JPH0691682B2 - 磁気浮上制御方法 - Google Patents
磁気浮上制御方法Info
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- JPH0691682B2 JPH0691682B2 JP6906685A JP6906685A JPH0691682B2 JP H0691682 B2 JPH0691682 B2 JP H0691682B2 JP 6906685 A JP6906685 A JP 6906685A JP 6906685 A JP6906685 A JP 6906685A JP H0691682 B2 JPH0691682 B2 JP H0691682B2
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- electromagnetic coil
- coils
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Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、リニヤーモーター等を使った浮上体におい
て、リニヤーモーターとスケール間のギャップを一定に
保つための制御方法に関するものである。
て、リニヤーモーターとスケール間のギャップを一定に
保つための制御方法に関するものである。
(従来の技術) 従来、上記のギャップを一定に保つためには、ギャップ
センサーの出力をフイードバックして、コイル間の吸引
力を変えるようにしていたが、このようなものでは、高
価で重い永久磁石のほかに、移動する二次側電磁コイル
(以下コイルと略称する。)のための別電源が必要とな
る。
センサーの出力をフイードバックして、コイル間の吸引
力を変えるようにしていたが、このようなものでは、高
価で重い永久磁石のほかに、移動する二次側電磁コイル
(以下コイルと略称する。)のための別電源が必要とな
る。
(発明が解決しようとする問題点) 移動する二次側コイルが設置されている浮上体が完全に
浮上して、ガイドレール等と無接触で走行するようにし
てある場合には、計量化は重要であり、また、電源供給
のために、ケーブルを敷設することは、完全な無接触走
行に対しては不都合である。
浮上して、ガイドレール等と無接触で走行するようにし
てある場合には、計量化は重要であり、また、電源供給
のために、ケーブルを敷設することは、完全な無接触走
行に対しては不都合である。
さらに、ケーブルを不要とするために、浮上体に電池を
載せた場合にも、電池の保守や交換等の問題が生じる。
載せた場合にも、電池の保守や交換等の問題が生じる。
(問題点を解決するための手段) 上記問題点を解決するため、本発明においては、 地上又は床上に繰り返し連続させて多数設置した一次側
電磁コイルと、 それと一定のギャップを保って移動可能として設けた二
次側電磁コイルと、一及び二次電磁コイル間の吸引力を
変化させるべく、二次側電磁コイルに負荷として接続さ
れた可変抵抗器又はトランジスタチョッパーとを備え、 上記一次側電磁コイルに交流電流を流して、二次側電磁
コイルに、相互誘導による電流を発生させるとともに、
前記ギャップセンサーの出力を、前記可変抵抗器又はト
ランジスタチョッパーにフイードバックして、二次側電
磁コイルの電流を制御することにより、一次、二次両コ
イル間を一定のギャップに保つようにしてある。
電磁コイルと、 それと一定のギャップを保って移動可能として設けた二
次側電磁コイルと、一及び二次電磁コイル間の吸引力を
変化させるべく、二次側電磁コイルに負荷として接続さ
れた可変抵抗器又はトランジスタチョッパーとを備え、 上記一次側電磁コイルに交流電流を流して、二次側電磁
コイルに、相互誘導による電流を発生させるとともに、
前記ギャップセンサーの出力を、前記可変抵抗器又はト
ランジスタチョッパーにフイードバックして、二次側電
磁コイルの電流を制御することにより、一次、二次両コ
イル間を一定のギャップに保つようにしてある。
トランジスタチョッパー回路は、ギャップセンサーの出
力によって、抵抗を流れるコイルに発生した誘導電流を
コントロールする。コントロールをより精密にするため
に、加速度センサーを使うこともある。
力によって、抵抗を流れるコイルに発生した誘導電流を
コントロールする。コントロールをより精密にするため
に、加速度センサーを使うこともある。
(作用) 本発明の基本的原理と作用は、次の如くである。
第1図において、二次側コイル(B)に接続されている
抵抗(R)が、無限大、即ち接続されていなければ、流
れる電流はゼロであり、一次二次側の両コイル(A)
(B)間の吸引力は最大となる。
抵抗(R)が、無限大、即ち接続されていなければ、流
れる電流はゼロであり、一次二次側の両コイル(A)
(B)間の吸引力は最大となる。
R=O、即ち二次側コイル(B)が短絡されていれば、
吸引力は最小になる。
吸引力は最小になる。
抵抗値を可変すれば、電流が変わり、吸引力も変わる。
抵抗値を物理的に変えるかわりに、抵抗値を最小(電流
最大)にしておき、第2図の如く、二次側コイル(B)
と抵抗(R)との間に、トランジスタチョッパー回路
(C)を入れることもある。
最大)にしておき、第2図の如く、二次側コイル(B)
と抵抗(R)との間に、トランジスタチョッパー回路
(C)を入れることもある。
両コイル(A)(B)間のギャップが狭くなって、チョ
ッパー回路(C)に接続されているギャップセンサー
(D)の出力が増大すれば、チョッパー回路(C)のデ
ューテイ比が変わり、抵抗(R)に流れる電流は減少す
る。その結果、吸引力は減少し、ギャップは広がる。
ッパー回路(C)に接続されているギャップセンサー
(D)の出力が増大すれば、チョッパー回路(C)のデ
ューテイ比が変わり、抵抗(R)に流れる電流は減少す
る。その結果、吸引力は減少し、ギャップは広がる。
ギャップが広がりすぎれば、ギャップセンサー(D)の
出力は減少し、チョッパー回路の(C)のデューテイ比
を前記と逆に変えて、電流を増大させる。
出力は減少し、チョッパー回路の(C)のデューテイ比
を前記と逆に変えて、電流を増大させる。
ギャップをある値に設定するには、前もって、デューテ
イ比を適宜にきめておけばよい。チョッパー回路(C)
のチョッピング周波数をどのくらいするかは、一次側コ
イル(A)に流す電源周波数や吸引時における振動及び
騒音等を考慮して、適当に定める必要がある。
イ比を適宜にきめておけばよい。チョッパー回路(C)
のチョッピング周波数をどのくらいするかは、一次側コ
イル(A)に流す電源周波数や吸引時における振動及び
騒音等を考慮して、適当に定める必要がある。
(実施例) 以下、第3図に示す実施例について説明する。
台車(13)の上面前後左右に、4個の二次側コイル
(1)(2)(3)(4)を取付け、かつ前部コイル
(1)(3)の前端、及び後部コイル(2)(4)の後
端に、それぞれギャップセンサー(5)(7)(6)
(8)を取り付けてある。
(1)(2)(3)(4)を取付け、かつ前部コイル
(1)(3)の前端、及び後部コイル(2)(4)の後
端に、それぞれギャップセンサー(5)(7)(6)
(8)を取り付けてある。
床(16)上に設置された柱(17)の上端より突設した水
平アーム(18)の下面における前記二次側コイル(1)
(2)(3)(4)と対応する個所に、一次側コイル
(9)(10)(11)(12)を、走行方向に繰り返し連続
させて、取り付けてある。
平アーム(18)の下面における前記二次側コイル(1)
(2)(3)(4)と対応する個所に、一次側コイル
(9)(10)(11)(12)を、走行方向に繰り返し連続
させて、取り付けてある。
かくして、一次側コイル(9)〜(12)に交流電流を流
すと、一次側(9)(12)は、二次側コイル(1)〜
(4)の鉄心〜(1a)(2a)(3a)(4a)を吸引する。
すと、一次側(9)(12)は、二次側コイル(1)〜
(4)の鉄心〜(1a)(2a)(3a)(4a)を吸引する。
二次側コイル(1)〜(4)には、第1図及び第2図に
示し、前記作用の説明において記載したように、抵抗
(R)を変化できるようにした、チョッパー回路(c)
の二次側コイルの電流を制御する電流制御回路(図示
略)を接続してある。
示し、前記作用の説明において記載したように、抵抗
(R)を変化できるようにした、チョッパー回路(c)
の二次側コイルの電流を制御する電流制御回路(図示
略)を接続してある。
この電流制御回路は、一次側コイル(9)〜(12)が二
次側コイル(1)〜(4)の鉄心(1a)(2a)(3a)
(4a)を吸引する吸引力を変化させることができ、か
つ、ギャップセンサ(5)〜(8)が検出する一次側コ
イル(9)〜(12)の下面と二次側コイル(1)〜
(4)の鉄心(1a)〜(4a)上端の間のギャップを検出
して、ギャップの量を制御電流に対応するように負帰還
制御することにより、ギャップを常に一定に保つ。
次側コイル(1)〜(4)の鉄心(1a)(2a)(3a)
(4a)を吸引する吸引力を変化させることができ、か
つ、ギャップセンサ(5)〜(8)が検出する一次側コ
イル(9)〜(12)の下面と二次側コイル(1)〜
(4)の鉄心(1a)〜(4a)上端の間のギャップを検出
して、ギャップの量を制御電流に対応するように負帰還
制御することにより、ギャップを常に一定に保つ。
この結果、上方にある一次側コイル(9)〜(12)は、
下方にある二次コイル(1)〜(4)を、一定のギャッ
プに保って吸引していることになり、台車(13)は、懸
垂された状態で浮上する。
下方にある二次コイル(1)〜(4)を、一定のギャッ
プに保って吸引していることになり、台車(13)は、懸
垂された状態で浮上する。
台車(13)を水平方向に走行させるために、台車(13)
の上面中央には、前後方向を向くリニヤーモータースケ
ール(14)が、また、これと対向するべく、水平アーム
(18)の下面には、リニヤーモーター(15)が取付けら
れている。
の上面中央には、前後方向を向くリニヤーモータースケ
ール(14)が、また、これと対向するべく、水平アーム
(18)の下面には、リニヤーモーター(15)が取付けら
れている。
なお、台車(13)が走行するのに伴って、一次側と二次
側のコイルの相対位置はずれるから、前述の如く、一次
側のコイル(9)〜(12)は、走行範囲全域に亘って繰
り返し設置しておき、常に二次側コイル(1)〜(4)
に電流が発生しうるように、常時吸引力を二次側コイル
(1)〜(4)の鉄心(1a)〜(4a)が働かせてある。
側のコイルの相対位置はずれるから、前述の如く、一次
側のコイル(9)〜(12)は、走行範囲全域に亘って繰
り返し設置しておき、常に二次側コイル(1)〜(4)
に電流が発生しうるように、常時吸引力を二次側コイル
(1)〜(4)の鉄心(1a)〜(4a)が働かせてある。
ギャップセンサーのための電力は僅かで足りるから、こ
れを、二次側コイルに発生した電力から、定電圧電源を
通して得ることができる。
れを、二次側コイルに発生した電力から、定電圧電源を
通して得ることができる。
(発明の効果) 移動する台車に電源を供給するためのケーブルや電池等
を使わずに、完全に空中に浮いた状態で、一定の位置を
保つことができるから、例えばクリーンルーム内での搬
送システムに利用すると、紛塵を発生させる要素が全く
なく、しかも保守も容易である。
を使わずに、完全に空中に浮いた状態で、一定の位置を
保つことができるから、例えばクリーンルーム内での搬
送システムに利用すると、紛塵を発生させる要素が全く
なく、しかも保守も容易である。
第1図及び第2図は、本発明の原理を説明するための回
路図、 第3図は、本発明の実施例を略示する平面図、 第4図は、同じく要部縦断正面図、 第5図は、同じく右側面図である。 (1)(2)(3)(4)二次側コイル (5)(6)(7)(8)ギャップセンサー (9)(10)(11)(12)一次側コイル (13)台車 (14)リニヤーモータースケール (15)リニヤーモーター (16)床 (17)柱 (18)水平アーム
路図、 第3図は、本発明の実施例を略示する平面図、 第4図は、同じく要部縦断正面図、 第5図は、同じく右側面図である。 (1)(2)(3)(4)二次側コイル (5)(6)(7)(8)ギャップセンサー (9)(10)(11)(12)一次側コイル (13)台車 (14)リニヤーモータースケール (15)リニヤーモーター (16)床 (17)柱 (18)水平アーム
Claims (1)
- 【請求項1】地上又は床上に繰り返し連続させて多数設
置した一次側電磁コイルと、 それと一定のギャップを保って移動可能として設けた二
次側電磁コイルと、一及び二次電磁コイル間の吸引力を
変化させるべく、二次側電磁コイルに負荷として接続さ
れた可変抵抗器又はトランジスタチョッパーとを備え、 上記一次側電磁コイルに交流電流を流して、二次側電磁
コイルに、相互誘導による電流を発生させるとともに、
前記ギャップセンサーの出力を、前記可変抵抗器又はト
ランジスタチョッパーにフィードバックして、二次側電
磁コイルの電流を制御することにより、一次、二次両コ
イル間を一定のギャップに保つようにしたことを特徴と
する磁気浮上制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6906685A JPH0691682B2 (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | 磁気浮上制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6906685A JPH0691682B2 (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | 磁気浮上制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61231806A JPS61231806A (ja) | 1986-10-16 |
| JPH0691682B2 true JPH0691682B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=13391826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6906685A Expired - Fee Related JPH0691682B2 (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | 磁気浮上制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691682B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088725B2 (ja) * | 1989-04-13 | 1996-01-29 | 株式会社岡村製作所 | 磁気浮上式懸垂装置 |
| JPH0759207A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Murata Mach Ltd | リニア搬送台車の補助動力装置 |
| JP7683294B2 (ja) * | 2021-04-19 | 2025-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を搬送する装置、及び基板を搬送する方法 |
-
1985
- 1985-04-03 JP JP6906685A patent/JPH0691682B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61231806A (ja) | 1986-10-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |