JPH07119588B2 - 磁気ディスクの表面性状検査装置 - Google Patents
磁気ディスクの表面性状検査装置Info
- Publication number
- JPH07119588B2 JPH07119588B2 JP1110733A JP11073389A JPH07119588B2 JP H07119588 B2 JPH07119588 B2 JP H07119588B2 JP 1110733 A JP1110733 A JP 1110733A JP 11073389 A JP11073389 A JP 11073389A JP H07119588 B2 JPH07119588 B2 JP H07119588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- value
- stored
- reflection state
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、磁気ディスクの表面性状を連続的に監視検
査する装置に係り、レーザー光を用いて所要角度で照射
し、ディスク表面での反射が表面粗度に応じて変化する
のを受光素子で把握して記憶することにより、相対値あ
るいは絶対値比較にてディスク表面の部分的な欠陥を検
出し、耐久テスト等の磁気ヘッドが接触した状態で検査
できる磁気ディスクの表面性状検査装置に関する。
査する装置に係り、レーザー光を用いて所要角度で照射
し、ディスク表面での反射が表面粗度に応じて変化する
のを受光素子で把握して記憶することにより、相対値あ
るいは絶対値比較にてディスク表面の部分的な欠陥を検
出し、耐久テスト等の磁気ヘッドが接触した状態で検査
できる磁気ディスクの表面性状検査装置に関する。
背景技術 磁気ディスクは、今日の高度に発達したコンピューター
の外部記憶装置として多用されており、小型化、大容量
化、高速化の要求から、薄膜磁気ヘッドが開発されて微
小間隔での浮上が不可欠となり、磁気ディスクのより一
層の高性能化、すなわち、ディスク表面の成膜状態の無
欠陥性、耐摩耗性の向上が求められている。
の外部記憶装置として多用されており、小型化、大容量
化、高速化の要求から、薄膜磁気ヘッドが開発されて微
小間隔での浮上が不可欠となり、磁気ディスクのより一
層の高性能化、すなわち、ディスク表面の成膜状態の無
欠陥性、耐摩耗性の向上が求められている。
磁気ディスクの検査には、一般的な磁気特性の検査測定
のほか、摩耗試験として摺動テスト、CSS（Contact Sta
rt Stop）テストなどがあり、磁気ディスクの表面性状
を検査するには光学顕微鏡や電子顕微鏡写真が用いら
れ、また、CSSテスト後の磁気ヘッドの付着物を検査す
るのに、EPMA等を用いて分析されていた。
のほか、摩耗試験として摺動テスト、CSS（Contact Sta
rt Stop）テストなどがあり、磁気ディスクの表面性状
を検査するには光学顕微鏡や電子顕微鏡写真が用いら
れ、また、CSSテスト後の磁気ヘッドの付着物を検査す
るのに、EPMA等を用いて分析されていた。
例えば、CSSテスト後に磁気ディスクと磁気ヘッドの表
面の変化を検査するには、前記の電子顕微鏡写真、EPMA
分析による付着物の調査が行われるが、解析に多大の工
程と時間を要し、磁気ディスク表面の欠陥箇所の特定が
困難であり、また、これは所要回数の磁気ヘッドの摺動
を完了した後の状態しか把握できず、経時変化を連続的
に捉えることができない問題があった。
面の変化を検査するには、前記の電子顕微鏡写真、EPMA
分析による付着物の調査が行われるが、解析に多大の工
程と時間を要し、磁気ディスク表面の欠陥箇所の特定が
困難であり、また、これは所要回数の磁気ヘッドの摺動
を完了した後の状態しか把握できず、経時変化を連続的
に捉えることができない問題があった。
そこで、CSSテスト時に磁気ヘッドとディスクとの間の
摺動ノイズをAE（Acoustic Emission）センサーにて検
出し、磁気ディスクの表面性状の変化を把握する試みも
なされている。
摺動ノイズをAE（Acoustic Emission）センサーにて検
出し、磁気ディスクの表面性状の変化を把握する試みも
なされている。
AEセンサーの併用は、CSSテストにおける磁気ヘッド材
質と磁気ディスク表面膜材質の違いやテスト回数による
摺動状態変化などを把握するのには好適であるが、経時
変化を連続的に、また磁気ディスク表面の欠陥箇所の状
態変化を把握するには不適である。
質と磁気ディスク表面膜材質の違いやテスト回数による
摺動状態変化などを把握するのには好適であるが、経時
変化を連続的に、また磁気ディスク表面の欠陥箇所の状
態変化を把握するには不適である。
一般に、磁気ディスクとスライダー表面間の摺動状態と
表面欠陥の状態変化は必ずしも一致しないことが知られ
ており、特に、従来の検査方法や装置では、表面性状検
査とCSSテストなどを同時に実施することができないた
め、検査時に総合的に判断できず、磁気ディスク表面の
欠陥状態変化を把握することが困難であり、さらには検
査時にリアルタイムに欠陥箇所の表示ができない問題が
あった。
表面欠陥の状態変化は必ずしも一致しないことが知られ
ており、特に、従来の検査方法や装置では、表面性状検
査とCSSテストなどを同時に実施することができないた
め、検査時に総合的に判断できず、磁気ディスク表面の
欠陥状態変化を把握することが困難であり、さらには検
査時にリアルタイムに欠陥箇所の表示ができない問題が
あった。
発明の目的 この発明は、磁気ディスクの表面性状検査において、CS
Sテストまたは表面摩擦力測定テストの磁気ヘッドが接
触している際に、同時に表面性状検査を実施でき、例え
ば、磁気ディスク表面の所要トラックの所定箇所の摩耗
試験結果、摩擦力の測定結果、表面性状を同時に総合的
に連続的に評価でき、表面欠陥箇所の特定が容易にでき
る磁気ディスクの表面性状検査装置の提供を目的として
いる。
Sテストまたは表面摩擦力測定テストの磁気ヘッドが接
触している際に、同時に表面性状検査を実施でき、例え
ば、磁気ディスク表面の所要トラックの所定箇所の摩耗
試験結果、摩擦力の測定結果、表面性状を同時に総合的
に連続的に評価でき、表面欠陥箇所の特定が容易にでき
る磁気ディスクの表面性状検査装置の提供を目的として
いる。
発明の概要 この発明は、 磁気ヘッドスライダーを備えたCSSテスト装置あるいは
表面の摩擦力を測定する摩擦力測定テスト装置からなる
磁気ディスク回転駆動において、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定装
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ヘッドスライダーにAEセンサーを付設して磁気ディスク
上の各位置でのCSSテスト時のAEセンサーのノイズ値、
あるいは磁気ディスク上の各位置での摩擦力値と、上記
のレーザー光の乱反射状態値とを比較して異常値を検出
し、かつその位置を表示するための比較演算手段を有す
ることを特徴とする磁気ディスクの表面性状検査装置で
ある。
表面の摩擦力を測定する摩擦力測定テスト装置からなる
磁気ディスク回転駆動において、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定装
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ヘッドスライダーにAEセンサーを付設して磁気ディスク
上の各位置でのCSSテスト時のAEセンサーのノイズ値、
あるいは磁気ディスク上の各位置での摩擦力値と、上記
のレーザー光の乱反射状態値とを比較して異常値を検出
し、かつその位置を表示するための比較演算手段を有す
ることを特徴とする磁気ディスクの表面性状検査装置で
ある。
発明の構成 この発明は、磁気ヘッドスライダーが当接したトラック
上の磁気ディスク面に、レーザー光を入射角５〜30゜の
角度で、該トラック上の測定点に照射すると、測定点の
表面粗度に応じて反射方向が変化し乱反射が起こるの
を、前記測定点直上近傍に配置された１個以上のフォト
セルなどの受光素子により、各受光素子に入射する反射
光量の変化として捉え、反射光量の変化より、磁気ディ
スク表面粗度の変化の割合を検出したり、あるいは急激
な反射光量の変化より、薄膜の剥離や脱落などの部分的
な欠陥の検出を行う装置において、磁気ヘッドが接触し
た状態で、磁気ディスクの表面性状を連続的に監視検査
できることを特徴とし、例えば、各測定点での受光素子
に入射する反射光量の変化と、CSSテスト時のAEセンサ
ーのノイズ値、あるいは摩擦力測定値と比較検討して、
磁気ディスクの表面性状を総合的にかつ相対的に判断で
きる検査装置である。
上の磁気ディスク面に、レーザー光を入射角５〜30゜の
角度で、該トラック上の測定点に照射すると、測定点の
表面粗度に応じて反射方向が変化し乱反射が起こるの
を、前記測定点直上近傍に配置された１個以上のフォト
セルなどの受光素子により、各受光素子に入射する反射
光量の変化として捉え、反射光量の変化より、磁気ディ
スク表面粗度の変化の割合を検出したり、あるいは急激
な反射光量の変化より、薄膜の剥離や脱落などの部分的
な欠陥の検出を行う装置において、磁気ヘッドが接触し
た状態で、磁気ディスクの表面性状を連続的に監視検査
できることを特徴とし、例えば、各測定点での受光素子
に入射する反射光量の変化と、CSSテスト時のAEセンサ
ーのノイズ値、あるいは摩擦力測定値と比較検討して、
磁気ディスクの表面性状を総合的にかつ相対的に判断で
きる検査装置である。
この発明において、レーザー装置は、磁気ヘッドスライ
ダーが接触している磁気ディスク表面のトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度となるようにレーザー光を
発射できる構成が必要であり、例えば、レーザーの照射
部が所定角度傾斜して、レーザー装置が磁気ヘッドスラ
イダーと同期してスライダーの他方のレール面と接触す
るディスク摺動面上へ移動する構成、他方の摺動面上へ
同時に照射できるよう複数の照射部と受光素子を有する
構成など、種々の構成が利用できる。
ダーが接触している磁気ディスク表面のトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度となるようにレーザー光を
発射できる構成が必要であり、例えば、レーザーの照射
部が所定角度傾斜して、レーザー装置が磁気ヘッドスラ
イダーと同期してスライダーの他方のレール面と接触す
るディスク摺動面上へ移動する構成、他方の摺動面上へ
同時に照射できるよう複数の照射部と受光素子を有する
構成など、種々の構成が利用できる。
この発明において、受光素子は、測定位置のレーザー光
の乱反射状態を感知するものであり、測定位置の上方に
１個以上の受光素子を配置し、レーザー装置の移動に伴
い所要のトラックの測定点へ移動できるよう構成するの
もよい。
の乱反射状態を感知するものであり、測定位置の上方に
１個以上の受光素子を配置し、レーザー装置の移動に伴
い所要のトラックの測定点へ移動できるよう構成するの
もよい。
受光素子の配置は、測定位置のレーザー光の乱反射状態
が各受光素子に入射する反射光量の変化として定量的に
捕捉できる必要があり、レーザー装置のレーザー種や強
度、照射角度に応じて適宜する必要がある。
が各受光素子に入射する反射光量の変化として定量的に
捕捉できる必要があり、レーザー装置のレーザー種や強
度、照射角度に応じて適宜する必要がある。
また、この発明において、各測定位置のレーザー光の乱
反射状態を記憶する記憶手段は、所要位置に配置された
ｎ個の受光素子（x1〜xn）のどの位置の素子に入射した
かを記憶するほか、このアナログデータをデジタル変換
して、ｎ個の受光素子のレーザー光の入射の有無及びそ
の強度を数値化して記憶するとよく、コンピューターの
内部メモリーあるいは外部記憶装置に記憶、蓄積すれば
よい。
反射状態を記憶する記憶手段は、所要位置に配置された
ｎ個の受光素子（x1〜xn）のどの位置の素子に入射した
かを記憶するほか、このアナログデータをデジタル変換
して、ｎ個の受光素子のレーザー光の入射の有無及びそ
の強度を数値化して記憶するとよく、コンピューターの
内部メモリーあるいは外部記憶装置に記憶、蓄積すれば
よい。
また、各測定位置の位置検出手段は、例えば、現在、磁
気ヘッドスライダーが接触している半径方向のトラック
位置の検出と、予め磁気ディスクの１回転を所要角度で
分割し、公知の回転角度検出器でその一定角度を検知し
カウントすることにより、トラック位置と回転角度で磁
気ディスク上の位置を特定でき、この信号をレーザー光
の乱反射状態の記憶に際して各測定位置の位置信号とし
て記憶手段に記憶させる。
気ヘッドスライダーが接触している半径方向のトラック
位置の検出と、予め磁気ディスクの１回転を所要角度で
分割し、公知の回転角度検出器でその一定角度を検知し
カウントすることにより、トラック位置と回転角度で磁
気ディスク上の位置を特定でき、この信号をレーザー光
の乱反射状態の記憶に際して各測定位置の位置信号とし
て記憶手段に記憶させる。
前記の磁気ディスクの回転角度検出器は、例えば、CSS
テストのための磁気ディスクの回転駆動制御装置、磁気
ヘッドフライダーの制御装置等と組み合せて、同一の制
御系内に取り入れることもできる。
テストのための磁気ディスクの回転駆動制御装置、磁気
ヘッドフライダーの制御装置等と組み合せて、同一の制
御系内に取り入れることもできる。
さらに、この発明において、比較演算手段は、今回記憶
された１測定位置あるいはあるトラック全周の乱反射状
態値を、記憶している前回記憶された当該状態値、ある
いは予め演算した前回までの複数回数の平均値または設
定した所要値と比較し、異常値あるいは偏差値として検
出し、記憶した各測定位置の位置信号とともに表示する
機能を有する。
された１測定位置あるいはあるトラック全周の乱反射状
態値を、記憶している前回記憶された当該状態値、ある
いは予め演算した前回までの複数回数の平均値または設
定した所要値と比較し、異常値あるいは偏差値として検
出し、記憶した各測定位置の位置信号とともに表示する
機能を有する。
図面に基づく発明の開示 第１図a,b図は磁気ディスクと磁気ヘッドスライダー及
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。
第２図はCSSテスト装置からなる磁気ディスク回転駆動
制御装置を示すブロック図である。
制御装置を示すブロック図である。
第３図はこの発明の受光素子、記憶手段、比較演算手段
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
ここでは、CSSテスト装置にAEセンサーを設けた磁気デ
ィスクの回転駆動制御装置に、レーザー装置を組合わせ
た磁気ディスクの表面性状検査装置の例を説明する。
ィスクの回転駆動制御装置に、レーザー装置を組合わせ
た磁気ディスクの表面性状検査装置の例を説明する。
構成 磁気ディスク（１）はディスク駆動装置（２）にクラン
プされて回転駆動され、磁気ディスク（１）面にはスラ
イダー駆動制御装置（４）にディスク半径方向の移動を
制御された磁気ヘッドスライダー（３）が接触してい
る。
プされて回転駆動され、磁気ディスク（１）面にはスラ
イダー駆動制御装置（４）にディスク半径方向の移動を
制御された磁気ヘッドスライダー（３）が接触してい
る。
さらに、磁気ヘッドスライダー（３）にはAEセンサー
（５）が接続され、検知したスライダーとディスク間の
ノイズは、アンプ（６）で増幅されて記録装置（７）に
入力される。
（５）が接続され、検知したスライダーとディスク間の
ノイズは、アンプ（６）で増幅されて記録装置（７）に
入力される。
また、ディスク駆動装置（２）には、CSSテストが実施
できるよう回転駆動を制御するCSS制御装置（８）が接
続され、付設する回転角度検出器（９）にて磁気ディス
ク（１）の回転角度が監視される。
できるよう回転駆動を制御するCSS制御装置（８）が接
続され、付設する回転角度検出器（９）にて磁気ディス
ク（１）の回転角度が監視される。
レーザー装置（10）は、測定位置表面にレーザー光が所
定入射角度となるようにレーザー照射部が所定角度傾斜
しており、装置全体が磁気ヘッドスライダー（３）と同
期して同一トラック上へ移動させるのもよい。
定入射角度となるようにレーザー照射部が所定角度傾斜
しており、装置全体が磁気ヘッドスライダー（３）と同
期して同一トラック上へ移動させるのもよい。
測定位置のレーザー光の乱反射状態を感知するため、レ
ーザー装置（10）からの支持アーム（図示せず）に、ｎ
個の受光素子（111〜11n）が所要位置に配置されてい
る。
ーザー装置（10）からの支持アーム（図示せず）に、ｎ
個の受光素子（111〜11n）が所要位置に配置されてい
る。
作用 第１図a,b図に示す如く、磁気ディスク（１）上の磁気
ヘッドスライダー（３）が接触しているトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度で照射されたレーザー光
は、表面粗度に応じて乱反射を起こし、反射光が複数の
受光素子（111〜11n）に入射する。
ヘッドスライダー（３）が接触しているトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度で照射されたレーザー光
は、表面粗度に応じて乱反射を起こし、反射光が複数の
受光素子（111〜11n）に入射する。
第３図において、受光素子（111〜11n）での光感知の度
合いに応じた信号は、アンプ（12）で増幅されてA/D変
換器（13）でデジタル信号に変換され、記憶装置（14）
に最新の測定値として記憶され、同時にスライダー駆動
制御装置（４）と回転角度検出器（９）からの位置信号
も合わせて記憶される。
合いに応じた信号は、アンプ（12）で増幅されてA/D変
換器（13）でデジタル信号に変換され、記憶装置（14）
に最新の測定値として記憶され、同時にスライダー駆動
制御装置（４）と回転角度検出器（９）からの位置信号
も合わせて記憶される。
この測定を繰り返して、トラック全周の乱反射状態値を
記憶する。
記憶する。
記憶装置（14）内の測定データは、比較演算装置（15）
にて、最新の記憶された１測定位置あるいはあるトラッ
ク全周の乱反射状態値として、前回記憶された当該状態
値、あるいは予め演算した前回までの複数回数の乱反射
状態値の平均値、または別途設定した所望値と比較し、
異常値あるいは偏差値として検出し、記憶した各測定位
置の位置信号とともに表示装置（16）に出力する。
にて、最新の記憶された１測定位置あるいはあるトラッ
ク全周の乱反射状態値として、前回記憶された当該状態
値、あるいは予め演算した前回までの複数回数の乱反射
状態値の平均値、または別途設定した所望値と比較し、
異常値あるいは偏差値として検出し、記憶した各測定位
置の位置信号とともに表示装置（16）に出力する。
また、比較演算装置（15）で、AEセンサー（５）の記録
装置（７）からのAEセンサーデータや、別途入力された
CSSテストデータと比較対照して測定位置の位置信号と
ともに表示装置（16）に出力する。
装置（７）からのAEセンサーデータや、別途入力された
CSSテストデータと比較対照して測定位置の位置信号と
ともに表示装置（16）に出力する。
実 施 例 材質Al2O3−TiC系、IBM3380（商品名）タイプの磁気ヘ
ッドスライダー備えた磁気ディスクCSSテスト装置にお
いて、125prmにて回転する材質Al、寸法5 1/4インチの
磁気ディスク表面に、前記スライダーをばね荷重9.5gに
て接触させた前記ディスクのトラック上の所定測定位置
に、入射角度15゜、He−Neレーザー光を発射し、前記測
定位置のレーザー光の乱反射状態を、測定位置の磁気デ
ィスク表面直上に配置された１個のフォトセルにより受
光し、乱反射状態を関知した。
ッドスライダー備えた磁気ディスクCSSテスト装置にお
いて、125prmにて回転する材質Al、寸法5 1/4インチの
磁気ディスク表面に、前記スライダーをばね荷重9.5gに
て接触させた前記ディスクのトラック上の所定測定位置
に、入射角度15゜、He−Neレーザー光を発射し、前記測
定位置のレーザー光の乱反射状態を、測定位置の磁気デ
ィスク表面直上に配置された１個のフォトセルにより受
光し、乱反射状態を関知した。
光感知の度合いに応じたフォトセルの信号は、アンプと
A/D変換器を介して記憶装置に最新の測定値として記憶
した。
A/D変換器を介して記憶装置に最新の測定値として記憶
した。
同時に、磁気ディスクの１回転を分割角度0.35゜で1024
に分割した時の位置を検出する回転角度検出器とスライ
ダー駆動制御装置からの位置信号を合わせて記憶した。
に分割した時の位置を検出する回転角度検出器とスライ
ダー駆動制御装置からの位置信号を合わせて記憶した。
前記測定を繰り返して、トラック全周の乱反射状態値を
記憶した。
記憶した。
記憶装置内の測定データは、比較演算装置にて、最新の
記憶された１測定位置とトラック全周の乱反射状態値と
して、前回記憶された当該状態値、前回までに記憶され
て演算された乱反射状態平均値と比較し、異常値あるい
は偏差値として検出し、記憶した各測定位置の位置信号
とともに表示装置に出力した。
記憶された１測定位置とトラック全周の乱反射状態値と
して、前回記憶された当該状態値、前回までに記憶され
て演算された乱反射状態平均値と比較し、異常値あるい
は偏差値として検出し、記憶した各測定位置の位置信号
とともに表示装置に出力した。
その結果、磁気ディスク表面の所要トラックの所定箇所
の摩耗試験において、同時に表面性状を総合的に連続的
に評価でき、摩耗試験後の薄膜の剥離や脱落のなどの部
分的な表面欠陥箇所の特定ができた。
の摩耗試験において、同時に表面性状を総合的に連続的
に評価でき、摩耗試験後の薄膜の剥離や脱落のなどの部
分的な表面欠陥箇所の特定ができた。
第１図a,b図は磁気ディスクと磁気ヘッドスライダー及
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。 第２図はCSSテスト装置からなる磁気ディスク回転駆動
制御装置を示すブロック図である。 第３図はこの発明の受光素子、記憶手段、比較演算手段
を示すブロック図である。 １……磁気ディスク、２……ディスク駆動装置、３……
磁気ヘッドスライダー、４……スライダー駆動制御装
置、５……AEセンサー、６……アンプ、７……記録装
置、８……CSS制御装置、９……回転角度検出器、10…
…レーザー装置、11……受光素子、12……アンプ、13…
…A/D変換器、14……記憶装置、15……比較演算装置、1
6……表示装置。
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。 第２図はCSSテスト装置からなる磁気ディスク回転駆動
制御装置を示すブロック図である。 第３図はこの発明の受光素子、記憶手段、比較演算手段
を示すブロック図である。 １……磁気ディスク、２……ディスク駆動装置、３……
磁気ヘッドスライダー、４……スライダー駆動制御装
置、５……AEセンサー、６……アンプ、７……記録装
置、８……CSS制御装置、９……回転角度検出器、10…
…レーザー装置、11……受光素子、12……アンプ、13…
…A/D変換器、14……記憶装置、15……比較演算装置、1
6……表示装置。
Claims (2)
- 【請求項１】磁気ヘッドスライダーを備えたCSSテスト
装置からなる磁気ディスク回転駆動装置において、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定位
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ヘッドスライダーにAEセンサーを付設して磁気ディスク
上の各位置でのCSSテスト時のAEセンサーのノイズ値
と、上記のレーザー光の乱反射状態値とを比較して異常
値を検出し、かつその位置を表示するための比較演算手
段を有することを特徴とする磁気ディスクの表面性状検
査装置。 - 【請求項２】磁気ヘッドスライダーを備えた摩擦力測定
テスト装置からなる磁気ディスク回転駆動装置におい
て、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定位
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ディスク上の各位置での摩擦力値と、上記のレーザー光
の乱反射状態値とを比較して異常値を検出し、かつその
位置を表示するための比較演算手段を有することを特徴
とする磁気ディスクの表面性状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110733A JPH07119588B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 磁気ディスクの表面性状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110733A JPH07119588B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 磁気ディスクの表面性状検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287205A JPH02287205A (ja) | 1990-11-27 |
| JPH07119588B2 true JPH07119588B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=14543135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1110733A Expired - Lifetime JPH07119588B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 磁気ディスクの表面性状検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119588B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5002611B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2012-08-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンドメディアの表面欠陥検出方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138408A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-24 | Toshiba Corp | 表面状態検出警報装置 |
| JPH0659249B2 (ja) * | 1985-08-23 | 1994-08-10 | カシオ計算機株式会社 | 合成樹脂製の腕時計バンド |
| JPS62132282A (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-15 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツドの浮上試験方法 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1110733A patent/JPH07119588B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (ja) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
| JP4856647B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2012-01-18 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | 測定値を出力するための方法と表示デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02287205A (ja) | 1990-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5389794A (en) | Surface pit and mound detection and discrimination system and method | |
| Tandon et al. | A review of vibration and acoustic measurement methods for the detection of defects in rolling element bearings | |
| US3699806A (en) | Early detection of damage to machine elements in rolling engagement | |
| US5818592A (en) | Non-contact optical glide tester | |
| JPH03242540A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| US5311287A (en) | Direct access storage device with head-disc dynamics monitor | |
| US6771453B2 (en) | Glide slider fly height calibration method using disk spin down and slider dynamic scan | |
| KR102601924B1 (ko) | 다수 개의 시편에 형성된 도료의 내구성을 파악하기 위한 자동 도막 두께 측정장치 | |
| JPH07119588B2 (ja) | 磁気ディスクの表面性状検査装置 | |
| JPH05157705A (ja) | 歯車等の異状診断方法 | |
| US4896227A (en) | Method of locating and inspecting dropouts on a magnetic disc | |
| US5619331A (en) | Monitoring the effect of read/write element on the effective optical constants of the Al2 O3 film by using a reflectometer | |
| JPH05314401A (ja) | 磁気記録媒体試験装置及び試験方法 | |
| JP2682508B2 (ja) | 磁気ヘッド用テスタ装置 | |
| JPH07134098A (ja) | ハードディスク評価試験方法 | |
| JPH0572146A (ja) | 光学式表面欠陥検出装置 | |
| JPH057761B2 (ja) | ||
| JPS62110140A (ja) | 光デイスクの損傷検査装置 | |
| US20110188143A1 (en) | Method and its apparatus for inspecting a magnetic disk | |
| JPS6284433A (ja) | 光デイスク検査装置 | |
| JPH11120725A (ja) | ディスク突起欠陥検査装置 | |
| JPH1011953A (ja) | 磁気ディスクの耐久性試験装置 | |
| JP2580634B2 (ja) | アライメントディスク | |
| Lenhart et al. | Particle-detection on glass substrates and thin film magnetic storage disks | |
| Mahmud et al. | OSEE determination of fluorocarbon lubricant film thickness on magnetic disk media |