JPH0691944B2 - 薄膜の製造法 - Google Patents
薄膜の製造法Info
- Publication number
- JPH0691944B2 JPH0691944B2 JP60228395A JP22839585A JPH0691944B2 JP H0691944 B2 JPH0691944 B2 JP H0691944B2 JP 60228395 A JP60228395 A JP 60228395A JP 22839585 A JP22839585 A JP 22839585A JP H0691944 B2 JPH0691944 B2 JP H0691944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- polymerization
- plasma
- hexafluoropropylene
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 14
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical group FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 33
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1-pentene Chemical compound CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 1
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000025 natural resin Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、気体分離用薄膜の製造法に関する。詳しく
は、ヘキサフルオロプロピレン（ヘキサフルオロプロペ
ンとも称する）と脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ
重合することにより、基体成型体上に薄膜を形成させる
ことを特徴する気体分離膜として有用な薄膜の製造法に
関する。
は、ヘキサフルオロプロピレン（ヘキサフルオロプロペ
ンとも称する）と脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ
重合することにより、基体成型体上に薄膜を形成させる
ことを特徴する気体分離膜として有用な薄膜の製造法に
関する。
［従来の技術］ 基体成型体の表面を改質する目的で、例えば特公昭55−
33815号公報に記載されているように、基体成型体の表
面にプラズマ重合法によって薄膜を形成させる技術が提
案されている。このようなプラズマ重合は、真空下に低
圧で存在するモノマー中にグロー放電することによって
存在するモノマーをプラズマ化させ、生成した活性種を
基体に堆積させる重合法を言う。このプラズマ重合を遂
行する際に、重合系に存在するモノマーが安定なもので
ない場合は分解することがあり、重合系に存在させたモ
ノマーの形態で重合しないことがある。重合系に二種類
のモノマーを存在させれば、二種類のモノマー成分の要
素を含んだポリマーが生成する可能性がある。
33815号公報に記載されているように、基体成型体の表
面にプラズマ重合法によって薄膜を形成させる技術が提
案されている。このようなプラズマ重合は、真空下に低
圧で存在するモノマー中にグロー放電することによって
存在するモノマーをプラズマ化させ、生成した活性種を
基体に堆積させる重合法を言う。このプラズマ重合を遂
行する際に、重合系に存在するモノマーが安定なもので
ない場合は分解することがあり、重合系に存在させたモ
ノマーの形態で重合しないことがある。重合系に二種類
のモノマーを存在させれば、二種類のモノマー成分の要
素を含んだポリマーが生成する可能性がある。
本発明者は先に、テトラフルオロメタンのプラズマ重合
をメタンの共存化で行うことにより、基体成型体の表面
に薄膜を形成できることを報告した（J.Macromol.Sci.-
chem.A18（４）、p661〜672（1982））。
をメタンの共存化で行うことにより、基体成型体の表面
に薄膜を形成できることを報告した（J.Macromol.Sci.-
chem.A18（４）、p661〜672（1982））。
［発明が解決しようとした課題］ しかしながら、本発明者の実験によると、この方法で形
成した薄膜は、気体分離性能については満足すべきもの
ではなかった。
成した薄膜は、気体分離性能については満足すべきもの
ではなかった。
そこで、本発明者は、さらに検討を重ね、ヘキサフルオ
ロプロピレンと脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ重
合することにより、基体成型体上に薄膜を形成させた場
合は、特に酸素と窒素の分離性能に優れた薄膜が形成さ
れることを見出し、本発明に到達した。
ロプロピレンと脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ重
合することにより、基体成型体上に薄膜を形成させた場
合は、特に酸素と窒素の分離性能に優れた薄膜が形成さ
れることを見出し、本発明に到達した。
［課題を解決するための手段］ しかして本発明の要旨とするところは、ヘキサフルオロ
プロピレンと脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ重合
することにより、基体成型体上に厚さ0.01μｍ〜10μｍ
の薄膜を形成させることを特徴とする気体分離用薄膜の
製造法に存する。
プロピレンと脂肪族炭化水素との混合物をプラズマ重合
することにより、基体成型体上に厚さ0.01μｍ〜10μｍ
の薄膜を形成させることを特徴とする気体分離用薄膜の
製造法に存する。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明において基体成型体とは、天然樹脂、合成樹脂な
どの有機樹脂材料、金属、ガラスなどの無機材料などか
らなる成型体を言う。
どの有機樹脂材料、金属、ガラスなどの無機材料などか
らなる成型体を言う。
有機樹脂材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリ４−メチルペンテン−１などのポリオレフィン
類、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリマタ
クリル酸メチルなどのビニル系モノマーの重合体類、ポ
リフッ化ビニリデンなどのフッ素含有モノマーの重合体
類、ポリシロキサン、ポリトリメチルビニルシラン、ポ
リトリメチルシリルプロピレンなどのケイ素含有重合体
類、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルホン、ポリフェ
ニレンオキサイド、ポリカーボネートなどの芳香族環含
有有機化合物の縮合重合体類、エチルセルロース、アセ
チルセルロースなどのセルロース系重合体類が挙げら
れ、無機材料としては、金属、ガラスなどが挙げられ
る。
ン、ポリ４−メチルペンテン−１などのポリオレフィン
類、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリマタ
クリル酸メチルなどのビニル系モノマーの重合体類、ポ
リフッ化ビニリデンなどのフッ素含有モノマーの重合体
類、ポリシロキサン、ポリトリメチルビニルシラン、ポ
リトリメチルシリルプロピレンなどのケイ素含有重合体
類、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルホン、ポリフェ
ニレンオキサイド、ポリカーボネートなどの芳香族環含
有有機化合物の縮合重合体類、エチルセルロース、アセ
チルセルロースなどのセルロース系重合体類が挙げら
れ、無機材料としては、金属、ガラスなどが挙げられ
る。
基体成型体としては、具体的には、シート状、中空糸
状、スパイラル状、チューブ状などの形態の成型体が挙
げられ、これらはいずれも多孔体である必要がある。基
体成型体としてはさらに、通常非対称膜と称されるスキ
ン層と多孔層とからなる膜、複合膜と称される多孔層の
表面にコーテイング、insitu重合、プラズマ重合、ラミ
ネートなどの方法によって均質な超薄膜を形成した膜
も、成型体として用いることができる。多孔体の孔の大
きさは、ガス分離に適した0.03μｍ以下であるのが好ま
しい。
状、スパイラル状、チューブ状などの形態の成型体が挙
げられ、これらはいずれも多孔体である必要がある。基
体成型体としてはさらに、通常非対称膜と称されるスキ
ン層と多孔層とからなる膜、複合膜と称される多孔層の
表面にコーテイング、insitu重合、プラズマ重合、ラミ
ネートなどの方法によって均質な超薄膜を形成した膜
も、成型体として用いることができる。多孔体の孔の大
きさは、ガス分離に適した0.03μｍ以下であるのが好ま
しい。
本発明方法によるときは、ヘキサフルオロプロピレンを
脂肪族炭化水素の共存下にプラズマ重合する。共存させ
ることができる脂肪族炭化水素としては、常温で気体の
アルカン類、アルケン類が挙げられ、なかでもメタンが
最適である。
脂肪族炭化水素の共存下にプラズマ重合する。共存させ
ることができる脂肪族炭化水素としては、常温で気体の
アルカン類、アルケン類が挙げられ、なかでもメタンが
最適である。
ヘキサフルオロプロピレンと脂肪族炭化水素とを混合す
る際の割合は、特に制限されないが、容積比で100:1〜
1:100の範囲で選ぶのがよく、特に好ましくは容積比で2
0:1〜1:2の範囲で選ぶのがよい。
る際の割合は、特に制限されないが、容積比で100:1〜
1:100の範囲で選ぶのがよく、特に好ましくは容積比で2
0:1〜1:2の範囲で選ぶのがよい。
ヘキサフルオロプロピレンと脂肪族炭化水素との混合物
をプラズマ重合は、内部電極方式、無電極方式などの公
知のプラズマ重合装置を用いて遂行することができる。
内部電極方式の重合装置としては、ジャーナル・オブ・
アプライド・ポリマー・サイエンス（Journal of Appli
ed Polymer Science）第17巻、885頁（1973）、または
同誌第28巻、3629頁（1984）などに記載されたものが挙
げられ、無電極方式の重合装置としては、同誌第15巻、
2277頁（1971）に記載されたものが挙げられる。
をプラズマ重合は、内部電極方式、無電極方式などの公
知のプラズマ重合装置を用いて遂行することができる。
内部電極方式の重合装置としては、ジャーナル・オブ・
アプライド・ポリマー・サイエンス（Journal of Appli
ed Polymer Science）第17巻、885頁（1973）、または
同誌第28巻、3629頁（1984）などに記載されたものが挙
げられ、無電極方式の重合装置としては、同誌第15巻、
2277頁（1971）に記載されたものが挙げられる。
プラズマ重合する際の温度は、特に制限はなく、常温付
近で適宜選ぶことができ、プラズマ重合する際の圧力、
グロー放電する電圧などは、使用する重合装置の型式に
よって適宜選ぶことができる。
近で適宜選ぶことができ、プラズマ重合する際の圧力、
グロー放電する電圧などは、使用する重合装置の型式に
よって適宜選ぶことができる。
プラズマ重合する際に重合装置に供給するモノマーの流
速は、装置の大きさと、放電する電圧の大きさに応じて
選ぶことができる。例えば、直径10cm、長さ55mmの装置
でラジオ波の電力10〜100Wでのモノマーの流速は、0.1
〜50cm3（STP）／分程度で選ぶことができる。
速は、装置の大きさと、放電する電圧の大きさに応じて
選ぶことができる。例えば、直径10cm、長さ55mmの装置
でラジオ波の電力10〜100Wでのモノマーの流速は、0.1
〜50cm3（STP）／分程度で選ぶことができる。
プラズマ重合によって基体成型体上に形成される薄膜の
厚さは、重合時間と重合装置に供給するモノマーの流速
によって調節することができる。気体分離用膜として使
用する場合には、薄膜は極薄であるほど好ましいが、他
方極端に薄い場合にはピンホールが生成するなどにより
分離性能が低下し好ましくない。薄膜の厚さは、通常0.
01μｍ〜10μｍの範囲で選択するのが、好ましい。
厚さは、重合時間と重合装置に供給するモノマーの流速
によって調節することができる。気体分離用膜として使
用する場合には、薄膜は極薄であるほど好ましいが、他
方極端に薄い場合にはピンホールが生成するなどにより
分離性能が低下し好ましくない。薄膜の厚さは、通常0.
01μｍ〜10μｍの範囲で選択するのが、好ましい。
［発明の奏する効果］ 本発明は次のような特別に顕著な効果を奏し、その実用
的利用価値は極めて大である。
的利用価値は極めて大である。
1.本発明方法に従い、ヘキサフルオロプロピレンと脂肪
族炭化水素とを共存させてプラズマ重合して得た薄膜
は、気体分離性、特に酸素と窒素の分離性能に優れたも
のとなる。
族炭化水素とを共存させてプラズマ重合して得た薄膜
は、気体分離性、特に酸素と窒素の分離性能に優れたも
のとなる。
2.これに対して、脂肪族炭化水素を共存させないでプラ
ズマ重合して得た薄膜は、優れた気体分離性を発揮しな
い。
ズマ重合して得た薄膜は、優れた気体分離性を発揮しな
い。
［実施例］ 以下、本発明を実施例および比較例に基いて詳細に説明
するが、本発明は以下の記載例に限定されるものではな
い。
するが、本発明は以下の記載例に限定されるものではな
い。
実施例１ ジャーナル・オブ・アプライド・ポリマー・サイエンス
（Journal of Applied Polymer Science）第28巻、3629
頁（1984）に記載されたと同型式の内部電極方式であっ
て、直径400mm、長さ400mmの重合装置中に、円形のミリ
ポアフィルター（ミリポアリミテッド社製多孔質膜、平
均孔径0.025μｍ、直径45mm）を置き、重合装置内を一
度真空にした。この重合装置内に、モノマーとしてヘキ
サフルオロプロピレンとメタンの3:1の混合物（容量
比）を導入し、Af電流75mA（20KHz）で重合を開始し、
モノマーの供給流速を８cm3（STP）／分、反応圧力を16
Paとして、２時間プラズマ重合を行った。
（Journal of Applied Polymer Science）第28巻、3629
頁（1984）に記載されたと同型式の内部電極方式であっ
て、直径400mm、長さ400mmの重合装置中に、円形のミリ
ポアフィルター（ミリポアリミテッド社製多孔質膜、平
均孔径0.025μｍ、直径45mm）を置き、重合装置内を一
度真空にした。この重合装置内に、モノマーとしてヘキ
サフルオロプロピレンとメタンの3:1の混合物（容量
比）を導入し、Af電流75mA（20KHz）で重合を開始し、
モノマーの供給流速を８cm3（STP）／分、反応圧力を16
Paとして、２時間プラズマ重合を行った。
プラズマ重合によって形成された厚さ0.59μｍの薄膜を
有するミリポアフィルターにつき、膜の一次側（気体の
供給側）の圧力を1kg/cm2、膜の二次側（気体の透過
側）の圧力を2kg/cm2として、酸素と窒素の透過係数を
測定した結果、次の通りであった。
有するミリポアフィルターにつき、膜の一次側（気体の
供給側）の圧力を1kg/cm2、膜の二次側（気体の透過
側）の圧力を2kg/cm2として、酸素と窒素の透過係数を
測定した結果、次の通りであった。
Po2＝9.7×10-9cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg PN2＝3.4×10-9cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg （P02／PN2）＝2.9 実施例２ 実施例１において使用したのと同一の薄膜を使用し、O2
27.8％、N272.2％（容量％）を含む混合ガスの透過性能
を測定した。
27.8％、N272.2％（容量％）を含む混合ガスの透過性能
を測定した。
7.47×10-5cm3（STP）・cm/cm2・Sec・cmHgの速度でミ
リポアフィルターを透過させて得られた透過ガスにつ
き、その組成をガスクロマトグラッフィーで測定したと
ころ、酸素57.1％、窒素42.9％であった。
リポアフィルターを透過させて得られた透過ガスにつ
き、その組成をガスクロマトグラッフィーで測定したと
ころ、酸素57.1％、窒素42.9％であった。
上の結果から、酸素と窒素との透過係数を計算すると、
次の通りである。
次の通りである。
P02＝9.5×10-9cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg PN2＝3.9×10-9cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg また、供給ガスの組成と透過ガスの組成から算出した分
離係数（α）は、次の通りである。
離係数（α）は、次の通りである。
（α）＝3.46 比較例 実施例１において使用したのと同一のプラズマ重合装置
を使用し、反応装置内に、モノマーとしてヘキサフルオ
ロプロピレンのみを導入し、Af電流75mA（20KHz）で重
合を開始し、モノマーの供給流速を８cm3（STP）／分、
反応圧力を16Paとして、２時間プラズマ重合を行った。
を使用し、反応装置内に、モノマーとしてヘキサフルオ
ロプロピレンのみを導入し、Af電流75mA（20KHz）で重
合を開始し、モノマーの供給流速を８cm3（STP）／分、
反応圧力を16Paとして、２時間プラズマ重合を行った。
プラズマ重合によって形成された厚さ0.46μｍの薄膜を
有するミリポアフィルターにつき、膜の一次側（気体の
供給側）の圧力を1kg/cm2、膜の二次側（気体の透過
側）の圧力を2kg/cm2として、酸素と窒素の透過係数を
測定した結果、次の通りであった。
有するミリポアフィルターにつき、膜の一次側（気体の
供給側）の圧力を1kg/cm2、膜の二次側（気体の透過
側）の圧力を2kg/cm2として、酸素と窒素の透過係数を
測定した結果、次の通りであった。
P02＝1.0×10-9cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg PN2＝6.2×10-10cm3（STP）・cm/cm2・sec・cmHg （P02／PN2）＝1.7 上の実施例および比較例の結果から、ヘキサフルオロプ
ロピレンにメタンを混合してプラズマ重合した実施例の
場合は、ヘキサフルオロプロピレン単独でプラズマ重合
した比較例の場合に比較して酸素の透過係数は約10倍増
加し、酸素と窒素の透過係数の比によって示される分離
性能も、2.9倍に増加することがわかる。
ロピレンにメタンを混合してプラズマ重合した実施例の
場合は、ヘキサフルオロプロピレン単独でプラズマ重合
した比較例の場合に比較して酸素の透過係数は約10倍増
加し、酸素と窒素の透過係数の比によって示される分離
性能も、2.9倍に増加することがわかる。
Claims (1)
- 【請求項１】ヘキサフルオロプロピレンと脂肪族炭化水
素との混合物をプラズマ重合することにより、基体成型
体上に厚さ0.01μｍ〜10μｍの薄膜を形成させることを
特徴とする気体分離用薄膜の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228395A JPH0691944B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228395A JPH0691944B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287209A JPS6287209A (ja) | 1987-04-21 |
| JPH0691944B2 true JPH0691944B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=16875795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60228395A Expired - Lifetime JPH0691944B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 薄膜の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691944B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007512436A (ja) * | 2003-11-20 | 2007-05-17 | アピト コープ．エス．アー． | プラズマ薄膜堆積方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533815A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-10 | Showa Alum Ind Kk | Semicontinuous casting apparatus |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP60228395A patent/JPH0691944B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6287209A (ja) | 1987-04-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0021422B1 (en) | Gas separating member | |
| Hirayama et al. | Permeation properties to CO2 and N2 of poly (ethylene oxide)-containing and crosslinked polymer films | |
| Stancell et al. | Composite permselective membrane by desposition of an ultrathin coating from a plasma | |
| JP2622225B2 (ja) | 濾過膜及び該膜の製造方法 | |
| JPH08511196A (ja) | 複合炭素流体分離膜 | |
| US4032440A (en) | Semipermeable membrane | |
| JPS60137417A (ja) | 気体分離部材およびその製造方法 | |
| JPS6312316A (ja) | プラズマ重合被覆技法によつて製造されたガス選択透過性複合膜 | |
| Doucoure et al. | Plasma polymerization of fluorinated monomers on mesoporous silica membranes and application to gas permeation | |
| JPS588517A (ja) | ガス選択透過性複合膜の製造方法 | |
| JPS6154204A (ja) | 複合流体分離膜 | |
| JPH0691944B2 (ja) | 薄膜の製造法 | |
| EP0099432A1 (en) | Permselective membrane | |
| JPH051048B2 (ja) | ||
| Inagaki et al. | Gas separation membranes made by plasma polymerization of perfluorobenzene/cf4 and pentafluorobenzene/cf4 mixtures | |
| Lin et al. | Improvement of oxygen/nitrogen permselectivity of poly [1-(trimethylsilyl)-1-propyne] membrane by plasma polymerization | |
| JPH0157614B2 (ja) | ||
| Matsuyama et al. | Plasma polymerized membranes from organosilicon compounds for separation of oxygen over nitrogen | |
| JPS63264101A (ja) | 選択透過膜 | |
| JPH0451218B2 (ja) | ||
| US5558776A (en) | Process for the manufacture of a composite plasma membrane and use thereof | |
| Inagaki et al. | Gas separation membrane made by plasma polymerization of 1, 3‐ditrifluoromethylbenzene/CF4 mixture | |
| JPH0262294B2 (ja) | ||
| JPH0387B2 (ja) | ||
| JPS62116776A (ja) | 薄膜の製造方法 |