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JPH07123092B2 - Manufacturing method of multilayer chip inductor - Google Patents
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JPH07123092B2 - Manufacturing method of multilayer chip inductor - Google Patents

Manufacturing method of multilayer chip inductor

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JPH07123092B2
JPH07123092B2 JP22661691A JP22661691A JPH07123092B2 JP H07123092 B2 JPH07123092 B2 JP H07123092B2 JP 22661691 A JP22661691 A JP 22661691A JP 22661691 A JP22661691 A JP 22661691A JP H07123092 B2 JPH07123092 B2 JP H07123092B2
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chip inductor
green sheet
magnetic material
conductor pattern
manufacturing
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洋一 山本
康哲 木岡
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、分布容量による損失が
少なく、かつ電気的特性値の安定した積層チップインダ
クタの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a laminated chip inductor which has a small loss due to distributed capacitance and has stable electric characteristic values.

【0002】[0002]

【従来の技術】チップインダクタは、チップコンデンサ
と組み合わせてLC回路を構成したり、あるいは単独で
回路要素として使用される。このチップインダクタは、
電子機器を軽薄短小化したいとの要望から、チップコン
デンサ等の他の部品と同様、小型化することが要求さ
れ、この要求がしだいに強まってきている。このため、
磁性体中にコイル状の導体層を内装した積層チップイン
ダクタが広く用いられるようになっている。
2. Description of the Related Art A chip inductor is used in combination with a chip capacitor to form an LC circuit, or is used alone as a circuit element. This chip inductor is
Due to the desire to make electronic devices lighter, thinner, shorter, and smaller, miniaturization is required, as is the case with other components such as chip capacitors, and this demand is gradually increasing. For this reason,
Multilayer chip inductors in which a coil-shaped conductor layer is incorporated in a magnetic material have been widely used.

【0003】上記積層チップインダクタの従来の製造方
法は次の通りである。 磁性材料粉末にバインダー等を加えて混合し、磁性
材料スラリーを調製する。 このスラリーをドクターブレード法あるいはリバー
スコーター法等により長尺のシート状に成形し、所定の
寸法形状に切断して図4に示すように多数の磁性材料グ
リーンシート素片11、11・・・が裁断によって得ら
れるような磁性材料グリーンシート片を作成する。 これらの磁性材料グリーンシート片のうちの何枚か
のそれぞれに、各々の磁性材料グリーンシート素片1,
1,・・・に対応して所定の位置にスルーホールを穿孔
するとともに、これらのグリーンシートを重ねたときに
コイルを形成するようにコイルの一部を成す導体パター
ン11a〜11eを上記スルーホールに接続するように
導電材料ペーストを用いてスクリーン印刷する。この際
上下に重ねられるグリーンシート片の導体パターン11
a、11eはそれぞれのグリーンシート素片の互いに相
反する端部に引き出され後述する外部電極と接続され
る。
A conventional method of manufacturing the above multilayer chip inductor is as follows. A binder or the like is added to the magnetic material powder and mixed to prepare a magnetic material slurry. This slurry is formed into a long sheet by a doctor blade method, a reverse coater method, or the like, cut into a predetermined size and shape, and a large number of magnetic material green sheet pieces 11, 11 ... A piece of green sheet of magnetic material as obtained by cutting is prepared. To each of some of these magnetic material green sheet pieces, each magnetic material green sheet piece 1,
1, through holes are formed at predetermined positions, and the conductor patterns 11a to 11e forming a part of the coil are formed so as to form a coil when these green sheets are stacked. Screen printing using a conductive material paste to connect to. At this time, the conductor patterns 11 of the green sheet pieces that are vertically stacked
Reference characters a and 11e are drawn out to opposite ends of each green sheet element and connected to external electrodes described later.

【0004】 次に、これらの導体パターンを形成し
た磁性材料グリーンシート片を導体パターンがスルーホ
ールを介して相互に連結されコイルを形成するように積
層するとともに、この積層体の上下面のそれぞれに上記
導体パターンを形成していない残りの磁性材料グリーン
シート片をさらに積層し、未焼成積層体を作成する。 このグリーンシート積層体を金型に収容し、所定の
圧力及び温度でプレスし、圧着して圧着未焼成積層体を
作成する。この圧着未焼成積層体を碁盤目状に裁断して
図4に示す各グリーンシート素片を積層した多数の未焼
成積層チップを作成する。 これらの未焼成積層チップを一旦大気中で加熱して
脱バインダー処理をした後、再び大気中で焼成して焼成
体チップを得る。 これらの焼成体チップの上記導体パターンの端部に
引き出された相対する端面に電極材料ペーストをディッ
プ法等により塗布し、所定の温度で焼付け処理を行って
積層チップインダクタを得る。
Next, the magnetic material green sheet pieces on which the conductor patterns are formed are laminated so that the conductor patterns are connected to each other through the through holes to form a coil, and on each of the upper and lower surfaces of the laminated body. The remaining green sheet pieces of magnetic material on which the conductor pattern is not formed are further laminated to form an unfired laminated body. The green sheet laminate is housed in a mold, pressed at a predetermined pressure and temperature, and pressure-bonded to form a pressure-bonded unfired laminate. This pressure-bonded unfired laminated body is cut into a grid pattern to prepare a large number of unfired laminated chips in which the green sheet pieces shown in FIG. 4 are laminated. These unfired laminated chips are once heated in the air for debinding, and then fired again in the air to obtain fired chips. Electrode material paste is applied by a dip method or the like to the opposite end faces of the fired chips that are pulled out to the ends of the conductor patterns and baked at a predetermined temperature to obtain a laminated chip inductor.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記〜による従来
の積層チップインダクタの製造方法は、において磁性
材料グリーンシート片上にスクリーン印刷により導体パ
ターンを印刷するため、導体パターンの塗膜部分が周辺
よりは盛り上がり、においてこれらの導体パターンを
印刷したグリーンシート片をそれぞれの導体パターンが
コイルを形成するように重ねると、導体パターンのスル
ホール部分及びこれに対応する部分のように磁性材料グ
リーンシート片1層毎に重なる部分と、導体パターンが
磁性材料グリーンシート片1層を介して重なった後磁性
材料グリーンシート片2層を介して重なり、再度磁性材
料グリーンシート片1層を介して重なる部分、導体パタ
ーン11b〜11dが磁性材料グリーンシート片1層毎
に重なり、その上下に磁性材料グリーンシート片が重な
る部分のように各々のグリーンシート片の導体パターン
はその部分によって重なり方が異なり、多く重なった部
分ほど密着し易く、導体パターンの印刷されていない磁
性材料グリーンシート片のみが重なる部分は密着せず離
間している部分もある。この状態でプレスされると、磁
性材料グリーンシート片を介して導体パターンの重なる
部分の多いものほど加えられる圧力が大きくなって、導
体パターンがグリーンシート片に対してより強く密着す
る。そして、この状態でにおいて焼成すると、収縮が
起こったとしても導体パターン焼成体は上記重なりの多
いものほどグリーンシート焼成体に密着した状態のまま
となる。
In the conventional method for manufacturing a multilayer chip inductor according to any one of the above (1) to (3), since the conductor pattern is printed on the magnetic material green sheet piece by screen printing, the coated portion of the conductor pattern is higher than the periphery. When the green sheet pieces printed with these conductor patterns are overlapped with each other so that each conductor pattern forms a coil, the magnetic material green sheet pieces are layered one by one like the through hole portion of the conductor pattern and the corresponding portion. The overlapping portion and the conductor pattern overlap with each other through the magnetic material green sheet piece 1 layer, and then overlap with each other through the magnetic material green sheet piece 2 layer, and again overlap with each other through the magnetic material green sheet piece 1 layer, the conductor pattern 11b to 11d overlaps with each layer of the magnetic material green sheet, and the magnetic material is formed above and below it. The conductive pattern of each green sheet piece is different depending on the part, such as the overlapping portion of the green sheet pieces. The overlapping portions are not in close contact with each other and are separated from each other. When pressed in this state, the larger the number of overlapping portions of the conductor pattern through the magnetic material green sheet piece, the larger the pressure applied, and the conductor pattern adheres more strongly to the green sheet piece. If firing is performed in this state, the conductor pattern fired bodies will remain in close contact with the green sheet fired body as the number of overlaps increases, even if shrinkage occurs.

【0006】このように導体パターンの焼成体からなる
コイルの導体部分がグリーンシート焼成体に密着したま
まの積層チップインダクタは、各々のグリーンシート焼
成体層を挟んだ導体間において発生する分布容量がグリ
ーンシート焼成体の比誘電率によっても影響されるた
め、高い周波数で使用する場合には損失tanδ(=1
/Q)が大きくなり、インダクタとしての所望の電気的
特性が得られないという課題があった。また、上記のよ
うな従来の方法により作製された積層チップインダクタ
は、電子部品として使用されて動作されると、コイルが
機械的に伸縮し、これが繰り返されると導体部分が磁性
材料グリーンシート焼成体から離れ、その密着状態が解
かれる。そのため、各層の導体間には空気層を介した分
布容量が発生することになり、初期の電気特性と繰り返
し使用後の電気特性が異なることになり電気特性が安定
しないという課題もあった。
As described above, in the laminated chip inductor in which the conductor portion of the coil made of the fired body of the conductor pattern remains in close contact with the green sheet fired body, the distributed capacitance generated between the conductors sandwiching each green sheet fired body layer is Since it is also affected by the relative permittivity of the green sheet fired body, loss tan δ (= 1 when used at high frequencies.
There is a problem that / Q) becomes large and desired electrical characteristics as an inductor cannot be obtained. When the multilayer chip inductor manufactured by the conventional method as described above is used as an electronic component and operated, the coil mechanically expands and contracts, and when this is repeated, the conductor portion becomes a magnetic material green sheet fired body. Away from, the close contact is released. Therefore, a distributed capacitance is generated between the conductors of each layer through the air layer, and the electric characteristics at the initial stage and the electric characteristics after repeated use are different, which causes a problem that the electric characteristics are not stable.

【0007】本発明の目的は、高周波で使用した場合に
も損失が少なく、かつコイルの電気特性の安定した積層
チップインダクタを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a laminated chip inductor having a small loss even when used at a high frequency and a stable coil electrical characteristic.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、導体パターンを印刷した複数の磁性材料
グリーンシートを含む複数の磁性材料グリーンシートを
積層することにより内部に導体パターンによるコイルを
形成する未焼成積層体を得る工程と、この未焼成積層体
を圧着する工程と、この圧着未焼成積層体を焼成して焼
成体を得る工程を有する積層チップインダクタの製造方
法において、上記磁性材料グリーンシート及び導体パタ
ーンのそれぞれのバインダーに非相溶性の樹脂の高分子
を用いたことを特徴とする積層チップインダクタの製造
方法を提供するものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a plurality of magnetic material green sheets including a plurality of magnetic material green sheets printed with conductor patterns by laminating a plurality of magnetic material green sheets inside. A method of manufacturing a multilayer chip inductor comprising the steps of obtaining an unfired laminate for forming a coil, crimping the unfired laminate, and firing the crimped unfired laminate to obtain a fired body. Provided is a method for manufacturing a laminated chip inductor, characterized in that a polymer of an incompatible resin is used as a binder for each of a magnetic material green sheet and a conductor pattern.

【0009】この際、非相溶性の樹脂の高分子は溶解度
パラメータ値において2以上の差があることが好まし
い。
At this time, it is preferable that the polymers of the incompatible resin have a difference in solubility parameter value of 2 or more.

【0010】次に本発明を詳細に説明する。本発明にお
いて、非相溶性の樹脂の高分子とは、混じり難い樹脂の
高分子のことをいい、これを溶解度パラメータ(ソルビ
リティパラメータ、SP)で表せば、その差の大きいも
のほど混じり難いこととなり、この差が2以上であるこ
とが好ましい。後述するように、SP値の差の大きい樹
脂の高分子は、その一方の塗膜表面に対する他方の塗膜
は接着し難くなる。樹脂の高分子のSP値を例示すると
表1のようになる。なお、公式データは「接着と接着
剤」(金丸競著、1971年大日本図書出版、第31〜
32頁の表に記載されており、これも利用できる。
Next, the present invention will be described in detail. In the present invention, a polymer of an incompatible resin is a polymer of a resin which is difficult to mix, and when it is expressed by a solubility parameter (solvability parameter, SP), the larger the difference, the more difficult it is to mix. Therefore, the difference is preferably 2 or more. As will be described later, it is difficult for the polymer of the resin having a large difference in SP value to adhere the one coating film surface to the other coating film. Table 1 shows the SP value of the polymer of the resin. The official data is "Adhesives and Adhesives" (Kanamaru Akira, 1971 Dai Nippon Book Publishing Co., No. 31-
It is described in the table on page 32 and can also be used.

【0011】[0011]

【表1】 [Table 1]

【0012】樹脂の高分子はそのSP値が溶剤のSP値
と差の小さい程良く溶解するので、樹脂溶液を作成する
ときは、SP値の差を小さくすることが好ましいが、こ
の樹脂溶液を含む塗料を他の樹脂をバインダーに使用し
た塗膜の上に塗布するときは、塗布される側の塗膜のS
P値との差により塗布する塗料の塗布時の濡れ易さが決
められる。この濡れが悪いと塗布する塗膜と塗布される
塗膜の接着が悪くなり、両者は分離し易くなる。このこ
とからすると、樹脂の高分子のSP値のみならず、塗布
する塗料の溶剤のSP値も塗布される塗膜の樹脂のSP
値との差が大きいことが好ましい。溶剤のSP値を表2
に例示する。なお、混合溶剤、混合樹脂等のSP値は各
々の溶剤、樹脂等のSP値から求めることができる。
A polymer of a resin dissolves better as its SP value has a smaller difference from the SP value of a solvent. Therefore, when preparing a resin solution, it is preferable to reduce the difference in SP value. When the coating material containing is applied on a coating film using another resin as a binder, S of the coating film on the coating side is applied.
The wettability at the time of applying the coating material is determined by the difference from the P value. If this wetting is poor, the adhesion between the applied coating film and the applied coating film will be poor, and the two will easily separate. From this, not only the SP value of the polymer of the resin but also the SP value of the solvent of the coating material to be applied is the SP of the resin of the coating film to be applied.
It is preferable that the difference from the value is large. Table 2 shows the SP value of the solvent
For example. The SP value of the mixed solvent, the mixed resin, etc. can be determined from the SP value of each solvent, resin, etc.

【0013】[0013]

【表2】 [Table 2]

【0014】[0014]

【作用】一般に、物質の混合のエンタルピー変化ΔHは
次の式で近似することができる。 ΔH=A(δ1−δ2)・・・ (δ1とδ2との差の2乗) (式中、δ1、δ2はそれぞれ混合する物質のSP値を
示し、Aは係数を示す。)この式において、ΔHが小さ
くなると溶解性が良く、大きくなるにつれ溶解性が悪く
なる。これを2つの物質の接着について言えば、ΔHが
大きいほど2つの物質は接着し難くなる。すなわち、相
溶性の悪い非相溶性の樹脂ほど接着し難く、分離し易く
なる。
In general, the enthalpy change ΔH of the mixture of substances can be approximated by the following equation. ΔH = A (δ1−δ2) 2 (square of difference between δ1 and δ2) (wherein, δ1 and δ2 are SP values of substances to be mixed, and A is a coefficient). In, the solubility is good when ΔH is small, and the solubility is poor as ΔH is large. Regarding the adhesion of two substances, the larger ΔH is, the more difficult it is for the two substances to adhere. That is, the less compatible the resin is, the less compatible the resin is, and the more easily the resin is separated.

【0015】このことから、磁性材料グリーンシートと
導体パターン塗膜のそれぞれに用いられる樹脂のSP値
の差の大きいものを用いることにより、圧着未焼成積層
体を作成したときに両者の密着は悪く、分離し易くなる
ので、この圧着未焼成積層体を焼成して得られる積層チ
ップインダクタにおいて導体パターン焼成体と磁性材料
グリーンシート焼成体との間には空隙が生じ、両者は空
隙を介して接続されることになる。この結果、分布容量
を小さくしてその損失を少なくできるとともに、接続状
態が積層チップインダクタ動作後も変化しないからその
電気特性も安定に保持できる。
From the above, by using resins having a large SP value difference between the magnetic material green sheet and the conductor pattern coating film, the adhesion between the two is poor when the pressure-bonded unfired laminate is prepared. , Because it becomes easy to separate, in the multilayer chip inductor obtained by firing this pressure-bonded unfired laminated body, a gap is created between the conductor pattern fired body and the magnetic material green sheet fired body, and both are connected via the air gap. Will be done. As a result, the distributed capacitance can be reduced and the loss thereof can be reduced, and since the connection state does not change even after the operation of the laminated chip inductor, its electric characteristics can be stably maintained.

【0016】また、SP値の差の大きい樹脂と溶剤は後
者が前者の塗膜に濡れ難くなるのでこの溶剤の用いた塗
料の濡れも悪くなり、その塗膜の接着も悪くなる。
In addition, the resin and the solvent having a large difference in SP value make it difficult for the latter to wet the coating film of the former, so that the coating material using this solvent does not wet well and the adhesion of the coating film also deteriorates.

【0017】[0017]

【実施例】次に本発明の実施例を説明する。 実施例1 (1) 積層チップインダクタの作製 三二酸化鉄(Fe)48モル%、ZnO 2
4モル%、NiO 18モル%、CuO 10モル%の
比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミ
ルに仕込み、15時間湿式混合を行なう。 得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉
末を750℃にて1時間仮焼する。 得られた仮焼粉末をボールミルにて15時間湿式粉
砕した後、乾燥してから解砕し、フェライト粉末を得
る。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Example 1 (1) Preparation of multilayer chip inductor 48 mol% iron sesquioxide (Fe 2 O 3 ), ZnO 2
4 mol%, NiO 18 mol%, and CuO 10 mol% were weighed at the respective ratios, charged into a ball mill as raw materials, and wet-mixed for 15 hours. The mixture obtained is dried and then ground, and the powder obtained is calcined at 750 ° C. for 1 hour. The obtained calcined powder is wet-milled for 15 hours in a ball mill, dried and then crushed to obtain a ferrite powder.

【0018】 このフェライト粉末に対してバインダ
ーとしてポリビニルブチラール系樹脂(SP値9.4)
10重量%、トルエン(SP値8.9)20重量%、エ
タノール(SP値12.8)20重量%およびブタノー
ル(11.1)40重量%を添加し、ボールミルで15
時間混合を行なう。 得られたスラリーをドクターブレード法を用いて膜
厚80μmの長尺なフェライトグリーンシートを作成す
る。 得られたフェライトグリーンシートを所定の寸法に
切断し、図2に示すように複数枚のフェライトシート素
片1、1・・・が裁断によって得られるようなフェライ
トグリーンシート片を得る。 これらのフェライトグリーングリーンシート片のう
ちの一部には、各々のフェライトシート素片1,1,・
・・に対応して内部コイル用の導体パターンを形成する
ために、所定の位置にスルーホールを穿孔するととも
に、導電材料としてAg粉末10重量部、バインダーと
してフェノール樹脂(SP値11.5)1重量部、n−
プロパノール(SP値12.1)4重量部、分散剤とし
てオレイン酸0.1重量部からなる導体材料ペーストを
スクリーン印刷法によって所定のパターンに塗布し、加
熱乾燥して厚さ18μmの導体パターン塗布層21〜2
9を形成する。これらのうち導体パターン塗布層21、
29はそれぞれのフェライトシート素片の互いに反対側
となる端部まで引き出し引出電極用導体パターン塗布層
とする。
Polyvinyl butyral resin (SP value 9.4) as a binder for this ferrite powder
10% by weight, 20% by weight of toluene (SP value 8.9), 20% by weight of ethanol (SP value 12.8) and 40% by weight of butanol (11.1) were added, and the mixture was mixed with a ball mill at 15% by weight.
Perform time mixing. The obtained slurry is used to form a long ferrite green sheet having a film thickness of 80 μm by using a doctor blade method. The obtained ferrite green sheet is cut into a predetermined size to obtain a ferrite green sheet piece obtained by cutting a plurality of ferrite sheet pieces 1, 1 ... As shown in FIG. Some of these ferrite green green sheet pieces include the respective ferrite sheet pieces 1, 1, ...
..To form a conductor pattern for the internal coil corresponding to, through holes are drilled at predetermined positions, 10 parts by weight of Ag powder as a conductive material, and phenol resin (SP value 11.5) as a binder 1 Parts by weight, n-
A conductor material paste consisting of 4 parts by weight of propanol (SP value 12.1) and 0.1 part by weight of oleic acid as a dispersant is applied in a predetermined pattern by a screen printing method, heated and dried to apply a conductor pattern having a thickness of 18 μm. Layers 21-2
9 is formed. Of these, the conductor pattern coating layer 21,
Numeral 29 is a conductor pattern coating layer for leading / extracting electrodes up to the opposite ends of the respective ferrite sheet pieces.

【0019】 導体パターン塗布層21〜29を形成
したフェライトシート素片1、1・・・が裁断によって
得られるフェライトグリーンシート片を、これらの導体
パターン塗布層がコイルを形成するように9枚重ね、こ
の重ね体の上面および下面のそれぞれにさらに導体パタ
ーン塗布層を有しないフェライトグリーンシート片を8
枚重ねる。そして、この得られた未焼成積層体を0.5
t/cm(単位平方センチメートル当たり0.5ト
ン)の圧力で圧着し、圧着未焼成積層体を得る。この圧
着未焼成積層体を所定の寸法形状に裁断して図2に示す
各フェライトシート素片を積層した個々の積層チップイ
ンダクタ未焼成体を得る。 ▲10▼ 得られた積層チップイングクタ未焼成体4を
500℃で1時間加熱して脱バインダー処理をした後、
880℃で1時間焼成する。
9 pieces of ferrite green sheet pieces obtained by cutting the ferrite sheet pieces 1, 1 ... Forming the conductor pattern coating layers 21 to 29 are stacked so that these conductor pattern coating layers form a coil. , 8 pieces of ferrite green sheet pieces having no conductor pattern coating layer on each of the upper surface and the lower surface of this stack
Stack the sheets. Then, the obtained unsintered laminate is 0.5
Pressure-bonding is performed at a pressure of t / cm 2 (0.5 ton per square centimeter) to obtain a pressure-bonded unfired laminate. This pressure-bonded unfired laminated body is cut into a predetermined size and shape to obtain individual laminated chip inductor unfired bodies in which the ferrite sheet pieces shown in FIG. 2 are laminated. (10) After heating the obtained multilayer chip injector unfired body 4 at 500 ° C. for 1 hour to remove the binder,
Bake at 880 ° C. for 1 hour.

【0020】▲11▼ この焼成体の引出電極が露出す
る端面に浸漬法により、Ag電極材料ペーストを塗布
し、150℃で15分間乾燥した後、600℃にて10
分間塗膜を焼付け、図2における導体パターントフ層2
1〜29の焼成体をフェライトシート素片1、1・・・
の焼成体に内装した積層チップインダクタを得る。図1
にこの積層チップインダクタの一部省略した断面図を示
す。図中、24a、25a、26a、27aはそれぞれ
導体パターン塗布層24〜27の焼成体であるコイル導
体、1a、1a...はフェライトシート素片の焼成体
である磁性体層、2、2は上下の内部導体パターンを引
出電極とする外部電極である。ここでコイル導体は磁性
体層に対してほとんど接着しておらず、空隙が形成され
ている。
(11) An Ag electrode material paste is applied to the end surface of the fired body where the extraction electrode is exposed, by an immersion method, dried at 150 ° C. for 15 minutes, and then at 600 ° C. for 10 minutes.
The coating film is baked for a minute, and the conductor pattern tof layer 2 in FIG.
Ferrite sheet pieces 1, 1 ...
A multilayer chip inductor installed in the fired body is obtained. Figure 1
A sectional view of the laminated chip inductor is shown in FIG. In the figure, 24a, 25a, 26a and 27a are coil conductors 1a, 1a. . . Are magnetic layers which are fired bodies of ferrite sheet pieces, and 2 and 2 are external electrodes having upper and lower internal conductor patterns as extraction electrodes. Here, the coil conductor is hardly adhered to the magnetic layer, and a void is formed.

【0021】(2) 評価試験 得られた積層チップインダクタについて、下記の検査・
試験方法により、外観検査及び電気的特性の測定を行
い、その結果を表3に示す。
(2) Evaluation test The following inspection / test was performed on the obtained multilayer chip inductor.
Appearance inspection and measurement of electrical characteristics were performed by the test method, and the results are shown in Table 3.

【0022】試験方法 分布容量の測定 YHP4195A(横河ヒューレットパッカーズ社製)
を使用し、インピーダンスモードにてCp(パラレルモ
ードキャパシタンス)を測定する。このとき周波数は共
振点より高周波数側でキャパシタンスのピークを採る。
Test method Measurement of distributed capacity YHP4195A (manufactured by Yokogawa Hewlett-Packard Company)
Is used to measure Cp (parallel mode capacitance) in impedance mode. At this time, the frequency has a peak of capacitance on the higher frequency side than the resonance point.

【0023】 tanδ(=1/Q)の測定 YHP4194A(横河ヒューレットパッカーズ社製)
を使用してインピーダンスモードにてLs−Qモードを
使用する。得られた結果を図3に点線で示す。表1に記
載したQの周波数は図3に示す。
Measurement of tan δ (= 1 / Q) YHP4194A (manufactured by Yokogawa Hewlett-Packard Company)
To use the Ls-Q mode in the impedance mode. The obtained result is shown by the dotted line in FIG. The frequencies of Q listed in Table 1 are shown in FIG.

【0024】 インダクタンス値Lの測定 と同様にして測定する。The measurement is performed in the same manner as the measurement of the inductance value L.

【0025】比較例 実施例1において、上記の工程、すなわち導体材料ペ
ーストを塗布する工程において、フェノール系樹脂の代
わりにエチルセルロース系樹脂(SP値9.4)、n−
プロパノールの代わりにブチルカルビトールアセテート
(BCA)を用いた以外は同様の導体材料ペーストを用
いた以外は同様にして積層チップインダクタを作成し、
これについても実施例1と同様の評価試験を行った結果
を表3及び図3に実線で示す。
Comparative Example In Example 1, in the above step, that is, the step of applying the conductor material paste, ethyl cellulose resin (SP value 9.4), n-
A multilayer chip inductor was prepared in the same manner except that the same conductive material paste was used except that butyl carbitol acetate (BCA) was used instead of propanol.
The results of the same evaluation test as in Example 1 are shown in Table 3 and FIG. 3 by solid lines.

【0026】[0026]

【表3】 [Table 3]

【0027】図3の結果から、実施例1の積層チップイ
ンダクタのQのf特性カーブが比較例の積層チップイン
ダクタのQのf特性カープに比べて高周波数側にシフト
する。また、共振周波数fo(Ls)もキャパシタンス
Cpの低下により高周波数側にシフトすることがわか
る。
From the results of FIG. 3, the Q f characteristic curve of the multilayer chip inductor of Example 1 shifts to a higher frequency side than the Q f characteristic curve of the multilayer chip inductor of the comparative example. Further, it can be seen that the resonance frequency fo (Ls) also shifts to the high frequency side due to the decrease in the capacitance Cp.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明によれば、導体パターン塗膜と磁
性材料グリーンシートのそれぞれのバインダーに用いる
樹脂に非相溶性の樹脂を用いたので、得られる焼成体の
導体パターンはこれを挟む磁性材料グリーンシート焼成
体と分離し易く、空隙を介して接続されるので積層チッ
プインダクタとして使用されたときに分布容量を小さく
することができ、高い周波数での使用においても積層チ
ップインダクタの損失、すなわちtanδを小さくでき
る。また、導体パターンとこれを挟む磁性材料グリーン
シート焼成体の接続状態が積層チップインダクタの繰り
返し動作によっても変わらないので、その電気特性を安
定に保持することができる。
According to the present invention, since an incompatible resin is used as the resin used for the binder of the conductor pattern coating film and the binder of the magnetic material green sheet, the conductor pattern of the obtained fired body has the magnetic properties sandwiching the conductive pattern. Material It is easy to separate from the green sheet fired body, and since it is connected through a gap, it is possible to reduce the distributed capacitance when it is used as a laminated chip inductor, and the loss of the laminated chip inductor even when used at high frequencies, that is, It is possible to reduce tan δ. Further, since the connection state of the conductor pattern and the fired magnetic material green sheet sandwiching the conductor pattern is not changed by the repeated operation of the laminated chip inductor, the electrical characteristics can be stably maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の積層チップインダクタの断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer chip inductor according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例の第1製造工程を示す斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view showing a first manufacturing process of the above embodiment.

【図3】上記実施例と比較例のQ(1/tanδ)の測
定グラフである。
FIG. 3 is a measurement graph of Q (1 / tan δ) of the above-mentioned example and comparative example.

【図4】従来の積層チップインダクタの一製造工程を示
す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing one manufacturing process of a conventional multilayer chip inductor.

【符号の説明】 1、1・・ 磁性材料グリーンシート 21〜29 導体パターン塗布層[Explanation of reference numerals] 1, 1, ... Magnetic material green sheets 21 to 29 Conductor pattern coating layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導体パターンを印刷した複数の磁性材料
グリーンシートを含む複数の磁性材料グリーンシートを
積層することにより内部に導体パターンによるコイルを
形成する未焼成積層体を得る工程と、この積層体を圧着
する工程と、この圧着積層体を焼成して焼成体を得る工
程を有する積層チップインダクタの製造方法において、
上記磁性材料グリーンシート及び導体パターンのそれぞ
れのバインダーに非相溶性の樹脂の高分子を用いたこと
を特徴とする積層チップインダクタの製造方法。
1. A step of obtaining an unfired laminate in which a coil having a conductor pattern is formed by laminating a plurality of magnetic material green sheets including a plurality of magnetic material green sheets having conductor patterns printed thereon, and the laminate. In the method for manufacturing a laminated chip inductor, which comprises a step of crimping and a step of firing the crimped laminate to obtain a fired body,
A method of manufacturing a laminated chip inductor, wherein a polymer of an incompatible resin is used as a binder for each of the magnetic material green sheet and the conductor pattern.
【請求項2】 非相溶性の樹脂の高分子は溶解度パラメ
ータ値で2以上の差があることを特徴とする請求項1記
載の積層チップインダクタの製造方法。
2. The method for manufacturing a multilayer chip inductor according to claim 1, wherein the polymers of the incompatible resin have a difference in solubility parameter value of 2 or more.
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