JPH07114266B2 - Contact image sensor assembly method - Google Patents
Contact image sensor assembly methodInfo
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- JPH07114266B2 JPH07114266B2 JP60249051A JP24905185A JPH07114266B2 JP H07114266 B2 JPH07114266 B2 JP H07114266B2 JP 60249051 A JP60249051 A JP 60249051A JP 24905185 A JP24905185 A JP 24905185A JP H07114266 B2 JPH07114266 B2 JP H07114266B2
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- flexible wiring
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、ファクシミリや複写機などの、OA機器の入力
装置に用いられる密着型イメージセンサの組立方法に関
するものである。The present invention relates to a method for assembling a contact image sensor used in an input device of OA equipment such as a facsimile machine and a copying machine.
(従来の技術) 近年、OA機器は急速な進歩を遂げているが、これらOA機
器の小型軽量化を計るために、入力装置として、密着型
イメージセンサの必要性は益益増大している。(Prior Art) In recent years, OA equipment has made rapid progress, but in order to reduce the size and weight of these OA equipment, the need for a contact image sensor as an input device is increasing.
一般に、密着型イメージセンサには大きく分けて2種類
あり、その1つは、薄膜型と称するものであり、ガラス
基板をベースとして、その表面に、真空蒸着やスパッタ
リングなどの薄膜技術を駆使して、CdS系の光導電膜を
形成したものである。In general, there are roughly two types of contact image sensors, one of which is called a thin film type, and a glass substrate is used as a base on the surface of which a thin film technology such as vacuum deposition or sputtering is fully utilized. , A CdS-based photoconductive film is formed.
他の1つは、結晶型と称するものであり、シリコン基板
上に、光検知素子として、フォトダイオードやフォトト
ランジスタなどのアレーを形成し、電荷蓄積モードでの
動作によって映像信号を得るものであり、代表的にはCC
DやバイポーラICなどのイメージセンサチップを複数
個、長尺状のセラミック回路基板上に直線状に配列し
て、密着型イメージセンサを構成したものである。The other one is called a crystal type, and is one in which an array of photodiodes, phototransistors, or the like is formed as a light detection element on a silicon substrate, and a video signal is obtained by operation in a charge storage mode. , Typically CC
This is a contact-type image sensor in which a plurality of image sensor chips such as D and bipolar ICs are linearly arranged on a long ceramic circuit board.
前記の2種類の密着型イメージセンサには、それぞれ一
長一短があり、用途に応じて使い分けられているが、昨
今OA機器の高性能化の要求が高まるにつれて、解像性や
読み取り速度などの性能にすぐれたCCDやバイポーラIC
などの結晶タイプによる密着型イメージセンサが脚光を
浴び、広範囲に用いられるようになってきた。The above-mentioned two types of contact image sensors each have advantages and disadvantages, and they are used properly according to the application. However, as the demand for higher performance of OA equipment has increased in recent years, performance such as resolution and reading speed has increased. Excellent CCD and bipolar IC
The contact type image sensor of the crystal type such as has attracted attention and has been widely used.
従来の結晶タイプによる密着型イメージセンサの組立方
法を、“テレビジョン学会技術報告59年10月26日発表に
よる密着型イメージセンサ”を例として、第4図を参照
して説明する。An assembling method of a conventional contact type image sensor of a crystal type will be described with reference to FIG. 4 by taking the “contact type image sensor announced on October 26, 59, Technical Report of the Television Society” as an example.
第4図は、従来例の密着型イメージセンサの要部断面図
を示し、アルミナなどのセラミック絶縁基板1を長尺状
に加工し、前記セラミック絶縁基板1の上に厚膜技術を
使用して、金や銀などの貴金属からなる回路導体層2を
形成した厚膜回路基板とし、前記厚膜回路基板上に熱硬
化型のダイボンド用接着剤3を塗布し、前記接着剤3の
上に、シリコンウェハから高精度ダイシング技術を利用
して加工した、バイポーラICやCCDなどの複数個のイメ
ージセンサチップ4を直線状に配列し、ダイボンド用接
着剤3を加熱硬化させて固定している。FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part of a conventional contact image sensor, in which a ceramic insulating substrate 1 made of alumina or the like is processed into a long shape, and a thick film technique is used on the ceramic insulating substrate 1. A thick film circuit board on which a circuit conductor layer 2 made of a noble metal such as gold or silver is formed, a thermosetting die-bonding adhesive 3 is applied onto the thick film circuit board, and the adhesive 3 is applied onto the thick film circuit board. A plurality of image sensor chips 4 such as bipolar ICs and CCDs, which are processed from a silicon wafer by using high precision dicing technology, are linearly arranged, and the die bonding adhesive 3 is heat-cured and fixed.
次に、各イメージセンサチップ4の電極端子と回路導体
層2とを、アルミニウムや金線などのワイヤ5を用い
て、電気的に接続した後、イメージセンサチップ4を取
り囲むように、セラミック製の封止枠6をシール材7を
用いて接着し、さらに封止枠6の上にガラス板8を接着
して、イメージセンサチップ4をハーメチック封止する
方法により組み立てている。Next, after electrically connecting the electrode terminal of each image sensor chip 4 and the circuit conductor layer 2 using a wire 5 such as aluminum or a gold wire, a ceramic-made so as to surround the image sensor chip 4. The sealing frame 6 is adhered by using the sealing material 7, the glass plate 8 is further adhered on the sealing frame 6, and the image sensor chip 4 is assembled by a hermetically sealing method.
(発明が解決しようとする問題点) 前記従来の密着型イメージセンサは、イメージセンサチ
ップを配列する基板にセラミック絶縁基板1を使用して
いるので、長尺化に伴ってコストが高価となり、さらに
長尺化のため、セラミック絶縁基板1に反り、うねり、
たわみなどが生じて、平面精度が著しく低下するため、
イメージセンサとしての性能が低下するとともに、封止
枠6とセラミック絶縁基板1およびガラス板8との接着
面の気密が悪く、信頼性に欠けるという問題点があっ
た。(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional contact type image sensor, since the ceramic insulating substrate 1 is used as the substrate on which the image sensor chips are arranged, the cost becomes higher as the length increases, and For lengthening, warp, swell, or swell in the ceramic insulating substrate 1.
Due to bending, etc., the plane accuracy will be significantly reduced.
There is a problem that the performance as an image sensor is deteriorated and the airtightness of the bonding surface between the sealing frame 6 and the ceramic insulating substrate 1 and the glass plate 8 is poor, resulting in lack of reliability.
また、前記密着型イメージセンサは、他のシステムに接
続する場合に、セラミック絶縁基板1上に形成された厚
膜回路導体層2からリード端子を半田付けし、前記リー
ド端子を他のリード端子と接続するという方法によって
行なわれるが、このような方法では接続作業に手間がか
かるとともに、半田接続は信頼性に欠けるという問題点
があった。Further, in the contact type image sensor, when connecting to another system, a lead terminal is soldered from the thick film circuit conductor layer 2 formed on the ceramic insulating substrate 1, and the lead terminal is connected to another lead terminal. The connection is performed by a method of connecting, but such a method has a problem that the connection work is troublesome and the solder connection is unreliable.
(問題点を解決するための手段) 前記問題点を解決するために、本発明は、透明性を有す
るガラス基板の主面上に、所望の回路導体層をポリイミ
ドフィルム上に形成したフレキシブル配線板を接着し、
前記フレキシブル配線上に複数個のイメージセンサチッ
プを直線状に配列して電気的に接続するとともに、前記
イメージセンサチップをガラス製の容器によってハーメ
チック封止した構成の密着型イメージセンサの組立方法
を提供するものである。(Means for Solving Problems) In order to solve the above problems, the present invention provides a flexible wiring board in which a desired circuit conductor layer is formed on a polyimide film on the main surface of a transparent glass substrate. Glued,
Provided is a method of assembling a contact-type image sensor in which a plurality of image sensor chips are linearly arranged on the flexible wiring and electrically connected, and the image sensor chips are hermetically sealed in a glass container. To do.
(作用) 本発明によれば、ベース基板としてガラス基板にポリイ
ミドフィルムからなるフレキシブル配線板を接着した基
板を使用するため、長尺化による平面精度の安定化がは
かられて、ガラス容器による良好な気密封止性が得られ
ると共に、プリント配線板に回路素子を実装した他のシ
ステムと接続する場合には、第2図に示すように、ガラ
ス基板の長手方向と直交する両端部に突き出したフレキ
シブル配線板上に形成された接続端子を自由に折り曲げ
て、コネクタ等を用いて直接接続することが可能で、接
続の作業性及び信頼性の向上がはかれる。(Function) According to the present invention, since a substrate in which a flexible wiring board made of a polyimide film is bonded to a glass substrate is used as a base substrate, the planar accuracy is stabilized by lengthening, and the glass container is excellent. In addition to providing excellent airtight sealing property, when connecting to another system in which a circuit element is mounted on the printed wiring board, as shown in FIG. 2, the glass substrate is protruded at both ends orthogonal to the longitudinal direction. The connection terminals formed on the flexible wiring board can be freely bent and directly connected using a connector or the like, so that workability and reliability of connection can be improved.
(実施例) 本発明の密着型イメージセンサの組立方法を、第1図な
いし第3図を参照して説明する。(Example) An assembling method of the contact image sensor of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
第1図は、本発明の第1の実施例における密着型イメー
ジセンサの要部断面図を、第2図は、前記密着型イメー
ジセンサの組立方法を説明するための斜視図を示し、透
明性を有するガラス基板9を所定のサイズに切断加工
し、ガラス基板9の上に、所望の回路導体層2を形成し
たフレキシブル配線板10を、熱硬化型の接着剤11を用い
て張り付けている。本実施例においては、フレキシブル
配線板10にポリイミドフィルムを使用し、フレキシブル
配線板10の表面に銅はくを接着した銅張り基板にフォト
エッチング法によって所望の回路導体層2を形成する
か、または、必要によりホールめっきを行なうことによ
りフィルム基板の表裏両面に回路導体層2を形成したフ
レキシブル配線板10を作り、回路導体層2の一部に、ワ
イヤボンドができるように、金めっきを施す。FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a contact image sensor according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view for explaining a method of assembling the contact image sensor. The glass substrate 9 having the above is cut into a predetermined size, and the flexible wiring board 10 on which the desired circuit conductor layer 2 is formed is attached onto the glass substrate 9 by using a thermosetting adhesive 11. In the present embodiment, a polyimide film is used for the flexible wiring board 10, and a desired circuit conductor layer 2 is formed by a photoetching method on a copper-clad substrate in which copper foil is adhered to the surface of the flexible wiring board 10, or A flexible wiring board 10 in which the circuit conductor layers 2 are formed on both front and back surfaces of the film substrate is prepared by performing hole plating if necessary, and gold plating is applied to a part of the circuit conductor layer 2 so that wire bonding can be performed.
次に、フレキシブル配線板10の上の所定の位置に、銀ペ
ーストなどのダイボンド用接着剤3を、スクリーン印刷
法やダイスタンプ法などによって塗布し、ダイボンド用
接着剤3の上に、別途多数個取りしたシリコンウェハか
ら高精度のダイシング技術で切断加工した、CCDやバイ
ポーラICなどのイメージセンサチップ4を搭載し、前記
複数個のイメージセンサチップ4を直線状に配列した
後、ダイボンド用接着剤3を硬化させる。Next, a die-bonding adhesive 3 such as silver paste is applied at a predetermined position on the flexible wiring board 10 by a screen printing method or a die stamping method, and a large number of die-bonding adhesives 3 are separately provided on the die-bonding adhesive 3. An image sensor chip 4 such as a CCD or a bipolar IC, which has been cut and processed by a highly accurate dicing technique from the taken silicon wafer, is mounted, and a plurality of the image sensor chips 4 are linearly arranged, and then a die bonding adhesive 3 Cure.
次に、各イメージセンサチップ4の電極端子とフレキシ
ブル配線板10の回路導体層2をワイヤボンド法により、
アルミニウムや金のワイヤ5を用いて電気的に接続して
いる。Next, the electrode terminal of each image sensor chip 4 and the circuit conductor layer 2 of the flexible wiring board 10 are wire-bonded to each other.
It is electrically connected using a wire 5 of aluminum or gold.
次に、配列したイメージセンサチップ4に封止用のガラ
ス製容器12をかぶせ、エポキシ系のシール材7を介在さ
せて接着し、ハーメチック封止を行なうことにより密着
性イメージセンサが組み立てられる。Then, the arranged image sensor chips 4 are covered with a glass container 12 for sealing, adhered with an epoxy sealant 7 interposed therebetween, and hermetically sealed to assemble the adhesive image sensor.
第3図は、本発明の第2の実施例における密着型イメー
ジセンサの断面図を示し、フレキシブル配線板10の一部
をくりぬいて、紫外線硬化型の接着剤を用いてイメージ
センサチップとガラス基板9とを接着させることによ
り、ダイボンド工程の作業性が改善されて、生産性の向
上を計ることができる。なお、前記構成の回路基板を使
用し、ガラス基板9の露出部上に複数個のイメージセン
サチップ4を直線状に配列固定する以外は、第1の実施
例と同様であるので、詳細説明は省略する。FIG. 3 is a sectional view of a contact type image sensor according to a second embodiment of the present invention, in which a part of the flexible wiring board 10 is hollowed out, and an image sensor chip and a glass substrate are formed by using an ultraviolet curing adhesive. By adhering 9 and 9, the workability of the die bonding process is improved and the productivity can be improved. Note that the circuit board having the above-mentioned configuration is used and the same as in the first embodiment except that a plurality of image sensor chips 4 are linearly arranged and fixed on the exposed portion of the glass substrate 9, and therefore detailed description will be made. Omit it.
(発明の効果) 以上のように、本発明によれば、ベース基板としてガラ
ス基板にポリイミドフィルムからなるフレキシブル配線
板を接着した基板を使用するため、長尺化による平面精
度の安定化がはかられて、ガラス容器による良好な気密
封止性が得られると共に、プリント配線板に回路素子を
実装した他のシステムと接続する場合には、第2図に示
すように、ガラス基板の長手方向と直交する両端部に突
き出したフレキシブル配線板上に形成された接続端子を
自由に折り曲げて、コネクタ等を用いて直接接続するこ
とが可能で、接続の作業性及び信頼性の向上がはかれる
という効果がある。(Effect of the Invention) As described above, according to the present invention, since a substrate in which a flexible wiring board made of a polyimide film is bonded to a glass substrate is used as a base substrate, the planar accuracy is stabilized by lengthening. As a result, a good hermetic sealing property can be obtained by the glass container, and when connecting to another system in which the circuit element is mounted on the printed wiring board, as shown in FIG. It is possible to freely fold the connection terminals formed on the flexible wiring board protruding at both ends orthogonal to each other and directly connect them by using a connector or the like, which has the effect of improving the workability and reliability of the connection. is there.
第1図は、本発明の第1の実施例における密着型イメー
ジセンサの要部断面図、第2図は、前記密着型イメージ
センサの一部の斜視図、第3図は、本発明の第2の実施
例における密着型イメージセンサの要部断面図、第4図
は、従来の密着型イメージセンサの要部断面図を示す。 1……セラミック絶縁基板、2……回路導体層、3……
ダイボンド用接着剤、4……イメージセンサチップ、5
……ワイヤ、6……封止枠、7……シール材、8……ガ
ラス板、9……ガラス基板、10……フレキシブル配線
板、11……接着剤、12……封止用ガラス製容器。FIG. 1 is a sectional view of an essential part of a contact image sensor according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a part of the contact image sensor, and FIG. 3 is a perspective view of the present invention. FIG. 4 is a sectional view of a main part of a contact image sensor according to the second embodiment, and FIG. 4 is a sectional view of a main part of a conventional contact image sensor. 1 ... Ceramic insulating substrate, 2 ... Circuit conductor layer, 3 ...
Die bond adhesive, 4 ... Image sensor chip, 5
...... Wire, 6 ...... Sealing frame, 7 ...... Sealing material, 8 ...... Glass plate, 9 ...... Glass substrate, 10 ...... Flexible wiring board, 11 ...... Adhesive, 12 ...... Sealing glass container.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 貞松 和美 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 藤原 慎司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 橋口 利明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−117696(JP,A) 特開 昭58−97860(JP,A) 実開 昭59−132653(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kazumi Sadamatsu, 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Shinji Fujiwara, 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Toshiaki Hashiguchi, 1006, Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-60-117696 (JP, A) JP-A-58-97860 (JP, A) 59-132653 (JP, U)
Claims (3)
望の回路導体層をポリイミドフィルム上に形成したフレ
キシブル配線板を接着し、前記フレキシブル配線板上
に、複数個のイメージセンサチップを直線状に配列固定
して電気的に接続するとともに、前記イメージセンサチ
ップを、ガラス製の容器を用いて、ハーメチック封止す
ることを特徴とする密着型イメージセンサの組立方法。1. A flexible wiring board having a desired circuit conductor layer formed on a polyimide film is adhered onto a main surface of a glass substrate having transparency, and a plurality of image sensor chips are mounted on the flexible wiring board. A method for assembling a contact image sensor, characterized in that the image sensor chip is hermetically sealed in a glass container while being fixed in a linear arrangement and electrically connected.
部上にイメージセンサチップが配列固定されていること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の密着型イ
メージセンサの組立方法。2. The contact type image sensor according to claim 1, wherein a part of the glass substrate is exposed, and image sensor chips are arrayed and fixed on the exposed portion. Assembly method.
サチップを、紫外線硬化樹脂で固定したことを特徴とす
る特許請求の範囲第(2)項記載の密着型イメージセン
サの組立方法。3. The method of assembling a contact image sensor according to claim 2, wherein the image sensor chips arranged on the glass substrate are fixed with an ultraviolet curing resin.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249051A JPH07114266B2 (en) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Contact image sensor assembly method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60249051A JPH07114266B2 (en) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Contact image sensor assembly method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109356A JPS62109356A (en) | 1987-05-20 |
| JPH07114266B2 true JPH07114266B2 (en) | 1995-12-06 |
Family
ID=17187280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60249051A Expired - Lifetime JPH07114266B2 (en) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Contact image sensor assembly method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07114266B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020004901A (en) | 2018-06-29 | 2020-01-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | Imaging device and method of manufacturing imaging device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60117696A (en) * | 1983-11-30 | 1985-06-25 | 沖電気工業株式会社 | Mounting structure of eprom |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP60249051A patent/JPH07114266B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62109356A (en) | 1987-05-20 |
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