JPH069263B2 - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスガスレ−ザ装置Info
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- JPH069263B2 JPH069263B2 JP14133586A JP14133586A JPH069263B2 JP H069263 B2 JPH069263 B2 JP H069263B2 JP 14133586 A JP14133586 A JP 14133586A JP 14133586 A JP14133586 A JP 14133586A JP H069263 B2 JPH069263 B2 JP H069263B2
- Authority
- JP
- Japan
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- arc gap
- array circuit
- gap array
- arc
- laser device
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 45
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用い
た、ＴＥＡ ＣＯ２レーザ，エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
た、ＴＥＡ ＣＯ２レーザ，エキシマレーザなどのパル
スガスレーザ装置に関するものである。
第３図は従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。従来のパルスガスレーザ装置は、アークギャ
ップ11とピーキングコンデンサ12との直列回路が複数置
並列に並べられたアークギャップアレー回路13が主放電
電極２により構成される主放電空間１と並列に接続され
ている。図では、１個のピーキングコンデンサに１個の
アークギャップ11が付いている場合を示しているが、実
際にはピーキングコンデンサ12には各々１ないし３個位
のアークギャップ11が付いている。なお図中、７は主コ
ンデンサ、８はスイッチング素子、９はインダクタであ
る。複数個のピーキングコンデンサ12の合計容量値Ｃ２
は、主コンデンサ７の容量値Ｃ１に比べ等しいか、また
は小さく設定されている。
用いたパルスガスレーザ装置の本発明に係わる部分構成
図である。従来のパルスガスレーザ装置は、アークギャ
ップ11とピーキングコンデンサ12との直列回路が複数置
並列に並べられたアークギャップアレー回路13が主放電
電極２により構成される主放電空間１と並列に接続され
ている。図では、１個のピーキングコンデンサに１個の
アークギャップ11が付いている場合を示しているが、実
際にはピーキングコンデンサ12には各々１ないし３個位
のアークギャップ11が付いている。なお図中、７は主コ
ンデンサ、８はスイッチング素子、９はインダクタであ
る。複数個のピーキングコンデンサ12の合計容量値Ｃ２
は、主コンデンサ７の容量値Ｃ１に比べ等しいか、また
は小さく設定されている。
このパルスガスレーザ装置においては、スイッチング素
子８をオンにし、主コンデンサ７に蓄積したエネルギー
を急速にアークギャップアレー回路13中の複数個のピー
キングコンデンサ12に移すことにより主放電電極２間に
電圧Ｖｄを立上げ、またこの際起こるアークギャップア
レー回路13中の複数個のアークギャップ11でのアーク放
電により発生する紫外線により主放電空間１を予備電離
し、レーザ励起のための放電を得ている。
子８をオンにし、主コンデンサ７に蓄積したエネルギー
を急速にアークギャップアレー回路13中の複数個のピー
キングコンデンサ12に移すことにより主放電電極２間に
電圧Ｖｄを立上げ、またこの際起こるアークギャップア
レー回路13中の複数個のアークギャップ11でのアーク放
電により発生する紫外線により主放電空間１を予備電離
し、レーザ励起のための放電を得ている。
従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパ
ルスガスレーザ装置についての詳しい説明は、文献“レ
ーザ研究，第12巻，第８号，24〜31頁”に述べられてい
るのでここでは省略する。
ルスガスレーザ装置についての詳しい説明は、文献“レ
ーザ研究，第12巻，第８号，24〜31頁”に述べられてい
るのでここでは省略する。
容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルスガ
スレーザ装置において、アークギャップアレー回路中に
複数個並列に接続されているピーキングコンデンサの容
量を大きくし、複数個のアークギャップでのアーク放電
への注入エネルギーを大きくすることにより予備電離の
強度を大きくし、またアークギャップアレー回路中のピ
ーキングコンデンサの個数を多くし、主放電空間全体に
わたって均一にすることにより、高効率なレーザ出力が
得られる。
スレーザ装置において、アークギャップアレー回路中に
複数個並列に接続されているピーキングコンデンサの容
量を大きくし、複数個のアークギャップでのアーク放電
への注入エネルギーを大きくすることにより予備電離の
強度を大きくし、またアークギャップアレー回路中のピ
ーキングコンデンサの個数を多くし、主放電空間全体に
わたって均一にすることにより、高効率なレーザ出力が
得られる。
ところが、第３図の容量移行型・紫外線予備自動電離方
式を用いたパルスガスレーザ装置においては、アークギ
ャップアレー回路中の複数個のピーキングコンデンサ12
の合計の容量値Ｃ２は主コンデンサ７の容量値Ｃ１に等
しいか、または小さいから、ピーキングコンデンサ12の
個数には制限があり、そこで、アークギャップアレー回
路中のアークギャップ11でのアーク放電に注入されるエ
ネルギーとアークギャップ11の個数が制限される。従っ
て、予備電離の強度はあまり大きくならず、また予備電
離は主放電空間全体にわたって均一にならず、高効率で
レーザ出力が得られない。
式を用いたパルスガスレーザ装置においては、アークギ
ャップアレー回路中の複数個のピーキングコンデンサ12
の合計の容量値Ｃ２は主コンデンサ７の容量値Ｃ１に等
しいか、または小さいから、ピーキングコンデンサ12の
個数には制限があり、そこで、アークギャップアレー回
路中のアークギャップ11でのアーク放電に注入されるエ
ネルギーとアークギャップ11の個数が制限される。従っ
て、予備電離の強度はあまり大きくならず、また予備電
離は主放電空間全体にわたって均一にならず、高効率で
レーザ出力が得られない。
本発明の目的は高効率でレーザ出力が得られる容量移行
型・紫外線予備自動電離方式のパルスガスレーザ装置を
提供することにある。
型・紫外線予備自動電離方式のパルスガスレーザ装置を
提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕 第１の本発明は、容量移行型・紫外線予備自動電離方式
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続したことを特徴とする。
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続したことを特徴とする。
第２の本発明は、容量移行型・紫外線予備自動電離方式
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続し、前記第１のアークギャップアレー回路と前記第２
のアークギャップアレー回路との間に可能飽和インダク
タを付加したことを特徴とする。
を用いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電
離用アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの
直列回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップ
アレー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、
第２の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキ
ングコンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第
２のアークギャップアレー回路を、前記第１のアークギ
ャップアレー回路と前記放電空間と並列になるように接
続し、前記第１のアークギャップアレー回路と前記第２
のアークギャップアレー回路との間に可能飽和インダク
タを付加したことを特徴とする。
第１及び第２のアークギャップアレー回路を用いると、
ピーキングコンデンサの容量と個数を従来の２倍まで増
やせ、アーク放電への注入エネルギーが２倍近くなり予
備電離の強度が大きくなる。また、アークギャップの個
数も２倍まで増やせ、予備電離が主放電空間全体にわた
って均一になる。従って、高効率でレーザ出力が得られ
る。
ピーキングコンデンサの容量と個数を従来の２倍まで増
やせ、アーク放電への注入エネルギーが２倍近くなり予
備電離の強度が大きくなる。また、アークギャップの個
数も２倍まで増やせ、予備電離が主放電空間全体にわた
って均一になる。従って、高効率でレーザ出力が得られ
る。
ところで、第２のアークギャップでの予備電離では、予
備電離開始後すぐに主放電が起こるから、第３図の従来
の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルス
ガスレーザ装置での予備電離と同様の予備電離の効果が
得られる。一方、第１のアークギャップでの予備電離に
関しては、予備電離から主放電までは数100ｎｓ以下で
はあるが時間がかかる。しかし、予備電離の効果は１μ
ｓ以上も持続するので、第１のアークギャップでの予備
電離は充分効果がある。従って、第１及び第２のアーク
ギャップアレー回路を用いることにより２倍近くの予備
電離効果が得られる。なお、予備電離の効果の時間変化
については文献“アプライド・フィジックス・レター
（Applied Physics Letters），第29巻，第11号，707〜
709頁”に詳述されているので省略する。
備電離開始後すぐに主放電が起こるから、第３図の従来
の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用いたパルス
ガスレーザ装置での予備電離と同様の予備電離の効果が
得られる。一方、第１のアークギャップでの予備電離に
関しては、予備電離から主放電までは数100ｎｓ以下で
はあるが時間がかかる。しかし、予備電離の効果は１μ
ｓ以上も持続するので、第１のアークギャップでの予備
電離は充分効果がある。従って、第１及び第２のアーク
ギャップアレー回路を用いることにより２倍近くの予備
電離効果が得られる。なお、予備電離の効果の時間変化
については文献“アプライド・フィジックス・レター
（Applied Physics Letters），第29巻，第11号，707〜
709頁”に詳述されているので省略する。
本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図は第１の本発明の一実施例の構成図であり本発明
に係る部分を示している。
に係る部分を示している。
第１図のパルスガスレーザ装置においては、第１のアー
クギャップアレー回路14と、主放電電極２が作るレーザ
励起のための主放電空間１との間に、第２のアークギャ
ップ回路15が設置されている。第１のアークギャップア
レー回路14は、第１のピーキングコンデンサ４と主放電
空間１を紫外線予備電離するための第１のアークギャッ
プ３との直列回路が複数個並列に並べられたもので、ま
た第２のアークギャップ回路15は第２のピーキングコン
デンサ６と主放電空間１を紫外線予備電離するための第
２のアークギャップ５との直列回路が複数個並列に並べ
られたものである。第１のピーキングコンデンサ４及び
第２のピーキングコンデンサ６には、各々１ないし３個
位のアークギャップ３または５を付けることができる。
なお図中、９はインダクタである。
クギャップアレー回路14と、主放電電極２が作るレーザ
励起のための主放電空間１との間に、第２のアークギャ
ップ回路15が設置されている。第１のアークギャップア
レー回路14は、第１のピーキングコンデンサ４と主放電
空間１を紫外線予備電離するための第１のアークギャッ
プ３との直列回路が複数個並列に並べられたもので、ま
た第２のアークギャップ回路15は第２のピーキングコン
デンサ６と主放電空間１を紫外線予備電離するための第
２のアークギャップ５との直列回路が複数個並列に並べ
られたものである。第１のピーキングコンデンサ４及び
第２のピーキングコンデンサ６には、各々１ないし３個
位のアークギャップ３または５を付けることができる。
なお図中、９はインダクタである。
このパルスガスレーザ装置では、第１のピーキングコン
デンサ４の個数と第２のピーキングコンデンサ６の個数
を合計すると、第３図に示した従来の容量移行型・紫外
線予備自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置のピ
ーキングコンデンサの個数の２倍までにでき、またアー
クギャップの数も２倍までに多くできる。容量に関して
も２倍までにできる。
デンサ４の個数と第２のピーキングコンデンサ６の個数
を合計すると、第３図に示した従来の容量移行型・紫外
線予備自動電離方式を用いたパルスガスレーザ装置のピ
ーキングコンデンサの個数の２倍までにでき、またアー
クギャップの数も２倍までに多くできる。容量に関して
も２倍までにできる。
このパルスガスレーザ装置においては、まずスイッチン
グ素子８をオンにし主コンデサ６に蓄積したエネルギー
を第１のアークギャップアレー回路14中に複数個の第１
のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こる第１の
アークギャップアレー回路中の複数個のアークギャップ
３でのアーク放電により発生する紫外線により、主放電
空間１は予備電離される。次に、第１のピーキングコン
デンサ４に蓄積されたエネルギーは、第２のアークギャ
ップアレー回路15中の複数個の第２のピーキングコンデ
ンサ６に移る。主放電空間１は、この時起こる複数個の
第２のアークギャップ５でのアーク放電により発生する
紫外線によっても予備電離される。同時に主放電電極２
間に電圧Ｖｄが立上がり、予備電離されている主放電空
間１にはレーザ励起のための放電が得られる。
グ素子８をオンにし主コンデサ６に蓄積したエネルギー
を第１のアークギャップアレー回路14中に複数個の第１
のピーキングコンデンサ４に移す。この際起こる第１の
アークギャップアレー回路中の複数個のアークギャップ
３でのアーク放電により発生する紫外線により、主放電
空間１は予備電離される。次に、第１のピーキングコン
デンサ４に蓄積されたエネルギーは、第２のアークギャ
ップアレー回路15中の複数個の第２のピーキングコンデ
ンサ６に移る。主放電空間１は、この時起こる複数個の
第２のアークギャップ５でのアーク放電により発生する
紫外線によっても予備電離される。同時に主放電電極２
間に電圧Ｖｄが立上がり、予備電離されている主放電空
間１にはレーザ励起のための放電が得られる。
このように第１図の実施例においては、第１及び第２の
アークギャップアレー回路14,15中の複数個の第１，第
２のアークギャップ３，５により予備電離が２度起こ
り、予備電離は注入されるエネルギーは大きく、またア
ークギャップの個数が多いので主放電空間１は均一に予
備電離される。従って、第１図の実施例の容量移行型・
紫外線予備自動電離方式パルスガスレーザ装置において
は高効率なレーザ出力が得られる。
アークギャップアレー回路14,15中の複数個の第１，第
２のアークギャップ３，５により予備電離が２度起こ
り、予備電離は注入されるエネルギーは大きく、またア
ークギャップの個数が多いので主放電空間１は均一に予
備電離される。従って、第１図の実施例の容量移行型・
紫外線予備自動電離方式パルスガスレーザ装置において
は高効率なレーザ出力が得られる。
第２図に第２の本発明の一実施例の構成図を示す。
前述した第１図の実施例においては、主コンデンサ７に
蓄積したエネルギーを第１のアークギャップアレー回路
14中の第１のピーキングコンデンサ４に移す際、そのエ
ネルギーのごく一部は第２のアークギャップアレー回路
15中の第２のピーキングコンデンサ６に移る。そのた
め、主放電に注入されるエネルギーは主コンデンサ７に
蓄積したエネルギーよりやや小さくなり、レーザ出力が
得られる効率がやや低くなる（しかし、従来のパルスガ
スレーザ装置よりは高効率でレーザ出力が得られる。） 第２図の実施例は、この点を改善したものであり、その
特徴は主コンデンサ７に蓄積したエネルギーをすべて主
放電に注入すべく可飽和インダクタ10を並列になってい
るアークギャップアレー回路14と第２のアークギャップ
アレー回路15との間に付加したことにある。
蓄積したエネルギーを第１のアークギャップアレー回路
14中の第１のピーキングコンデンサ４に移す際、そのエ
ネルギーのごく一部は第２のアークギャップアレー回路
15中の第２のピーキングコンデンサ６に移る。そのた
め、主放電に注入されるエネルギーは主コンデンサ７に
蓄積したエネルギーよりやや小さくなり、レーザ出力が
得られる効率がやや低くなる（しかし、従来のパルスガ
スレーザ装置よりは高効率でレーザ出力が得られる。） 第２図の実施例は、この点を改善したものであり、その
特徴は主コンデンサ７に蓄積したエネルギーをすべて主
放電に注入すべく可飽和インダクタ10を並列になってい
るアークギャップアレー回路14と第２のアークギャップ
アレー回路15との間に付加したことにある。
第２図の実施例において、主コンデンサ７から第１のア
ークギャップアレー回路14中の複数個の第１のピーキン
グコンデサ４へエネルギーの移行が終了した時、可飽和
インダクタ10が飽和するように、即ち、可飽和インダク
タ10が高インダクタンスの状態から低インダクタタンス
に変化するようにしておけば、主コンデンサ７に蓄積さ
れたエネルギーの全てが第１のアークギャップアレー回
路中の複数個の第１のピーキングコンデンサ４へ移る。
従って、第２図の実施例においては第１図の実施例に比
べ、より高効率でレーザ出力が得られる。ただし、第２
図の実施例のほうが可飽和インダクタ10を使ったぶんコ
スト高になる。
ークギャップアレー回路14中の複数個の第１のピーキン
グコンデサ４へエネルギーの移行が終了した時、可飽和
インダクタ10が飽和するように、即ち、可飽和インダク
タ10が高インダクタンスの状態から低インダクタタンス
に変化するようにしておけば、主コンデンサ７に蓄積さ
れたエネルギーの全てが第１のアークギャップアレー回
路中の複数個の第１のピーキングコンデンサ４へ移る。
従って、第２図の実施例においては第１図の実施例に比
べ、より高効率でレーザ出力が得られる。ただし、第２
図の実施例のほうが可飽和インダクタ10を使ったぶんコ
スト高になる。
以上説明したように本発明の第１図，第２図の実施例で
あるパルスガスレーザ装置において、予備電離に注入さ
れるエネルギーは大きく、主放電空間を均一に予備電離
できるから高効率でレーザ出力が得られる。
あるパルスガスレーザ装置において、予備電離に注入さ
れるエネルギーは大きく、主放電空間を均一に予備電離
できるから高効率でレーザ出力が得られる。
本発明によれば、従来の容量移行型・紫外線予備自動電
離方式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレー
ザ出力が得られる。
離方式を用いたパルスガスレーザ装置より高効率でレー
ザ出力が得られる。
第１図は第１の本発明の一実施例の構成図、 第２図は第２の本発明の一実施例の構成図、 第３図は従来の容量移行型・紫外線予備自動電離方式を
用いたパルスガスレーザ装置の構成図である。 １……主放電空間 ２……主放電電極 ３……第１のアークギャップ ４……第１のピーキングコンデンサ ５……第２のアークギャップ ６……第２のピーキングコンデンサ ７……主コンデンサ ８……スイッチング素子 ９……インダクタ 10……可飽和インダクタ 11……アークギャップ 12……ピーキングコンデンサ 13……アークギャップアレー回路 14……第１のアークギャップアレー回路 15……第２のアークギャップアレー回路
用いたパルスガスレーザ装置の構成図である。 １……主放電空間 ２……主放電電極 ３……第１のアークギャップ ４……第１のピーキングコンデンサ ５……第２のアークギャップ ６……第２のピーキングコンデンサ ７……主コンデンサ ８……スイッチング素子 ９……インダクタ 10……可飽和インダクタ 11……アークギャップ 12……ピーキングコンデンサ 13……アークギャップアレー回路 14……第１のアークギャップアレー回路 15……第２のアークギャップアレー回路
Claims (2)
- 【請求項１】容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用
いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電離用
アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの直列
回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップアレ
ー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、第２
の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキング
コンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第２の
アークギャップアレー回路を、前記第１のアークギャッ
プアレー回路と前記放電空間と並列になるように接続し
たことを特徴とするパルスガスレーザ装置。 - 【請求項２】容量移行型・紫外線予備自動電離方式を用
いたパルスガスレーザ装置において、第１の予備電離用
アークギャップと第１のピーキングコンデンサとの直列
回路を複数個並列に配置した第１のアークギャップアレ
ー回路と、レーザ励起のための放電空間との間に、第２
の予備電離用アークギャップアレーと第２のピーキング
コンデンサとの直列回路を複数個並列に配置した第２の
アークギャップアレー回路を、前記第１のアークギャッ
プアレー回路と前記放電空間と並列になるように接続
し、前記第１のアークギャップアレー回路と前記第２の
アークギャップアレー回路との間に可飽和インダクタを
付加したことを特徴とするパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14133586A JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14133586A JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182A JPS63182A (ja) | 1988-01-05 |
| JPH069263B2 true JPH069263B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15289556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14133586A Expired - Lifetime JPH069263B2 (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | パルスガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069263B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2592829B2 (ja) * | 1987-03-17 | 1997-03-19 | 株式会社東芝 | ガスレーザ装置 |
-
1986
- 1986-06-19 JP JP14133586A patent/JPH069263B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63182A (ja) | 1988-01-05 |
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