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JPH07115165B2 - Vacuum brazing equipment - Google Patents
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JPH07115165B2 - Vacuum brazing equipment - Google Patents

Vacuum brazing equipment

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Publication number
JPH07115165B2
JPH07115165B2 JP3062682A JP6268291A JPH07115165B2 JP H07115165 B2 JPH07115165 B2 JP H07115165B2 JP 3062682 A JP3062682 A JP 3062682A JP 6268291 A JP6268291 A JP 6268291A JP H07115165 B2 JPH07115165 B2 JP H07115165B2
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JP
Japan
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trap
cooling
vacuum
brazing
vacuum brazing
Prior art date
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JP3062682A
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Inventor
保之 田中
信彦 山田
佳士 水垣
丈夫 加藤
篤 中塚
靖男 安沢
Original Assignee
日本電装株式会社
日本真空技術株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は真空ろう付装置に関し、
特にMgトラップ機構を配設した真空ろう付装置に関す
る。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum brazing apparatus,
Particularly, it relates to a vacuum brazing apparatus provided with an Mg trap mechanism.

【0002】[0002]

【従来の技術及びその問題点】例えば図7に示すよう
に、従来の真空ろう付装置40のMgトラップ機構にお
いては、真空槽41の下面に設けられた排気口46とメ
インバルブ47との間にトラップ領域44が設けられ、
このメインバルブ47の近傍にMgトラップ45が配設
されていた。
2. Description of the Related Art For example, as shown in FIG. 7, in a conventional Mg brazing mechanism of a vacuum brazing apparatus 40, an exhaust port 46 provided on the lower surface of a vacuum chamber 41 and a main valve 47 are provided. Is provided with a trap area 44,
The Mg trap 45 was arranged near the main valve 47.

【0003】この構成による真空ろう付装置40の真空
槽41内をヒータ42a、42bで加熱してろう付作業
を行なうと、ろう付の際にろう材から放出されるMgは
真空ポンプ48の駆動により、排気口46から排気され
る気体の流れaと一緒にトラップ領域44へ飛んでい
き、Mgトラップ45で捕獲されるのであるが、真空槽
41と離れた位置にこのMgトラップ45が設けられて
いるので、Mgは真空槽41の内壁面や他の構成物にも
付着してしまい、充分に捕獲効率を上げることができな
かった。ところで、Mgトラップと加熱ヒータとが近接
して設けられている真空ろう付装置も発明されているが
(特公昭57−17630号公報)、その図8に示され
る真空ろう付装置50は加熱室51を前方の矢印の方向
bに延長してその前端部に連なってトラップ領域52を
形成させており、該トラップ領域52の内壁部に複数枚
のレフレクター構造のMgトラップ57を左右一対のピ
ン58に吊掛けるようにして取り外し自在に配設した構
成をとっている。この構成により、加熱室51内に被ろ
う付物を積載したキャリア55が搬送路56に沿って運
ばれるとヒータ53が加熱されてろう付作業が行なわれ
る。この際に蒸発したMgは複数枚のMgトラップ57
に捕獲される。しかし、この構成ではMgトラップが放
冷式となっているため、装置の稼働時間や設定温度の違
いによりMgを捕獲するための所望の表面温度になら
ず、Mgがあまり付着しないという場合がある。
When the inside of the vacuum chamber 41 of the vacuum brazing apparatus 40 having this structure is heated by the heaters 42a and 42b to perform the brazing operation, Mg released from the brazing material during brazing drives the vacuum pump 48. As a result, the Mg trap 45 flies to the trap region 44 together with the gas flow a exhausted from the exhaust port 46 and is captured by the Mg trap 45. However, the Mg trap 45 is provided at a position apart from the vacuum chamber 41. Therefore, Mg adheres to the inner wall surface of the vacuum chamber 41 and other components, and the trapping efficiency cannot be sufficiently improved. By the way, a vacuum brazing apparatus in which an Mg trap and a heater are provided close to each other has also been invented (Japanese Patent Publication No. 57-17630), but the vacuum brazing apparatus 50 shown in FIG. A trap region 52 is formed by extending 51 in the forward direction b of the arrow and connecting to the front end thereof, and a plurality of Mg traps 57 having a reflector structure are provided on the inner wall of the trap region 52 with a pair of left and right pins 58. It has a structure in which it is hung on a wall and is detachably arranged. With this configuration, when the carrier 55 having the objects to be brazed loaded in the heating chamber 51 is carried along the transport path 56, the heater 53 is heated to perform the brazing operation. The Mg evaporated at this time is a plurality of Mg traps 57.
Captured by. However, since the Mg trap is of a cooling type in this configuration, the desired surface temperature for capturing Mg may not be obtained due to the difference in the operating time of the device or the set temperature, and Mg may not adhere much. .

【0004】他方、実験データによれば、真空槽内の4
00℃以上の内壁面や他の構成物にはMgは付着せず、
これ以下であると真空槽内の各部にMgの付着、成長が
見られている。真空槽の内部へのMgは少量であれば何
の問題も発生しないが、これが成長すると次のような問
題が生じる。例えばMgが電極部に付着したのであれば
絶縁低下につながり放電トラブルが発生し、搬送系に付
着した場合は被ろう付物の正常な搬送ができなくなり、
連続炉であれば室を仕切る仕切弁に付着して開閉動作の
不良や真空シールの不良が発生する。このため、真空槽
内のMgの付着が少量のうちに除去作業を実施しなくて
はならず、これが真空ろう付装置の稼働率の低下やメン
テナンスの回数の増大となり、ランニングコストの低減
への障害となっていた。
On the other hand, according to the experimental data, 4 in the vacuum chamber
Mg does not adhere to the inner wall surface and other components above 00 ° C,
If it is less than this, Mg adhesion and growth are observed in each part in the vacuum chamber. If the amount of Mg in the vacuum chamber is small, no problem will occur, but if it grows, the following problems will occur. For example, if Mg adheres to the electrode part, it causes insulation deterioration and discharge trouble occurs, and if it adheres to the transfer system, the brazed object cannot be transferred normally,
If it is a continuous furnace, it adheres to the partition valve that partitions the chamber, causing defective opening and closing operations and defective vacuum sealing. For this reason, it is necessary to carry out the removal work while the amount of Mg adhering in the vacuum tank is small, which leads to a decrease in the operating rate of the vacuum brazing device and an increase in the number of maintenances, which leads to a reduction in the running cost. It was an obstacle.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上記問題に
鑑みてなされ、Mgトラップ機構に効率よくMgが捕獲
され、他の構成部分には殆どMgが付着することがない
真空ろう付装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and provides a vacuum brazing apparatus in which Mg is efficiently captured by the Mg trap mechanism and almost no Mg adheres to other components. The purpose is to provide.

【0006】 [0006]

【問題点を解決するための手段】 以上の目的は、ろう
材を装着させた被ろう付物を真空排気した加熱室内で加
熱することにより該被ろう付物をろう付するようにした
真空ろう付装置において、前記加熱室に被ろう付物の移
動の妨げにならないように設けた熱のレフレクター手段
により該加熱室を加熱ヒータ領域と少なくともその両端
部のトラップ領域とに分けると共に、該トラップ領域に
冷却媒体で400℃以下に冷却される冷却面を有するM
gトラップ機構を設けたことを特徴とする真空ろう付装
置によって達成される。
Further objects Means for Solving the problems] is wax
The brazed object with the material attached is heated in an evacuated heating chamber.
In a vacuum brazing apparatus adapted to braze the brazing material by heating, transfer the brazing material to the heating chamber.
Heat reflector means provided so as not to interfere with movement
The heating chamber is provided with a heater area and at least both ends thereof.
Part of the trap area and
M having a cooling surface cooled to 400 ° C. or less with a cooling medium
This is achieved by a vacuum brazing device characterized by having a g-trap mechanism.

【0007】[0007]

【作用】 熱のレフレクター手段により加熱室を加熱ヒ
ータ領域とトラップ領域とに分けると共に、トラップ領
域に冷却媒体で冷却される冷却面を有するMgトラップ
機構を設けたので、トラップ領域の冷却面を400℃以
下に冷却でき、ろう付時にろう材から蒸発したMgは他
の部位に付着することなく効率よくこのMgトラップ機
構に捕獲される。よって、従来よりメンテナンスのコス
トを大巾に低下させることができる。
[ Function ] The heating chamber is heated by the heat reflector means.
The trap area is divided into the data area and the trap area.
Mg trap having a cooling surface cooled in a region by a cooling medium
Since a mechanism is provided, the cooling surface of the trap area should be 400 ° C or more.
It can be cooled down, and Mg evaporated from the brazing material during brazing is efficiently captured by this Mg trap mechanism without adhering to other parts. Therefore, it is possible to greatly reduce the maintenance cost as compared with the related art.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例による真空ろう付装置
について図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A vacuum brazing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】 図1は第1実施例を示し、加熱室A、予
熱室B及び取出室Cを有する連続炉における真空ろう付
装置の主要部分を示す。加熱室Aは加熱ヒータ領域1と
トラップ領域2a、2bとからなり、予熱室Bと取出室
Cとは開閉自在の仕切弁4a、4bにより気密に閉じら
れるようになっている。加熱ヒータ領域1の側壁部には
ヒータ3a、3a’、3b、3b’、3c、3c’が前
後方向へ分割して設けられており、図示されてはいない
が外部に有する制御装置により、それぞれのヒータ3
a、3a’、3b、3b’、3c、3c’が温度を別個
に調節できるようになっている(これは例えば本出願人
のうちの一人の先の出願である特願平1−246085
号に開示されている方法により制御される)。また、ヒ
ータ3a、3a’、3b、3b’、3c、3c’の背
後、すなわち加熱ヒータ領域1側壁部との間にはレフ
レクター11a、11a’、11b、11b’、11
c、11c’が設けられヒータ3a、3a’、3b、3
b’、3c、3c’の熱を被ろう付物7に反射させるよ
うにしている。
FIG. 1 shows a first embodiment and shows a main part of a vacuum brazing apparatus in a continuous furnace having a heating chamber A, a preheating chamber B and an extraction chamber C. The heating chamber A includes a heater region 1 and trap regions 2a and 2b, and the preheating chamber B and the take-out chamber C are airtightly closed by open / close sluice valves 4a and 4b. Heaters 3a, 3a ', 3b, 3b', 3c, 3c 'are provided separately on the side wall of the heater region 1 in the front-rear direction. Heater 3
a, 3a ', 3b, 3b', 3c, 3c 'allow the temperature to be adjusted separately (this is, for example, the earlier application of one of the applicants, Japanese Patent Application No. 1-246085.
Controlled by the method disclosed in No. Further, the reflectors 11a, 11a ', 11b, 11b', 11 are provided behind the heaters 3a, 3a ', 3b, 3b', 3c, 3c ', that is, between the side walls of the heater region 1.
c, 11c 'are provided and heaters 3a, 3a', 3b, 3
The heat of b ', 3c, 3c' is reflected on the brazed object 7.

【0010】 取出室C側に位置するトラップ領域2a
には冷却媒体循環用パイプ10aにより冷却水の循環、
すなわち供給、排水が行なわれるMgトラップ機構5a
が配設され、その表面温度が400℃以下の所望の温度
となるようにしている(これは図示していないがMgト
ラップ機構に温度センサーを取り付け、冷却水の循環速
度を調節することで達成できる)。トラップ領域2aと
加熱ヒータ領域1との境の内壁には環状の端部レフレク
ター6aがキャリアフレーム8の移動の妨げとならない
ように設けられており、一方予熱室B側に位置するトラ
ップ領域2bにも同様に冷却媒体循環用パイプ10bに
より、冷却水の循環、すなわち供給、排水が行なわれる
Mgトラップ機構5bが配設され、加熱ヒータ領域1と
の境の内壁にも同様に環状の端部レフレクター6bが設
けられている。
A trap area 2a located on the side of the take-out chamber C
The cooling medium circulation pipe 10a for cooling water circulation,
That is, the Mg trap mechanism 5a is supplied and drained.
Is provided and the surface temperature thereof is set to a desired temperature of 400 ° C. or lower (this is achieved by attaching a temperature sensor to the Mg trap mechanism, not shown, and adjusting the circulation speed of the cooling water. it can). An annular end reflector 6a is provided on the inner wall of the boundary between the trap region 2a and the heater region 1 so as not to hinder the movement of the carrier frame 8, while the trap region 2b located on the preheating chamber B side is provided. Similarly, a Mg trap mechanism 5b for circulating, that is, supplying and draining the cooling water by the cooling medium circulation pipe 10b is arranged in the same manner, and an annular end reflector is similarly provided on the inner wall at the boundary with the heater region 1. 6b is provided.

【0011】図2で示される搬送路13は図1では示さ
れていないが、真空ろう付装置内を長手方向に沿って設
けられ、キャリアフレーム8はこの搬送路13に吊り下
げられるようにして装置内を移動できるようになってい
る。キャリアフレーム8の前端部と後端部にはキャリア
内レフレクター9a、9bが設けられ、このキャリアフ
レーム8内には被ろう付物7が積載されている。なお、
図には示されていないが、加熱室Aの底面又は側部には
真空ポンプが接続される開口が形成され、室内の気体が
排気されるようになっている。また、冷却媒体循環用パ
イプ10a、10bはトラップ領域2a、2bの内壁に
気密となるように挿通配設されている。
Although not shown in FIG. 1, the transport path 13 shown in FIG. 2 is provided in the vacuum brazing apparatus along the longitudinal direction, and the carrier frame 8 is hung on this transport path 13. It can be moved inside the device. In-carrier reflectors 9a and 9b are provided at the front and rear ends of the carrier frame 8, and the brazed objects 7 are loaded in the carrier frame 8. In addition,
Although not shown in the drawing, an opening to which a vacuum pump is connected is formed on the bottom surface or side portion of the heating chamber A so that the gas in the chamber is exhausted. Further, the cooling medium circulation pipes 10a, 10b are arranged so as to be airtightly inserted into the inner walls of the trap regions 2a, 2b.

【0012】本発明の第1実施例による真空ろう付装置
は以上のように構成されるが、次にこの作用、効果につ
いて説明する。
The vacuum brazing apparatus according to the first embodiment of the present invention is constructed as described above. Next, its function and effect will be described.

【0013】 予熱室Bで被ろう付物7の予熱作業が終
わると、仕切弁4bが開かれて搬送路13に沿って被ろ
う付物7を積載したキャリアフレーム8が加熱ヒータ領
域1へと移送される。これにより、被ろう付物7が加熱
ヒータ領域1へと移送されたので仕切弁4a、4bが閉
じられて加熱室Aは気密にされる。次に、図示されてい
ない真空装置を駆動させて加熱室Aが所定の滅圧値に減
圧されると、ヒータ3a、3a’、3b、3b’、3
c、3c’が通電されて加熱ヒータ領域1は加熱され
る。このときに、トラップ領域2a、2bで冷却面を有
することとなるMgトラップ機構5a、5bに冷却水が
冷却媒体循環用パイプ10a、10bを介して循環、す
なわち供給、排水される。これにより、Mgトラップ機
構5a、5bの冷却面は400℃以下の所望の温度とな
る。
When the preheating work of the brazed objects 7 is completed in the preheating chamber B, the sluice valve 4 b is opened and the carrier frame 8 having the brazed objects 7 loaded along the transport path 13 moves to the heater region 1. Be transferred. As a result, the object 7 to be brazed is transferred to the heater region 1, so that the sluice valves 4a and 4b are closed and the heating chamber A is made airtight. Next, when the heating chamber A is depressurized to a predetermined depressurization value by driving a vacuum device (not shown), the heaters 3a, 3a ', 3b, 3b', 3
c, 3c 'are energized to heat the heater region 1 . At this time, the cooling water is circulated through the Mg trap mechanisms 5a and 5b having the cooling surfaces in the trap regions 2a and 2b through the cooling medium circulation pipes 10a and 10b, that is, supplied and drained. As a result, the cooling surfaces of the Mg trap mechanisms 5a and 5b have a desired temperature of 400 ° C. or lower.

【0014】 加熱ヒータ領域ではヒータ3a、3
a’、3b、3b’、3c、3c’が制御装置により温
度を別個に調節できるようにしているので、中央部のヒ
ータ3b、3b’のヒータ温度及び両端のヒータ3a、
3a’、3c、3c’のヒータ温度を調節することによ
りすべての被ろう付物7は均一に加熱される。さらには
キャリア内レフレクター9a、9bをキャリアフレーム
8の両端部に設けたことで、キャリアフレーム8内の端
部に配置された被ろう付物7にも熱の配分が均一となる
ように反射させて保温性をよくし、温度むらをなくし、
すべての被ろう付物7に対しろう付に適した状態で作業
できるようにしている。一方、加熱室Aの両端部にはヒ
ータ3a、3a’、3c、3c’に隣設してMgトラッ
プ機構5a、5bを設けているが、もし端部レフレクタ
ー6a、6bを設けなければMgトラップ機構5a、5
bへも熱が放射されて冷却面が加熱され、Mgの捕獲効
率が悪くなる。しかしながら本発明によれば、環状の
部レフレクター6a、6b及びキャリア内レフレクター
9a、9bを設けているのでMgトラップ機構5a、5
bへの熱の放射を殆どなくして、加熱ヒータ領域1から
の熱の影響を少なくしている。換言すれば循環冷却水の
流量をそれほど増大しなくてもよい。
In the heating heater area 1 , the heaters 3 a, 3
Since a ', 3b, 3b', 3c, and 3c 'allow the temperature to be adjusted separately by the control device, the heater temperatures of the central heaters 3b and 3b' and the heaters 3a at both ends,
By adjusting the heater temperature of 3a ', 3c, 3c', all the brazed objects 7 are heated uniformly. Further, since the in-carrier reflectors 9a and 9b are provided at both ends of the carrier frame 8, the brazed objects 7 arranged at the ends of the carrier frame 8 are also reflected so that the heat is evenly distributed. To improve heat retention and eliminate uneven temperature,
All brazed objects 7 can be worked in a state suitable for brazing. On the other hand, although Mg trap mechanisms 5a and 5b are provided adjacent to the heaters 3a, 3a ', 3c and 3c' at both ends of the heating chamber A, if the end reflectors 6a and 6b are not provided, the Mg traps are not provided. Mechanism 5a, 5
Heat is also radiated to b and the cooling surface is heated, so that the Mg trapping efficiency deteriorates. However, according to the invention, the annular end
Since the partial reflectors 6a, 6b and the in-carrier reflectors 9a, 9b are provided, the Mg trap mechanisms 5a, 5
Almost no heat is radiated to b, and the influence of heat from the heater region 1 is reduced. In other words, the flow rate of the circulating cooling water does not have to be increased so much.

【0015】一般に被ろう付物7は真空で600℃程度
の所望の状態で加熱されると、ろう付が行なわれるが、
アルミニウムのろう付では、ろう材が溶け出す直前にろ
う付けを促進させるためのMgが蒸発される。蒸発され
たMgは加熱室Aを飛び回るが、Mgトラップ機構5
a、5bには冷却媒体循環用パイプ10a、10bによ
り冷却水が供給、排水されているので、その面はMgが
捕獲できるように400℃以下の所望の温度(例えば3
80℃)に冷却されており、またMgの発生する加熱ヒ
ータ領域1の近傍に設けられていることからMgは飛躍
的に効率よく捕獲される。
Generally, when the object to be brazed 7 is heated in a desired state of about 600 ° C. in vacuum, brazing is performed,
In brazing of aluminum, Mg for promoting brazing is vaporized just before the brazing material melts. Although the evaporated Mg flies around in the heating chamber A, the Mg trap mechanism 5
Since cooling water is supplied to and drained from the cooling medium circulation pipes 10a and 10b to a and 5b, the surfaces thereof have a desired temperature of 400 ° C. or less (for example, 3 ° C.) so that Mg can be captured.
Since it is cooled to 80 ° C. and is provided in the vicinity of the heater region 1 in which Mg is generated, Mg is dramatically and efficiently captured.

【0016】 以上のように、加熱ヒータ領域1とMg
トラップ機構5a、5bとが隣接しても加熱ヒータ領域
1では温度むらが生じることなく、ろう付けに適した状
態で被ろう付物7がろう付けされる。加熱室Aでの作業
が終了すると、取出室c側の仕切弁4aは開かれ、それ
を積載したキャリアフレーム8が搬送手段により取出室
cへと移送され、被ろう付け物7は取出室cで大気置換
後、室外へ搬送される。
As described above, the heater region 1 and the Mg
Even if the trap mechanisms 5a and 5b are adjacent to each other, the temperature unevenness does not occur in the heater region 1, and the braze object 7 is brazed in a state suitable for brazing. When the work in the heating chamber A is completed, the sluice valve 4a on the unloading chamber c side is opened, the carrier frame 8 loaded with the sluice valve 4a is transferred to the unloading chamber c by the transfer means, and the brazed object 7 is removed from the unloading chamber c After being replaced with air, it is transported to the outside.

【0017】本実施例によると加熱室A内でMgトラッ
プ機構5a、5bだけが400℃以下に保持されている
のでMgは加熱室A内の各構成物に付着することがな
く、Mgの除去作業もMgトラップ機構5a、5bだけ
に行なえばよいので、除去作業の大巾な短縮ができる。
また、従来技術で上述したような放電事故、シール不良
事故をなくすことができる。
According to the present embodiment, since only the Mg trap mechanisms 5a and 5b are kept at 400 ° C. or lower in the heating chamber A, Mg does not adhere to each constituent in the heating chamber A and the Mg is removed. Since the work may be performed only on the Mg trap mechanisms 5a and 5b, the removal work can be greatly shortened.
In addition, it is possible to eliminate the discharge accident and the seal failure accident described above in the related art.

【0018】図3〜図5は本発明の第2実施例を示す
が、第1実施例と同じ箇所については同じ符号を付し、
またその詳細な説明を省略する。
3 to 5 show a second embodiment of the present invention, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals,
Also, detailed description thereof is omitted.

【0019】 図3で示すように真空ろう付け装置のト
ラップ領域2a、2bの側壁にはMgトラップ機構1
9、20が設けられている。Mgトラップ機構19、2
0は同一構成であるので予熱室B側のMgトラップ機構
20で説明すると、図4で示すようにMgトラップ機構
20において本実施例の冷却用平板60は複数の平板パ
ネル61からなるが、各々の背面には蛇行した冷却媒体
循環用パイプ21が取りつけられており、冷却媒体循環
用パイプ21内の冷却水の供給部21aから冷却媒体循
環用パイプ21の配設ルート22に沿って冷却水の排出
部21bへと流れ、冷却用平板60を冷却する。これに
より、冷却用平板60は400℃以下の所望の温度に設
定できる。図5で示すように冷却媒体循環用パイプ21
は冷却水の供給部21aで平板パネル61面の後方に屈
曲するように配設され、炉室外部より冷却水を供給する
ためのポート26内を通ってシールポート27に貫通さ
れており、水接続部30で着脱可能となっている。シー
ルポート27はねじ溝の切られているキャップ33を締
めつけることによりOリング28とシール機構29とが
密着して気密となり、ポート26とシールポート27の
結合部はフランジ部31aのボルト32を締めつけるこ
とにより、シール部材31でシールされるので大気から
密閉されて加熱室A内は気密となる。一方、説明は省略
するが冷却水の排出部21b供給部21aと同じ構成
となっている。各平板パネル61の上端部61aと下端
部61bはL形となっており、その上端部61aはトラ
ップ領域2bの内側壁25に取りつけられているフック
23に吊掛けられるようにしてあり、その下端部61b
はガスケット24を着脱可能に下方の平板パネル61の
上端部61aとで挟着できるようになっている。
As shown in FIG. 3, the Mg trap mechanism 1 is provided on the side walls of the trap regions 2 a and 2 b of the vacuum brazing apparatus.
9 and 20 are provided. Mg trap mechanism 19, 2
Since 0 has the same configuration, the Mg trap mechanism 20 on the side of the preheating chamber B will be described. As shown in FIG. 4, in the Mg trap mechanism 20, the cooling flat plate 60 of this embodiment is composed of a plurality of flat plate panels 61. A meandering cooling medium circulating pipe 21 is attached to the back surface of the cooling medium circulating pipe 21 from the cooling water supplying portion 21a in the cooling medium circulating pipe 21 along the arrangement route 22 of the cooling medium circulating pipe 21. It flows to the discharge part 21b and cools the cooling flat plate 60. Thereby, the cooling flat plate 60 can be set to a desired temperature of 400 ° C. or lower. As shown in FIG. 5, the cooling medium circulation pipe 21
Is arranged in the cooling water supply portion 21a so as to be bent backward of the surface of the flat panel 61, passes through the inside of the port 26 for supplying the cooling water from the outside of the furnace chamber, and penetrates into the seal port 27. It is detachable at the connection part 30. In the seal port 27, the O-ring 28 and the seal mechanism 29 are brought into close contact with each other to be airtight by tightening the cap 33 having the thread groove, and the joint between the port 26 and the seal port 27 is tightened with the bolt 32 of the flange portion 31a. As a result, since the seal member 31 is used for sealing, the inside of the heating chamber A is hermetically sealed from the atmosphere. On the other hand, although not described, the cooling water discharge part 21b has the same configuration as the supply part 21a . The upper end portion 61a and the lower end portion 61b of each flat panel 61 are L-shaped, and the upper end portion 61a is adapted to be hung on the hook 23 attached to the inner side wall 25 of the trap area 2b, and the lower end thereof. Part 61b
The gasket 24 is detachably attachable to the upper end portion 61a of the lower flat panel 61.

【0020】 本発明の第2実施例は以上のように構成
されるが、本実施例ではMgトラップ機構20の各平板
パネル61の上端部61aがフック23に吊掛けるよう
にし、その下端部61bはガスケット24を着脱可能に
挟着してあるだけなので、水接続部30で冷却媒体循環
用パイプ21を外し、ボルト32とキャップ33を外す
ことで、シールポート27は冷却媒体循環用パイプ21
から抜くことができるので冷却用平板60は冷却媒体循
環用パイプ21と共に容易に炉内で取り出すことがで
き、特に室内でのMgの除去作業に発火性が伴う場合は
室外で除去作業ができるという安全性向上という大きな
効果を有する。また、ガスケット24があるためにMg
トラップ機構20の背面へのMgの回り込みも防ぐこと
ができる。勿論、Mgの捕獲については第1実施例と同
様の効果を有する。
The second embodiment of the present invention is configured as described above, but in the present embodiment, the upper end portion 61a of each flat panel 61 of the Mg trap mechanism 20 is hung on the hook 23 and the lower end portion 61b thereof. Since the gasket 24 is only detachably sandwiched, the cooling medium circulation pipe 21 is removed at the water connection portion 30, and the bolt 32 and the cap 33 are removed, so that the seal port 27 becomes the cooling medium circulation pipe 21.
It is possible to pull out from the cooling flat plates 60 a cooling medium循
It can be taken out easily in the furnace together with the ring pipe 21 , and particularly when the indoor Mg removal work involves ignitability, the removal work can be performed outdoors, which is a great improvement in safety. In addition, since the gasket 24 is present, Mg
It is also possible to prevent Mg from flowing around to the back surface of the trap mechanism 20. Of course, the same effect as in the first embodiment can be obtained with respect to the capture of Mg.

【0021】図6は本発明の第3実施例を示す。本実施
例は第2実施例と同様にトラップ領域の側壁に平板パネ
ルが吊掛け式となっているのであるが、第2実施例と異
なる部分のみ説明する。
FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a flat panel is hung on the side wall of the trap region as in the second embodiment, but only the parts different from the second embodiment will be described.

【0022】図6に示すようにトラップ領域2bの側壁
35には平板パネル39を吊掛けるためのフック38と
冷却媒体循環用パイプ36とが設けられており、冷却媒
体循環用パイプ36はその表面の一部を均一にトラップ
領域2bに突出するように側壁35に埋設されている。
平板パネル39はフック38に吊掛けられたときに、そ
の冷却媒体循環用パイプ36の突出面の全体に接触する
ように切欠34が設けられており、その上端部39aは
L形に加工されているので、容易にフック38に吊掛け
ることができ、その下端部39aは着脱可能なガスケッ
ト37を挟着することにより取りつけられる。なお、冷
却媒体循環用パイプ36は第2実施例と同様に側壁35
を介して外部から冷却水の循環、すなわち供給、排水が
行なわれるものとし、側壁35は冷却媒体循環用パイプ
36が有効に平板パネル39を400℃以下の所望の温
度に冷却できるように煉瓦等の断熱材が使用されてい
る。
As shown in FIG. 6, a hook 38 for hanging a flat panel 39 and a cooling medium circulation pipe 36 are provided on the side wall 35 of the trap area 2b, and the cooling medium circulation pipe 36 has its surface. Is partially embedded in the side wall 35 so as to uniformly project into the trap region 2b.
The flat panel 39 is provided with a notch 34 so as to come into contact with the entire protruding surface of the cooling medium circulation pipe 36 when it is hung on the hook 38, and its upper end 39a is processed into an L shape. Since it is present, it can be easily hung on the hook 38, and its lower end portion 39a is attached by sandwiching a removable gasket 37. The cooling medium circulation pipe 36 is provided on the side wall 35 as in the second embodiment.
It is assumed that cooling water is circulated, that is, supplied and drained from the outside through the side wall 35. The side wall 35 is made of brick or the like so that the cooling medium circulation pipe 36 can effectively cool the flat panel 39 to a desired temperature of 400 ° C. or less. Insulation is used.

【0023】本発明の第3実施例は以上のように構成さ
れるが、本実施例は冷却媒体循環用パイプ36と平板パ
ネル39との当接部分が大きいため、平板パネル39の
冷却効率もよく、冷却媒体循環用パイプ36が平板パネ
ル39に取りつけられておらず、且つ平板パネル39は
フック38に吊掛け式となっているのでガスケット37
を取り外せば、容易に側壁35から外すことができ、M
gの除去作業は平板パネル39だけでよいので、大巾な
作業時間の短縮となる。Mgの捕獲効率について第1実
施例と同様の効果を有する。
The third embodiment of the present invention is constructed as described above, but since the contact portion between the cooling medium circulating pipe 36 and the flat panel 39 is large in this embodiment, the cooling efficiency of the flat panel 39 is also improved. Well, since the cooling medium circulation pipe 36 is not attached to the flat panel 39, and the flat panel 39 is hung on the hook 38, the gasket 37 is used.
Can be easily removed from the side wall 35 by removing
Since the work of removing g is performed only by the flat panel 39, the work time is greatly shortened. The trapping efficiency of Mg has the same effect as that of the first embodiment.

【0024】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
Although the respective embodiments of the present invention have been described above, needless to say, the present invention is not limited to these and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.

【0025】 例えば、以上の実施例ではMgトラップ
機構を加熱室の両端部に2箇所設けたが、2箇所と限定
しなくてもよい。また、バッチ式のろう付け炉に適用し
てもよく、端部レフレクター6a、6bは途切れた環状
であってもよいし、端部レフレクターとキャリア内レフ
レクターの各レフレクター手段を設けたが、どちらか1
つを省略してもよい。また、冷却媒体は水でなくともよ
いし、Mgトラップをジャケット式の水冷マグネトラッ
プとしてもよい。
For example, in the above embodiment, the Mg trap mechanism was provided at two locations on both ends of the heating chamber, but it is limited to two locations.
You don't have to. Further, it may be applied to a batch type brazing furnace, and the end reflectors 6a and 6b may have a discontinuous annular shape, or each of the end reflectors and the in-carrier reflectors may be provided. 1
One may be omitted. Further, the cooling medium may not be water, and the Mg trap may be a jacket-type water-cooled magnet trap.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明の真空ろう付装置によれば、加熱
ヒータ領域に隣接してMgトラップ機構を設け、且つ熱
のレフレクター手段を介在させているので、蒸発したM
gを限定して飛躍的に効率よく捕獲することができ、真
空槽内の内壁面や構成物にMgが付着することにより発
生したトラブルをなくすことができる。また、保守、点
検の回数を少なくできるので、装置稼働率を従来より一
段と向上させることができ、ランニングコストも大巾に
低下させることができる。
According to the vacuum brazing apparatus of the present invention, since the Mg trap mechanism is provided adjacent to the heater region and the heat reflector means is interposed, the evaporated M
It is possible to capture g remarkably and efficiently by limiting g, and it is possible to eliminate the trouble caused by Mg adhering to the inner wall surface and components in the vacuum chamber. Further, since the number of maintenance and inspections can be reduced, it is possible to further improve the operation rate of the apparatus and to significantly reduce the running cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例にかかる連続炉における真
空ろう付け装置の主要部分の概略縦断面図である。
FIG. 1 is a schematic vertical sectional view of a main part of a vacuum brazing apparatus in a continuous furnace according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1における[2]−[2]線方向の詳細断面
図である。
FIG. 2 is a detailed sectional view taken along line [2]-[2] in FIG.

【図3】本発明の第2実施例にかかる連続炉における真
空ろう付装置の主要部分の概略縦断面図である。
FIG. 3 is a schematic vertical sectional view of a main part of a vacuum brazing device in a continuous furnace according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 図3における真空ろう付装置の予熱室側に位
置するトラップ領域付近の拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a trap region located on the preheating chamber side of the vacuum brazing device in FIG.

【図5】図4における[5]−[5]線方向の拡大断面
図である。
5 is an enlarged cross-sectional view taken along the line [5]-[5] in FIG.

【図6】本発明の第3実施例による真空ろう付装置にお
けるトラップ領域の要部の部分側面図である。
FIG. 6 is a partial side view of a main part of a trap region in a vacuum brazing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図7】従来例の真空ろう付装置の概略縦断面図であ
る。
FIG. 7 is a schematic vertical sectional view of a conventional vacuum brazing apparatus.

【図8】他の従来例による真空ろう付装置の概略縦断面
図である。
FIG. 8 is a schematic vertical sectional view of a vacuum brazing apparatus according to another conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 加熱ヒータ領域 2a トラップ領域 2b トラップ領域 3a ヒータ 3a’ ヒータ 3b ヒータ 3b’ ヒータ 3c ヒータ 3c’ ヒータ 5a Mgトラップ機構 5b Mgトラップ機構 6a 端部レフレクター 6b 端部レフレクター 9a キャリア内レフレクター 9b キャリア内レフレクター 10a 冷却媒体循環用パイプ 10b 冷却媒体循環用パイプ 19 Mgトラップ機構 20 Mgトラップ機構 21 冷却媒体循環用パイプ 23 フック 36 冷却媒体循環用パイプ 38 フックDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 heating heater area 2a trap area 2b trap area 3a heater 3a ' heater 3b heater 3b' heater 3c heater 3c ' heater 5a Mg trap mechanism 5b Mg trap mechanism 6a end reflector 6b end reflector 9a carrier inside reflector 9b carrier inside reflector 10a Cooling medium circulation pipe 10b Cooling medium circulation pipe 19 Mg trap mechanism 20 Mg trap mechanism 21 Cooling medium circulation pipe 23 Hook 36 Cooling medium circulation pipe 38 Hook

フロントページの続き (72)発明者 水垣 佳士 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 加藤 丈夫 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 中塚 篤 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 安沢 靖男 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−199071(JP,A) 特開 昭55−33881(JP,A) 実開 昭62−118671(JP,U) 実開 昭63−127766(JP,U)Front page continued (72) Inventor Yoshishi Mizugaki, 1-1, Showa-cho, Kariya city, Aichi Prefecture, Nihon Denso Co., Ltd. (72) Inventor Takeo Kato, 2500 Hagien, Chigasaki-shi, Kanagawa Nihon Vacuum Technology Co., Ltd. (72 ) Inventor Atsushi Nakatsuka 2500 Hagizono, Chigasaki, Kanagawa Japan Vacuum Technology Co., Ltd. (72) Inventor Yasuo Yasawa 2500, Hagien, Chigasaki City, Kanagawa Japan Vacuum Technology Co., Ltd. (56) Reference JP 61-199071 ( JP, A) JP 55-33881 (JP, A) Actually opened 62-118671 (JP, U) Actually opened 63-127766 (JP, U)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ろう材を装着させた被ろう付物を真空排
気した加熱室内 で加熱することにより該被ろう付物をろ
う付するようにした真空ろう付装置において、前記加熱
室に被ろう付物 の移動の妨げにならないように設けた熱
のレフレクター 手段により該加熱室を加熱ヒータ領域と
少なくともその 両端部のトラップ領域とに分けると共
に、該トラップ領 域に冷却媒体で400℃以下に冷却さ
れる冷却面を有するMgトラップ機構を設けたことを特
徴とする真空ろう付装置。
1. A vacuum exhaustion of a brazed object to which a brazing material is attached.
The device with vacuum brazing which is adapted to brazing the該被brazing material by heating in a gas the heating chamber, the heating
Heat provided in the room so as not to hinder the movement of the brazed objects
The heating chamber as a heater region by the reflector means of
If it is divided into at least the trap areas at both ends,
The cooling of the 400 ° C. or less at a cooling medium to the trap area
An apparatus for vacuum brazing, characterized in that a Mg trap mechanism having a cooling surface is provided.
【請求項2】 前記熱のレフレクター手段は、前記加熱
ヒータ領域と前 記トラップ領域との間の前記加熱室の内
壁に設けられた 環状の端部レフレクターと前記被ろう
付物を搬送するためのキャリアフレームの端部に設けら
れたキャリア内レフレクターとから成る請求項1に記載
の真空ろう付装置。
2. The heat reflector means comprises means for heating the
Among the heating chamber between the heater region and before Symbol trap region
The vacuum brazing apparatus according to claim 1 , comprising an annular end reflector provided on a wall and an in- carrier reflector provided at an end of a carrier frame for carrying the object to be brazed.
【請求項3】 前記冷却面を有するMgトラップ機構は
冷却用平板と、 該平板に近接されて設けられた冷却媒体
循環用パイプと から成る請求項1又は請求項2に記載の
真空ろう付装置
3. A Mg trap mechanism having the cooling surface
Cooling flat plate and cooling medium provided close to the flat plate
A pipe for circulation according to claim 1 or 2.
Vacuum brazing device .
【請求項4】 前記冷却用平板は複数の平板部材から成
り、前記加熱室 の内壁面に設けたフックに各々着脱自在
である請求項3 に記載の真空ろう付装置。
4. The cooling flat plate is composed of a plurality of flat plate members.
Detachable from the hooks on the inner wall of the heating chamber
The vacuum brazing apparatus according to claim 3 , wherein
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