JPH06950B2 - イオンプレ−テイング装置 - Google Patents
イオンプレ−テイング装置Info
- Publication number
- JPH06950B2 JPH06950B2 JP16504685A JP16504685A JPH06950B2 JP H06950 B2 JPH06950 B2 JP H06950B2 JP 16504685 A JP16504685 A JP 16504685A JP 16504685 A JP16504685 A JP 16504685A JP H06950 B2 JPH06950 B2 JP H06950B2
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- Japan
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- scattering
- ion plating
- bell jar
- substance
- wall
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜を形成するためのイオンプレーティング
装置に関するものである。
装置に関するものである。
［従来の技術］ 第２図に、従来のイオンプレーティング装置の一例を示
す。この装置は、ベルジャー１内の下方で蒸発材料２を
蒸発させ、正イオン化した蒸発物質を、ベルジャー１内
の上方に配置されかつ負の電圧が印加された基板３に付
着させるようにしたものである。この装置では、蒸発物
質の流れる流路の外側に、蒸発物質の散乱を防ぐための
散乱防止壁４を配置している。そして、この散乱防止壁
４は、蒸発物質がある程度付着した時点で、取り替えた
り、取り外して掃除をするようにしている。
す。この装置は、ベルジャー１内の下方で蒸発材料２を
蒸発させ、正イオン化した蒸発物質を、ベルジャー１内
の上方に配置されかつ負の電圧が印加された基板３に付
着させるようにしたものである。この装置では、蒸発物
質の流れる流路の外側に、蒸発物質の散乱を防ぐための
散乱防止壁４を配置している。そして、この散乱防止壁
４は、蒸発物質がある程度付着した時点で、取り替えた
り、取り外して掃除をするようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］ 従来の散乱防止壁４は、蒸発物質が周囲に散乱するの
を、単に防止するという消極的な機能しか果たしていな
い。したがって、散乱防止壁に付着する蒸発物質の量が
多く、このため、頻繁に散乱防止壁を取り替えたり掃除
をしなくてはならない上、蒸着材料の歩留りが悪い、と
いう問題があった。
を、単に防止するという消極的な機能しか果たしていな
い。したがって、散乱防止壁に付着する蒸発物質の量が
多く、このため、頻繁に散乱防止壁を取り替えたり掃除
をしなくてはならない上、蒸着材料の歩留りが悪い、と
いう問題があった。
本発明は、従来の装置がもつ、以上のような欠点を取り
除いた、イオンプレーティング装置を提供することを目
的とする。
除いた、イオンプレーティング装置を提供することを目
的とする。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上記の問題点を解決するため、蒸発物質の流
れる流路の外側に配置された散乱防止壁に、正の電圧を
印加したことを特徴としている。
れる流路の外側に配置された散乱防止壁に、正の電圧を
印加したことを特徴としている。
［作用］ 散乱防止壁に正の電圧が印加されているので、正イオン
化した蒸発物質は、散乱防止壁により反発力を受ける。
したがって、散乱防止壁への蒸発物質の付着が減少する
とともに、その分蒸発物質が基板に集中して付着するよ
うになる。
化した蒸発物質は、散乱防止壁により反発力を受ける。
したがって、散乱防止壁への蒸発物質の付着が減少する
とともに、その分蒸発物質が基板に集中して付着するよ
うになる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図を参照しながら説明す
る。
る。
図中１は、上部が半球状に形成されたベルジャーであ
る。ベルジャー１内の下部には、蒸着材料２の入ったる
つぼ５が設けられ、電子銃６を作動させることにより、
るつぼ５内の蒸着材料２を加熱して蒸発させるようにな
っている。７は放電電極であり、自身とるつぼ５との間
でグロー放電を発生させ、このグロー放電中を通過する
蒸発物質を正イオン化するようになっている。
る。ベルジャー１内の下部には、蒸着材料２の入ったる
つぼ５が設けられ、電子銃６を作動させることにより、
るつぼ５内の蒸着材料２を加熱して蒸発させるようにな
っている。７は放電電極であり、自身とるつぼ５との間
でグロー放電を発生させ、このグロー放電中を通過する
蒸発物質を正イオン化するようになっている。
一方、ベルジャー１内の上部には、負の電圧が印加され
た基板３が配置され、さらにその背後にあたるベルジャ
ー１の半球部内面には、ベルジャー１内面への蒸発物質
の付着を防ぐための防着板８が配置されている。この場
合、防着板８には、正の電圧が印加されている。
た基板３が配置され、さらにその背後にあたるベルジャ
ー１の半球部内面には、ベルジャー１内面への蒸発物質
の付着を防ぐための防着板８が配置されている。この場
合、防着板８には、正の電圧が印加されている。
このような構成において、蒸発物質は基板３に向つて飛
ぶのであるが、蒸発物質が流れる流路の外側には、従来
装置と同様に、蒸発物質の散乱を防ぐための散乱防止壁
４が設けられている。この散乱防止壁４は、上部がすぼ
まった筒状をなしており、正の電圧が印加されている。
９はシャッタである。
ぶのであるが、蒸発物質が流れる流路の外側には、従来
装置と同様に、蒸発物質の散乱を防ぐための散乱防止壁
４が設けられている。この散乱防止壁４は、上部がすぼ
まった筒状をなしており、正の電圧が印加されている。
９はシャッタである。
以上の構成のイオンプレーティング装置を作動させる場
合、まず、ベルジャー１内を必要な真空度になるまで排
気する。次に、電子銃６を作動させて蒸着材料２を蒸発
させ、同時に放電電極７に正電圧を印加し、放電電極７
とるつぼ５の間でグロー放電を発生させる。そうする
と、蒸発物質は、そのグロー放電中を通過する際に正イ
オン化し、負の電位になっている基板３に引き寄せら
れ、基板３の表面にプレーティングされる。
合、まず、ベルジャー１内を必要な真空度になるまで排
気する。次に、電子銃６を作動させて蒸着材料２を蒸発
させ、同時に放電電極７に正電圧を印加し、放電電極７
とるつぼ５の間でグロー放電を発生させる。そうする
と、蒸発物質は、そのグロー放電中を通過する際に正イ
オン化し、負の電位になっている基板３に引き寄せら
れ、基板３の表面にプレーティングされる。
このとき、蒸発物質の全てが基板３に補集されるのでは
なく、基板３に至る間に散乱防止壁４に付着し、さらに
防着板８に付着する。ところが、このイオンプレーティ
ング装置では、散乱防止壁４及び防着板８に正の電圧を
印加しているので、正イオン化した蒸発物質は散乱防止
壁４及び防着板８から反発力を受け、基板３に集中して
付着するようになる。そして、散乱防止壁４及び防着板
８への蒸発物質の付着量が減少する。
なく、基板３に至る間に散乱防止壁４に付着し、さらに
防着板８に付着する。ところが、このイオンプレーティ
ング装置では、散乱防止壁４及び防着板８に正の電圧を
印加しているので、正イオン化した蒸発物質は散乱防止
壁４及び防着板８から反発力を受け、基板３に集中して
付着するようになる。そして、散乱防止壁４及び防着板
８への蒸発物質の付着量が減少する。
なお、上記実施例においては、防着板８にも正の電圧を
印加しているが、必ずしもそうしなくてよい。
印加しているが、必ずしもそうしなくてよい。
［発明の効果］ 本発明によれば、次のような効果が得られる。
散乱防止壁に対する蒸発物質の付着量が減少し、散乱
防止壁の保守が容易となる。
防止壁の保守が容易となる。
イオン化した蒸発物質が基板に集中して付着するよう
になり、付着効率が向上するとともに、蒸着材料の歩留
りが向上する。
になり、付着効率が向上するとともに、蒸着材料の歩留
りが向上する。
第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第２図は従
来例を示す側断面図である。 １……ベルジャー、２……蒸着材料、 ３……基板、４……散乱防止壁、５……るつぼ、６……
電子銃、７……放電電極、８……防着板、９……シャッ
タ。
来例を示す側断面図である。 １……ベルジャー、２……蒸着材料、 ３……基板、４……散乱防止壁、５……るつぼ、６……
電子銃、７……放電電極、８……防着板、９……シャッ
タ。
Claims (1)
- 【請求項１】ベルジャー内の一端で材料を蒸発させ、正
イオン化した蒸発物質を、ベルジャー内の他端に配置さ
れかつ負の電圧が印加された基板に付着させるイオンプ
レーティング装置であって、蒸発物質の流れる流路の外
側に、蒸発物質の散乱を防ぐための散乱防止壁を備えた
ものにおいて、前記散乱防止壁に正の電圧を印加したこ
とを特徴とするイオンプレーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16504685A JPH06950B2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | イオンプレ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16504685A JPH06950B2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | イオンプレ−テイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6227565A JPS6227565A (ja) | 1987-02-05 |
| JPH06950B2 true JPH06950B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=15804805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16504685A Expired - Lifetime JPH06950B2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | イオンプレ−テイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06950B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4870083A (en) * | 1987-11-24 | 1989-09-26 | Merrell Dow Pharmaceuticals Inc. | 1,4-Disubstituted-piperidinyl compounds useful as analgesics and muscle relaxants |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP16504685A patent/JPH06950B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6227565A (ja) | 1987-02-05 |
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