JPH07112953B2 - Slurry composition for ceramic green sheet - Google Patents
Slurry composition for ceramic green sheetInfo
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- JPH07112953B2 JPH07112953B2 JP62222818A JP22281887A JPH07112953B2 JP H07112953 B2 JPH07112953 B2 JP H07112953B2 JP 62222818 A JP62222818 A JP 62222818A JP 22281887 A JP22281887 A JP 22281887A JP H07112953 B2 JPH07112953 B2 JP H07112953B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は例えばドクターブレード法によってセラミッ
クグリーンシートを製造する際の原料とされるスラリー
組成物に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a slurry composition used as a raw material for producing a ceramic green sheet by, for example, a doctor blade method.
従来の技術 セラミック積層コンデンサや多層ICなどに使用されるセ
ラミック製薄板は、ドクターブレード法やロール成形法
あるいは押出成形法によって製造されているが、ドクタ
ーブレード法では、セラミック粉末に結合剤や溶媒を加
えて混合したセラミックスラリーを原料としている。ド
クターブレード法は、その原料であるスラリーをベルト
の上に流し出し、これをドクターブレードと称される刃
によって薄く延ばし、得られたグリーンシートを切断も
しくはパンチングし、かつ焼結することにより所望の形
状の焼結体を得る方法であるが、得られる薄板の品質は
原料であるスラリーの性質に大きく影響される。例えば
溶媒の量が少なくて粘度が高い場合には、混練性が悪く
なって密度のばらつきやクラックの発生などの不都合が
生じ、また溶媒の量を多くして粘度を低くした場合に
は、成形・乾燥の際にクラックが発生するなどの不都合
が生じる。Conventional technology Ceramic thin plates used for ceramic multilayer capacitors, multilayer ICs, etc. are manufactured by the doctor blade method, roll molding method, or extrusion molding method.In the doctor blade method, binder and solvent are added to ceramic powder. In addition, the mixed ceramic slurry is used as a raw material. The doctor blade method is to pour the raw material slurry onto a belt, spread it thinly with a blade called a doctor blade, cut or punch the obtained green sheet, and sinter it to obtain a desired product. Although this is a method for obtaining a shaped sintered body, the quality of the obtained thin plate is greatly influenced by the properties of the raw material slurry. For example, when the amount of the solvent is small and the viscosity is high, the kneading property deteriorates, which causes inconveniences such as density unevenness and generation of cracks, and when the amount of the solvent is increased and the viscosity is lowered, molding is performed.・ Inconvenience such as cracking during drying occurs.
このようにグリーンシート用スラリーには、混練の際と
成形の際とで相反する特性が要求され、そのために、従
来では、溶媒の選択や溶媒の量の調整などに努力が払わ
れている。As described above, the slurry for a green sheet is required to have contradictory characteristics during kneading and during molding. Therefore, efforts have hitherto been made in selecting a solvent and adjusting the amount of the solvent.
例えば低沸点溶媒では、乾燥速度がセラミック成形体の
収縮速度より速いためにクラックが生じ易いので、高沸
点溶媒が比較的多く使用されていおり、この高沸点溶媒
の場合には、減圧による除去に時間がかかるために、減
圧と合せて温度を調整することにより粘度の調整を行な
っている。また特開昭59−195573号公報に記載された方
法では、混合に際には結合剤および可塑剤の量を少なく
し、成形の際には結合剤および可塑剤を追加することに
より、混練の際と成形の際とで粘度を異ならせ、それぞ
れに適した粘度とすることが行なわれている。For example, in a low boiling point solvent, since the drying rate is faster than the shrinkage rate of the ceramic molded body and cracks easily occur, a high boiling point solvent is used in a relatively large amount. Since it takes time, the viscosity is adjusted by adjusting the temperature together with the pressure reduction. Further, in the method described in JP-A-59-195573, the amount of the binder and the plasticizer is reduced during the mixing, and the binder and the plasticizer are added during the molding, whereby the kneading is performed. Viscosity is made different at the time of molding and at the time of molding so as to obtain a viscosity suitable for each.
発明が解決しようとする問題点 しかるに高沸点溶媒を用いた場合に、温度によって粘度
を調整する方法では、温度の上昇と共に粘度が低くなる
ものの、温度と粘度との相関関係が正確に定まっていな
いうえに、温度を正確に設定することが難しく、結局、
正確な粘度調整が困難である。Problems to be Solved by the Invention However, when a high boiling point solvent is used, in the method of adjusting the viscosity by temperature, the viscosity decreases as the temperature rises, but the correlation between temperature and viscosity is not accurately determined. Besides, it is difficult to set the temperature accurately, and in the end,
It is difficult to adjust the viscosity accurately.
また結合剤や可塑剤の量を混練の際と成形の際とで異な
らせる方法では、粘度の調整を所期通りに行なうことが
できるかも知れないが、混練の後に添加する結合剤や可
塑剤が十分に混合・分散されないことになるために、製
品品質にばらつきが生じるおそれが多分にある。In addition, it may be possible to adjust the viscosity as expected by a method in which the amount of the binder or plasticizer is different during kneading and during molding, but the binder or plasticizer added after kneading Is not sufficiently mixed and dispersed, there is a possibility that product quality may vary.
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、粘度調
整が容易で、かつ成形シート乾燥時にクラックの発生す
るおそれのないセラミックグリーンシート用スラリー組
成物を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a slurry composition for a ceramic green sheet, the viscosity of which can be easily adjusted and which does not cause a crack when a molded sheet is dried. .
問題点を解決するための手段 この発明は、上記の目的を達成するために、溶媒として
沸点が110℃以上の高沸点溶媒と、90℃以下の低沸点溶
媒とを使用し、高沸点溶媒の量を該高沸点溶媒のみでス
ラリーを調整した場合の粘度が8000センチポアズ(cp
s)を超える量に設定し、かつ低沸点溶媒の量を前記高
沸点溶媒と共にスラリーを調整した場合の粘度が3000cp
sを下回る量に設定したことを特徴とするものである。Means for Solving the Problems The present invention, in order to achieve the above-mentioned object, uses a high-boiling point solvent having a boiling point of 110 ° C. or higher and a low-boiling point solvent of 90 ° C. or lower. When the amount of the slurry is adjusted only with the high boiling point solvent, the viscosity is 8000 centipoise (cp
s), and when the amount of the low boiling point solvent is adjusted to a slurry together with the high boiling point solvent, the viscosity is 3000 cp.
It is characterized by setting the amount to be less than s.
すなわちこの発明は、スラリーの粘度と混練性やクラッ
クの発生度合との関係、さらには粘度の調整の容易性な
どに関して、以下のように種々実験・検討した結果なさ
れたものである。That is, the present invention has been made as a result of various experiments and studies as described below with respect to the relationship between the viscosity of the slurry and the kneading properties and the degree of occurrence of cracks, and the ease of adjusting the viscosity.
セラミック粉末としてAl2O3粉末を用い、これに結合剤
としてポリビニールブチラール(PVB)を、また溶媒と
してn−ヘキシルアルコール(沸点158℃)をそれぞれ
添加・混練してスラリーを調整し、そのスラリーの混練
性および乾燥時の成形シートのクラックの発生状況につ
いて調べた。配合割合いは、1kgのAl2O3粉末に50gのPVB
を添加し、これにn−ヘキシルアルコールを300〜1000m
lの範囲で段階的に変えて添加した配合割合いとし、溶
媒量が異なる7種のスラリーの各々について粘度、混練
性、ドクターブレード法で成形したシート中の粗粒の有
無、および乾燥後のシートのクラックの有無をそれぞれ
調べた。結果は第1表に示す通りである。Al 2 O 3 powder was used as the ceramic powder, and polyvinyl butyral (PVB) was added as the binder, and n-hexyl alcohol (boiling point 158 ° C.) was added and kneaded as the solvent to prepare the slurry, and the slurry was prepared. The kneadability of the above and the occurrence of cracks in the formed sheet during drying were examined. The mixing ratio is 1 kg of Al 2 O 3 powder and 50 g of PVB.
Was added, and n-hexyl alcohol was added to this to 300-1000 m
It is assumed that the blending ratio is changed stepwise in the range of l, the viscosity, the kneading property, the presence or absence of coarse particles in the sheet formed by the doctor blade method, and the dried sheet The presence or absence of cracks was examined. The results are shown in Table 1.
先ず混練性について検討すると、溶媒の量を500ml以下
にして粘度を3000cps以上とした場合(試料No.4,5,6,
7)には、例えばボールミルで混練すると、スラリーが
玉石とポットとの間に結合剤の粘着力によって付着して
玉石が回転しなくなり、その結果、混練が不十分となっ
てAl2O3粉末が均一に分散されない。したがってこのよ
うな場合には、乾燥シート中に粗粒が混入して平滑なシ
ートが得られなくなる。この結果から混練時の粘度は30
00cpsを下回る値に調整する必要があり、また溶媒の量
もそれに応じた量とする必要がある。 First, the kneadability is examined. When the amount of the solvent is 500 ml or less and the viscosity is 3000 cps or more (Sample No. 4, 5, 6,
In 7), for example, when kneading with a ball mill, the slurry adheres between the cobblestone and the pot due to the adhesive force of the binder and the cobblestone does not rotate, resulting in insufficient kneading and Al 2 O 3 powder. Are not evenly distributed. Therefore, in such a case, coarse particles are mixed in the dry sheet, and a smooth sheet cannot be obtained. From this result, the viscosity when kneading is 30
It is necessary to adjust the value to less than 00 cps, and the amount of the solvent needs to be adjusted accordingly.
他方、乾燥時のクラックの発生状況について検討する
と、粘度が8000cps以下(試料No.1,2,3,4,5)であれ
ば、溶媒量が多くて粉末粒子間隔が広くなり、その結
果、収縮率が大きくなるために、乾燥時にクラックが発
生する。On the other hand, when examining the occurrence of cracks during drying, if the viscosity is 8000 cps or less (Sample No. 1,2,3,4,5), the solvent amount is large and the powder particle spacing is wide, and as a result, Due to the high shrinkage, cracks occur during drying.
したがって以上の二点から、スラリーの粘度は、混練時
には3000cpsを下回る値とし、成形時には8000cpsを超え
る値とする必要がある。Therefore, from the above two points, the viscosity of the slurry needs to be less than 3000 cps during kneading and more than 8000 cps during molding.
このような粘度の調整を、この発明では、低沸点溶媒と
高沸点溶媒とを併用して溶媒の量を調整することにより
行なう。In the present invention, such adjustment of the viscosity is performed by using a low boiling point solvent and a high boiling point solvent in combination and adjusting the amount of the solvent.
すなわち粘度調整手段として従来行なわれている減圧に
よる方法を、第1表の試料No.3のスラリーについて混練
後に−600mmHgの圧力で実施したところ、粘度を10000cp
sにまで調整するのに2日間の長時間を要した。また加
熱による溶媒除去を検討したが、スラリーの粘度が温度
により大きく変動するために、シート成形時(20〜25
℃)に所期通りの粘度に調整することは極めて困難であ
り、実用的ではなかった。That is, when a method of reducing pressure, which has been conventionally used as a viscosity adjusting means, was carried out at a pressure of −600 mmHg after kneading the slurry of sample No. 3 in Table 1, the viscosity was 10000 cp.
It took a long time of 2 days to adjust to s. We also considered removing the solvent by heating, but since the viscosity of the slurry fluctuates greatly depending on the temperature, it is not possible
It was extremely difficult to adjust the viscosity to the intended value at (° C) and was not practical.
また高沸点溶媒である上記のn−ヘキシルアルコールに
替えて低沸点溶媒であるトリクロルエチレンを用い、ス
ラリーの粘度が2000cpsになるようその溶媒の量を調整
して混練を行なった後、減圧により粘度を10000cpsまで
調整した。粘度の調整に要した時間は15分であって極め
て短時間であったが、シートに成形した後に乾燥する際
にクラックが発生した。これは溶媒の量が少ないことに
起因してシートの乾燥時間が速く、それに従ってシート
の乾燥収縮が早過ぎるためである。Further, the above n-hexyl alcohol which is a high boiling point solvent was replaced with trichloroethylene which is a low boiling point solvent, and the amount of the solvent was adjusted so that the viscosity of the slurry was 2000 cps, and kneading was performed. Was adjusted to 10000 cps. Although the time required for adjusting the viscosity was 15 minutes, which was an extremely short time, cracks occurred when the sheet was formed and then dried. This is because the drying time of the sheet is fast due to the small amount of solvent and the drying shrinkage of the sheet is accordingly premature.
さらに結合剤や可塑剤の量を混練時と成形時とで変える
ことにより、スラリーの粘度を適宜に調整する方法もあ
るが、この方法では前述したように結合剤などが均一に
分散しないことによって品質にばらつきが生じるなどの
おそれがある。There is also a method of appropriately adjusting the viscosity of the slurry by changing the amount of the binder or the plasticizer during kneading and during molding. However, in this method, the binder and the like are not uniformly dispersed as described above. There is a risk of variations in quality.
このように減圧・加熱による粘度調整の方法、および低
沸点溶媒を使用する方法、ならびに結合剤などの溶媒以
外の添加物の量を変える方法のいずれも満足ぜきる結果
は得られず、そこでこの発明では、高沸点溶媒と低沸点
溶媒とを併用し、かつ各々の溶媒の量を前述した量に設
定することとしたのである。In this way, neither the method of adjusting the viscosity by decompression / heating, the method of using a low boiling point solvent, nor the method of changing the amount of additives other than the solvent such as the binder gives satisfactory results. In the invention, the high boiling point solvent and the low boiling point solvent are used in combination, and the amount of each solvent is set to the above-mentioned amount.
なお、この発明で使用できる高沸点溶媒は、沸点が110
℃以上のものであって、例えばn−ヘキシルアルコール
(沸点158℃)、n−ブチルアルコール(沸点117℃)、
シクロヘキサン(沸点156.5℃)などであり、また低沸
点溶媒は、沸点が90℃以下のものであって、例えばトリ
クロルエチレン(沸点87℃)、エチルアルコール(沸点
78℃)、アセトン(沸点56.5℃)などである。さらにこ
の発明で使用できる結合剤はPVBに限らず、PVA、ニトロ
セルロース、ポリエチレン、エチルセルロース、ポリメ
タクリル酸エステルなどを使用することができる。The high boiling point solvent that can be used in the present invention has a boiling point of 110.
C. or higher, for example, n-hexyl alcohol (boiling point 158 ° C.), n-butyl alcohol (boiling point 117 ° C.),
Cyclohexane (boiling point 156.5 ° C), etc., and low-boiling point solvents having a boiling point of 90 ° C or less, such as trichloroethylene (boiling point 87 ° C), ethyl alcohol (boiling point)
78 ° C), acetone (boiling point 56.5 ° C), etc. Further, the binder that can be used in the present invention is not limited to PVB, but PVA, nitrocellulose, polyethylene, ethyl cellulose, polymethacrylate, etc. can be used.
作用 この発明のスラリー組成物では、高沸点溶媒と低沸点溶
媒とをセラミック粉末に添加して粘度が3000cpsを下回
るよう調整されるから、スラリーの混練性が良好であ
り、したがって均質なスラリーとすることができる。ス
ラリーは混練後に減圧などの方法によって溶媒の量を減
じてシート状に成形するが、溶媒の量を減じる場合、主
に低沸点溶媒が除去され、また低沸点溶媒と高沸点溶媒
とが共沸混合物であれば、高沸点溶媒も幾分除去され、
いずれにしても除去される溶媒が低沸点溶媒であるか
ら、短時間に溶媒の量が減じられ、粘度の調整が行なわ
れる。そしてこの発明のスラリー組成物では、高沸点溶
媒のみで調整した場合の粘度が8000cpsを超えるように
設定してあるから、成形・乾燥の際には溶媒が充分少量
となって粘度が高くなっており、したがってシート成形
体を乾燥させてもクラックが発生するおそれはない。Action In the slurry composition of the present invention, the high boiling point solvent and the low boiling point solvent are added to the ceramic powder so that the viscosity is adjusted to be less than 3000 cps, so that the kneading property of the slurry is good, and thus a homogeneous slurry is obtained. be able to. The slurry is formed into a sheet by reducing the amount of the solvent by a method such as decompression after kneading, but when the amount of the solvent is reduced, the low boiling point solvent is mainly removed, and the low boiling point solvent and the high boiling point solvent are azeotroped. If it is a mixture, some high-boiling solvent is also removed,
In any case, since the solvent to be removed is a low boiling point solvent, the amount of the solvent is reduced in a short time and the viscosity is adjusted. And in the slurry composition of the present invention, the viscosity when adjusted with only the high boiling point solvent is set to exceed 8000 cps, so the solvent becomes sufficiently small and the viscosity becomes high during molding and drying. Therefore, even if the sheet molded body is dried, there is no possibility that cracks will occur.
実 施 例 以下にこの発明の実施例を記す。Examples Examples of the present invention will be described below.
低沸点溶媒としてトリクロルエチレン(沸点87℃)、高
沸点溶媒としてn−ヘキシルアルコール(沸点158℃)
をそれぞれ用い、これらの溶媒を1kgのAl2O3粉末に50g
のPVBと共に添加してスラリーを調整した。その高沸点
溶媒であるn−ヘキシルアルコールの量は、第1表の試
料No.6を参考にして400mlとし、また低沸点溶媒である
トリクロルエチレンの量は第1表の試料No.3を参考にし
て総溶媒量が600mlとなるよう200mlに設定した。Trichlorethylene (boiling point 87 ° C) as low boiling point solvent, n-hexyl alcohol (boiling point 158 ° C) as high boiling point solvent
50 g of these solvents in 1 kg of Al 2 O 3 powder.
To prepare a slurry. The amount of n-hexyl alcohol which is the high boiling point solvent is 400 ml with reference to the sample No. 6 in Table 1, and the amount of trichlorethylene which is the low boiling point solvent is referred to the sample No. 3 in Table 1. Then, the total amount of solvent was set to 200 ml so as to be 600 ml.
得られたスラリーの混練性は良好であり、その粘度は18
00cpsであった。The resulting slurry had good kneading properties and a viscosity of 18
It was 00 cps.
また減圧法(圧力:−600mmHg)によりスラリーの粘度
を10000cpsに調整したところ、要した調整時間は14分で
あり、極めて短時間で粘度調整を行なうことができた。
この時の溶媒蒸発量は約200mlであり、これはその蒸発
量に添加量が相当するトリクロルエチレンが主に蒸発し
たものと思われる。When the viscosity of the slurry was adjusted to 10000 cps by the pressure reduction method (pressure: -600 mmHg), the adjustment time required was 14 minutes, and the viscosity could be adjusted in an extremely short time.
The evaporation amount of the solvent at this time was about 200 ml, and it is considered that trichlorethylene corresponding to the evaporation amount was evaporated mainly.
粘度調整後のスラリーをシート成形し、乾燥させたとこ
ろ、クラックの発生は全く認められなかった。When the slurry after the viscosity adjustment was formed into a sheet and dried, no cracks were found at all.
発明の効果 以上の説明から明らかなようにこの発明のセラミックグ
リーンシート用スラリー組成物によれば、溶媒として高
沸点溶媒と低沸点溶媒とを併用し、その高沸点溶媒の量
を該高沸点溶媒のみでスラリーを調整した場合の粘度が
8000cpsを超える量に設定し、かつ低沸点溶媒の量を前
記高沸点溶媒と共にスラリーを調整した場合の粘度が30
00cpsを下回る量に設定したから、混練時の粘度が充分
低くて混練性の良好なスラリーとすることができ、また
通常採用されている減圧法による粘度調整の際に低沸点
溶媒が迅速に除去されるために短時間に粘度調整を行な
うことができ、かつ高沸点溶媒が短時間の減圧で除去さ
れ難いうえにスラリーの粘度が主に高沸点溶媒によって
決定されるために、スラリーの粘度が所期の値から大き
く外れることを防止することができる。そしてこの発明
のスラリーでは、成形・乾燥時の溶媒の量を減じて粘度
を所期通りとすることができるために、クラックを発生
させることなく成形シートの乾燥を行なうことができ
る。Effects of the Invention As is apparent from the above description, according to the slurry composition for a ceramic green sheet of the present invention, a high boiling point solvent and a low boiling point solvent are used in combination as a solvent, and the amount of the high boiling point solvent is set to the high boiling point solvent. The viscosity when adjusting the slurry with only
The viscosity is 30 when the slurry is adjusted together with the high boiling point solvent by setting the amount of the low boiling point solvent above 8000 cps.
Since the amount is set to less than 00 cps, the viscosity at the time of kneading is sufficiently low and a slurry with good kneading property can be obtained, and the low boiling point solvent is rapidly removed during viscosity adjustment by the commonly used decompression method. Therefore, the viscosity of the slurry can be adjusted in a short time, and the high-boiling solvent is difficult to be removed by decompression for a short time, and the viscosity of the slurry is mainly determined by the high-boiling solvent. It is possible to prevent a large deviation from the desired value. Further, in the slurry of the present invention, the amount of the solvent at the time of molding / drying can be reduced to obtain the desired viscosity, and thus the molded sheet can be dried without causing cracks.
Claims (1)
とを添加してなるスラリー組成物であって、前記溶媒
が、110℃以上の沸点の高沸点溶媒と90℃以下の沸点の
低沸点溶媒とからなり、高沸点溶媒の量が該高沸点溶媒
のみでスラリーを調整した場合の粘度が8000センチポア
ズを超える量に設定され、かつ低沸点溶媒の量が前記高
沸点溶媒と共にスラリーを調整した場合の粘度が3000セ
ンチポアズを下回る量に設定されていることを特徴とす
るセラミックグリーンシート用スラリー組成物。1. A slurry composition obtained by adding at least a binder and a solvent to ceramic powder, wherein the solvent comprises a high boiling solvent having a boiling point of 110 ° C. or higher and a low boiling solvent having a boiling point of 90 ° C. or lower. The viscosity of the high-boiling solvent when the slurry is adjusted only by the high-boiling solvent is set to an amount exceeding 8000 centipoise, and the amount of the low-boiling solvent is adjusted when the slurry is adjusted together with the high-boiling solvent. A slurry composition for ceramic green sheets, characterized in that the viscosity is set to less than 3000 centipoise.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62222818A JPH07112953B2 (en) | 1987-09-05 | 1987-09-05 | Slurry composition for ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62222818A JPH07112953B2 (en) | 1987-09-05 | 1987-09-05 | Slurry composition for ceramic green sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6465056A JPS6465056A (en) | 1989-03-10 |
| JPH07112953B2 true JPH07112953B2 (en) | 1995-12-06 |
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ID=16788391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62222818A Expired - Lifetime JPH07112953B2 (en) | 1987-09-05 | 1987-09-05 | Slurry composition for ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07112953B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720799B1 (en) * | 2003-03-31 | 2007-05-21 | 티디케이가부시기가이샤 | Coating composition for green sheet, green sheet, method for producing green sheet, and method for producing electronic component |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2555106A (en) * | 2016-10-14 | 2018-04-25 | Dawn Brown Melvina | DeVoTe - exercise slippers for the prevention of DVT |
-
1987
- 1987-09-05 JP JP62222818A patent/JPH07112953B2/en not_active Expired - Lifetime
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| KR100720799B1 (en) * | 2003-03-31 | 2007-05-21 | 티디케이가부시기가이샤 | Coating composition for green sheet, green sheet, method for producing green sheet, and method for producing electronic component |
| US7355838B2 (en) | 2003-03-31 | 2008-04-08 | Tdk Corporation | Green sheet coating material, green sheet, production method of green sheet and production method of electronic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6465056A (en) | 1989-03-10 |
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