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JPH0718441B2 - Pneumatic servo cylinder - Google Patents
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JPH0718441B2 - Pneumatic servo cylinder - Google Patents

Pneumatic servo cylinder

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Publication number
JPH0718441B2
JPH0718441B2 JP61111483A JP11148386A JPH0718441B2 JP H0718441 B2 JPH0718441 B2 JP H0718441B2 JP 61111483 A JP61111483 A JP 61111483A JP 11148386 A JP11148386 A JP 11148386A JP H0718441 B2 JPH0718441 B2 JP H0718441B2
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JP
Japan
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seat type
valve
piston
rod
nut block
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JP61111483A
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JPS62270801A (en
Inventor
敏宏 板垣
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石川島播磨重工業株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は任意に位置決めを行える様にした空圧サーボシ
リンダに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of use] The present invention relates to a pneumatic servo cylinder which can be arbitrarily positioned.

[従来の技術] アクチュエータとしてのシリンダには油等の液体を作動
媒体とする液圧シリンダ及び空気等の気体を作動媒体と
する空圧シリンダがある。
[Prior Art] As cylinders as actuators, there are a hydraulic cylinder using a liquid such as oil as a working medium and a pneumatic cylinder using a gas such as air as a working medium.

作動媒体が非圧縮性である油圧シリンダで代表される液
圧シリンダは絞り弁等による速度調整が容易、ストロー
ク途中の中間位置停止が可能ということから、作動制御
用のアクチュエータとしては液圧シリンダが一般に用い
られている。
A hydraulic cylinder represented by a hydraulic cylinder whose working medium is incompressible can be easily adjusted in speed by a throttle valve, etc., and can be stopped at an intermediate position during the stroke, so a hydraulic cylinder is used as an actuator for operation control. It is commonly used.

然し、油圧シリンダでは油圧源、圧油用の配管を特別に
設けなければならないので付帯設備が大がかりとなりコ
スト高となる。又、油を嫌う食品関係、薬品関係等のも
のでは油圧シリンダの使用は好ましくない。
However, in the hydraulic cylinder, since the hydraulic source and the piping for the hydraulic oil must be specially provided, the auxiliary equipment becomes large and the cost becomes high. Also, the use of hydraulic cylinders is not preferable for food-related and chemical-related items that dislike oil.

これに対し、作動媒体が圧縮性である空圧シリンダは速
度調整、ストロークの中間位置停止が極めて困難であ
り、通常空圧シリンダを使用した場合にはロッド、或は
非駆動体にストッパを設け、このストッパによって機械
的に停止位置決めを行っている。従って、一般には作動
制御用のアクチュエータとしては使用されていない。と
ころが前記した様に油を嫌う食品機械、薬品機械等のア
クチュエータとしては空圧シリンダが好ましい。又、空
圧シリンダの駆動源である圧縮空気源は通常工場に設備
されている空圧ラインが使用でき、別途用意することな
く容易に入手することができる。
On the other hand, it is extremely difficult to adjust the speed and stop the intermediate position of the stroke in a pneumatic cylinder whose working medium is compressible, and when a normal pneumatic cylinder is used, a stopper is provided on the rod or non-driving body. The stop positioning is mechanically performed by this stopper. Therefore, it is not generally used as an actuator for operation control. However, as described above, a pneumatic cylinder is preferable as an actuator for food machines, chemical machines, etc. that dislike oil. Further, the compressed air source, which is the drive source of the pneumatic cylinder, can use the pneumatic line normally installed in the factory, and can be easily obtained without separately preparing.

この為、空圧シリンダによる位置制御技術の具体化が要
求されている。
Therefore, it is required to materialize the position control technique using the pneumatic cylinder.

従来位置制御可能な空圧シリンダとして第5図に示す電
気空気サーボシリンダがある(特開昭54−33970)。
As a conventional pneumatic cylinder capable of position control, there is an electric pneumatic servo cylinder shown in FIG. 5 (Japanese Patent Laid-Open No. 54-33970).

第5図で示されるものは、シリンダ本体1の軸心に合致
させスクリューロッド2が回転自在に設けられ、該スク
リューロッド2の1端は電気サーボモータ3に連結され
ている。シリンダ本体1に摺動自在に嵌合されたピスト
ン4は前記スクリューロッド2に螺合しており、ピスト
ン4からはガイドロッド2と平行にガイドロッド5がシ
リンダ本体の端板を貫通して延出し、ガイドロッド5の
延出端にはグリップ片6が固着してある。
As shown in FIG. 5, a screw rod 2 is rotatably provided so as to match the axis of the cylinder body 1, and one end of the screw rod 2 is connected to an electric servomotor 3. A piston 4 slidably fitted in the cylinder body 1 is screwed into the screw rod 2, and a guide rod 5 extends from the piston 4 in parallel with the guide rod 2 through an end plate of the cylinder body. A grip piece 6 is fixed to the extended end of the guide rod 5.

又、シリンダ本体1の内部はピストン4によって空圧室
7,8に仕切られ、両空圧室7,8は電磁弁9を介して空圧源
(図示せず)に接続されている。
Further, the inside of the cylinder body 1 is compressed by the piston 4 into a pneumatic chamber.
The air pressure chambers 7 and 8 are partitioned into 7, 8 and are connected to an air pressure source (not shown) via a solenoid valve 9.

斯かる電気空気サーボシリンダに於いて、シリンダを駆
動する場合は電磁弁9を切換えて希望する駆動方向に作
動し得る様いずれかの空圧室へ圧縮空気を供給する。こ
の状態で電気サーボモータ3によって所要量だけスクリ
ューロッド2を回転させる。スクリューロッド2の回転
によりピストン4が移動する。このピストン4の移動に
対し負荷に対抗する力は圧縮の空圧によって与えられる
ので、スクリューロッド2の回転に要する力は少なくて
すむ。
In such an electric-pneumatic servo cylinder, when the cylinder is driven, the solenoid valve 9 is switched to supply compressed air to any of the pneumatic chambers so that it can operate in a desired driving direction. In this state, the electric servomotor 3 rotates the screw rod 2 by a required amount. The rotation of the screw rod 2 moves the piston 4. Since the force against the load with respect to the movement of the piston 4 is given by the pneumatic pressure for compression, the force required to rotate the screw rod 2 can be small.

更に、ピストン4の位置保持はスクリューロッド2とピ
ストン4の螺合による機械的係合によってなされるもの
である。
Furthermore, the piston 4 is held in position by mechanical engagement by screwing the screw rod 2 and the piston 4.

[発明が解決しようとする問題点] 然し上記した電気サーボモータ3ではグリップ片6の停
止精度(位置決め精度)は電磁弁9の応答性、電磁弁9
の開閉に対する作動媒体の応答性が問題となると共に負
荷の慣性力が停止精度に大きく影響し、電気サーボモー
タ3が小容量のものを用いることを考えればなおさらで
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned electric servomotor 3, the stopping accuracy (positioning accuracy) of the grip piece 6 is determined by the responsiveness of the solenoid valve 9 and the solenoid valve 9.
The responsiveness of the working medium to the opening and closing of the motor becomes a problem, and the inertial force of the load has a great influence on the stop accuracy, which is all the more remarkable when the electric servo motor 3 having a small capacity is used.

更に又、スクリューロッド2とピストン4との螺合によ
る位置決めに対する負荷慣性力の影響を小さくしようと
すればスクリューロッド2とピストン4間の抵抗はある
程度必要であるし、スクリューロッド2の捻子リード角
も小さい方が好ましい。従って、この電気空気サーボシ
リンダを高速で作動させようとすると電気サーボモータ
の容量は必然的に大きなものとなる。
Furthermore, in order to reduce the influence of the load inertial force on the positioning due to the screw engagement of the screw rod 2 and the piston 4, the resistance between the screw rod 2 and the piston 4 is required to some extent, and the screw lead angle of the screw rod 2 is required. Is also preferably smaller. Therefore, when the electric air servo cylinder is operated at a high speed, the capacity of the electric servo motor is inevitably large.

又、負荷慣性力の影響を小さくする為サーボモータ3の
出力軸に電磁ブレーキを取付け、電磁弁9の切換に応じ
て電磁ブレーキを作動させスクリューロッド2を電磁ブ
レーキによって拘束しようとするものがあるが、この場
合でも電磁弁9の応答性が問題となると共に負荷慣性力
の大小によって停止精度に影響がでることは免れない。
更に、この場合電磁ブレーキ、電磁弁用の駆動電源両者
の作動をピストン停止作動にマッチングさせる為のコン
トローラが必要となり複雑且高価なものとなる。
Further, in order to reduce the influence of the load inertial force, an electromagnetic brake is attached to the output shaft of the servo motor 3, and the electromagnetic brake is operated in accordance with the switching of the electromagnetic valve 9 to restrain the screw rod 2 by the electromagnetic brake. However, even in this case, the responsiveness of the solenoid valve 9 becomes a problem, and the stop accuracy is inevitably affected by the magnitude of the load inertial force.
Further, in this case, a controller is required to match the operation of both the electromagnetic brake and the drive power source for the electromagnetic valve with the piston stop operation, which is complicated and expensive.

本発明は上記実情を鑑み、簡潔な制御で高い位置決め精
度が達成できる空圧サーボシリンダを提供しようとする
ものである。
In view of the above situation, the present invention is to provide a pneumatic servo cylinder that can achieve high positioning accuracy with simple control.

[問題点を解決するための手段] 本発明はシリンダ本体内にロッドを延出してなるピスト
ンを気密に摺動自在に嵌合し、該ピストンに反ロッド側
より弁室を穿設して対峙する1対のシート型弁を気密に
摺動自在に嵌合すると共に両シート型弁を近接側に付勢
せしめ、両シート型弁間に周囲に空間を残置する如くナ
ットブロックを挟設し、両シート型弁対峙面とナットブ
ロック両端面を密着可能とし、両シート型弁中立位置で
近接方向の動きを規制するストッパを設け、前記両シー
ト型弁にそれぞれ対峙面に開口する弁路を穿設し、1方
の弁路をピストンとシリンダ本体を貫通せしめて外部に
連通し、他方の弁路をピストンを貫通せしめてロッド側
空圧源に通じる空室に連通し、反ロッド側空室と両シー
ト型弁間の空間とを連通し、モータによって駆動され、
シリンダ本体内に気密に挿入したスクリューシャフトを
前記ナットブロックに螺合したことを特徴とするもので
ある。
[Means for Solving the Problems] In the present invention, a piston formed by extending a rod in a cylinder body is airtightly slidably fitted, and a valve chamber is bored from the side opposite to the rod to face the piston. A pair of seat type valves are fitted in a slidable manner in an airtight manner, both seat type valves are biased toward the adjacent side, and a nut block is sandwiched between the two seat type valves so as to leave a space around them. Both seat type valve facing surfaces and both end surfaces of the nut block can be in close contact with each other, and stoppers for restricting movement in the proximity direction at both seat type valve neutral positions are provided, and both seat type valves are provided with valve paths that open to the facing side. Install one valve passage through the piston and cylinder body to communicate with the outside, and the other valve passage through the piston to communicate with the vacant chamber that communicates with the rod side air pressure source. And the space between both seat-type valves are Driven by
A screw shaft airtightly inserted into the cylinder body is screwed into the nut block.

[作用] スクリューシャフトを回転することによりナットブロッ
クが移動し、ナットブロックと1方のシート型弁とが離
反して弁路が開口し、反ロッド側の空室が空圧源と連通
するか若しくは大気へ連通し、ピストンの移動が起る。
このピストンの移動は、ナットブロックから離反したシ
ート型弁に対し、ねじ要素等を介することなく直接フィ
ードバックされ、両シート型弁とナットブロックとが中
立の位置となる迄行われる。
[Operation] Is the nut block moved by rotating the screw shaft, the nut block and one seat type valve are separated from each other, the valve path is opened, and the space on the side opposite to the rod communicates with the air pressure source? Or, it communicates with the atmosphere and the piston moves.
The movement of the piston is directly fed back to the seat type valve separated from the nut block without using a screw element or the like, and is performed until the both seat type valves and the nut block are in the neutral position.

[実 施 例] 以下図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。[Examples] Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings.

筒体11の両端を端板12,13によって気密に閉塞してシリ
ンダ本体14を構成し、該シリンダ本体14内にピストン15
を気密に摺動自在に嵌合し、ピストン15より延出せしめ
たロッド16を一方の端板12に貫通する。該端板12にはシ
リンダ本体14の内部に連通するインポート17を穿設す
る。ピストン15の内部には他方の端板13側より弁室18を
穿設してあり、この弁室18には一対のドーナッツ状のシ
ート型弁19,20を気密に摺動自在に嵌入してある。両シ
ート型弁19,20間にはナットブロック21を挾設し、該ナ
ットブロック21には後述するスクリューシャフト22を螺
合せしめ、前記ピストン15にナットブロック21の回止め
を兼ねる蓋23を固着し、弁室18を閉塞する。シート型弁
19と弁室18の底面との間、シート型弁20と蓋23との間に
それぞれ圧縮バネ24,25を設け、両シート型弁19,20を近
接方向に付勢する。弁室18の内面にはストッパ26,27が
設けてあって両シート型弁19,20がその中立位置でスト
ッパ26,27に係合すると共に両シート型弁19,20の端面が
ナットブロック21の端面に気密に当接する様にする。両
シート型弁19,20にはその外周面と端面とに開口するエ
ルボウ弁路28,29を穿設し、弁室18の内面には両シート
型弁19,20の中立位置でエルボウ弁路28,29と一致する溝
30,31を刻設する。
Both ends of the cylinder body 11 are airtightly closed by end plates 12 and 13 to form a cylinder body 14, and a piston 15 is provided in the cylinder body 14.
Is airtightly slidably fitted, and a rod 16 extended from a piston 15 penetrates one end plate 12. The end plate 12 is provided with an import 17 which communicates with the inside of the cylinder body 14. Inside the piston 15, a valve chamber 18 is bored from the other end plate 13 side, and a pair of donut-shaped seat type valves 19, 20 are airtightly slidably fitted in the valve chamber 18. is there. A nut block 21 is sandwiched between the seat type valves 19 and 20, a screw shaft 22 described later is screwed to the nut block 21, and a lid 23 that also serves as a rotation stopper for the nut block 21 is fixed to the piston 15. Then, the valve chamber 18 is closed. Seat type valve
Compression springs 24 and 25 are provided between the seat valve 19 and the bottom of the valve chamber 18 and between the seat valve 20 and the lid 23 to urge both seat valves 19 and 20 in the proximity direction. Stoppers 26 and 27 are provided on the inner surface of the valve chamber 18 so that both seat type valves 19 and 20 engage with the stoppers 26 and 27 at their neutral positions, and the end faces of both seat type valves 19 and 20 have a nut block 21. So that it comes into airtight contact with the end face of. Both seat type valves 19 and 20 are provided with elbow valve passages 28 and 29 that open to the outer peripheral surface and the end surface, and the inner surface of the valve chamber 18 is an elbow valve passage at the neutral position of both seat type valves 19 and 20. Grooves matching 28,29
Engrave 30,31.

一方の溝30は筒体11とピストン15間に形成された間隙32
と連絡孔33によって連通してあり、更に筒体11には間隙
32と連通するアウトポート34を穿設する。他方の溝31は
連絡孔35によってピストン15によって仕切られる1方の
空室44に連通し、両シート型弁19,20間の空間36は通路3
7によって他方の空室45に連通してある。
One groove 30 is a gap 32 formed between the cylinder 11 and the piston 15.
Through the communication hole 33, and the cylindrical body 11 has a gap.
An outport 34 communicating with 32 is provided. The other groove 31 communicates with one empty chamber 44 partitioned by the piston 15 by the communication hole 35, and the space 36 between the seat type valves 19 and 20 has the passage 3
7 communicates with the other vacant chamber 45.

前記ナットブロック21には蓋23側のシート型弁20中空部
に遊嵌する円筒部38を形成し、該円筒部38には対称的に
切欠部39を刻設する。又、前記蓋23には係合片40を突設
し、切欠部39に摺動自在に嵌合せしめる。前記他方の端
板13には軸受41を嵌装してあり、該軸受41を介し該端板
13に前記スクリューシャフト22を気密に支承させると共
に端板13からの突出端はカップリング42を介して電気モ
ータ43に連結する。
The nut block 21 is provided with a cylindrical portion 38 which is loosely fitted in the hollow portion of the seat type valve 20 on the lid 23 side, and the cylindrical portion 38 is symmetrically provided with a notch 39. An engaging piece 40 is provided on the lid 23 so as to be slidably fitted in the notch 39. A bearing 41 is fitted on the other end plate 13, and the end plate is inserted through the bearing 41.
The screw shaft 22 is airtightly supported by 13 and the projecting end from the end plate 13 is connected to an electric motor 43 via a coupling 42.

尚、前記インポート17は図示しない空圧源に、アウトポ
ート34は図示しないタンクにそれぞれ接続する。
The import 17 is connected to an air pressure source (not shown), and the out port 34 is connected to a tank (not shown).

次に作動を説明する。Next, the operation will be described.

先ずロッド16を突出させる場合、電気モータ43によって
スクリューシャフト22を回転させナットブロック21を圧
縮バネ24に抗して図中左方へ移動させる(第3図参照)
とシート型弁20はストッパ27によって図中左方への動き
が規制されており、ナットブロック21とシート型弁20と
が離れ連絡孔35はエルボウ弁路29を介して空間36へ連通
する。該連絡孔35は空圧源と連通している空室44に連通
し、空間36は通路37を介して空室45に連通する。従っ
て、圧縮空気は空室44より空室45側へ流入する。而し
て、ピストン15のロッド側とモータ側との受圧面積差に
よりピストン15は、シート型弁20とナットブロック21と
が密着する位置(両シート型弁とナットブロックとの中
立位置)迄移動する。
First, when the rod 16 is projected, the screw shaft 22 is rotated by the electric motor 43 and the nut block 21 is moved leftward in the drawing against the compression spring 24 (see FIG. 3).
The movement of the seat type valve 20 to the left in the drawing is restricted by the stopper 27, the nut block 21 and the seat type valve 20 are separated from each other, and the communication hole 35 communicates with the space 36 via the elbow valve passage 29. The communication hole 35 communicates with a vacant chamber 44 communicating with the air pressure source, and the space 36 communicates with a vacant chamber 45 via a passage 37. Therefore, the compressed air flows from the vacant chamber 44 to the vacant chamber 45 side. Therefore, due to the difference in pressure receiving area between the rod side of the piston 15 and the motor side, the piston 15 moves to the position where the seat type valve 20 and the nut block 21 are in close contact (the neutral position between both seat type valves and the nut block). To do.

両シート型弁19,20、ナットブロック21が中立位置とな
るピストン15の動きは停止し、その位置に位置決めされ
るが、その位置保持はナットブロック21をスクリューシ
ャフト22を介してモータ43によって拘束しておけば、ピ
ストン15は安定に位置決めできる。又、両シート型弁1
9,20とナットブロック21の接触面はともに平面であり、
且両シート型弁19,20をナットブロック21に圧縮バネ24,
25によって押付けているのでそのシール性はよく、静止
安定性もよい。
Both seat type valves 19 and 20, the nut block 21 moves to the neutral position of the piston 15 is stopped, and the piston block 15 is positioned at that position, but its position is retained by the motor 43 via the screw shaft 22 and the nut block 21. If so, the piston 15 can be stably positioned. Also, double seat type valve 1
The contact surfaces of 9,20 and nut block 21 are both flat,
Moreover, both seat type valves 19 and 20 are attached to the nut block 21 and the compression spring 24,
Since it is pressed by 25, its sealing property is good and static stability is also good.

又ロッド16を後退させる場合は電気モータ43によってス
クリューシャフト22を回転させ圧縮バネ25に抗して図中
右方へ移動させる(第4図参照)とシート型弁19はスト
ッパ26によって図中右方への動きが規制されており、ナ
ットブロック19とシート型弁19とが離反し、空室45は通
路37、空間36、エルボウ弁路28、連絡孔33、間隙32、ア
ウトポート34を介して図示しないタンクへ連通する。従
って、空室45内の圧力が低下し、ロッド16は右方へ移動
する。
When the rod 16 is retracted, the screw shaft 22 is rotated by the electric motor 43 and moved rightward in the figure against the compression spring 25 (see FIG. 4). The movement toward the side is restricted, the nut block 19 and the seat-type valve 19 are separated from each other, and the empty chamber 45 passes through the passage 37, the space 36, the elbow valve passage 28, the communication hole 33, the gap 32, and the outport 34. To a tank not shown. Therefore, the pressure in the vacant chamber 45 decreases and the rod 16 moves to the right.

而して、右方へのロッド16の動きも前記したと同様両シ
ート型弁、ナットブロックが中立の位置となった点で停
止する。即ち、モータ43でスクリューシャフト22を回転
させ、ナットブロック21を動かしただけピストン15(ロ
ッド16)は移動する。
Thus, the movement of the rod 16 to the right also stops at the point where both seat type valves and the nut block are in the neutral position, as described above. That is, by rotating the screw shaft 22 with the motor 43 and moving the nut block 21, the piston 15 (rod 16) moves.

更に、電気モータ43にサーボモータ、ステッピングモー
タ等を用いスクリューシャフト22の回転量を監視する様
にすれば、ロッド16の任意の位置に位置決めすることが
でき、位置決め精度にロッド16に連結された被駆動体
(図示せず)、ピストン15の慣性力は影響しない。又、
電気モータ43の駆動力は圧縮バネ24,25の力に抗してナ
ットブロック21を移動させるだけでよく、ナットブロッ
ク21には慣性力が作用しない(小さい)ので、ボール螺
子、リード角の大きいもの等を使用することもできる。
Further, if the rotation amount of the screw shaft 22 is monitored by using a servo motor, a stepping motor, or the like for the electric motor 43, the rod 16 can be positioned at any position, and the rod 16 can be positioned with high accuracy. The inertial force of the driven body (not shown) and the piston 15 does not influence. or,
The driving force of the electric motor 43 only needs to move the nut block 21 against the force of the compression springs 24 and 25, and the inertia force does not act on the nut block 21 (small), so that the ball screw and the lead angle are large. The thing etc. can also be used.

[発明の効果] 以上述べた如く本発明によれば、構造が簡単で製品化が
容易であると共に、ピストンの移動を、ナットブロック
から離反したシート型弁に対し、ねじ要素等を介するこ
となく直接フィードバックする形としているため、作動
媒体に圧縮性流体を用いても、安定に且任意の位置に位
置決めすることができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the structure is simple and the product can be easily commercialized, and the movement of the piston can be performed without using a screw element or the like for the seat type valve separated from the nut block. Since it is directly fed back, even if a compressive fluid is used as the working medium, it can be positioned stably and at an arbitrary position.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の1実施例を示す断面図、第2図はナッ
トブロックと蓋との係合関係を示す部分斜視図、第3
図、第4図は同前作動説明図、第5図は従来例の概略断
面図である。 14はシリンダ本体、15はピストン、16はロッド、18は弁
室、19,20はシート型弁、21はナットブロック、22はス
クリューシャフト、26,27はストッパ、28,29はエルボウ
弁路を示す。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial perspective view showing an engagement relationship between a nut block and a lid, and FIG.
FIG. 4 and FIG. 4 are explanatory views of the operation before the same, and FIG. 5 is a schematic sectional view of a conventional example. 14 is a cylinder body, 15 is a piston, 16 is a rod, 18 is a valve chamber, 19 and 20 are seat type valves, 21 is a nut block, 22 is a screw shaft, 26 and 27 are stoppers, 28 and 29 are elbow valve paths. Show.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】シリンダ本体内にロッドを延出してなるピ
ストンを気密に摺動自在に嵌合し、該ピストンに反ロッ
ド側より弁室を穿設して対峙する1対のシート型弁を気
密に摺動自在に嵌合すると共に両シート型弁を近接側に
付勢せしめ、両シート型弁間に周囲に空間を残置する如
くナットブロックを挟設し、両シート型弁対峙面とナッ
トブロック両端面を密着可能とし、両シート型弁中立位
置で近接方向の動きを規制するストッパを設け、前記両
シート型弁にそれぞれ対峙面に開口する弁路を穿設し、
1方の弁路をピストンとシリンダ本体を貫通せしめて外
部に連通し、他方の弁路をピストンを貫通せしめてロッ
ド側空圧源に通じる空室に連通し、反ロッド側空室と両
シート型弁間の空間とを連通し、モータによって駆動さ
れ、シリンダ本体内に気密に挿入したスクリューシャフ
トを前記ナットブロックに螺合したことを特徴とする空
圧サーボシリンダ。
1. A pair of seat type valves in which a piston formed by extending a rod in a cylinder body is airtightly slidably fitted, and a valve chamber is bored from the side opposite to the rod to face the piston. Both seat type valves are fitted so as to be slidable in an airtight manner and both seat type valves are biased toward the proximity side, and a nut block is sandwiched so as to leave a space between both seat type valves, and both seat type valve confronting faces and nuts. Both end surfaces of the block can be adhered to each other, a stopper for restricting movement in the proximity direction at both seat type valve neutral positions is provided, and a valve path opening to the facing surface is provided in each of both seat type valves,
One valve passage penetrates the piston and the cylinder body to communicate with the outside, and the other valve passage penetrates the piston to communicate with the vacant chamber communicating with the rod side air pressure source. A pneumatic servo cylinder in which a screw shaft, which is communicated with a space between mold valves and is driven by a motor and is hermetically inserted into a cylinder body, is screwed into the nut block.
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