JPH07112121B2 - Microwave equipment - Google Patents
Microwave equipmentInfo
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- JPH07112121B2 JPH07112121B2 JP2061721A JP6172190A JPH07112121B2 JP H07112121 B2 JPH07112121 B2 JP H07112121B2 JP 2061721 A JP2061721 A JP 2061721A JP 6172190 A JP6172190 A JP 6172190A JP H07112121 B2 JPH07112121 B2 JP H07112121B2
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- microwave
- magnetostatic wave
- coil
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- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、フェリ磁性体の強磁性共鳴現象を利用した静
磁波素子を主要部品とするマイクロ波装置に関するもの
である。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microwave device including a magnetostatic wave element that utilizes a ferromagnetic resonance phenomenon of a ferrimagnetic material as a main component.
「従来技術」 マイクロ波発振装置等に使用される主要部品として、フ
ラックス法等で作製したYIG(イットリウム・鉄・ガー
ネット)単結晶の球状試料、もしくは、GGG(ガドリニ
ウム・ガリウム・ガーネット)基板上に、液相エピタキ
シャル成長させたYIG薄膜等のフェリ磁性体を用いた静
磁波素子が提案されている。"Prior art" As a main component used in microwave oscillators, etc., a spherical sample of YIG (yttrium, iron, garnet) single crystal produced by the flux method, or on a GGG (gadolinium, gallium, garnet) substrate , A magnetostatic wave device using a ferrimagnetic material such as a liquid phase epitaxially grown YIG thin film has been proposed.
第2図はYIG薄膜による静磁波素子1aを利用した従来技
術の一例を示す静磁波共振子1の概略構成図である。こ
の図において、静磁波素子1aは、GGG基板22の上に液相
エピタキシャル法により育成されたYIG薄膜23、このYIG
薄膜23上に、金あるいはアルミニウム膜からなる複数の
電極指24及びこれら電極指24の両側にパッド電極25a、2
5bをフォトリソグラフィ技術により形成したものであ
る。パッド電極25bが導体Wbによりマイクロ波回路の地
導体26に接続され、Wa1とWa2はマイクロ波回路の入力端
子となる。これらが静磁波素子1aとマイクロ波回路との
結合手段となり、静磁波共振子1が形成される。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a magnetostatic wave resonator 1 showing an example of a conventional technique using a magnetostatic wave element 1a made of a YIG thin film. In this figure, the magnetostatic wave device 1a is composed of a YIG thin film 23 grown on the GGG substrate 22 by a liquid phase epitaxial method.
A plurality of electrode fingers 24 made of a gold or aluminum film on the thin film 23 and pad electrodes 25a, 2 on both sides of the electrode fingers 24.
5b is formed by photolithography technology. The pad electrode 25b is connected to the ground conductor 26 of the microwave circuit by the conductor Wb, and Wa1 and Wa2 serve as input terminals of the microwave circuit. These serve as a coupling means between the magnetostatic wave element 1a and the microwave circuit, and the magnetostatic wave resonator 1 is formed.
このとき、YIG薄膜23の膜面に垂直に磁界Hoが印加され
ると、この静磁波素子1aには静磁前進体積波が図中のi
方向に伝搬し、端面の反射により共振するようになる。
この共振がおこる周波数は与えられた磁界Hoにより変え
ることができるので、このような静磁波共振子1により
周波数可変のマイクロ波装置を形成することができる。
静磁波素子1aは高品質YIG薄膜により高い選択度(Q)
をもつこと、また共振周波数の可変幅を大きく取れるこ
となどの優れた特徴を持つことが開示されている。既に
マイクロ波領域では広く使われているYIG球を用いる素
子に比較しても、フォトリソグラフィにより素子を作製
するため比較的安価に製造できること等も開示されてい
る。At this time, when a magnetic field Ho is applied perpendicularly to the film surface of the YIG thin film 23, a magnetostatic forward volume wave is applied to the magnetostatic wave element 1a by i in the figure.
It propagates in the direction and resonates due to the reflection from the end face.
Since the frequency at which the resonance occurs can be changed by the applied magnetic field Ho, the magnetostatic wave resonator 1 can form a frequency variable microwave device.
Magnetostatic wave element 1a has high selectivity (Q) due to high quality YIG thin film
It is disclosed that it has excellent characteristics such as having a large variable width of the resonance frequency. It is also disclosed that the device can be manufactured at a relatively low cost because the device is manufactured by photolithography, as compared with a device using a YIG sphere that is already widely used in the microwave region.
このような静磁波素子を使って実用制のあるマイクロ波
装置を作製するために、コイルに流れる電流により印加
磁界を変化させ、使用する周波数幅に対応して、静磁波
素子の共振周波数を制御する方法はよく知られている。In order to fabricate a practical microwave device using such a magnetostatic wave element, the applied magnetic field is changed by the current flowing through the coil, and the resonance frequency of the magnetostatic wave element is controlled according to the frequency width used. How to do it is well known.
この場合、周波数の安定化を図るため、マイクロ波の出
力を前記コイルにフィードバックする第6図に示すよう
なPLL制御方法がよくとられる。ここで、42は静磁波素
子を利用したマイクロ波発振器、43は分周器、44は位相
検波器、45は基準周波数源、41はコイルの駆動回路であ
る。In this case, in order to stabilize the frequency, a PLL control method as shown in FIG. 6 in which the microwave output is fed back to the coil is often adopted. Here, 42 is a microwave oscillator using a magnetostatic wave element, 43 is a frequency divider, 44 is a phase detector, 45 is a reference frequency source, and 41 is a coil drive circuit.
前記コイルは、通常、主制御コイルと微調整用制御コイ
ルの2種類のコイルにより構成される。この場合、主制
御コイルに発振周波数に対応する電流を予め流し、微調
整用制御コイルにPLL制御信号に応じた電流を流す方法
がとられる。このとき、微調整用制御コイルは主制御コ
イルに比べ速い応答を必要とするために、巻き数は少な
く起磁力の小さいコイルを使用するのが通例である。The coil is usually composed of two types of coils, a main control coil and a fine adjustment control coil. In this case, a method is used in which a current corresponding to the oscillation frequency is made to flow in the main control coil in advance and a current corresponding to the PLL control signal is made to flow in the fine adjustment control coil. At this time, since the fine adjustment control coil needs a quicker response than the main control coil, it is customary to use a coil having a small number of turns and a small magnetomotive force.
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、上記構成においては次のような問題があ
った。例えば、使用温度範囲が常温から高温あるいは低
温などに変化した場合、予め与えた主制御コイルの電流
による中心周波数は、マイクロ波装置が持っている温度
特性により所望の周波数から大きくずれる。この分を微
調整用制御コイルにより補償しようとすると、微調整用
制御コイルの起磁力は十分大きいものに設計しなければ
ならない。結果として応答速度の低下あるいは消費電力
の増大を招くとい問題があった。従って、速い応答静を
求めれば、微調整用制御コイルの周波数可変範囲(ダイ
ナミックレンジ)は必然的に小さいものとなる。"Problems to be Solved by the Invention" However, the above-described configuration has the following problems. For example, when the operating temperature range changes from room temperature to high temperature or low temperature, the center frequency due to the current of the main control coil given in advance largely deviates from the desired frequency due to the temperature characteristic of the microwave device. If this amount is to be compensated by the fine adjustment control coil, the magnetomotive force of the fine adjustment control coil must be designed to be sufficiently large. As a result, there is a problem that the response speed is lowered or the power consumption is increased. Therefore, if a fast response is required, the frequency variable range (dynamic range) of the fine adjustment control coil will necessarily be small.
まず、従来技術の実施例について述べる。第5図は、従
来技術によるコイル駆動部の図である。マイクロ波発振
器53の二つのコイル、主制御コイル7a及び微調整用制御
コイル7bのそれぞれは独立したコイル駆動部52、51より
駆動される。First, an example of the prior art will be described. FIG. 5 is a diagram of a coil driver according to the prior art. The two coils of the microwave oscillator 53, the main control coil 7a and the fine adjustment control coil 7b are respectively driven by independent coil driving units 52 and 51.
最初に、主制御コイル7aの駆動回路52だけを使って第6
図のPLLループに組み込み動作させた。これは、第6図
における41と42の代わりに、第5図の52と53を用いたこ
とに相当する。この結果は、予想に反し大きなハンチン
グが起こり安定したPLL制御が不可能であった。First, using only the drive circuit 52 of the main control coil 7a,
It was incorporated into the PLL loop in the figure and operated. This corresponds to using 52 and 53 in FIG. 5 instead of 41 and 42 in FIG. As a result, unexpectedly large hunting occurred and stable PLL control was impossible.
次に、主導により駆動電源52から主制御コイル7aにバイ
アス電流を与え、微調整用制御コイル7bの駆動回路51を
使って同様に第6図のPLLループに組み込み動作させ
た。これは、第6図における41と42の代わりに、第5図
の51と53を用いたことに相当する。この場合、安定した
PLL制御が可能であった。しかし、主制御コイル7bのバ
イアス電流で決定される周波数に対して約20MHzの範囲
した追従することができなかった。Next, a bias current was given to the main control coil 7a from the drive power source 52 by initiative, and the drive circuit 51 of the fine adjustment control coil 7b was used to similarly incorporate and operate in the PLL loop of FIG. This corresponds to using 51 and 53 in FIG. 5 instead of 41 and 42 in FIG. In this case, stable
PLL control was possible. However, it was not possible to follow the frequency determined by the bias current of the main control coil 7b in the range of about 20 MHz.
本発明の目的は上記課題に鑑み、微調整用制御コイルの
動作点を常に可変帯域幅の中心に保持するように主制御
コイルの電流を調整することにより、応答の速いかつ消
費電力の少ない静磁波素子を使ったマイクロ波装置を提
供することである。In view of the above problems, an object of the present invention is to adjust the current of the main control coil so that the operating point of the control coil for fine adjustment is always kept at the center of the variable bandwidth, thereby providing a quick response and low power consumption. It is to provide a microwave device using a magnetic wave element.
「課題を解決するための手段」 本発明のマイクロ波装置は、フェリ磁性体を用いた静磁
波素子と、該静磁波素子とマイクロ波回路を結合する結
合手段と、該静磁波素子に磁界を印加する磁界印加手段
と、該磁界印加手段として少なくとも2個のコイルを含
み、前記マイクロ波回路のマイクロ波出力を検出し前記
コイルの駆動信号にフィードバックする手段とを有する
マイクロ波装置において、前記少なくとも2個のコイル
内の少なくとも1個のコイルの駆動信号が他のコイルの
駆動信号の積分信号を含むことを特徴としている。"Means for Solving the Problem" A microwave device of the present invention is a magnetostatic wave element using a ferrimagnetic material, a coupling means for coupling the magnetostatic wave element and a microwave circuit, and a magnetic field to the magnetostatic wave element. A microwave device comprising: a magnetic field applying means for applying a magnetic field; and a means including at least two coils as the magnetic field applying means, for detecting a microwave output of the microwave circuit and feeding back to a drive signal of the coil. The drive signal of at least one of the two coils includes an integrated signal of drive signals of the other coils.
マイクロ波装置の一例として、静磁波素子を使ったマイ
クロ波発振器の場合、この発振周波数をPLL制御によ
り、周囲温度やその他の要因に対して安定化させる機能
を考える。実際にPLL制御による発振周波数の安定化を
行ってみると、フィードバックに必要な可変周波数幅
は、低周波の変動成分に対して大きなフィードバック量
が必要であること、また高周波の変動成分に対しては小
さなフィードバック量ですむことを本発明者等は見いだ
した。As an example of the microwave device, in the case of a microwave oscillator using a magnetostatic wave element, a function of stabilizing the oscillation frequency against the ambient temperature and other factors by PLL control will be considered. Actually stabilizing the oscillation frequency by PLL control shows that the variable frequency width required for feedback requires a large amount of feedback for low-frequency fluctuation components and for high-frequency fluctuation components. The inventors have found that a small amount of feedback is required.
例えば、周囲温度の変化による周波数の変化は、温度が
変化してから実際に発振周波数の変化となって現れるま
でには、ケース、磁気回路等の大きな熱容量のためにき
わめて多くの時間を必要とするが、その変化量は最終的
には大きなものとなる。For example, a change in frequency due to a change in ambient temperature requires an extremely large amount of time from the change in temperature to the actual change in oscillation frequency due to the large heat capacity of the case, magnetic circuit, etc. However, the amount of change eventually becomes large.
一方、商用電源からの誘導などによる比較的速い雑音成
分は実際の使用状態では周波数の変動幅は比較的小さい
ものである。微調整用制御コイルにより制御を図る場
合、周波数の高い成分に応答する速度と遅い成分に対応
する広いダイナミックレンジの両方を同時に満足するた
めには、速い応答と大きな起磁力の両者が要求されるた
め、できるだけ少ない巻き数のコイルにできるだけ大き
な電流を流すように設計することになる。On the other hand, a relatively fast noise component due to induction from a commercial power source has a relatively small frequency fluctuation range in an actual use state. When controlling with the fine adjustment control coil, both a fast response and a large magnetomotive force are required to simultaneously satisfy both the speed responding to high frequency components and the wide dynamic range corresponding to slow components. Therefore, the coil is designed to have as large a current as possible with a minimum number of turns.
また、主制御コイルは通常巻線数を多くすることにより
適当な消費電力で必要な周波数可変帯域幅を満足する起
磁力を発生するようになっている。このため応答は微調
整用制御コイルに比較して遅くなっているが、遅い成分
を制御することは可能である。すなわち微調整用制御コ
イルの制御信号の内遅い成分のみを取り出して主制御コ
イルにフィードバックすることにより実質的にはダイナ
ミックレンジのきわめて広いしかも応答の速い制御系が
実現できることになる。Further, the main control coil normally generates a magnetomotive force satisfying a required frequency variable bandwidth with appropriate power consumption by increasing the number of windings. For this reason, the response is slower than that of the fine adjustment control coil, but it is possible to control the slow component. That is, by extracting only the slow component of the control signal of the fine adjustment control coil and feeding it back to the main control coil, a control system having a substantially wide dynamic range and a fast response can be realized.
このような構成においては、微調整用制御コイルに流れ
る電流は通常動作持には結果的にほとんどゼロとなるた
め、消費電力の削減という副次的な効果もある。In such a configuration, the current flowing through the fine adjustment control coil eventually becomes almost zero for normal operation, which has a secondary effect of reducing power consumption.
「実施例」 第4図は本発明の実施例を実行する上で基本となったマ
イクロ波発振器の構造断面図である。1はYIG薄膜を用
いた静磁波共振子であって、これはプリント基板2の上
に設置されている。この静磁波共振子1に、主制御コイ
ル7aと微調整用制御コイル7b及び希土類磁石4により、
YIG膜面に垂直に磁界が印加される。この静磁波共振子
1は、二つのコイルの巻線電流を可変することにより、
4.5〜6.0GHzの広い範囲で共振するように設計されてい
る。[Embodiment] FIG. 4 is a structural cross-sectional view of a microwave oscillator which is the basis for carrying out the embodiment of the present invention. Reference numeral 1 is a magnetostatic wave resonator using a YIG thin film, which is installed on a printed board 2. The magnetostatic wave resonator 1 includes a main control coil 7a, a fine adjustment control coil 7b, and a rare earth magnet 4
A magnetic field is applied perpendicular to the YIG film surface. This magnetostatic wave resonator 1 changes the winding currents of two coils,
It is designed to resonate in a wide range of 4.5 to 6.0 GHz.
図中、3は銅製のシールド板、4は希土類磁石、5は第
1磁極、6は第2磁極、7aは主制御コイル、7bは微調整
用制御コイル、8は第1ヨーク、9は第2ヨーク、10は
第1ヨーク及び第2ヨークの接合部である。In the figure, 3 is a shield plate made of copper, 4 is a rare earth magnet, 5 is a first magnetic pole, 6 is a second magnetic pole, 7a is a main control coil, 7b is a fine adjustment control coil, 8 is a first yoke, and 9 is a first Reference numerals 2 and 10 are joint portions of the first yoke and the second yoke.
プリント基板2の上に構成されたマイクロ波回路は第3
図に示すように、トランジスタ34、結合コンデンサー33
及び他の部品により構成された負性抵抗回路であり、静
磁波共振子1としてマイクロ波発振器として機能するも
のである。31はトランジスタ34に直流電圧を供給する端
子であり、32はマイクロ波の出力端子である。35はマイ
クロ波が直流電源側に流れ込まないようにするマイクロ
波阻止用インダクタである。The microwave circuit formed on the printed circuit board 2 has a third
As shown, transistor 34, coupling capacitor 33
And a negative resistance circuit composed of other components, and functions as a magnetostatic wave resonator 1 as a microwave oscillator. Reference numeral 31 is a terminal for supplying a DC voltage to the transistor 34, and 32 is an output terminal for microwaves. Reference numeral 35 is a microwave blocking inductor that prevents microwaves from flowing into the DC power supply side.
以下実施例を用いて本発明の効果を詳しく述べる。The effects of the present invention will be described in detail below with reference to examples.
(実施例1) 第1図は本発明の一実施例を示す図である。図中、53は
第4図と同じ構造を有するマイクロ波発振器、51は微調
整用制御コイルの駆動回路、54は積分回路、52は主制御
コイルの駆動回路である。主制御コイルの駆動回路52の
出力は第4図の主制御コイル7aに接続され、微調整用制
御コイルの駆動回路51の出力は第4図の微調整用制御コ
イル7bに接続される。微調整用制御コイルの駆動回路51
の出力電圧は積分回路54で積分され主制御コイルの駆動
回路52の入力となる。Example 1 FIG. 1 is a diagram showing an example of the present invention. In the figure, 53 is a microwave oscillator having the same structure as in FIG. 4, 51 is a drive circuit for the fine adjustment control coil, 54 is an integration circuit, and 52 is a drive circuit for the main control coil. The output of the drive circuit 52 for the main control coil is connected to the main control coil 7a shown in FIG. 4, and the output of the drive circuit 51 for the fine adjustment control coil is connected to the fine control coil 7b shown in FIG. Fine adjustment control coil drive circuit 51
The output voltage of is integrated by the integration circuit 54 and becomes the input of the drive circuit 52 of the main control coil.
本実施例の第1図の回路を第6図のPLLループのブロッ
ク図の41と53の代わりに組み込み動作させたところ、4.
5〜6.0GHzの全周波数帯域にわたりPLL制御を安定に行う
ことができた。When the circuit of FIG. 1 of the present embodiment is incorporated and operated in place of 41 and 53 in the block diagram of the PLL loop of FIG. 6, 4.
PLL control could be performed stably over the entire frequency band of 5 to 6.0 GHz.
第5図の従来技術においてはPLL制御の範囲か僅か20MHz
であるのに対し、本発明の本実施例では制御範囲は著し
く広い約1.5GHzとなり、本発明の構造が優れていること
が分かる。In the prior art of FIG. 5, the PLL control range is only 20 MHz.
On the other hand, in the present embodiment of the present invention, the control range is remarkably wide at about 1.5 GHz, which shows that the structure of the present invention is excellent.
(実施例2) 第7図は本発明の他の実施例を示す図である。主制御コ
イルの駆動回路52が、微調整用制御コイルの駆動回路51
の入力信号に積分回路54を介して接続されているのが実
施例1との相違点である。本実施例においても実施例1
と同様の結果を得た。(Embodiment 2) FIG. 7 is a view showing another embodiment of the present invention. The drive circuit 52 for the main control coil is the drive circuit 51 for the control coil for fine adjustment.
The difference from the first embodiment is that the input signal is connected via an integrating circuit 54. Also in this embodiment, Embodiment 1
Similar results were obtained.
本発明において積分回路は公知のもの(例えば「センサ
の基礎とその応用」森北出版p.25 1985年)を用いるこ
とができる。In the present invention, as the integrating circuit, a known one (for example, "Basics of sensors and their applications", Morikita Shuppan, p.25, 1985) can be used.
尚、ここでの実施例としては、YIG薄膜についてのみ述
べたが、主制御コイルの駆動信号を微調整用制御コイル
の駆動信号の積分信号とした本発明の範囲は、これに限
定されるものではなく、フェリ磁性体の強磁性共鳴現象
を利用した他の静磁波素子、例えばYIG球を用いたマイ
クロ波装置にも適用できることは、本発明の分野の専門
家であれば容易に理解できることである。Incidentally, as the embodiment here, only the YIG thin film was described, but the scope of the present invention in which the drive signal of the main control coil is an integrated signal of the drive signal of the fine adjustment control coil is limited to this. Rather, it can be easily understood by a person skilled in the field of the present invention that it can be applied to other magnetostatic wave elements using the ferromagnetic resonance phenomenon of a ferrimagnetic material, for example, a microwave device using a YIG sphere. is there.
「発明の効果」 本発明の技術によれば、従来技術よりも広いダイナミッ
クレンジにわたって高速のフィードバックが可能な周波
数可変のマイクロ波装置を実現することができ、マイク
ロ波発振器、フィルター、遅延線等に有効に活用でき
る。[Advantages of the Invention] According to the technique of the present invention, it is possible to realize a frequency variable microwave device capable of high-speed feedback over a wider dynamic range than that of the conventional technique, and to provide a microwave oscillator, a filter, a delay line, or the like. It can be used effectively.
第1図、第7図は本発明の実施例を示す回路ブロック
図、第2図は従来技術の静磁波共振子の概略構成図、第
3図は従来技術のマイクロ波発振器の回路図、第4図は
従来技術のマイクロ波装置の概略構造断面図、第5図、
第6図は従来技術の回路ブロック図である。 1:静磁波共振子1a:静磁波素子、 22:GGG基板、23:YIG薄膜 4:希土類磁石、5、6:磁極、 7a:主制御コイル、7b:微調整用制御コイル、 8、9:ヨーク、41:コイル駆動回路、 42:マイクロ波発振器、43:分周器、 44:位相検出器、45:基準周波数源、 51:微調整用制御コイル駆動回路、 52:主制御コイル駆動回路、 53:マイクロ波発振器、54:積分回路1 and 7 are circuit block diagrams showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a conventional magnetostatic wave resonator, and FIG. 3 is a circuit diagram of a conventional microwave oscillator. FIG. 4 is a schematic structural sectional view of a microwave device of the prior art, FIG.
FIG. 6 is a circuit block diagram of the prior art. 1: Magnetostatic wave resonator 1a: Magnetostatic wave element, 22: GGG substrate, 23: YIG thin film 4: Rare earth magnet, 5, 6: Magnetic pole, 7a: Main control coil, 7b: Control coil for fine adjustment, 8, 9: Yoke, 41: Coil drive circuit, 42: Microwave oscillator, 43: Frequency divider, 44: Phase detector, 45: Reference frequency source, 51: Fine adjustment control coil drive circuit, 52: Main control coil drive circuit, 53: microwave oscillator, 54: integrating circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03L 7/099 (56)参考文献 特開 平1−140803(JP,A) 特開 平1−191504(JP,A) 特開 昭62−281610(JP,A) 特開 昭61−296276(JP,A) 特開 昭63−84301(JP,A) 特開 昭63−296414(JP,A) 実開 平3−20516(JP,U) 実開 平1−162917(JP,U) 1989年電子情報通信学会秋期全国大会S C−9−6─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location H03L 7/099 (56) References JP-A-1-140803 (JP, A) JP-A-1- 191504 (JP, A) JP 62-281610 (JP, A) JP 61-296276 (JP, A) JP 63-84301 (JP, A) JP 63-296414 (JP, A) 3-20516 (JP, U) 1-162917 (JP, U) 1-162917 (JP, U) 1989 IEICE Autumn National Convention SC-9-6
Claims (1)
磁波素子とマイクロ波回路を結合する結合手段と、該静
磁波素子に磁界を印加する磁界印加手段と、該磁界印加
手段として少なくとも2個のコイルを含み、前記マイク
ロ波回路のマイクロ波出力を検出し前記コイルの駆動信
号にフィードバックする手段とを有するマイクロ波装置
において、前記少なくとも2個のコイル内の少なくとも
1個のコイルの駆動信号が他のコイルの駆動信号の積分
信号を含むことを特徴とするマイクロ波装置。1. A magnetostatic wave element using a ferrimagnetic material, coupling means for coupling the magnetostatic wave element and a microwave circuit, magnetic field applying means for applying a magnetic field to the magnetostatic wave element, and magnetic field applying means. A microwave device including at least two coils, and means for detecting a microwave output of the microwave circuit and feeding back to a drive signal of the coil, at least one coil among the at least two coils is provided. A microwave device, wherein the drive signal includes an integrated signal of drive signals of other coils.
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-
1990
- 1990-03-13 JP JP2061721A patent/JPH07112121B2/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1989年電子情報通信学会秋期全国大会SC−9−6 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03262306A (en) | 1991-11-22 |
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