JPH0691346B2

JPH0691346B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JPH0691346B2
Application number: JP63033280A
Authority: JP
Inventors: 文雄三藤
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1988-02-16
Filing date: 1988-02-16
Publication date: 1994-11-14
Anticipated expiration: 2009-11-14
Also published as: JPH01207997A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。The present invention relates to a substrate transfer device used in a process of processing a substrate such as an electronic circuit substrate.

（ロ）従来の技術基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、XYテーブルのような基板位
置決め装置に基板を固定して、基板の任意の装置を加工
用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相対さ
せる、という構成をとることが多い。基板位置決め装置
に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り外
したりする作業も最近では殆ど自動化されている。この
作業に関連してローディングブリッジとアンローディン
グブリッジが用いられる。ローディングブリッジ、基板
位置決め装置、アンローディングブリッジは、この順序
に並んで基板の受け渡しを行なう。かかる装置の例は、
例えば特公昭59-12565号公報、特公昭62-13837号公報に
見ることができる。これらの例では基板受け渡し時のみ
３者が集合し、それ以外の時はローディングブリッジと
アンローディングブリッジが互の間隔を広げて基板位置
決め装置の移動空間を確保するのであるが、両ブリッジ
の相互位置を不変に保ち、基板加工作業は両ブリッジか
ら横ないし下にシフトした場所で行ない、基板受け渡し
時のみ、基板位置決め装置が両ブリッジ間に帰って来
る、という構成をとることもある。(B) Conventional technology In a board processing step, for example, a step of mounting electronic components on an electronic circuit board, the board is fixed to a board positioning device such as an XY table, and an arbitrary device for the board is processed by a tool ( For example, it is often configured to be opposed to a vacuum chuck for mounting electronic components). Recently, the work of mounting the substrate on the substrate positioning device or removing the substrate from the substrate positioning device has been mostly automated. Loading and unloading bridges are used in connection with this task. The loading bridge, the substrate positioning device, and the unloading bridge transfer the substrates in this order. An example of such a device is
For example, it can be found in JP-B-59-12565 and JP-B-62-13837. In these examples, the three members gather only when the substrate is transferred, and at other times, the loading bridge and the unloading bridge widen the mutual space to secure the movement space of the substrate positioning device. In some cases, the substrate processing operation is carried out at a position laterally or downwardly shifted from both bridges, and the substrate positioning device returns between both bridges only when the substrate is transferred.

さて、ローディングブリッジは通常基板搬送ベルトによ
り基板を運んで来るのであるが、基板のオーバーランを
防ぎ、且つ、基板位置決め装置への載せ替えに備えて一
定位置で待機させるため、ローディングブリッジにはス
トッパを設けるのが普通である。また基板位置決め装置
にあっては、基板の進行方向における位置基準となる部
材を設けなければならない。これらストッパと位置基準
部材は、基板の受け渡し時には基板進路から退避させね
ばならないが、従来は退避動作用アクチュエータをロー
ディングブリッジと基板位置決め装置の各々に独立して
設けており、特に基板位置決め装置側のアクチュエータ
は、基板位置決め装置の高速移動を阻害する要因となっ
ていた。By the way, the loading bridge normally carries the substrate by the substrate transport belt.However, in order to prevent the substrate from overrunning and to wait at a fixed position in preparation for transfer to the substrate positioning device, the loading bridge has a stopper. Is usually provided. Further, in the substrate positioning device, a member serving as a position reference in the traveling direction of the substrate must be provided. These stoppers and position reference members must be retracted from the substrate path when the substrate is delivered, but conventionally, retracting actuators are provided independently for each of the loading bridge and the substrate positioning device, and especially for the substrate positioning device side. The actuator has been a factor that impedes high-speed movement of the substrate positioning device.

（ハ）発明が解決しようとする課題本発明は、基板位置決め装置の位置基準部材を、当該装
置に内蔵したアクチュエータによらずして進退動作させ
ることのできる装置を提供しようとするものである。(C) Problem to be Solved by the Invention The present invention is to provide a device capable of moving a position reference member of a substrate positioning device forward and backward independently of an actuator incorporated in the device.

（ニ）課題を解決するための手段本発明では、基板搬送用ベルトと、ストッパと、ストッ
パの進退アクチュエータと、更に、ストッパを退避させ
るための動力を外部に伝達するための出力部材とをロー
ディングブリッジに設ける。基板位置決め装置において
は、位置基準部材をばねにより常時基板係止位置に進出
させると共に、動力伝達部材を位置基準部材に連結す
る。(D) Means for Solving the Problems In the present invention, a substrate carrying belt, a stopper, a stopper advance / retreat actuator, and an output member for transmitting power for retracting the stopper to the outside are loaded. Install on the bridge. In the board positioning device, the position reference member is always advanced to the board locking position by the spring, and the power transmission member is connected to the position reference member.

（ホ）作用基板受け渡しのため基板位置決め装置がローディングブ
リッジに並んだ時、進退アクチュエータが動作すると、
ストッパが退避すると共に、ストッパを退避させるため
の動力が出力部材から動力伝達部材に伝えられる。これ
により位置基準部材も退避位置に移行し、基板はローデ
ィングブリッジも基板位置決め装置も自由に通過できる
ことになる。(E) Action When the board positioning device is lined up on the loading bridge for board transfer, the forward / backward actuator operates,
As the stopper retracts, the power for retracting the stopper is transmitted from the output member to the power transmission member. As a result, the position reference member also moves to the retracted position, and the substrate can freely pass through the loading bridge and the substrate positioning device.

（ヘ）実施例まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板
（１）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、
（５）は基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）
を送り込むローディングブリッジ、（７）は基板位置決
め装置（３）から加工済基板を受け取るアンローディン
グブリッジである。ローディングブリッジ（５）とアン
ローディングブリッジ（７）は、基板位置決め装置
（３）のはまり込む間隔を置いて、相互距離不変に設置
されている。基板加工作業は、基板位置決め装置（３）
の上部をローディングブリッジ（５）とアンローディン
グブリッジ（７）より下に沈み込ませておいて行なう。
作業終了後、基板位置決め装置（３）の上部は上昇して
ローディングブリッジ（５）とアンローディングブリッ
ジ（７）の間を連絡する。この機構については後述す
る。(F) Embodiment First, the outline of the apparatus will be described with reference to FIG. In the figure, (1) is a substrate to be processed, (3) is a substrate positioning device for moving the substrate (1) to a processing position,
(5) is the unprocessed substrate (1) in the substrate positioning device (3)
And (7) is an unloading bridge for receiving the processed substrate from the substrate positioning device (3). The loading bridge (5) and the unloading bridge (7) are installed at a distance such that they fit into the substrate positioning device (3) and do not change their mutual distance. Substrate processing work, substrate positioning device (3)
The upper part of the is submerged below the loading bridge (5) and the unloading bridge (7).
After the work is completed, the upper part of the substrate positioning device (3) rises to connect the loading bridge (5) and the unloading bridge (7). This mechanism will be described later.

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造
（10）（11）により構成される。一方の桁構造（11）
は、桁構造（10）に対し開閉動可能、つまり自ら動いて
桁構造（10）との間の間隔を変えられるようになってい
る。第６図に模型的に示す電動機（12）が、間隔変更動
力源を構成する。電動機（12）はねじ軸（13）を回転さ
せて桁構造（11）を動かす。以下の説明では、桁構造
（11）のことを特に可動桁構造と呼ぶことにする。Next, the structure of the loading bridge (5) will be described. The loading bridge (5) is composed of a pair of parallel girder structures (10) (11). Girder structure for one side (11)
Can be opened and closed relative to the girder structure (10), that is, it can move by itself to change the distance between the girder structure (10). The electric motor (12) schematically shown in FIG. 6 constitutes a power source for changing the distance. The electric motor (12) rotates the screw shaft (13) to move the girder structure (11). In the following description, the girder structure (11) will be particularly referred to as a movable girder structure.

桁構造（10）と可動桁構造（11）の互に向かい合う縁部
には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部（1
4）が形成されている（第５図、第12図）。段部（14）
の底の部分は、ローディングブリッジ（５）の出口に近
い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（1
5）によって構成されている。桁構造（10）と可動桁構
造（11）の間には、基板搬送ベルト（15）によって運ん
で来た基板（１）のオーバーランを防ぐためのストッパ
（16）を配置する。ストッパ（16）は第16図に示す形状
をしたレバー様の部材であって、桁構造（10）の外面に
水平に支持された回動軸（17）に取り付けられ、先端の
爪部（18）を、回動軸（17）の一方向への回動と共に基
板係止位置へ進出させ、回動軸（17）の逆方向への回動
と共に基板係止位置から待避させる。（19）はストッパ
（16）の進退アクチュエータである。進退アクチュエー
タ（19）はエアシリンダにより構成され、桁構造（10）
から突出したブラケット（20）に基端を枢支され、ロッ
ド（21）の先端を、回動軸（17）に固定したクランク
（22）に連結している。進退アクチュエータ（19）がロ
ッド（21）を出し入れすることにより、回動軸（17）に
回動が生じる。回動軸（17）の、アンローディングブリ
ッジ（７）側の端には出力部材（23）を固定する。出力
部材（23）は先端にローラ（24）を有するレバー様部材
である。At the edges of the girder structure (10) and the movable girder structure (11) facing each other, the step (1
4) is formed (Figs. 5 and 12). Step (14)
Most of the bottom part of the substrate transfer belt (1) is close to the exit of the loading bridge (5), except for a small part.
It is composed by 5). A stopper (16) is arranged between the girder structure (10) and the movable girder structure (11) to prevent overrun of the substrate (1) carried by the substrate carrying belt (15). The stopper (16) is a lever-like member having a shape shown in FIG. 16, and is attached to a rotating shaft (17) horizontally supported on the outer surface of the girder structure (10) and has a claw (18) at the tip. ) Is advanced to the substrate locking position with the rotation of the rotation shaft (17) in one direction, and retracted from the substrate locking position with the rotation of the rotation shaft (17) in the opposite direction. (19) is an advance / retreat actuator of the stopper (16). The forward / backward actuator (19) is composed of an air cylinder, and has a girder structure (10).
The base end of the rod (21) is pivotally supported by a bracket (20) protruding from the crank (22) fixed to the rotating shaft (17). When the advancing / retreating actuator (19) moves the rod (21) in and out, the rotation shaft (17) is rotated. The output member (23) is fixed to the end of the rotating shaft (17) on the unloading bridge (7) side. The output member (23) is a lever-like member having a roller (24) at its tip.

（26）は基板（１）を送るためのウォーキングビーム
で、３本の爪（27）（28）（29）を下向きに突出させて
いる。爪（27）は基板位置決め装置（３）から加工済基
板（１）を押し出すためのもの、爪（28）（29）は、ロ
ーディングブリッジ（５）から基板位置決め装置（３）
へ、未加工の基板（１）を前後から挾んで送り込むため
のものである。Reference numeral (26) is a walking beam for feeding the substrate (1), and three claws (27), (28) and (29) are projected downward. The claws (27) are for pushing out the processed substrate (1) from the substrate positioning device (3), and the claws (28) (29) are for the substrate positioning device (3) from the loading bridge (5).
It is for feeding the unprocessed substrate (1) by sandwiching it from the front and back.

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（40）（41）からなる。可動桁構造（11）と、同じ
側に位置する桁構造（41）は、やはり桁構造（40）に対
し間隔変更運動可能となっている。そこで、桁構造（4
1）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（41）の間隔変更
動力源は、第６図に模型的に示す電動機（42）と、これ
によって回転せしめられるねじ軸（43）である。電動機
（12）（42）は、可動桁構造（11）（14）が、同時に、
同方向へ、同速度で、同距離だけ移動するよう、制御装
置（44）により制御される。桁構造（40）と可動桁構造
（41）の互に向かい合う縁部には、基板（１）の側縁を
落とし込んで支える段部（45）が形設され、段部（45）
の底の部分は、アンローディングブリッジ（７）の入口
に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト
（46）によって構成されている。The unloading bridge (7) also consists of a pair of parallel girder structures (40) (41). The movable girder structure (11) and the girder structure (41) located on the same side can also change the distance with respect to the girder structure (40). Therefore, the girder structure (4
1) is also called movable girder structure. The power source for changing the spacing of the movable girder structure (41) is an electric motor (42) schematically shown in FIG. 6 and a screw shaft (43) rotated by the electric motor (42). The electric girders (12) (42) have the movable girder structures (11) (14) at the same time.
The control device (44) controls to move in the same direction at the same speed and by the same distance. At the edges of the girder structure (40) and the movable girder structure (41) that face each other, a step (45) is formed to drop and support the side edge of the substrate (1).
Most of the bottom portion of the substrate is constituted by the substrate transport belt (46) except for a small portion near the entrance of the unloading bridge (7).

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（50）はいわゆるXYテーブルであって、水平面内で２
次元的に移動する。この上にフレーム（51）が設置さ
れ、フレーム（51）の上部には、ローディングブリッジ
（５）及びアンローディングブリッジ（７）の桁構造と
並ぶように、１対のガイドレール構造（52）（53）を設
置する。ガイドレール構造（53）はガイドレール構造
（52）に対し間隔変更運動可能であり、可動ガイドレー
ル構造と呼ぶことにする。ガイドレール構造（52）と可
動ガイドレール構造（53）はレール板（54）（55）を有
する。またレール板（54）（55）から一段と低くなっ
て、向かい合う段部（56）が形設され、ここで基板
（１）の側縁を支持するようになっている。レール板
（55）については、段部（56）のところに多数のローラ
（61）を配置している。ローラ（61）は１列に並んで基
板（１）の縁部を誘導するもので、各々が１個づつのス
ライドブロック（62）に支持されている。各スライドブ
ロック（62）は、第７図に見られるように一定のストロ
ーク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね（63）
により、ローラ（61）を最大限に突出させる位置まで押
し出されている。The structure of the substrate positioning device (3) is as follows. The base (50) is a so-called XY table, 2 in the horizontal plane.
Move dimensionally. A frame (51) is installed on the top of the frame (51), and a pair of guide rail structures (52) ( 53) is installed. The guide rail structure (53) is movable with respect to the guide rail structure (52) and can be referred to as a movable guide rail structure. The guide rail structure (52) and the movable guide rail structure (53) have rail plates (54) (55). Further, it is further lowered from the rail plates (54) and (55) to form opposed step portions (56), which support the side edges of the substrate (1). In the rail plate (55), a large number of rollers (61) are arranged at the step (56). The rollers (61) are arranged in a row and guide the edge of the substrate (1), and each roller (61) is supported by one slide block (62). Each slide block (62) can move back and forth within a certain stroke range as shown in FIG. 7, and has a compression coil spring (63).
Thus, the roller (61) is pushed out to the maximum position.

可動ガイドレール構造（53）について更に詳しく述べ
る。（70）は可動ガイドレール構造（53）の主部をなす
ベースプレートで、レール板（55）はその上に載置され
ている。レール板（55）の両端には基板（１）の流れ方
向と直角の方向に延びる長穴（71）が形設されており、
この長穴（71）に、ベースプレート（70）から突出した
案内ピン（72）が係合している。ベースプレート（70）
の側面にはばね受け板（73）を固定し、このばね受け板
（73）とレール板（55）の間に、第７図に示すように圧
縮コイルばね（74）を挿入して、レール板（55）をレー
ル板（54）の方へ押し出している。レール板（55）の進
出を止めるストッパ（75）もまた、ベースプレート（7
0）に固定する（第７図）。第４、５、６、８図に示す
（76）は大きく広がった頭部を有する抜け止めボルトで
あって、レール板（55）に穿った長穴（長穴（71）と同
方向に延びる）を通じてベースプレート（70）にねじ込
まれ、レール板（55）をスライド可能に、且つベースプ
レート（70）から分離しないように保持する。The movable guide rail structure (53) will be described in more detail. Reference numeral (70) is a base plate which is a main part of the movable guide rail structure (53), and the rail plate (55) is placed thereon. At both ends of the rail plate (55), elongated holes (71) extending in a direction perpendicular to the flow direction of the substrate (1) are formed,
A guide pin (72) protruding from the base plate (70) is engaged with the elongated hole (71). Base plate (70)
A spring receiving plate (73) is fixed to the side surface of the rail, and a compression coil spring (74) is inserted between the spring receiving plate (73) and the rail plate (55) as shown in FIG. The plate (55) is pushed toward the rail plate (54). The stopper (75) for stopping the advance of the rail plate (55) is also the base plate (7
It is fixed to 0) (Fig. 7). Reference numeral (76) shown in FIGS. 4, 5, 6 and 8 is a retaining bolt having a greatly expanded head portion and extends in the same direction as the long hole (the long hole (71) formed in the rail plate (55). (4) is screwed into the base plate (70) to hold the rail plate (55) slidably and without being separated from the base plate (70).

ベースプレート（70）の、ローディングブリッジ（５）
及びアンローディングブリッジ（７）の端部に面するこ
とになる側面には、１対づつの連結ローラ（80）が、水
平方向に所定の間隔を置いて装着されている。レール板
（55）の方には、両側に１個づつのカムフォロワローラ
（81）を装着する。カムフォロワローラ（81）は通常、
すなわちレール板（55）がストッパ（75）に当たってい
る状態において、１対の連結ローラ（80）のうちレール
板（54）から遠い側のものよりもややレール板（54）の
方へ偏位した位置にある（第９図）。カムフォロワロー
ラ（81）は、ローディングブリッジ（５）とアンローデ
ィングブリッジ（７）の可動桁構造（11）（41）に固定
されたくさび状のカム板（82）と組み合わさって、カム
装置（83）を構成している。Loading bridge (5) on the base plate (70)
Also, a pair of connecting rollers (80) are mounted at predetermined intervals in the horizontal direction on the side surface facing the end of the unloading bridge (7). One cam follower roller (81) is attached to each side of the rail plate (55). The cam follower roller (81) is usually
That is, in the state in which the rail plate (55) is in contact with the stopper (75), the rail plate (54) is slightly displaced from the pair of coupling rollers (80) farther from the rail plate (54). It is in the position (Fig. 9). The cam follower roller (81) is combined with a wedge-shaped cam plate (82) fixed to the movable girder structures (11) (41) of the loading bridge (5) and the unloading bridge (7) to form a cam device (83). ) Is composed.

ガイドレール構造（52）及び可動ガイドレール構造（5
3）は昇降機構（90）によって昇降せしめられる。（9
1）は昇降機構（90）の主部をなす昇降フレームで、フ
レーム（51）の上部構造を構成しており、図示しない軸
受にガイドロッド（103）を嵌合させて、垂直に昇降す
る。昇降動力源となるのはフレーム（51）に取り付けた
エアシリンダ（92）である。エアシリンダ（92）のロッ
ド（93）は真上を向き、その先端には押し上げヘッド
（94）が装着されている。押し上げヘッド（94）は、フ
レーム（51）に枢支したレバー（95）の先端ローラ（9
6）を押し上げる。レバー（95）の裏側には別のローラ
（97）が取り付けられており、このローラ（97）が、昇
降フレーム（91）の一側面から張り出した耳片（98）を
押し上げる。而してレバー（95）は回動軸（99）の一端
に固定されるのであるが、回動軸（99）の他端にはもう
１本のレバー（100）が固定されており、このレバー（1
00）の先端のローラ（101）が、昇降フレーム（91）の
他側面から張り出した耳片（102）を押し上げる仕組み
になっている。これにより、単一のエアシリンダ（92）
の力を昇降フレーム（91）の両側に均等に伝えることが
できる。Guide rail structure (52) and movable guide rail structure (5
3) is lifted and lowered by the lifting mechanism (90). (9
Reference numeral 1) is an elevating frame which is a main part of the elevating mechanism (90), which constitutes an upper structure of the frame (51), and is vertically moved by fitting a guide rod (103) to a bearing (not shown). The air cylinder (92) attached to the frame (51) serves as the lifting power source. The rod (93) of the air cylinder (92) faces directly above, and the push-up head (94) is attached to the tip thereof. The push-up head (94) is connected to the tip roller (9) of the lever (95) pivotally supported on the frame (51).
6) Push up. Another roller (97) is attached to the back side of the lever (95), and this roller (97) pushes up the ear piece (98) protruding from one side surface of the elevating frame (91). Thus, the lever (95) is fixed to one end of the rotating shaft (99), but another lever (100) is fixed to the other end of the rotating shaft (99). Lever (1
The roller (101) at the tip of 00) pushes up the ear piece (102) protruding from the other side of the lifting frame (91). This allows a single air cylinder (92)
Can be evenly transmitted to both sides of the lifting frame (91).

上記昇降フレーム（91）に対し、ガイドレール構造（5
2）は固定されているが、可動ガイドレール構造（53）
は、直線ガイド機構（110）（第２、３図）により、ス
ライド可能に支持されている。スライド方向は基板
（１）の流れ方向と直角である。可動ガイドレール構造
（53）から垂下したブラケット（111）に、可動ガイド
レール構造（53）のスライドを止めるブレーキ機構（11
2）が支持されている。ブレーキ機構（112）はロッドの
先端にブレーキパッド（113）を取り付けたエアシリン
ダ（114）により構成される。ブレーキパッド（113）は
常時は圧縮コイルバネ（115）の力により昇降フレーム
（91）の下面に押し付けられ、可動ガイドレール構造
（53）をロックしている。エアシリンダ（114）が作動
するとブレーキパッド（113）は昇降フレーム（91）か
ら引き離され、可動ガイドレール構造（53）はスライド
できるようになる。The guide rail structure (5
2) is fixed, but movable guide rail structure (53)
Is slidably supported by a linear guide mechanism (110) (FIGS. 2 and 3). The sliding direction is perpendicular to the flow direction of the substrate (1). The brake mechanism (11) that stops the sliding of the movable guide rail structure (53) to the bracket (111) hanging from the movable guide rail structure (53).
2) is supported. The brake mechanism (112) is composed of an air cylinder (114) having a brake pad (113) attached to the tip of a rod. The brake pad (113) is constantly pressed against the lower surface of the elevating frame (91) by the force of the compression coil spring (115) to lock the movable guide rail structure (53). When the air cylinder (114) operates, the brake pad (113) is pulled away from the elevating frame (91), and the movable guide rail structure (53) can slide.

基板位置決め装置（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（55）が基板（１）をレール
板（54）に押し付けることによって構成されるが、基板
流れ方向の位置決めについては別途方策を講じなければ
ならない。以下その機構を説明する。In the substrate positioning device (3), the positioning in the direction perpendicular to the substrate flow direction is configured by the rail plate (55) pressing the substrate (1) against the rail plate (54). We must take measures. The mechanism will be described below.

（120）は基板（１）の進行方向前縁（以下単に「前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下単に「後縁」と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。位置基準部材
（120）はレバー（121）の先端に設けられており、レバ
ー（121）は、ガイドレール構造（52）と平行する如く
昇降フレーム（91）に枢支された回動軸（122）（第13
図）に取り付けられている。レバー（121）の根元はす
り割り部（123）となっており、締付ボルト（124）を緩
めれば回動軸（122）の軸線方向にレバー（121）をスラ
イドさせることができる。レバー（121）の取付角度が
狂わないよう、レバー（121）と回動軸（122）の間には
キー（125）を介在させる。回動軸（122）は、その一端
に固定したレバー（126）を図示しないばねが押すこと
により、レール板（54）（55）の間に位置基準部材（12
0）が顔を出す角度位置に常時保持されている。回動軸
（122）の他端にはレバー様の動力伝達部材（127）を固
定する。この動力伝達部材（127）は、ローディングブ
リッジ（５）の出力部材（23）から動きを伝えられるこ
とになる。進退アクチュエータ（19）、出力部材（2
3）、動力伝達部材（127）の組み合わせにより、位置基
準部材駆動機構（128）が構成される。なお位置基準部
材（120）の両面からは図示しないばねで附勢されたバ
ンパー部材（129）が突出している。ばねの力は弱いも
のであり、基板（１）が当たればバンパー部材（129）
は容易に位置基準面の中に引っ込む。Reference numeral (120) is a position reference member that receives the front edge of the substrate (1) in the traveling direction (hereinafter simply referred to as “front edge”) or the rear edge of the substrate (1) (hereinafter simply referred to as “rear edge”). The position reference member (120) is provided at the tip of the lever (121), and the lever (121) is pivotally supported by the lifting frame (91) so as to be parallel to the guide rail structure (52). ) (13th
Attached). The base of the lever (121) is a slot (123), and the lever (121) can be slid in the axial direction of the rotating shaft (122) by loosening the tightening bolt (124). A key (125) is interposed between the lever (121) and the rotating shaft (122) so that the mounting angle of the lever (121) does not change. The rotation shaft (122) has a lever (126) fixed to one end thereof, and a spring (not shown) pushes the lever (126) between the rail plates (54) and (55) so that the position reference member (12) is provided.
0) is always held at the angular position where the face appears. A lever-like power transmission member (127) is fixed to the other end of the rotating shaft (122). This power transmission member (127) is transmitted with the movement from the output member (23) of the loading bridge (5). Forward / backward actuator (19), output member (2
3), the position reference member drive mechanism (128) is configured by combining the power transmission member (127). A bumper member (129) urged by a spring (not shown) projects from both sides of the position reference member (120). The spring force is weak, and if the substrate (1) hits it, the bumper member (129)
Easily retracts into the position reference plane.

位置基準部材（120）に基板（１）を押し付ける押圧部
材は、昇降フレーム（91）にではなく、フレーム（51）
の非昇降部分に設置される。基板（１）の前縁側と後縁
側とに、第１の押圧部材（140）と第２の押圧部材（14
1）を対称的に設ける。第１と第２の押圧部材（140）
（141）は垂直な回動軸（142）（143）に固定されたレ
バー様部材であって、先端には基板（１）に接触するロ
ーラ（144）（145）を有する。これらの押圧部材（14
0）（141）は、次のように構成される押圧部材駆動機構
（147）によって動かされる。すなわち回動軸（142）
（143）には、互に相手の方に突出するようにレバー（1
48）（149）を固定する（第15図）。レバー（148）（14
9）の先端にはローラ（150）（151）を固定し、また引
張コイルばね（152）（153）により、レバー（148）は
第15図において反時計まわりに、レバー（149）は同じ
く時計まわりに、それぞれ附勢されている。ローラ（15
0）（151）はフレーム（51）に水平に支持したスライド
ロッド（154）（155）に当たる。スライドロッド（15
4）（155）は圧縮コイルばね（156）（157）により最大
進出位置（抜止リング（158）が限界を定める）に押し
出される。基板位置決め装置（３）がローディングブリ
ッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の間のい
わゆる原点に復帰すると、この位置に設けてある不動ス
トッパ（159）にスライドロッド（154）（155）が当た
って押され、レバー（148）（149）をばね（152）（15
3）に抗して押し、押圧部材（140）（141）を位置基準
部材（120）から遠ざかる方向に回動させることにな
る。The pressing member for pressing the substrate (1) against the position reference member (120) is not the lifting frame (91) but the frame (51).
It is installed in the non-elevating part of. A first pressing member (140) and a second pressing member (14) are provided on the front edge side and the rear edge side of the substrate (1).
1) is provided symmetrically. First and second pressing members (140)
Reference numeral (141) is a lever-like member fixed to the vertical rotation shafts (142) (143), and has rollers (144) (145) contacting the substrate (1) at its tip. These pressing members (14
0) (141) is moved by a pressing member drive mechanism (147) configured as follows. Ie pivot (142)
(143) includes levers (1) so that they project toward each other.
48) Fix (149) (Fig. 15). Lever (148) (14
The rollers (150) (151) are fixed to the tip of 9), and the tension coil springs (152) (153) allow the lever (148) to rotate counterclockwise in FIG. 15 and the lever (149) to rotate the same. Around each of them. Laura (15
0 (151) hits the slide rods (154) (155) horizontally supported by the frame (51). Slide rod (15
4) The (155) is pushed out by the compression coil springs (156) (157) to the maximum advance position (the retaining ring (158) defines the limit). When the substrate positioning device (3) returns to the so-called origin between the loading bridge (5) and the unloading bridge (7), the slide rods (154) (155) hit the immobile stopper (159) provided at this position. The lever (148) (149) to the spring (152) (15
By pressing against 3), the pressing members (140) (141) are rotated in the direction away from the position reference member (120).

図中（170）は接着剤ディスペンサである。In the figure, (170) is an adhesive dispenser.

本発明装置は次のように動作する。基板（１）の加工と
は、本実施例の場合、接着剤ディスペンサ（170）が降
下して基板表面に接着剤を付着させる作業のことである
が、その作業時には昇降フレーム（91）は降下位置にあ
り、ガイドレール構造（52）と可動ガイドレール構造
（53）は、ローディングブリッジ（３）とアンローディ
ングブリッジ（７）に干渉しない高さに下がっている
（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造（52）
と可動ガイドレール構造（53）を下げると共に、不動ス
トッパ（159）から基板位置決め装置（３）を引き離し
て行なう。このため押圧部材駆動機構（147）のスライ
ドロッド（154）（155）は最大進出位置に移動してお
り、押圧部材（140）（141）は位置基準部材（120）に
接近し、基板（１）の位置決めを行なっている。図示の
例では、第２の押圧部材（141）と位置基準部材（120）
との間に基板（１）を挾む設定となっている。またレー
ル板（55）はばね（74）の弾発力によりレール板（54）
に基板（１）を押し付ける。これにより、互に直交する
２方向に関し基板位置決め装置（３）と基板（１）の相
対位置が決定される。The device of the present invention operates as follows. In the present embodiment, the processing of the substrate (1) is a work of lowering the adhesive dispenser (170) to attach the adhesive to the surface of the substrate. At that time, the elevating frame (91) is lowered. In the position, the guide rail structure (52) and the movable guide rail structure (53) are lowered to a height that does not interfere with the loading bridge (3) and the unloading bridge (7) (Fig. 2). PCB processing work, guide rail structure (52)
The movable guide rail structure (53) is lowered, and the substrate positioning device (3) is separated from the immovable stopper (159). Therefore, the slide rods (154) (155) of the pressing member driving mechanism (147) are moved to the maximum advance position, the pressing members (140) (141) approach the position reference member (120), and the substrate (1 ) Is being positioned. In the illustrated example, the second pressing member (141) and the position reference member (120)
The substrate (1) is sandwiched between and. Further, the rail plate (55) is reinforced by the elastic force of the spring (74).
The substrate (1) is pressed against. As a result, the relative positions of the substrate positioning device (3) and the substrate (1) are determined in the two directions orthogonal to each other.

基板加工終了後、基板位置決め装置（３）は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（154）（15
5）が不動ストッパ（159）に当たって押され、押圧部材
（140）（141）は位置基準部材（120）から離れる向き
に回動し、基板（１）はその流れ方向において拘束を解
かれる。次いでエアシリンダ（92）が動作し、昇降フレ
ーム（91）を上昇させる。押圧部材（140）（141）は下
に残り、基板（１）の前後から消える。昇降フレーム
（91）の上昇に伴ないガイドレール構造（52）はローデ
ィングブリッジ（５）とアンローディングブリッジ
（７）の桁構造（10）（40）の間にはまり込んで３者一
直線に並び、可動ガイドレール構造（53）は同じく可動
桁構造（11）（41）の間にはまり込んで３者一直線に並
ぶ。その際、レール板（55）が可動桁構造（11）（41）
の間に入って行くにつれ、第９図から第11図に示すよう
にカム板（82）とローラカムフォロワ（81）との間に接
触が生じ、レール板（55）はばね（74）に抗し移動せし
められて、基板（１）を釈放する。可動ガイドレール構
造（53）が上昇の頂点に達した第11図の状態では、カム
板（82）が連結ローラ（80）（80）の間に嵌合し、可動
ガイドレール構造（53）そのものが可動桁構造（11）
（14）に連結する形になる。他方ガイドレール構造（5
2）の側においては、レバー（127）が出力部材（23）に
並び、出力部材（23）のローラ（24）が動力伝達部材
（127）の上面に対向している。After the substrate processing is completed, the substrate positioning device (3) returns to the origin. When returning to the origin, slide rod (154) (15
5) is pressed against the immovable stopper (159), the pressing members (140) (141) rotate in a direction away from the position reference member (120), and the substrate (1) is unconstrained in the flow direction. Next, the air cylinder (92) operates to raise the elevating frame (91). The pressing members (140) (141) remain below and disappear from the front and back of the substrate (1). As the lifting frame (91) rises, the guide rail structure (52) fits between the girder structures (10) and (40) of the loading bridge (5) and the unloading bridge (7), and is lined up in three lines. The movable guide rail structure (53) is also fitted between the movable girder structures (11) and (41) and arranged in a straight line. At that time, the rail plate (55) is movable girder structure (11) (41)
As shown in FIG. 9 to FIG. 11, contact is made between the cam plate (82) and the roller cam follower (81) as the rail plate (55) resists the spring (74). Then, the substrate (1) is released and released. In the state of FIG. 11 in which the movable guide rail structure (53) has reached the top of rising, the cam plate (82) is fitted between the connecting rollers (80) (80), and the movable guide rail structure (53) itself. Movable girder structure (11)
It will be connected to (14). On the other hand, guide rail structure (5
On the side of 2), the lever (127) is aligned with the output member (23), and the roller (24) of the output member (23) faces the upper surface of the power transmission member (127).

ここで進退アクチュエータ（19）の動作が生じる。第18
図のように進退アクチュエータ（19）がロッド（21）を
伸ばすとストッパ（16）は下向きに回動し、これに当た
って止まっていた基板（１）から離れる。出力部材（2
3）も下向きに回動し、ローラ（24）で動力伝達部材（1
27）を押す。そのため回動軸（122）が回動し、位置基
準部材（120）は基板係止位置から退避する（第６、15
図）。それと共にウォーキングビーム（26）が動き、基
板位置決め装置（３）から加工済の基板（１）をアンロ
ーディングブリッジ（７）へと押し出し、また未加工の
基板（１）をローディングブリッジ（５）から基板位置
決め装置へ移す。ウォーキングビーム（26）の動作中
は、基板搬送ベルト（15）は静止している。基板（１）
の受け渡しを終えた後、進退アクチュエータ（19）はロ
ッド（21）を引っ込め、ストッパ（16）と位置基準部材
（120）は旧位置に復元する。それと同時に基板搬送ベ
ルト（15）の動きが再開し、新たな未加工基板（１）を
ストッパ（16）のところまで運んで来るものである。ア
ンローディングブリッジ（７）の方の基板搬送ベルト
（46）は常時運転しており、加工済基板（１）の一部が
その上にかかった時点で、摩擦力により引き込んで運び
去っているものである。Here, the movement of the forward / backward actuator (19) occurs. 18th
As shown in the figure, when the advancing / retreating actuator (19) extends the rod (21), the stopper (16) pivots downward and separates from the substrate (1) stopped by hitting this. Output member (2
3) also rotates downward, and the power transmission member (1
27) Press. Therefore, the rotation shaft (122) rotates, and the position reference member (120) retracts from the board locking position (6th and 15th positions).
Figure). Along with that, the walking beam (26) moves, the processed substrate (1) is pushed out from the substrate positioning device (3) to the unloading bridge (7), and the unprocessed substrate (1) is discharged from the loading bridge (5). Transfer to the board positioning device. The substrate transfer belt (15) is stationary during the operation of the walking beam (26). Board (1)
After finishing the delivery of (1), the advancing / retreating actuator (19) retracts the rod (21), and the stopper (16) and the position reference member (120) are restored to their old positions. At the same time, the movement of the substrate carrying belt (15) is restarted, and the new unprocessed substrate (1) is carried to the stopper (16). The substrate transfer belt (46) of the unloading bridge (7) is always in operation, and when a part of the processed substrate (1) is over it, it is pulled in by a frictional force and carried away. Is.

次いでシリンダ（92）が昇降フレーム（91）を降下させ
る。カム板（82）からカムフォロワローラ（81）が離れ
ることにより、レール板（55）はばね（74）の力で進出
し、基板（１）をレール板（54）に押しつける。昇降フ
レーム（91）が降りきると押圧部材（140）（141）が基
板（１）の前後に出現することになる。基板位置決め装
置（３）が水平に移動し、不動ストッパ（159）から離
れて行くと、押圧部材（140）（141）は位置基準部材
（120）に接近し、第２の押圧部材（141）は基板（１）
を後方から押して位置基準部材（120）に押しつけ、基
板（１）に所定の基準位置を獲得させる。Next, the cylinder (92) lowers the lifting frame (91). When the cam follower roller (81) is separated from the cam plate (82), the rail plate (55) advances by the force of the spring (74) and presses the substrate (1) against the rail plate (54). When the elevating frame (91) is fully lowered, the pressing members (140) (141) appear in front of and behind the substrate (1). When the substrate positioning device (3) moves horizontally and moves away from the immovable stopper (159), the pressing members (140) (141) approach the position reference member (120) and the second pressing member (141). Is the substrate (1)
Is pressed from the rear side against the position reference member (120) to make the substrate (1) obtain a predetermined reference position.

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
（120）の前に基板（１）を送り込む。今度は第１の押
圧部材（140）が基板（１）の後縁を位置基準部材（12
0）に押しつけることになる。レバー（121）を回動軸
（122）に沿って移動させることにより、位置基準部材
（120）と押圧部材（140）（141）の間隔を基板（１）
の前後方向長さに応じて自由に設定することができる。
このように基板（１）の送り込み深さを変えるため、ウ
ォーキングビーム（26）は、その移動ストロークを変更
できるようにしておく。また爪（28）（29）も位置可変
であるのが望ましい。When the substrate (1) uses the rear side as the reference side, the substrate (1) is fed in front of the position reference member (120). This time, the first pressing member (140) moves the rear edge of the substrate (1) to the position reference member (12).
0) will be forced. By moving the lever (121) along the rotating shaft (122), the distance between the position reference member (120) and the pressing members (140) (141) is set to the substrate (1).
It can be freely set according to the length in the front-back direction.
In order to change the feeding depth of the substrate (1) in this way, the walking beam (26) can be changed in its moving stroke. It is desirable that the positions of the claws (28) (29) are also variable.

基板（１）の搬送幅は次のようにして調節する。基板位
置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（91）を
上昇させると、前述のように連結ローラ（80）（80）が
カム板（82）を挾んで可動桁構造（11）（41）と可動ガ
イドレール構造（53）は連結する。ここでブレーキ機構
（112）による可動ガイドレール構造（53）のロックを
解除し、電動機（12）（42）を駆動すると、可動桁構造
（11）（41）と可動ガイドレール構造（53）は一体とな
って基板搬送幅を広げる方向または狭まる方向に移動す
る。所望の搬送幅が得られたところで電動機（12）（4
2）を停止し、ブレーキ機構（112）により再び可動ガイ
ドレール構造（53）をロックすれば、以後その幅で基板
（１）を受け入れて搬送することになる。The transfer width of the substrate (1) is adjusted as follows. When the board positioning device (3) is placed at the origin and the elevating frame (91) is raised, the connecting rollers (80) (80) sandwich the cam plate (82) and the movable girder structures (11) (41) as described above. ) And the movable guide rail structure (53) are connected. When the movable guide rail structure (53) is unlocked by the brake mechanism (112) and the electric motors (12) (42) are driven, the movable girder structures (11) (41) and the movable guide rail structure (53) are separated. The substrates are moved together in a direction in which the substrate transfer width is widened or narrowed. When the desired transfer width is obtained, the electric motor (12) (4
2) is stopped, and the movable guide rail structure (53) is locked again by the brake mechanism (112), the substrate (1) is received and conveyed with that width thereafter.

（ト）発明の効果本発明では、ローディングブリッジ側のストッパと基板
位置決め装置側の位置基準部材とを、ローディングブリ
ッジ側のアクチュエータをもって同時に進退動作させる
から、位置基準部材のためのアクチュエータを基板位置
決め装置に設けずとも良く、基板位置決め装置に対する
配線・配管をそれだけ少なくでき、基板位置決め装置の
故障頻度を低下させられるものである。(G) Effect of the Invention In the present invention, since the stopper on the loading bridge side and the position reference member on the substrate positioning device side are simultaneously moved forward and backward by the actuator on the loading bridge side, the actuator for the position reference member is mounted on the substrate positioning device. The wiring and piping for the substrate positioning device can be reduced accordingly, and the frequency of failure of the substrate positioning device can be reduced.

[Brief description of drawings]

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断面正面図にして、異なる動作状態を示すもの、第
４図はガイドレール構造の昇降機構を示す斜視図、第５
図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図及び第
８図は可動ガイドレール構造の断面図及び部分上面図、
第９図乃至第11図は可動ガイドレール構造とカム板との
相互作用を説明する側面図、第12図はローディングブリ
ッジ側可動桁構造の部分斜視図、第13図は不動側のガイ
ドレール構造の斜視図、第14図は基板位置決め装置の拡
大上面図、第15図は同じく基板位置決め装置の拡大上面
図にして、要部を破断したもの、第16図は位置基準部材
駆動機構の斜視図、第17図及び第18図は位置基準部材駆
動機構の動作説明図である。（１）……基板、（３）……基板位置決め装置、（５）
……ローディングブリッジ、（７）……アンローディン
グブリッジ、（15）……基板搬送ベルト、（16）……ス
トッパ、（19）……進退アクチュエータ、（120）……
位置基準部材、（127）……動力伝達部材、（23）……
出力部材。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic structure of the apparatus, and FIGS. 2 and 3 are sectional front views of a main part of a substrate positioning apparatus showing different operating states. FIG. 4 is a perspective view showing a lifting mechanism having a guide rail structure, and FIG.
FIGS. 6 and 6 are top views of different operating states, FIGS. 7 and 8 are cross-sectional views and partial top views of the movable guide rail structure,
9 to 11 are side views for explaining the interaction between the movable guide rail structure and the cam plate, FIG. 12 is a partial perspective view of the movable girder structure on the loading bridge side, and FIG. 13 is a stationary guide rail structure. FIG. 14, FIG. 14 is an enlarged top view of the substrate positioning device, FIG. 15 is an enlarged top view of the substrate positioning device in which the main part is broken, and FIG. 16 is a perspective view of the position reference member drive mechanism. 17 and 18 are operation explanatory views of the position reference member drive mechanism. (1) ... board, (3) ... board positioning device, (5)
…… Loading bridge, (7) …… Unloading bridge, (15) …… Substrate transport belt, (16) …… Stopper, (19) …… Forward / backward actuator, (120) ……
Position reference member, (127) …… Power transmission member, (23) ……
Output member.

Claims

[Claims]

1. A substrate transfer apparatus having the following configuration. (A) A substrate positioning device that moves a desired position on the substrate surface to a processing position by moving the substrate horizontally while supporting the substrate (b) A loading bridge for feeding an unprocessed substrate to the substrate positioning device (c) The above An unloading bridge for receiving a processed substrate from a substrate positioning device (d) a substrate transfer belt provided on the loading bridge (e) also provided on the loading bridge
A stopper for temporarily holding the substrate conveyed by the substrate transfer belt on standby, and an advance / retreat actuator of the stopper (f) serving as a position reference in the traveling direction of the substrate in the substrate positioning device, A position reference member that is constantly advanced to the substrate locking position by a spring (g) A power transmission member connected to the position reference member (h) A connection to the advance / retreat actuator, and when the loading bridge and the substrate positioning device are aligned,
An output member that transmits the power for retracting the stopper to the power transmission member and also retracts the position reference member.