されることとなり、その状態で角度差を補正するた
め角度の補正値（θK₃）の算出を行い、支持リング30を
回転して角度の補正を行えばウエハ35はさらに確実かつ
高精度にXYテーブル21上に整列可能となる。

角度の補正のなされたXYテーブル21上のウエハ35の各ペ
レット22は、フロッピィディスク、磁気テープ等の記憶
媒体に記憶された各素子についての情報と同じ座標配列
となり、さらにウエハ35の中心95を求めることにより、
上記記憶媒体に基づき必要なペレット22の座標位置の認
定が可能となり、該ペレット22をコレット23により選
別、摘出することが可能となる。このように、上記実施
例によれば、ダイシングライン39がXY方向に対してなす
角度ずれ（θK₁,θK₂）を補正するに際し、支持リング
回転手段に駆動信号が出力されて支持リング30が回転
動されるとともに、XYテーブル駆動手段にも駆動信号
が出力される。これにより補正移動中、検知カメラ77に
て任意のダイシングライン39を捕捉し続ける状態とされ
るため、補正移動後に整合状態の確認或いは再補正移動
を行なうにおいても、新たなダイシングライン39の設定
し直しを必要とせずに即座に行なえる。したがって、補
正移動後の整合状態は確認或いは再補正移動を容易かつ
短時間に行なうことができる。またXYテーブル21上に分
割、整列され、それぞれ座標位置の設定されたペレット
22を、該座標位置を認定することにより、それぞれ摘出
対象のペレット22を迅速かつ確実に、さらに連続的に選
別、摘出することが可能となり、予め半導体検査装置に
より検査された情報に基づき、例えば、良品ペレットの
選別、摘出を行なったり、温度特性、動作特性がＡラン
クに属するペレット22のみを選別、摘出することも可能
となる。これによりペレットの選別摘出装置の稼働効率
を大きく向上させることが可能となる。

また上記実施例によれば、検知カメラ77の狭い検知領域
に同一のダイシングライン39を捕捉し続ける状態で角度
の補正値（θK₁）、（θK₂）に基づきダイシングライン
39を基準整列角度に整列可能としたため、たとえ角度の
補正値が大きかったとしても、角度補正時にこのダイシ
ングライン39が検知領域からはずれることなく、また支
持リング30の回転位置の調整により、ダイシングライン
39の角度を補正した後、ダイシングライン39の基準整列
角度との整合性を確認する際に、改めてダイシングライ
ン39を照準点Ｕに合わせる必要がなく、この点で検知領
域の狭い検知カメラ77において極めて有効な角度補正が
可能となる。すなわち、検知カメラの検知領域が狭い場
合に、ダイシングライン39を検知しない状態で支持リン
グ30のみを回転して角度の補正を行う場合、新たにXYテ
ーブルを移動してモニタでダイシングライン39を探索し
なければならず、それらの作業には、多くの手間を要す
るためである。この結果、確実かつ容易にしかも高精度
でダイシングライン39を基準整列角度に整列させること
が可能となる。

さらに上記実施例によれば、上記任意のダイシングライ
ン39と同一のダイシングライン39上における他の部分で
基準整列角度との整合性を確認することとし、該部分で
検出される角度の補正値（θK₃）によりダイシングライ
ン39を基準整列角度に整列できるので、より高い精度で
ダイシングライン39の角度補正が可能となる。

［発明の効果］以上のように本発明によれば、ダイシングラインが基準
整列角度に対してなす角度ずれを補正するに際し、θテ
ーブルによる回転動とともにXYテーブルの駆動を行な
い、これにより補正移動中、検知カメラにて任意のダイ
シングラインを捕捉し続ける状態とされることから、補
正移動後に整合状態の確認或いは再補正移動を行なうに
おいても、新たなダイシングラインの設定し直しを必要
とせずに即座に行なえる。したがて、ダイシングライン
の角度ずれに基づいてウエハを補正移動させた後におけ
る整合状態の確認或いは再補正移動を容易かつ短時間に
行なうことができる。

また、本発明によれば、すでにダイシングされたウエハ
から個々の半導体ペレットを順次摘出するペレットボン
ディング装置において、半導体ペレットの整列方向（ダ
イシングラインの方向）を任意に設定される基準整列角
度に合致せしめるように自動的に調整し、該調整作業を
確実かつ高精度で行なうことができる。

また本発明によれば、検知領域が狭い検知カメラであっ
ても、極めて有効な角度補正が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のペレットボンディング装置の一部に係
り、XYテーブル上にウエハを支持する状態を示す断面
図、第２図は第１図に示すペレットボンディング装置の
平面図、第３図は本発明の一実施例に係るウエハのダイ
シングラインの角度調整装置を備えてなるペレットボン
ディング装置の全体を示す平面図、第４図は第３図のIV
−IV線に沿う拡大断面図、第５図は粘着シートを引き伸
ばす前の状態を示す断面図、第６図はチャック・引き伸
ばし手段により、粘着シートを引き伸ばした状態を示す
断面図、第７図は破折、分離された各ペレット間に間隔
を形成する前の状態を示す断面図、第８図は各ペレット
間に間隔を形成した状態を示す断面図、第９図はウエハ
のダイシングラインの角度を補正する前の状態を示す平
面図、第10図はウエハのダイシングラインを角度の補正
値（θK₁）に基づき補正した状態を示す平面図、第11図
および第12図は検知カメラによりダイシングラインの一
部を検知したモニタ図に係り、第11図はダイシングライ
ンの角度を補正する前の状態、第12図は角度の補正値
（θK₁）に基づき補正した後の状態をそれぞれ示す図、
第13図はウエハのうち検知カメラにより検知する部分を
示す平面図、第14図は検知カメラにより任意のダイシン
グラインと同一のダイシングライン上における他の部分
を検知した状態を示すモニタ図に係り、角度の補正を行
う前の状態を示す図、第15図は角度の補正値（θK₃）に
基づき角度を補正した後の状態を示すモニタ図、第16図
はウエハの中心を検出する状態を示す平面図である。２、29……架台、３、21……XYテーブル、５、35……ウ
エハ、８、30……支持リング、11、22……ペレット、1
6、39……ダイシングライン、77……検知カメラ、…
…基準整列角度の設定手段、……角度の補正値（θ
K₁）を算出する手段、、、……駆動信号を出力す
る手段、……支持リング回転手段、……XYテーブル
駆動手段、……整合性を確認する確認手段、……角
度の補正値（θK₂）を算出する手段。……整合性を確
認する再確認手段、……角度の補正値（θK₃）を算出
する手段。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ダイシングラインに沿って各ペレットに分
割されたウエハと、このウエハを支持する支持リング
と、この支持リングを回転可能に支持するXYテーブル
と、前記ペレットを順次摘出するコレットとを有するペ
レットボンディング装置におけるダイシングラインの角
度調整方法において、前記ウエハにおける任意のダイシ
ングラインを検知カメラにて検知するとともに該ダイシ
ングラインが基準整列角度に対してなす角度ずれを算出
し、算出した角度ずれに基づいて前記支持リングを回転
動させて前記ウエハを補正移動させるに際し、補正移動
中、前記検知カメラにて前記任意のダイシングラインを
捕捉し続ける状態となるように前記支持リングの回転動
とともに前記XYテーブルを移動させ、補正移動後、該ダ
イシングラインを前記検知カメラにて検出して整合状態
の確認或いは再補正移動させるようにしたことを特徴と
するダイシングラインの角度調整方法。
【請求項２】ダイシングラインに沿って各ペレットに分
割されたウエハを支持する支持リングと、架台に対しXY
方向に移動可能とし、支持リングを回転可能に支持する
XYテーブルと、XYテーブルを架台に対しXY方向に駆動さ
せるXYテーブル駆動手段と、支持リングの回転位置を調
整し、ウエハのダイシングラインがXY方向に対してなす
角度を調整自在とする支持リング回転手段と、前記ペレ
ットを順次摘出するコレットとを有するペレットボンデ
ィング装置において、XYテーブルの上方位置に配置さ
れ、ウエハのうち任意のダイシングラインの一部を検知
し、ダイシングラインがXY方向に対してなす角度を検知
する検知カメラと、ダイシングラインがXY方向に対して
なすべき基準整列角度を設定する基準整列角度の設定手
段と、基準整列角度と検知カメラにより検知されたウエ
ハのダイシングラインがXY方向に対してなす角度とを比
較し、角度の補正値（θK₁）を算出する手段と、検知カ
メラにより上記任意のダイシングラインの一部を捕捉し
続ける状態で、XYテーブル駆動手段および支持リング回
転手段を上記角度の補正値（θK₁）に基づき駆動可能と
する駆動信号を出力する手段と、角度補正のなされたウ
エハのうち上記任意のダイシングラインを検知カメラに
より再検知し、上記任意のダイシングラインの一部と基
準整列角度との整合性を確認する確認手段と、上記確認
手段による確認の結果、基準整列角度とダイシングライ
ンがXY方向に対してなす角度に差が検出された場合、該
角度差を補正する角度の補正値（θK₂）を算出する手段
と、検知カメラにより上記任意のダイシングラインの一
部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆動手段および支
持リング回転手段を上記角度の補正値（θK₂）に基づき
駆動可能とする駆動信号を出力する手段と、を有してな
るペレットボンディング装置。
【請求項３】ダイシングラインに沿って各ペレットに分
割されたウエハを支持する支持リングと、架台に対しXY
方向に移動可能とし、支持リングを回転可能に支持する
XYテーブルと、XYテーブルを架台に対しXY方向に駆動さ
せるXYテーブル駆動手段と、支持リングの回転位置を調
整し、ウエハのダイシングラインがXY方向に対してなす
角度を調整自在とする支持リング回転手段と、前記ペレ
ットを順次摘出するコレットとを有するペレットボンデ
ィング装置において、XYテーブルの上方位置に配置さ
れ、ウエハのうち任意のダイシングラインの一部を検知
し、ダイシングラインがXY方向に対してなす角度を検知
する検知カメラと、ダイシングラインがXY方向に対して
なすべき基準整列角度を設定する基準整列角度の設定手
段と、基準整列角度と検知カメラにより検知されたウエ
ハのダイシングラインがXY方向に対してなす角度とを比
較し、角度の補正値（θK₁）を算出する手段と、検知カ
メラにより上記任意のダイシングラインの一部を捕捉し
続ける状態で、XYテーブル駆動手段および支持リング回
転手段を上記角度の補正値（θK₁）に基づき駆動可能と
する駆動信号を出力する手段と、角度補正のなされたウ
エハのうち上記任意のダイシングラインを検知カメラに
より再検知し、上記任意のダイシングラインの一部と基
準整列角度との整合性を確認する確認手段と、上記確認
手段による確認の結果、基準整列角度とダイシングライ
ンがXY方向に対してなす角度に差が検出された場合、該
角度差を補正する角度の補正値（θK₂）を算出する手段
と、検知カメラにより上記任意のダイシングラインの一
部を捕捉し続ける状態で、XYテーブル駆動手段および支
持リング回転手段を上記角度の補正値（θK₂）に基づき
駆動可能とする駆動信号を出力する手段と、上記任意の
ダイシングラインの一部におけるXY方向に対してなす角
度が基準整列角度に整列された状態で、上記任意のダイ
シングラインと同一のダイシングライン上における他の
部分の基準整列角度との整合性を確認する再確認手段
と、上記再確認手段による確認の結果、基準整列角度と
上記任意のダイシングラインと同一のダイシングライン
上における他の部分のXY方向に対してなす角度に差が検
出された場合、該角度差を補正する角度の補正値（θ
K₃）を算出する手段と、支持リング回転手段を上記角度
の補正値（θK₃）に基づき駆動可能とする駆動信号を出
力する手段と、を有してなるペレットボンディング装
置。