JPH0680940B2

JPH0680940B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JPH0680940B2
Application number: JP62248653A
Authority: JP
Inventors: 登西
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1987-10-01
Filing date: 1987-10-01
Publication date: 1994-10-12
Anticipated expiration: 2009-10-12
Also published as: JPS6490599A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。The present invention relates to a substrate transfer device used in a process of processing a substrate such as an electronic circuit substrate.

（ロ）従来の技術基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、XYテーブルのような基板位
置決め装置に基板を固定して、基板の任意の位置を加工
用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相対さ
せる、という構成をとることが多い。基板位置決め装置
に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り外
したりする作業も最近では殆ど自動化されている。この
作業に関連してローディングブリッジとアンローディン
グブリッジが用いられる。ローディングブリッジとアン
ローディングブリッジは多くの場合基板位置決め装置を
挾むように配設される。ローディングブリッジとアンロ
ーディングブリッジの間は、通常は基板位置決め装置の
移動空間を確保するよう広く開いているが、基板加工作
業終了後は３者が互に接近し、基板の受け渡しを行な
う。かかる装置の例は、例えば特公昭59-12565号公報、
特公昭62-13837号公報に見ることができる。(B) Conventional technology In a board processing step, for example, a step of mounting electronic components on an electronic circuit board, the board is fixed to a board positioning device such as an XY table, and an arbitrary position on the board is processed by a processing tool ( For example, it is often configured to be opposed to a vacuum chuck for mounting electronic components). Recently, the work of mounting the substrate on the substrate positioning device or removing the substrate from the substrate positioning device has been mostly automated. Loading and unloading bridges are used in connection with this task. The loading and unloading bridges are often arranged to sandwich the substrate positioner. A space between the loading bridge and the unloading bridge is normally wide so as to secure a moving space for the substrate positioning device, but after the substrate processing work is completed, the three persons approach each other to transfer the substrates. An example of such a device is, for example, Japanese Patent Publication No. Sho 59-12565.
It can be found in Japanese Examined Patent Publication No. 62-13837.

さて、ローディングブリッジは通常基板搬送ベルトによ
り基板を運んで来るのであるが、基板のオーバーランを
防ぎ、且つ、基板位置決め装置への載せ替えに備えて一
定位置で待機させるため、ローディングブリッジにはス
トッパを設けるのが普通である。このストッパは、基板
載せ替え時には基板の動きを阻害しない位置へ退避せし
められる訳であるが、従来はこの退避動作をエアシリン
ダのようなアクチュエータにより行なっており、アクチ
ュエータの設置コストを要することとなっていた。By the way, the loading bridge normally carries the substrate by the substrate transport belt.However, in order to prevent the substrate from overrunning and to wait at a fixed position in preparation for transfer to the substrate positioning device, the loading bridge has a stopper. Is usually provided. This stopper can be retracted to a position that does not hinder the movement of the substrate when the substrate is remounted, but in the past, this retracting operation was performed by an actuator such as an air cylinder, which required installation cost of the actuator. Was there.

（ハ）発明が解決しようとする問題点本発明は、上記の如き基板搬送装置において、ローディ
ングブリッジ側のストッパの退避動作メカニズムを構造
簡素で動作確実なものにしようとするものである。(C) Problems to be Solved by the Invention The present invention is intended to make the retracting mechanism of the stopper on the loading bridge side simple and reliable in operation in the substrate transfer apparatus as described above.

（ニ）問題点を解決するための手段本発明では、ローディングブリッジに基板のストッパ及
びストッパの退避動作機構を設けると共に、基板位置決
め装置には運動伝達機構を、またアンローディングブリ
ッジにはこの運動伝達機構に接触する構造物を設ける。(D) Means for Solving the Problems In the present invention, the loading bridge is provided with the substrate stopper and the stopper retracting mechanism, the substrate positioning device is provided with a motion transmission mechanism, and the unloading bridge is provided with this motion transmission mechanism. Provide a structure that contacts the mechanism.

（ホ）作用ローディングブリッジ、基板位置決め装置、アンローデ
ィングブリッジの３者が互に接近すると、基板位置決め
装置の運動伝達機構がアンローディングブリッジ側構造
物に接触して動きを生じる。その動きはローディングブ
リッジのストッパ退避動作機構に伝わり、ストッパは退
避し、ストッパに止められていた基板は基板位置決め装
置への乗り移りが可能になる。(E) Action When the loading bridge, the substrate positioning device, and the unloading bridge approach each other, the motion transmitting mechanism of the substrate positioning device comes into contact with the structure on the unloading bridge side to cause movement. The movement is transmitted to the stopper retracting operation mechanism of the loading bridge, the stopper retracts, and the substrate held by the stopper can be transferred to the substrate positioning device.

（ヘ）実施例まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板
（１）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、
（５）は基板位置決め装置（３）に末加工の基板（１）
を送り込むローディングブリッジ、（７）は基板位置決
め装置（３）から加工済基板を受け取るローディングブ
リッジである。ローディングブリッジ（５）は位置を変
えないが、アンローディングブリッジ（７）は基板搬送
方向に進退可能である。基板加工時にはアンローディン
グブリッジ（７）はローディングブリッジ（５）から遠
く離れ、基板位置決め装置（３）が自由に移動できる空
間をつくる。基板受け渡し時には、まず基板位置決め装
置（３）がローディングブリッジ（５）の傍らに整列
し、続いてアンローディングブリッジ（７）が進出して
その先端を基板位置決め装置（３）のすぐ横にまで届か
せ、連続した基板搬送路を構成する。(F) Example First, an outline of the apparatus will be described with reference to FIG. In the figure, (1) is a substrate to be processed, (3) is a substrate positioning device for moving the substrate (1) to a processing position,
(5) is a substrate (1) that has not been processed by the substrate positioning device (3)
And a loading bridge (7) for receiving the processed substrate from the substrate positioning device (3). The loading bridge (5) does not change its position, but the unloading bridge (7) can move back and forth in the substrate transport direction. During processing of the substrate, the unloading bridge (7) is far from the loading bridge (5) to create a space in which the substrate positioning device (3) can move freely. At the time of substrate transfer, first, the substrate positioning device (3) is aligned beside the loading bridge (5), and then the unloading bridge (7) is advanced to reach its tip right next to the substrate positioning device (3). Skein to form a continuous substrate transport path.

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、一対の平行する桁構造
（10）（11）により構成される。一方の桁構造（11）
は、桁構造（10）に対し開閉動可能、つまり桁構造（1
0）からの距離を変えられるようになっている。開閉動
を生じさせるのは、第12図に模型的に示す電動機（12）
と、これによって回転せしめられるねじ軸（13）であ
る。以下の説明では、桁構造（11）のことを特に可動桁
構造と呼ぶことにする。桁構造（10）と可動桁構造（1
1）の互に向かい合う縁部には、基板（１）の側縁を落
とし込んで支える段部（14）が形設されている。段部
（14）の底の部分は、ローディングブリッジ（５）の出
口に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベル
ト（15）（第６図）によって構成されている。そして桁
構造（10）及び可動桁構造（11）の内面には、基板搬送
ベルト（15）によって運ばれて来た基板（１）のオーバ
ーランを防ぐためのストッパ（16）が設置される。桁構
造（10）の側のストッパ（16）も可動桁構造（11）の側
のストッパ（16）も基本的な仕組は同一なので、ここで
は可動桁構造（11）のストッパ（16）についてその動作
機構を説明する。ストッパ（16）そのものは、基板
（１）の行く手に立ちはだかる板状の部材であるが、こ
れは、板金製レバー（18）の揺動端に固定されている。
レバー（18）はストッパ退避動作機構（17）の一環をな
すものであり、可動桁構造（11）に軸（19）で取り付け
られて、垂直面内で揺動可能となっている。レバー（1
8）には、可動桁構造（11）との間に張り渡した引張コ
イルばね（20）により、第６図において反時計まわりの
回動力が付与されている。可動桁構造（11）の内面に固
定した軸受ブロック（21）によりレバー（18）は回転を
止められるが、この時ストッパ（16）は、基板（１）の
支持高さより少し上に頭を出す。レバー（18）の、軸
（19）に近い部位には、ローラ（22）が取り付けられて
いる。（23）は、ローラ（22）に向かい合う如く軸受ブ
ロック（21）を水平に貫通する押圧ロッドである。押圧
ロッド（23）は圧縮コイルばね（24）により第６図にお
いて右方に押され、常時は第６図の位置を保っている。
押圧ロッド（23）の、ローラ（22）に面する側は、平た
く面積の大きい頭部（25）となっている。（26）は基板
（１）を送るためのウォーキングビームで、３本の爪
（27）（28）（29）を上向きに突出させている。爪（2
7）は基板位置決め装置（３）から加工済基板（１）を
押し出すためのもの、爪（28）（29）は、ローディング
ブリッジ（５）から基板位置決め装置（３）へ、末加工
の基板（１）を前後から挾んで送り込むためのものであ
る。Next, the structure of the loading bridge (5) will be described. The loading bridge (5) is composed of a pair of parallel girder structures (10) (11). Girder structure for one side (11)
Can be opened and closed relative to the girder structure (10), that is, the girder structure (1
The distance from (0) can be changed. It is the electric motor (12) shown in Fig. 12 that causes the opening and closing movement.
And the screw shaft (13) rotated by this. In the following description, the girder structure (11) will be particularly referred to as a movable girder structure. Girder structure (10) and movable girder structure (1
Steps (14) are formed on the edges of (1) facing each other so that the side edges of the substrate (1) are dropped and supported. The bottom part of the stepped part (14) is mostly constituted by the substrate transfer belt (15) (Fig. 6) except for a small part near the exit of the loading bridge (5). A stopper (16) is installed on the inner surfaces of the girder structure (10) and the movable girder structure (11) to prevent overrun of the substrate (1) carried by the substrate carrying belt (15). The stopper (16) on the side of the girder structure (10) and the stopper (16) on the side of the movable girder structure (11) have the same basic structure, and therefore the stopper (16) of the movable girder structure (11) will be described here. The operation mechanism will be described. The stopper (16) itself is a plate-shaped member that stands up against the way the substrate (1) goes, and it is fixed to the swing end of the sheet metal lever (18).
The lever (18) forms a part of the stopper retracting mechanism (17), is attached to the movable girder structure (11) by the shaft (19), and can swing in a vertical plane. Lever (1
The tension coil spring (20) stretched between the movable girder structure (11) and the movable girder structure (11) imparts a counterclockwise turning force in FIG. The rotation of the lever (18) can be stopped by the bearing block (21) fixed to the inner surface of the movable girder structure (11), but at this time, the stopper (16) projects its head slightly above the supporting height of the substrate (1). . A roller (22) is attached to a portion of the lever (18) near the shaft (19). Reference numeral (23) is a pressing rod that horizontally extends through the bearing block (21) so as to face the roller (22). The pressing rod (23) is pushed to the right in FIG. 6 by the compression coil spring (24) and normally maintains the position shown in FIG.
The side of the pressing rod (23) facing the roller (22) is a flat head with a large area (25). (26) is a walking beam for sending the substrate (1), and has three claws (27), (28) and (29) protruding upward. Nails (2
7) is for pushing out the processed substrate (1) from the substrate positioning device (3), and the claws (28) (29) are for the unprocessed substrate (from the loading bridge (5) to the substrate positioning device (3)). It is for inserting 1) from the front and back.

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（40）（41）からなる。可動桁構造（11）と同じ側
に位置する桁構造（41）は、やはり桁構造（40）に対し
開閉動可能となっている。そこで、桁構造（41）も可動
桁構造と呼ぶ。可動桁構造（41）に開閉動を生じさせる
のは、第12図に模型的に示す電動機（42）と、これによ
って回転せしめられるねじ軸（43）である。電動機（1
2）（42）は、可動桁構造（11）（41）が、同時に、同
方向へ、同速度で同距離だけ移動するよう、制御装置
（44）により制御される。桁構造（40）と可動桁構造
（41）の互に向かい合う縁部には、基板（１）の側縁を
落とし込んで支える段部（45）が形設され、段部（45）
の底の部分は、アンローディングブリッジ（７）の入口
に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト
（46）によって構成されている。桁構造（40）及び可動
桁構造（41）の内面にはブロック（47）が固定され、こ
こからローディングブリッジ（５）の方に向かってピン
（48）が突出する。ピン（48）の軸心は、これと同じ側
にある押圧ロッド（23）の軸心に一致する。The unloading bridge (7) also consists of a pair of parallel girder structures (40) (41). The girder structure (41) located on the same side as the movable girder structure (11) can also be opened and closed relative to the girder structure (40). Therefore, the girder structure (41) is also called a movable girder structure. It is the electric motor (42) schematically shown in FIG. 12 and the screw shaft (43) rotated by the electric motor (42) that causes the movable girder structure (41) to open and close. Electric motor (1
The movable girder structures (11) and (42) are controlled by the control device (44) so that the movable girder structures (11) and (41) simultaneously move in the same direction and at the same speed and by the same distance. At the edges of the girder structure (40) and the movable girder structure (41) that face each other, a step (45) is formed to drop and support the side edge of the substrate (1).
Most of the bottom portion of the substrate is constituted by the substrate transport belt (46) except for a small portion near the entrance of the unloading bridge (7). A block (47) is fixed to the inner surfaces of the girder structure (40) and the movable girder structure (41), and a pin (48) projects from there toward the loading bridge (5). The axis of the pin (48) coincides with the axis of the pressing rod (23) on the same side as the pin.

基板位置決め装置（３）の構造は次のようになってい
る。ベース（50）はいわゆるXYテーブルであって、２次
元の移動が可能である。この上にフレーム（51）が設置
され、フレーム（51）の上部には、ローディングブリッ
ジ（５）及びアンローディングブリッジ（７）の桁構造
と並ぶように、一対のガイドレール構造（52）（53）が
設置される。ガイドレール構造（53）はガイドレール構
造（52）に対し開閉動可能であり、可動ガイドレール構
造と呼ぶことにする。ガイドレール構造（52）のレール
板（54）と、可動ガイドレール構造（53）のレール板
（55）には、向かい合う段部（56）が形設され、ここで
基板（１）の側縁を支持するようになっている。第２図
に示すように、レール板（54）の内部には空洞（57）を
設け、ここにベルクランク状のレバー（58）を、軸（5
9）により、水平面内で回動できるよう枢支している。
レバー（58）は、圧縮コイルばね（60）に押されて一端
を僅かに段部（56）の中に突き出す。基板位置決め装置
（３）に基板（１）が到着すると、レバー（58）は基板
（１）に押されて空洞（57）の中へ引っ込む。この時の
レバー（58）の動きを図示しないセンサ（例えばリミッ
トスイッチ、光電管）で検知し、基板到着の信号を得る
ものである。レール板（55）については、段部（56）の
ところに多数のローラ（61）を配置している。ローラ
（61）は１列に並んで基板（１）の縁部を誘導するもの
で、各々が１個づつのスライドブロック（62）に支持さ
れ、互に独立して進退可能である。各スライドブロック
（62）は、第４図に見られるように一定距離の進退が可
能であって、圧縮コイルばね（63）により、ローラ（6
2）を最大限に突出させる位置まで押し出されている。The structure of the substrate positioning device (3) is as follows. The base (50) is a so-called XY table, which can be moved in two dimensions. A frame (51) is installed on this, and a pair of guide rail structures (52) (53) are arranged on the upper part of the frame (51) so as to be aligned with the girder structure of the loading bridge (5) and the unloading bridge (7). ) Is installed. The guide rail structure (53) can be opened and closed with respect to the guide rail structure (52) and will be referred to as a movable guide rail structure. The rail plate (54) of the guide rail structure (52) and the rail plate (55) of the movable guide rail structure (53) are provided with step portions (56) facing each other, and here, the side edge of the substrate (1) is formed. To support. As shown in FIG. 2, a cavity (57) is provided inside the rail plate (54), and a bell crank-shaped lever (58) is attached to the shaft (5).
By 9), it is pivotally supported so that it can rotate in the horizontal plane.
The lever (58) is pushed by the compression coil spring (60) so that one end thereof slightly protrudes into the step (56). When the substrate (1) arrives at the substrate positioning device (3), the lever (58) is pushed by the substrate (1) and retracts into the cavity (57). The movement of the lever (58) at this time is detected by a sensor (not shown) (for example, a limit switch, a photoelectric tube) to obtain a signal of board arrival. In the rail plate (55), a large number of rollers (61) are arranged at the step (56). The rollers (61) are arranged in a line to guide the edge of the substrate (1). Each roller (61) is supported by one slide block (62) and can move forward and backward independently of each other. Each slide block (62) can move back and forth by a certain distance as shown in Fig. 4, and the compression coil spring (63) allows the roller (6
2) It is pushed out to the position where it protrudes to the maximum.

可動ガイドレール構造（53）について更に詳しく述べ
る。レール板（55）は左右１対のスライドブロック（7
0）に取り付ける。そこで以後、レール板（55）を可動
レール板と呼ぶことにする。スライドブロック（70）は
フレーム（51）の上面に固定したレール（71）に直線移
動のみ可能なる如く支持されている。レール（71）と、
これを支えるフレーム（51）の上部水平ビーム（72）と
は、レール板（55）と直角の方向に延びる。（75）は上
部水平ビーム（72）に懸垂状態で支持されるスライドベ
ースである。スライドベース（75）は上部水平ビーム
（72）を挾む１対の側板（76）を有し、この１対の側板
（76）の間に、第４図に見られるように２個のブロック
（77）（78）を固定し、及び２個のローラ（79）を枢支
し、ブロック（77）（78）をレール（71）に載置して重
量を支え、ローラ（79）を上部水平ビーム（72）の下面
に接触させて上方への動きを止める仕組としている。ブ
ロック（77）（78）は間が広く開いており、スライドブ
ロック（70）はここに位置する。スライドブロック（7
0）とスライドベース（75）とは、スライドブロック（7
0）から突出したロッド（80）により連結されている。
すなわちロッド（80）はブロック（78）をスライド自在
に貫通しており、その先端には抜け止め用ナット（81）
が固定されている。スライドブロック（70）とブロック
（78）の間には、ロッド（80）を取り巻く形で圧縮コイ
ルばね（82）が挿入されており、この圧縮コイルばね
（82）によりスライドブロック（70）と可動レール板
（55）は、レール板（54）に接近する方向に附勢されて
いる。The movable guide rail structure (53) will be described in more detail. The rail plate (55) consists of a pair of left and right slide blocks (7
Attach it to 0). Therefore, hereinafter, the rail plate (55) will be referred to as a movable rail plate. The slide block (70) is supported by a rail (71) fixed to the upper surface of the frame (51) so as to be linearly movable. Rail (71),
The upper horizontal beam (72) of the frame (51) supporting this extends in a direction perpendicular to the rail plate (55). (75) is a slide base which is supported by the upper horizontal beam (72) in a suspended state. The slide base (75) has a pair of side plates (76) sandwiching the upper horizontal beam (72), and between the pair of side plates (76) there are two blocks as seen in FIG. (77) (78) is fixed, and two rollers (79) are pivotally supported, the blocks (77) (78) are placed on the rails (71) to support the weight, and the rollers (79) are placed above. It is designed to stop the upward movement by contacting the lower surface of the horizontal beam (72). The blocks (77) (78) are wide open, and the slide block (70) is located here. Slide block (7
The slide block (7)
They are connected by a rod (80) protruding from (0).
That is, the rod (80) penetrates the block (78) slidably, and the retaining nut (81) is attached to the tip thereof.
Is fixed. A compression coil spring (82) is inserted between the slide block (70) and the block (78) so as to surround the rod (80), and the compression coil spring (82) moves the slide block (70). The rail plate (55) is biased in the direction of approaching the rail plate (54).

（85）は左右のスライドベース（75）を貫通する伝達ロ
ッドである。伝達ロッド（85）は、ローディングブリッ
ジ（５）、基板位置決め装置（３）、アンローディング
ブリッジ（７）の３者が整列した時、押圧ロッド（23）
及びピン（48）と一直線に並ぶ位置に設けられ、また押
圧ロッド（23）及びピン（48）と等しい直径を有してい
る。伝達ロッド（85）の長さは左右のスライドベース
（75）の外面間隔に等しい。伝達ロッド（85）は、途中
に設けたストッパ（86）がアンローディングブリッジ
（７）側に位置するスライドベース（75）に当たるとこ
ろまで、圧縮コイルばね（87）の弾発力でアンローディ
ングブリッジ（７）側に押すことにより、基板位置決め
装置（３）の中に全身を没する状態に常時維持されてい
る。これと同様の伝達ロッドがガイドレール構造（52）
の側にも設けられる。可動ガイドレール構造（53）の側
の伝達ロッド（85）にはくさび形のカム（88）を固定す
る。このカム（88）は、可動レール板（55）の中央部に
取り付けられたローラ（89）（第５図、第10図、第11図
に図示）に関連づけられるもので、伝達ロッド（85）が
ローディングブリッジ（５）の方へ移動した時にローラ
（89）を押し、可動レール板（55）及びスライドブロッ
ク（70）を、圧縮コイルばね（82）の力に抗しレール板
（54）から遠ざかる方向に移動させる。(85) is a transmission rod that penetrates the left and right slide bases (75). The transmission rod (85) is a pressing rod (23) when the loading bridge (5), the substrate positioning device (3) and the unloading bridge (7) are aligned.
And the pin (48), and the diameter is equal to that of the pressing rod (23) and the pin (48). The length of the transmission rod (85) is equal to the outer surface distance of the left and right slide bases (75). The transmission rod (85) is pushed by the elastic force of the compression coil spring (87) until the stopper (86) provided in the middle hits the slide base (75) located on the unloading bridge (7) side. By pushing to the 7) side, the whole body is kept submerged in the substrate positioning device (3) at all times. A transmission rod similar to this has a guide rail structure (52)
It is also provided on the side of. A wedge-shaped cam (88) is fixed to the transmission rod (85) on the side of the movable guide rail structure (53). The cam (88) is associated with a roller (89) (shown in FIGS. 5, 10, and 11) attached to the central portion of the movable rail plate (55), and the transmission rod (85). When moving toward the loading bridge (5), the roller (89) is pushed to move the movable rail plate (55) and slide block (70) from the rail plate (54) against the force of the compression coil spring (82). Move it away from you.

可動ガイドレール構造（53）はブレーキ機構（95）を有
する。ブレーキ機構（95）はスライドベース（75）の動
きを止めるためのもので、ロッド（97）を上に向けた形
でスライドベース（75）に固定されたエアシリンダ（9
6）と、ロッド（97）の先端に固定したブレーキパッド
（98）と、ロッド（97）を押し上げてブレーキパッド
（98）を上部水平ビーム（72）の下面に圧接させる圧縮
コイルばね（99）とにより構成される。エアシリンダ
（96）に圧縮空気を送り込むと、ロッド（97）が引っ込
み、ブレーキパッド（98）が上部水平ビーム（72）から
離れ、スライドベース（75）のロックは解除される。The movable guide rail structure (53) has a brake mechanism (95). The brake mechanism (95) is for stopping the movement of the slide base (75), and the air cylinder (9) fixed to the slide base (75) with the rod (97) facing upward.
6), a brake pad (98) fixed to the tip of the rod (97), and a compression coil spring (99) that pushes up the rod (97) to press the brake pad (98) against the lower surface of the upper horizontal beam (72). Composed of and. When compressed air is sent to the air cylinder (96), the rod (97) retracts, the brake pad (98) separates from the upper horizontal beam (72), and the slide base (75) is unlocked.

（105）は基板位置決め装置（３）に送り込まれた基板
（１）を下から支えるエレベータである。エレベータ
（105）は、基板（１）を支える位置まで、エアシリン
ダ（106）によって上昇せしめられる。この他基板位置
決め装置（３）には、特公昭62-13837号公報におけると
同様、レール板及び可動レール板（54）（55）と直角の
方向から基板（１）を挾みつける位置決め爪が設置され
るが、ここでは図示しない。Reference numeral (105) is an elevator that supports the substrate (1) fed into the substrate positioning device (3) from below. The elevator (105) is raised by the air cylinder (106) to a position where it supports the substrate (1). In addition to this, the board positioning device (3) is provided with positioning claws for picking up the board (1) from a direction perpendicular to the rail plate and the movable rail plates (54) and (55) as in Japanese Patent Publication No. 62-13837. Although not shown here.

本発明装置は次のように動作する。基板位置決め装置
（３）上の基板（１）を加工している間に、ローディン
グブリッジ（５）においては基板搬送ベルト（15）によ
り末加工の基板（１）が運ばれて来て、ストッパ（16）
に当たり待機している。基板加工終了後、第６図及び第
10図に示すように、まず基板位置決め装置（３）がロー
ディングブリッジ（５）に整列する。ウォーキングビー
ム（26）の先端がローディングブリッジ（５）から突出
しているので、基板位置決め装置（３）は基板搬送ライ
ンに沿って真っ直ぐローディングブリッジ（５）に接近
させるものとする。基板位置決め装置（３）がローディ
ングブリッジ（５）に対し所定の間隔まで接近した後、
あるいは接近途中から、アンローディングブリッジ
（７）が移動を始め、第７図及び第11図に示すように基
板位置決め装置（３）の傍らに並ぶ。この時、アンロー
ディングブリッジ（７）から突出したピン（48）は圧縮
コイルばね（87）の弾発力に抗して基板位置決め装置
（３）の伝達ロッド（85）を押す。押された伝達ロッド
（85）は第７図及び第11図において基板位置決め装置
（３）の左側に突出し、ローディングブリッジ（５）の
押圧ロッド（23）を押す。押圧ロッド（23）はレバー
（18）のローラ（22）を押し、レバー（18）は引張コイ
ルばね（20）の張力に抗し第７図において時計まわりに
回動し、ストッパ（16）は待機中の基板（１）から離れ
る。これと同時に、カム（88）は可動レール板（55）の
ローラ（89）を押し、レール板及び可動レール板（54）
（55）による基板（１）の挾みつけを解除する。勿論こ
の時、レール板及び可動レール板（54）（55）と直角の
方向から基板（１）を挾みつける図示しない位置決め
爪、及びエレベータ（105）も、完全に基板（１）から
離れている。ここでウォーキングビーム（26）が動き、
基板位置決め装置（３）から加工済基板（１）をアンロ
ーディングブリッジ（７）へと押し出し、また末加工基
板（１）をローディングブリッジ（５）から基板位置決
め装置（３）へ移す。ウォーキングビーム（26）の動作
中は、基板搬送ベルト（15）（46）は静止している。基
板（１）の受け渡しを終えた後、まずアンローディング
ブリッジ（７）、続いて基板位置決め装置（３）の順
で、受け渡し位置から離れて行く。アンローディングブ
リッジ（７）が基板位置決め装置（３）から離れると、
伝達ロッド（85）は旧位置に復し、可動レール板（55）
は圧縮コイルばね（82）の力で、ローラ（61）を介して
基板（１）をレール板（54）に押しつける。ローディン
グブリッジ（５）においてはストッパ（16）が旧位置に
復元し、このストッパ（16）めがけて基板搬送ベルト
（15）が基板（１）を運んで来るものである。アンロー
ディングブリッジ（７）では、ウォーキングビーム（2
6）が加工済基板（１）を移し終えると同時に基板搬送
ベルト（46）が動作を始めてこの基板（１）を運び去
る。The device of the present invention operates as follows. While the substrate (1) on the substrate positioning device (3) is being processed, the unprocessed substrate (1) is carried by the substrate transfer belt (15) in the loading bridge (5) and the stopper ( 16)
I am waiting for you. After finishing the substrate processing,
As shown in FIG. 10, first, the substrate positioning device (3) is aligned with the loading bridge (5). Since the tip of the walking beam (26) protrudes from the loading bridge (5), the substrate positioning device (3) should approach the loading bridge (5) straight along the substrate transfer line. After the substrate positioning device (3) approaches the loading bridge (5) to a predetermined distance,
Alternatively, the unloading bridges (7) start to move while they are approaching, and are lined up beside the substrate positioning device (3) as shown in FIGS. 7 and 11. At this time, the pin (48) protruding from the unloading bridge (7) pushes the transmission rod (85) of the substrate positioning device (3) against the elastic force of the compression coil spring (87). The pushed transmission rod (85) projects to the left side of the substrate positioning device (3) in FIGS. 7 and 11 and pushes the pushing rod (23) of the loading bridge (5). The pressing rod (23) pushes the roller (22) of the lever (18), the lever (18) rotates clockwise in FIG. 7 against the tension of the tension coil spring (20), and the stopper (16) moves. Separate from the waiting substrate (1). At the same time, the cam (88) pushes the roller (89) of the movable rail plate (55) to move the rail plate and the movable rail plate (54).
Release the pinching of substrate (1) by (55). Of course, at this time, the positioning claw (not shown) for sandwiching the board (1) from the direction perpendicular to the rail plate and the movable rail plates (54, 55) and the elevator (105) are also completely separated from the board (1). . The walking beam (26) moves here,
The processed substrate (1) is extruded from the substrate positioning device (3) to the unloading bridge (7), and the unprocessed substrate (1) is transferred from the loading bridge (5) to the substrate positioning device (3). During the operation of the walking beam (26), the substrate transfer belts (15) (46) are stationary. After the transfer of the substrate (1) is completed, first, the unloading bridge (7) and then the substrate positioning device (3) are moved away from the transfer position. When the unloading bridge (7) moves away from the substrate positioning device (3),
The transmission rod (85) returns to the old position, and the movable rail plate (55)
Is pressed by the force of the compression coil spring (82) through the roller (61) to the rail plate (54). In the loading bridge (5), the stopper (16) is restored to the old position, and the substrate carrying belt (15) carries the substrate (1) toward the stopper (16). At the unloading bridge (7), the walking beam (2
At the same time that 6) finishes transferring the processed substrate (1), the substrate transport belt (46) starts operating and carries away this substrate (1).

基板搬送部の幅調節は、第12図のように、ローディング
ブリッジ（５）、基板位置決め装置（３）、アンローデ
ィングブリッジ（７）の３者を接近させて行なう。この
状態では、基板位置決め装置（３）の可動ガイドレール
構造（53）は運動伝達体を介して可動桁構造（11）（4
1）側の連結構造体に連結する。伝達ロッド（85）が一
つの運動伝達体であり、伝達ロッド（85）を受け入れる
軸受ブロック（21）が一つの連結構造体である。またピ
ン（48）が連結構造体であり、これを受け入れるスライ
ドベース（75）が運動伝達体である。このようにして可
動桁構造（11）（41）と可動ガイドレール構造（53）を
連結した上で、ブレーキ機構（95）による可動ガイドレ
ール構造（53）のロックを解除し、この状態で電動機
（12）（42）を駆動して、可動桁構造（11）（41）と可
動ガイドレール構造（53）の位置を変更する。位置変更
終了後、ブレーキ機構（95）で再び可動ガイドレール構
造（53）にロックをかけ、新しい搬送幅に見合う幅の基
板（１）の加工を開始する。As shown in FIG. 12, the width of the substrate transfer section is adjusted by bringing the loading bridge (5), the substrate positioning device (3) and the unloading bridge (7) close to each other. In this state, the movable guide rail structure (53) of the substrate positioning device (3) is moved through the motion transmitter to the movable girder structures (11) (4).
1) Connect to the connection structure on the side. The transmission rod (85) is one motion transmitting body, and the bearing block (21) that receives the transmission rod (85) is one connecting structure. The pin (48) is a connecting structure, and the slide base (75) that receives it is a motion transmitting body. In this way, the movable girder structures (11) (41) and the movable guide rail structure (53) are connected, and then the movable guide rail structure (53) is unlocked by the brake mechanism (95). (12) (42) is driven to change the positions of the movable girder structures (11) (41) and the movable guide rail structure (53). After the position change is completed, the movable guide rail structure (53) is locked again by the brake mechanism (95), and the processing of the board (1) having a width corresponding to the new conveyance width is started.

（ト）発明の効果本発明によれば、ローディングブリッジ、基板位置決め
装置、アンローディングブリッジの３者が１個所に集合
する動きを利用してローディングブリッジのストッパを
退避させるから、特別のアクチュエータをローディング
ブリッジに設けなくても、確実にストッパを動作させる
ことができるようになった。またストッパの退避動作は
基板位置決め装置の運動伝達機構を介し、アンローディ
ングブリッジ側構造物によって生ぜしめられるから、ア
ンローディングブリッジが接近して来ないのに基板の送
り出しが開始されるという事態を防ぐことができる。(G) Effect of the Invention According to the present invention, since the stoppers of the loading bridge are retracted by utilizing the movements of the loading bridge, the substrate positioning device, and the unloading bridge gathering in one place, a special actuator is loaded. The stopper can now be reliably operated without the need for a bridge. Further, the retracting operation of the stopper is generated by the structure on the unloading bridge side through the motion transmitting mechanism of the substrate positioning device, so that the situation where the substrate is started to be sent out even if the unloading bridge does not approach is prevented. be able to.

[Brief description of drawings]

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図は基板位置決め装置の部分的に破
断した上面図、第３図は基板位置決め装置の部分斜視
図、第４図は基板位置決め装置の部分垂直断面図、第５
図は可動レール板の部分垂直断面図、第６図及び第７図
は本発明装置の部分垂直断面図にして異なる動作状態時
におけるもの、第８図はローディングブリッジの部分水
平断面図、第９図はローディングブリッジの部分斜視
図、第10図及び第11図は基板受け渡し動作説明用の上面
図にして、一部破断したもの、第12図は基板搬送幅変更
動作説明用の上面図である。（１）……基板、（３）……基板位置決め装置、（５）
……ローディングブリッジ、（７）……アンローディン
グブリッジ、（15）……基板搬送ベルト、（16）……ス
トッパ、（17）……ストッパ退避動作機構、（85）……
伝達ロッド（運動伝達機構）、（48）……ピン（アンロ
ーディングブリッジ側構造物）。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the apparatus, FIG. 2 is a partially cutaway top view of the substrate positioning apparatus, and FIG. 3 is a partial perspective view of the substrate positioning apparatus. FIGS. 4 and 5 are partial vertical cross-sectional views of the substrate positioning device, and FIG.
The drawings are partial vertical sectional views of the movable rail plate, FIGS. 6 and 7 are partial vertical sectional views of the device of the present invention at different operating states, and FIG. 8 is a partial horizontal sectional view of the loading bridge. FIG. 10 is a partial perspective view of the loading bridge, FIGS. 10 and 11 are top views for explaining the substrate transfer operation, and are partially broken, and FIG. 12 is a top view for explaining the substrate transfer width changing operation. . (1) ... board, (3) ... board positioning device, (5)
…… Loading bridge, (7) …… Unloading bridge, (15) …… Substrate transport belt, (16) …… Stopper, (17) …… Stopper retracting mechanism, (85) ……
Transmission rod (motion transmission mechanism), (48) ... pin (unloading bridge side structure).

Claims

[Claims]

1. A substrate positioning device for supporting a substrate to move it to an arbitrary position for substrate processing, and a loading bridge for feeding an unprocessed substrate to the substrate positioning device.
An unloading bridge that receives a processed substrate from a substrate positioning device, and a substrate transfer belt and a substrate transfer belt that are transferred to the loading bridge when the substrates are transferred in a state where these three members are brought close to each other. And a stopper for temporarily holding the board
This stopper retracting mechanism is provided, and when the substrate positioning device and the loading bridge / unloading bridge approach each other for the purpose of transferring the substrate, they contact the structure on the unloading bridge side to move. A substrate transfer apparatus that is provided with a motion transmission mechanism for operating the stopper retracting operation mechanism.