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JPH0718959B2 - Radiation image conversion panel manufacturing method - Google Patents
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JPH0718959B2 - Radiation image conversion panel manufacturing method - Google Patents

Radiation image conversion panel manufacturing method

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JPH0718959B2
JPH0718959B2 JP62175382A JP17538287A JPH0718959B2 JP H0718959 B2 JPH0718959 B2 JP H0718959B2 JP 62175382 A JP62175382 A JP 62175382A JP 17538287 A JP17538287 A JP 17538287A JP H0718959 B2 JPH0718959 B2 JP H0718959B2
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JP
Japan
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stimulable phosphor
panel
image conversion
activator
radiation image
Prior art date
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中野  邦昭
直子 中丸
哲 本田
久憲 土野
文生 島田
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Konica Minolta Inc
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Publication date
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  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
  • Radiography Using Non-Light Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルの
製造方法に関するものである。
The present invention relates to a method for producing a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor.

〔発明の背景〕[Background of the Invention]

X線画像のような放射線画像は病気診断用などに多く用
いられているが、近年ハロゲン化銀感光材料および蛍光
スクリーンを用いた放射線写真に代り、蛍光体から直接
画像を取り出す方法が工夫されている。
Radiographic images such as X-ray images are often used for diagnosing diseases, etc., but in recent years, a method of directly extracting an image from a phosphor has been devised instead of radiography using a silver halide photosensitive material and a fluorescent screen. There is.

この方法は、例えば被写体を透過した放射線を蛍光体に
吸収せしめ、しかる後、この蛍光体を例えば光または熱
エネルギーで励起することによりこの蛍光体が上記吸収
により蓄積している放射線エネルギーを蛍光として放射
せしめ、この蛍光を検出して画像化する方法である。具
体的には、米国特許3,859,527号及び特開昭55−12144号
に輝尽性蛍光体を用い、可視光線または赤外線を輝尽励
起光とした放射線画像変換方法が示されている。この方
法は、支持体上に輝尽性蛍光体層(以下「蛍光層」と略
称することもある。)を形成した放射線画像変換パネル
(以下「パネル」と略称することもある。)を使用する
もので、このパネルの蛍光層に被写体を透過した放射線
を当てて被写体各部の放射線透過度に対応する放射線エ
ネルギーを蓄積させて潜像を形成し、しかる後にこの蛍
光層を輝尽励起光で走査することによって各部の蓄積さ
れた放射線エネルギーを放射させてこれを光に変換し、
この光の強弱に基く信号により画像を得るものである。
この最終的な画像はハードコピーとして再生してもよい
し、CRT上に再生しても良い。
In this method, for example, the radiation that has passed through the subject is absorbed by the phosphor, and then the phosphor is excited by, for example, light or thermal energy, so that the radiation energy accumulated by the absorption by the phosphor is converted into fluorescence. This is a method of irradiating and detecting the fluorescence to form an image. Specifically, U.S. Pat. No. 3,859,527 and JP-A-55-12144 disclose a radiation image conversion method using a stimulable phosphor and using visible light or infrared light as stimulated excitation light. This method uses a radiation image conversion panel (hereinafter also referred to as "panel") in which a stimulable phosphor layer (hereinafter sometimes referred to as "fluorescence layer") is formed on a support. The radiation that has passed through the subject is applied to the fluorescent layer of this panel to accumulate the radiation energy corresponding to the radiation transmittance of each part of the subject to form a latent image, and then this fluorescent layer is stimulated with excitation light. By scanning, the accumulated radiation energy of each part is emitted and converted into light,
An image is obtained by a signal based on the intensity of this light.
This final image may be played back as a hard copy or on a CRT.

この放射線画像変換方法に用いられる蛍光層を有するパ
ネルは、放射線吸収率および光変換率(両者を含めて以
下「放射線感度」という)が高いことは言うに及ばず画
像の粒状性が良く、しかも高鮮鋭性であることが要求さ
れる。
The panel having the fluorescent layer used in this radiation image conversion method has high radiation absorption rate and light conversion rate (both of which are referred to as "radiation sensitivity"), not to mention high image granularity, and High sharpness is required.

ところが、一般に蛍光層を有するパネルは粒径1〜30μ
m程度の粒状の輝尽性蛍光体と有機結着剤とを含む分散
液を支持体上に塗布、乾燥して作成されるので、輝尽性
蛍光体の充填密度が低い(充填率50%)。そのため、放
射線感度を充分高くするには蛍光層の層厚を厚くする必
要がある。
However, a panel having a fluorescent layer generally has a particle size of 1 to 30 μm.
The filling density of the stimulable phosphor is low (filling ratio 50%, since it is prepared by coating a support with a dispersion liquid containing about m of granular stimulable phosphor and an organic binder, and drying. ). Therefore, it is necessary to increase the thickness of the fluorescent layer in order to sufficiently increase the radiation sensitivity.

これに対し前記放射線画像変換方法における画像の鮮鋭
性は、パネルの蛍光層の層厚が薄いほど高い傾向にあ
り、鮮鋭性の向上のためには、蛍光層の薄層化が必要で
ある。
On the other hand, the sharpness of the image in the radiation image conversion method tends to be higher as the layer thickness of the fluorescent layer of the panel is thinner, and it is necessary to thin the fluorescent layer in order to improve the sharpness.

また、前記放射線画像変換方法における画像の粒状性
は、放射線量子数の場所的ゆらぎ(量子モトル)あるい
はパネルの蛍光層の構造的乱れ(構造モトル)等によっ
て決定されるので、蛍光層の層厚が薄くなると、蛍光層
に吸収される放射線量子数が減少して量子モトルが増加
したり、構造的乱れが顕在化して構造モトルが増加した
りして画質の低下を生ずる。よって画像の粒状性を向上
させるためには蛍光層の層厚は厚い必要がある。
Further, since the graininess of the image in the radiation image conversion method is determined by the spatial fluctuation of the radiation quantum number (quantum mottle) or the structural disorder of the fluorescent layer of the panel (structural mottle), the layer thickness of the fluorescent layer is reduced. As the thickness becomes smaller, the number of radiation quantum absorbed by the fluorescent layer decreases and the quantum mottle increases, or structural disorder becomes apparent and the structural mottle increases, resulting in deterioration of image quality. Therefore, in order to improve the graininess of the image, the fluorescent layer needs to be thick.

即ち、前述のように、従来のパネルは放射線に対する感
度および画像の粒状性と、画像の鮮鋭性とが蛍光層の層
厚に対しまったく逆の蛍光を示すので、前記パネルは放
射鮮に対する感度と粒状性と鮮鋭性間のある程度の相互
犠牲によって作成されてきた。
That is, as described above, since the conventional panel exhibits fluorescence that is the opposite of the sensitivity to radiation and the graininess of the image and the sharpness of the image with respect to the layer thickness of the fluorescent layer, the panel is not sensitive to radiation. It has been created with a degree of mutual sacrifice between graininess and sharpness.

ところで従来の放射線写真法における画像の鮮鋭性が蛍
光スクリーン中の蛍光体の瞬間発光(放射線照射時の発
光)の広がりによって決定されるのは周知の通りである
が、これに対し前述の輝尽性蛍光体を利用した放射線画
像変換方法における画像の鮮鋭性は、パネル中の輝尽性
蛍光体の輝尽発光の広がりによって決定されるのではな
く、輝尽励起光の該パネル内での広がりに依存して決ま
る。
By the way, it is well known that the sharpness of an image in the conventional radiographic method is determined by the spread of the instantaneous light emission (light emission at the time of radiation irradiation) of the phosphor in the fluorescent screen. The sharpness of the image in the radiation image conversion method using a fluorescent substance is not determined by the spread of stimulated emission of the stimulable phosphor in the panel, but the spread of stimulated excitation light in the panel. Depends on.

従ってある時間(ti)に照射された輝尽励起光による輝
尽発光が、その時間(ti)に輝尽励起光が真に照射され
ていた該パネル状の画素(xi,yi)からの発光のみであ
れば、その発光がいかなる広がりを持つものであろうと
得られる画像の鮮鋭性には影響がない。
Therefore, stimulated emission due to the stimulated excitation light irradiated at a certain time (ti) is emitted from the panel-shaped pixel (xi, yi) that was actually irradiated with the stimulated excitation light at that time (ti). If it is only, the sharpness of the obtained image will not be affected regardless of the extent of the emission.

このような観点から、放射線画像の鮮鋭性を改善する方
法がいくつか考案されて来た。例えば特開昭55−146447
号に記載のパネルの蛍光層中に白色粉体を混入する方
法、特開昭55−163500号記載のパネルを輝尽性蛍光体の
輝尽励起波長領域における平均反射率が前記輝尽性蛍光
体の輝尽発光波長領域における平均反射率よりも小さく
なるように着色する方法等である。しかし、これらの方
法は鮮鋭性を改良すると必然的に感度が著しく低下して
しまい、好ましい方法とは言えない。
From this point of view, some methods have been devised to improve the sharpness of radiographic images. For example, JP-A-55-146447
No. 55-163500, the average reflectance in the stimulable excitation wavelength region of the stimulable phosphor is the above stimulable fluorescence. For example, a method of coloring the body so as to make it smaller than the average reflectance in the stimulated emission wavelength region. However, these methods are not preferable methods because the sensitivity inevitably decreases remarkably when the sharpness is improved.

前述のような欠点および特性間の相反性に鑑みて、特開
昭61−73100号には真空蒸着等の気相堆積法により蛍光
層から結着剤を取除いたパネルおよびその製造方法が提
案されている。これによれば、前記パネルの蛍光層が結
着剤を含有しないので蛍光層の充填率が著しく向上する
と共に蛍光層中での輝尽励起光および輝尽発光の指向性
が向上し、パネルの放射線に対する感度と画像の粒状性
が改善されると同時に画像の鮮鋭性も改善される。
In view of the above-mentioned drawbacks and reciprocity between properties, JP-A-61-73100 proposes a panel in which a binder is removed from a fluorescent layer by a vapor deposition method such as vacuum deposition and a manufacturing method thereof. Has been done. According to this, since the fluorescent layer of the panel does not contain a binder, the filling rate of the fluorescent layer is significantly improved and the directivity of stimulated excitation light and stimulated emission in the fluorescent layer is improved, and the panel The sensitivity to radiation and the graininess of the image are improved, while the sharpness of the image is also improved.

前記の結着剤を含有しないパネルはスパッタ法、CVD
法、蒸着法等種々の気相堆積方法で製造可能であるが、
製造コスト等を考慮すると蒸着法が最も好ましい方法と
言える。
Panels that do not contain the above binder are sputtered, CVD
It can be manufactured by various vapor deposition methods such as
It can be said that the vapor deposition method is the most preferable method in consideration of manufacturing cost and the like.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

さて、このような気相堆積法で製造された輝尽性蛍光体
層は、感度、鮮鋭性等の諸特性を改善する目的で後処理
として熱処理(アニール)を施されることがある。とこ
ろが、後処理において、一般的に行われている第6図に
示されるような装置を用いて熱処理(アニール)を施し
た場合、放射線画像変換パネルの放射線に対する感度が
低下することがあるという重大な欠点があることが判っ
た。
The photostimulable phosphor layer produced by such a vapor deposition method may be subjected to a heat treatment (annealing) as a post-treatment for the purpose of improving various characteristics such as sensitivity and sharpness. However, in the post-treatment, when the heat treatment (annealing) is performed by using the apparatus as shown in FIG. 6 which is generally performed, the radiation image conversion panel may be less sensitive to radiation. It turned out that there were some drawbacks.

そして、放射線画像変換パネルの放射線に対する感度が
低下する原因については、なかなか判らなかった。
Then, it is difficult to understand the cause of the decrease in the radiation sensitivity of the radiation image conversion panel.

しかし、鋭意、この原因について調査した結果、以下の
実験事実が判明した。すなわち、一般的に行われている
第6図に示されるような装置を用いる熱処理(アニー
ル)を施した場合、ある熱処理(アニール)温度に対す
る蛍光層中の輝尽性蛍光体を構成する複数の物質の蒸気
圧が異なるため、蒸気圧の高い物質ほど優先的に蒸発す
る。このため、支持体上に形成された熱処理(アニー
ル)後の蛍光層中の輝尽性蛍光体組成は、熱処理(アニ
ール)前の蛍光層中の組成と一致せず、付活剤の濃度
(含有率)が所定の濃度(含有率)から変動するため
に、放射線画像変換パネルの放射線に対する感度が低下
することがあることが判明した。
However, as a result of earnestly investigating the cause, the following experimental facts were found. That is, when heat treatment (annealing) using a device as shown in FIG. 6 that is generally performed is performed, a plurality of stimulable phosphors in the fluorescent layer for a certain heat treatment (annealing) temperature are formed. Since substances have different vapor pressures, substances having higher vapor pressure preferentially evaporate. Therefore, the composition of the stimulable phosphor in the fluorescent layer after heat treatment (annealing) formed on the support does not match the composition in the fluorescent layer before heat treatment (annealing), and the concentration of the activator ( It has been found that the sensitivity of the radiation image conversion panel to radiation may decrease because the content rate varies from a predetermined concentration (content rate).

なお、このような現像は、輝尽性蛍光体層を有する放射
線画像変換パネル特有の問題である。
Incidentally, such development is a problem peculiar to a radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer.

例えばTlを付活剤とするRbBr:Tl輝尽性蛍光体に関する
本発明者らの研究によると、該蛍光体の発光強度は第5
図に示すようにTl含有量が10-2〜100mol%の範囲では瞬
間発光強度は一定でありTl含有量が一定幅に吸っている
限り一般的蛍光体としてその組成比に関し深く注意する
必要はない。しかし、放射線画像変換パネルの輝尽発光
強度は3×10-2mol%付近にピークを有し、その前後で
大きく低下する。
For example, according to the research of the present inventors regarding the RbBr: Tl stimulable phosphor using Tl as an activator, the emission intensity of the phosphor is 5th.
Moment in the range Tl content of 10 -2 ~10 0 mol% luminous intensity as shown in FIG. Note deep respect to its composition ratio as long as a general phosphor Tl content is constant is smoked constant width No need. However, the stimulated emission intensity of the radiation image conversion panel has a peak near 3 × 10 -2 mol% and greatly decreases before and after that.

従って、輝尽発光を利用する放射線画像変換パネルの製
造において、高感度の放射線画像変換パネルを得るに
は、熱処理における付活剤濃度の制御が特に重要である
ことが判った。
Therefore, it has been found that control of the activator concentration in the heat treatment is particularly important in obtaining a radiation image conversion panel with high sensitivity in the production of a radiation image conversion panel utilizing stimulated emission.

また、その際に、輝尽性蛍光体層と直に接して付活輝尽
性蛍光体の付活剤成分を設置して、熱処理して、輝尽性
蛍光体層の付活剤成分が直に接している部分やその近傍
では付活剤濃度が高くなり、そうでない部分は付活剤濃
度が低くなって、輝尽性蛍光体層の感度分布のムラが発
生することがないように、付活輝尽性蛍光体の付活剤成
分を輝尽性蛍光体層から離れた位置に設置する工夫をし
た。
Further, in that case, the activator component of the stimulable phosphor is placed directly in contact with the stimulable phosphor layer, and heat-treated to obtain the activator component of the stimulable phosphor layer. The activator concentration becomes high in the part which is in direct contact with it and in the vicinity thereof, and the activator concentration becomes low in the part which is not so that unevenness in the sensitivity distribution of the stimulable phosphor layer does not occur. , The activator component of the stimulable phosphor is arranged at a position apart from the stimulable phosphor layer.

〔発明の目的〕[Object of the Invention]

本発明の目的は、熱処理時の付活輝尽性蛍光体の付活剤
の濃度(含有率)の変動による放射線画像変換パネルの
感度の低下を防止することである。また、輝尽性蛍光体
層の感度分布のムラの発生を防止しながら、放射線画像
変換パネルを高感度にすることである。
An object of the present invention is to prevent a decrease in sensitivity of the radiation image conversion panel due to a change in the concentration (content rate) of the activator of the activatable stimulable phosphor during heat treatment. Another object is to increase the sensitivity of the radiation image conversion panel while preventing the occurrence of uneven sensitivity distribution of the stimulable phosphor layer.

〔発明の構成および作用〕[Structure and Action of Invention]

本発明の目的は、付活輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍光体
層を形成し、形成した後、熱処理する、付活輝尽性蛍光
体を含む輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネル
の製造方法において、付活輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍
光体層を熱処理するに際して、前記輝尽性蛍光体層と同
一系内の前記輝尽性蛍光体層から離れた位置に設置され
た前記付活輝尽性蛍光体の付活剤成分を蒸気化すること
により達成される。
An object of the present invention is to form a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor, heat it after forming it, and have radiation having a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor. In the method for producing an image conversion panel, when heat-treating a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor, the stimulable phosphor layer was separated from the stimulable phosphor layer in the same system. This is achieved by vaporizing the activator component of the activatable stimulable phosphor placed at the position.

次に本発明を具体的に説明する。Next, the present invention will be specifically described.

輝尽性蛍光体からなる蛍光層に前記熱処理(熱増感処
理)を施すと、その熱増感曲線に特徴的な形状が顕れ
る。
When the heat treatment (thermal sensitization treatment) is applied to the fluorescent layer made of a stimulable phosphor, a characteristic shape appears in the thermal sensitization curve.

第1図に熱処理の各温度に於る熱増感曲線を示した。図
に於て曲線a,b及びcは200,400及び600℃に於るRbBr:Tl
からなる蛍光層の熱増感曲線である。
FIG. 1 shows the thermal sensitization curve at each temperature of heat treatment. Curves a, b and c are RbBr: Tl at 200, 400 and 600 ℃.
2 is a thermal sensitization curve of the fluorescent layer consisting of

熱増感曲線は温度と共に増感率、感度水準を急激に上げ
てゆくが、飽和点があり、その先は単調に減感してゆ
く。
The thermal sensitization curve sharply raises the sensitization rate and sensitivity level with temperature, but there is a saturation point, and beyond that point, the sensitivity is monotonically desensitized.

この傾向は輝尽性蛍光体中の輝尽性蛍光体母体より該蛍
光体母体に含まれているの付活剤の蒸気圧が小さい場合
には飽和点に続く前記減感は小さいが、輝尽性蛍光体母
体と、付活剤の蒸気圧がほぼ等しいか、あるいは、付活
剤の蒸気圧が大きい場合に、顕著である。
This tendency is that the desensitization following the saturation point is small when the vapor pressure of the activator contained in the phosphor matrix is smaller than that in the stimulable phosphor matrix in the stimulable phosphor, although the desensitization is small. This is remarkable when the vapor pressures of the stimulable phosphor matrix and the activator are almost equal to each other or the vapor pressures of the activator are high.

即ち熱増感処理によって蛍光体結晶の感度要因は感度上
昇に好都合に整備されてゆくが同時に付活剤の蛍光体母
体からの逃散が起こっており、飽和点で両者が拮抗し、
その後付活剤の逃散による減感効果が勝り、減感が露呈
してくると思われる。
That is, the sensitivity factor of the phosphor crystal is arranged by the thermal sensitization treatment to favorably increase the sensitivity, but at the same time, the activator escapes from the phosphor matrix, and at the saturation point the two antagonize each other.
After that, the desensitization effect due to the escape of the activator is predominant, and the desensitization will be exposed.

この観点に立って熱増感処理温度を200,400及び600℃に
とり、蛍光体を包む雰囲気を調整して蛍光層中のRbBr:T
l輝尽性蛍光体組成が変化しないようにして熱増感処理
を行ったところ、曲線a′,b′及びc′に示すごとく増
感飽和には向うものの減感現象は顕れない。
From this viewpoint, the thermal sensitization treatment temperature is set to 200, 400 and 600 ° C., and the atmosphere surrounding the phosphor is adjusted to adjust RbBr: T in the phosphor layer.
When the heat sensitization treatment was carried out while the composition of the stimulable phosphor was not changed, the desensitization phenomenon did not appear although it was toward the sensitization saturation as shown by the curves a ', b'and c'.

本発明は前記知見に基いて構成されたものである。The present invention is based on the above findings.

従って本発明の態様は、熱増感処理中及び/または後に
付活剤の逃散損を償却する点にあって、熱増感処理に於
る蛍光層の雰囲気を付活剤の蒸気圧に基づいて調整する
か或は別に準備した付活剤を含有したフィルムを蛍光層
に密着させ、付活剤を蛍光層へ滲透させる拡散法、或は
イオン注入法によってもよい。
Therefore, an aspect of the present invention is to amortize the escape loss of the activator during and / or after the heat sensitization treatment, and the atmosphere of the fluorescent layer in the heat sensitization treatment is based on the vapor pressure of the activator. Or a separately prepared film containing an activator may be brought into close contact with the fluorescent layer to diffuse the activator into the fluorescent layer by a diffusion method or an ion implantation method.

第2図(a)に拡散法熱増感装置の概要図を示す。FIG. 2 (a) shows a schematic diagram of the diffusion type thermal sensitizer.

図に示すように、付活剤を含有する付活輝尽性蛍光体を
含む輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネル21
は、放射線画像変換パネル21を熱処理するための容器で
ある熱処理容器22中に設置される。また、付活剤成分を
含有する物質粉末27は、物質粉末27を蒸発させるための
容器である蒸発容器26中に設置される。この付活剤成分
を含有する物質粉末27は、例えば、放射線画像変換パネ
ル21の付活輝尽性蛍光体がRbBr:Tlからなる蛍光体であ
る場合は、RbBr:Tl蛍光体、RbBr・TlBr混合粉末、ある
いはTlBr混合粉末などである。
As shown in the figure, a radiation image conversion panel 21 having a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor containing an activator.
Is installed in a heat treatment container 22 which is a container for heat treating the radiation image conversion panel 21. The substance powder 27 containing the activator component is placed in an evaporation container 26 which is a container for evaporating the substance powder 27. The substance powder 27 containing this activator component is, for example, RbBr: Tl phosphor, RbBr: TlBr, when the activatable stimulable phosphor of the radiation image conversion panel 21 is a phosphor composed of RbBr: Tl. It is a mixed powder or a TlBr mixed powder.

加熱手段である加熱用ヒータ23は放射線画像変換パネル
21を加熱するための手段である。また、加熱手段である
加熱用ヒータ25は物質粉末27を加熱するための手段であ
る。熱処理容器22と蒸発容器26はガス量調整バルブ28を
介して互いにつながっている。
The heating heater 23, which is a heating means, is a radiation image conversion panel.
It is a means for heating 21. The heating heater 25, which is a heating means, is a means for heating the substance powder 27. The heat treatment container 22 and the evaporation container 26 are connected to each other via a gas amount adjusting valve 28.

まず、増感を施すパネル21を熱処理容器22へ、付活剤を
含有する物質粉末27を蒸発容器26にそれぞれ設置する。
その後、加熱手段23,25でそれぞれの容器を所定の温度
まで加熱した後、ガス量調整バルブ28を徐々に開いて付
活剤ガスを熱処理容器22中へ拡散させる。ここで付活剤
の拡散量は蒸発器26の加熱温度、熱処理容器22と蒸発容
器26との温度差ガス量調整バルブ28の開閉量等によって
決まる。
First, the panel 21 to be sensitized is placed in the heat treatment container 22, and the substance powder 27 containing the activator is placed in the evaporation container 26.
Then, after heating each container to a predetermined temperature by the heating means 23, 25, the gas amount adjusting valve 28 is gradually opened to diffuse the activator gas into the heat treatment container 22. Here, the diffusion amount of the activator is determined by the heating temperature of the evaporator 26, the opening / closing amount of the temperature difference gas amount adjusting valve 28 between the heat treatment container 22 and the evaporation container 26, and the like.

パネル21の熱処理(アニール)温度Tは輝尽性蛍光体の
種類によっても異なるが輝尽性蛍光体母体の融点Tmより
低いことが好ましく、1/4Tm<T<Tmの範囲であること
がより好ましい。
Although the heat treatment (annealing) temperature T of the panel 21 varies depending on the type of the stimulable phosphor, it is preferably lower than the melting point Tm of the stimulable phosphor matrix, and more preferably 1 / 4Tm <T <Tm. preferable.

前記パネル21熱処理後室温まで所定の速度で冷却されて
本発明に係るパネルが完成する。
After the panel 21 is heat-treated, it is cooled to room temperature at a predetermined rate to complete the panel according to the present invention.

この装置によれば蛍光体結晶に対する熱増感と付活剤の
保償と更に蒸着時の結晶の乱れに対するアニールが同時
に行われる。
According to this apparatus, thermal sensitization of the phosphor crystal, compensation of the activator, and annealing for crystal disorder during vapor deposition are simultaneously performed.

第2図(b)は拡散法熱増感装置の他の例を示す概要図
である。図に示すように、付活剤を含有する付活輝尽性
蛍光体を含む輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パ
ネル21は、付活剤成分を含有する物質粉末である雰囲気
粉29と一緒に、放射線画像変換パネル21を熱処理するた
めの容器である熱処理容器30中に設置される。この際、
実質的に感度ムラが発生する程度に、放射線画像変換パ
ネル21の輝尽性蛍光体層に直に接するように、付活剤成
分を含有する物質粉末である雰囲気粉29を設置すると、
本発明外となる。
FIG. 2B is a schematic view showing another example of the diffusion method thermal sensitizer. As shown in the figure, the radiation image conversion panel 21 having a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor containing an activator is an atmosphere powder 29 which is a substance powder containing an activator component. Together with this, the radiation image conversion panel 21 is installed in a heat treatment container 30 which is a container for heat treatment. On this occasion,
Substantially sensitivity unevenness occurs, so as to be in direct contact with the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel 21, by installing the atmosphere powder 29, which is a substance powder containing an activator component,
It is outside the scope of the present invention.

本装置では増感を施すパネル21と付活剤を含有する物質
粉末(雰囲気粉29)とを熱処理容器30中に共存させると
ころに特徴がある。
This apparatus is characterized in that the panel 21 to be sensitized and the substance powder (atmosphere powder 29) containing the activator coexist in the heat treatment container 30.

このような雰囲気粉の使用によってパネル中の付活剤濃
度を簡単に調整、償却できる。
By using such atmosphere powder, the activator concentration in the panel can be easily adjusted and amortized.

雰囲気粉の付活剤濃度はアニール条件で異なるが、パネ
ル21の輝尽性蛍光体の付活剤濃度とほぼ等しいか大きい
ことが好ましい。
The activator concentration of the atmosphere powder varies depending on the annealing conditions, but it is preferable that it is substantially equal to or higher than the activator concentration of the stimulable phosphor of the panel 21.

また、パネル21の熱処理温度Tは前記と同様輝尽性蛍光
体母体の融点Tmより低いことが好ましく、1/4Tm<T<T
mの範囲であることがより好ましい。
Further, the heat treatment temperature T of the panel 21 is preferably lower than the melting point Tm of the stimulable phosphor matrix as described above, and 1 / 4Tm <T <T
More preferably, it is in the range of m.

次にイオン注入法で用いる装置の構成例を第3図に示
す。図に於て、a)イオン源部31では所要の付活剤イオ
ンをその固体あるいは塩化物、水素化物等のガスより生
成する。b)生成されたイオンは引出し電極32によって
引き出され、加速部で平均射影飛程や付活剤分布の設定
に応じてエネルギーを選択し、加速する。c)質量分析
部33では所要のエネルギーと質量をもったイオンを取り
出し、さらにd)偏向部34でχ−y方向にイオン・ビー
ムを均一掃引して、e)試料室35に取りつけられ加熱手
段37で熱処理(アニール)されているパネル36上に均一
照射する。このときチャネリングと呼ばれるイオンのト
ンネル進入を避けるために、パネル面をビーム方向に対
して7〜8゜程度傾けることが大切である。注入装置の
真空度は一般にイオン源部で約1×10-5Torr、試料部で
は10-7Torr台まで排気されている。
Next, FIG. 3 shows a structural example of an apparatus used in the ion implantation method. In the figure, a) In the ion source section 31, required activator ions are generated from the solid or gas such as chloride or hydride. b) The generated ions are extracted by the extraction electrode 32, and energy is selected and accelerated in the accelerating section according to the settings of the average projection range and the activator distribution. c) The mass spectrometric section 33 takes out ions having the required energy and mass, and d) the deflecting section 34 uniformly sweeps the ion beam in the χ-y direction, and e) the heating means attached to the sample chamber 35. The panel 36 that has been heat-treated (annealed) at 37 is uniformly irradiated. At this time, in order to avoid ion tunnel entry called channeling, it is important to incline the panel surface by about 7 to 8 ° with respect to the beam direction. The vacuum degree of the implanter is generally evacuated to about 1 × 10 -5 Torr in the ion source section and 10 -7 Torr in the sample section.

本発明に於て前記の付活剤の保償手段を含む熱増感処理
の対象となる蛍光層は、一般公知の気相推積法によって
形成された蛍光層である。
In the present invention, the fluorescent layer to be subjected to the thermal sensitization treatment including the activator compensation means is a fluorescent layer formed by a generally known vapor phase deposition method.

即ち該蛍光層は、緻密に推積された蛍光体非結晶(アモ
ルファス)からなっていてもよいし、微細柱状結晶が層
厚方向に縦に結束されて貝柱状に層を形成した形態でも
よい。或は前記貝柱状に結束して層をなした層表面には
大小の縦横に走るクレバスを配してもよい。更に微細柱
状結晶の各々の周囲に空隙を囲繞して霜柱状に蝟集した
形状の蛍光母体層であってもよい。
That is, the phosphor layer may be made of densely deposited phosphor non-crystal (amorphous), or may be in a form in which fine columnar crystals are vertically bundled in the layer thickness direction to form a layer in the shape of a scallop. . Alternatively, large and small crevasses running in the vertical and horizontal directions may be arranged on the surface of the layer formed by bundling the shell-shaped column. Further, the fluorescent matrix layer may have a shape in which voids are surrounded around each of the fine columnar crystals and are gathered in a frost column shape.

また前記クレバス或は空隙は層厚方向の上向き或は下向
きに消滅して微細柱状結晶が癒合していてもよい。
The crevasses or voids may disappear upward or downward in the layer thickness direction so that the fine columnar crystals are fused.

また前記した各形態の混合した蛍光層でもよい。Further, a mixed fluorescent layer of each of the above-mentioned forms may be used.

輝尽性蛍光体のうち、熱輝尽性蛍光体は励起に対する応
答性が遅い、時系列的に読取ることがむずかしい等の理
由により実用上光輝尽性蛍光体が有用であり、また500m
m以上の輝尽励起光で輝尽発光するものが好ましい。
Of the stimulable phosphors, the thermal stimulable phosphors are slow in response to excitation, and are practically useful as photostimulable phosphors because they are difficult to read in a time series.
Those that emit stimulated emission with stimulated excitation light of m or more are preferable.

本発明のパネルに用いられる光輝尽性蛍光体としては、
例えば特開昭55−12143号に記載されている一般式が (Ba1-x-yMgxCay)FX:eEu2+ (但し、XはBrおよびClの中の少なくとも1つであり、
x,yおよびeはそれぞれ0<x+y≦0.6、xy≠0および
10-6≦e≦5×10-2なる条件を満たす数である。)で表
されるアルカリ土類弗化ハロゲン化物蛍光体、特開昭55
−12144号に記載されている一般式が LnOX:xA (但しLnはLa,Y,GdおよびLuの少なくとも1つを、XはC
lおよび/またはBrを、AはCeおよび/またはTbを、x
は0<x<0.1を満足する数を表す。)で表され蛍光
体、特開昭55−12145号に記載されている一般式が (Ba1 -xMIIx)FX:yA (但しMIIは、Mg,Ca,Sr,ZnおよびCdのうちの少なくとも
1つを、XはCl,Br,およびIのうち少なくとも1つを、
AはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,およびErのうちの少
なくとも1つを、xおよびyは0≦x≦0.6および0≦
y≦0.2なる条件を満たす数を表す。)で表される蛍光
体、特開昭55−84389号に記載されている一般式が BaFX:xCe,yA (但し、XはCl,BrおよびIのうち少なくとも1つ、A
はIn,Tl,Gd,Sm,およびZrのうちの少なくとも1つであ
り、xおよびyはそれぞれ0<x≦2×10-1および0<
y≦5×10-2である。)で表される蛍光体、特開昭55−
160078号に記載されている一般式が MIIFX・xA:yLn (但しMIIはMg,Ca,Ba,Sr,Zn,およびCdのうちの少なくと
も1種、AはBeO,MgO,CaO,SrO,BaO,ZnO,Al2O3,Y2O3,La2
O3,In2O3,SiO2,TiO2,ZrO2,GeO2,SnO2,Nb2O5,Ta2O5,およ
びThO2のうち少なくとも1種、LnはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,
Ho,Nd,Yb,Er,Sm,およびGdのうち少なくとも1種であ
り、XはCl,BrおよびIのうちの少なくとも1種であ
り、xおよびyはそれぞれ5×10-5≦x≦0.5および0
<y≦0.2なる条件を満たす数である。)で表される希
土類元素付活2価金属フルオロハライド蛍光体、特開昭
59−38278号に記載されている下記いづれかの一般式 xM3(PO4・NX2:yA M3(PO4・yA (式中、MおよびNはそれぞれMg,Ca,Sr,Ba,Zn,およびC
dのうち少なくとも1種、XはF,Cl,Br,およびIのうち
少なくとも1種、AはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,
Sb,Tl,Mn,およびSnのうち少なくとも1種を表す。ま
た、xおよびyは0<x≦6、0≦y≦1なる条件を満
たす数である。)で表される蛍光体、下記いづれかの一
般式 nReX3・mAX2′:xEu nReX3・mAX2′:xEu,ySm (式中、ReはLa,Gd,Y,Lu,のうち少なくとも1種、Aは
アルカリ土類金属、Ba,Sr,Caのうち少なくとも1種、X
およびX′はF,Cl,Brのうち少なくとも1種を表す。ま
た、xおよびyは、1×10-4<x<3×10-1、1×10-4
<y<1×10-1なる条件を満たす数であり、n/mは1×1
0-2<n/m<7×10-1なる条件を満たす。)で表される蛍
光体、及び下記一般式 MIX・aMIIX2′・bMIIIX3″:cA (但し、MIはLi,Na,K,Rb,Csから選ばれる少なくとも1
種のアルカリ金属であり、MIIはBe,Mg,Ca,Sr,Ba,Zn,Cd,
CuおよびNiから選ばれる少なくとも1種の二価金属であ
る。
As the photostimulable phosphor used in the panel of the present invention,
For example, the general formula described in JP-A-55-12143 is (Ba1 - x - yMgxCay) FX: eEu2 + (where X is at least one of Br and Cl,
x, y and e are 0 <x + y ≦ 0.6, xy ≠ 0 and
It is a number that satisfies the condition of 10 −6 ≦ e ≦ 5 × 10 -2 . ) Alkaline earth fluorohalide phosphors represented by
The general formula described in No. 12144 is LnOX: xA (where Ln is at least one of La, Y, Gd and Lu, and X is C
l and / or Br, A is Ce and / or Tb, x
Represents a number satisfying 0 <x <0.1. Represented phosphor), the general formulas described in JP-A-employed stimulable phosphors are (Ba 1 - xM II x) FX: yA ( where M II is, Mg, Ca, Sr, of Zn and Cd At least one of X, Cl is at least one of Cl, Br, and I,
A is at least one of Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, and Er, and x and y are 0 ≦ x ≦ 0.6 and 0 ≦
It represents a number satisfying the condition y ≦ 0.2. ), A phosphor represented by the formula: BaFX: xCe, yA (where X is at least one of Cl, Br and I, A
Is at least one of In, Tl, Gd, Sm, and Zr, and x and y are 0 <x ≦ 2 × 10 −1 and 0 <, respectively.
y ≦ 5 × 10 −2 . ), A phosphor represented by
The general formula described in No. 160078 is M II FX xA: yLn (where M II is at least one of Mg, Ca, Ba, Sr, Zn, and Cd, A is BeO, MgO, CaO, SrO). , BaO, ZnO, Al 2 O 3 ,, Y 2 O 3 , La 2
O 3 , In 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2 , ZrO 2 , GeO 2 , SnO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , and at least one of ThO 2 , and Ln is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr,
At least one of Ho, Nd, Yb, Er, Sm, and Gd, X is at least one of Cl, Br, and I, and x and y are 5 × 10 −5 ≦ x ≦ 0.5, respectively. And 0
It is a number that satisfies the condition of <y ≦ 0.2. ) A divalent metal fluorohalide phosphor activated by a rare earth element represented by
59-38278, one of the following general formulas xM 3 (PO 4 ) 2 · NX 2 : yA M 3 (PO 4 ) 2 · yA (In the formula, M and N are respectively Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, and C
at least one of d, X is at least one of F, Cl, Br, and I, A is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er,
It represents at least one of Sb, Tl, Mn, and Sn. Further, x and y are numbers satisfying the conditions of 0 <x ≦ 6 and 0 ≦ y ≦ 1. ), A phosphor represented by the general formula nReX 3 · mAX 2 ′: xEu nReX 3 · mAX 2 ′: xEu, ySm (wherein Re is at least one of La, Gd, Y and Lu). , A is an alkaline earth metal, at least one of Ba, Sr, Ca, X
And X'represents at least one of F, Cl and Br. Further, x and y are 1 × 10 −4 <x <3 × 10 −1 , 1 × 10 −4.
<Y <1 × 10 -1 is a number satisfying the condition, and n / m is 1 × 1
The condition of 0 -2 <n / m <7 × 10 -1 is satisfied. Phosphor represented by), and the following general formula M I X · aM II X 2 '· bM III X 3 ": cA ( where, M I at least 1 to Li, Na, K, Rb, selected from Cs
Alkali metals of species, M II is Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd,
It is at least one divalent metal selected from Cu and Ni.

MIIIはSc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Td,Dy,Ho,Er,Tm,
Yb,Lu,Al,Ga,およびInから選ばれる少なくとも1種の三
価金属である。
M III is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Td, Dy, Ho, Er, Tm,
It is at least one trivalent metal selected from Yb, Lu, Al, Ga, and In.

X,X′およびX″はF,Cl,BrおよびIから選ばれる少なく
とも1種のハロゲンである。
X, X'and X "are at least one halogen selected from F, Cl, Br and I.

AはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,Gd,Lu,Sm,Y,Tl,N
a,Ag,Cu,およびMgから選ばれる少なくとも1種の金属で
ある。また、aは0≦a<0.5の範囲の数値であり、b
は0≦b<0.5の範囲の数値であり、cは0<c≦0.2の
範囲の数値である。)で表されるアルカリハライド蛍光
体等が挙げられる。特にアルカリハライド蛍光体は、蒸
着・スパッタリング等の方法で蛍光層を形成させやすく
好ましい。
A is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, N
It is at least one metal selected from a, Ag, Cu, and Mg. Also, a is a numerical value in the range of 0 ≦ a <0.5, and b
Is a numerical value in the range of 0 ≦ b <0.5, and c is a numerical value in the range of 0 <c ≦ 0.2. ) Alkali halide phosphors represented by). Alkali halide phosphors are particularly preferable because they facilitate the formation of a phosphor layer by a method such as vapor deposition and sputtering.

しかし、本発明に係るパネルに用いられる輝尽性蛍光体
は、前述の蛍光体に限られるものではなく、放射線を照
射した後輝尽励起光を照射した場合に輝尽発光を示す蛍
光体であればいかなる蛍光体であってもよい。
However, the stimulable phosphor used in the panel according to the present invention is not limited to the above-mentioned phosphor, and is a phosphor that exhibits stimulated emission when irradiated with stimulated excitation light after irradiation with radiation. Any phosphor may be used as long as it is used.

本発明に係るパネルは前記の輝尽性蛍光体の少なくとも
一種類を含む一つ若しくは二つ以上の蛍光層から成る蛍
光層群であってもよい。また、それぞれの蛍光層に含ま
れる輝尽性蛍光体は同一であってもよいが異なっていて
もよい。
The panel according to the present invention may be a fluorescent layer group composed of one or two or more fluorescent layers containing at least one kind of the stimulable phosphor described above. The stimulable phosphors contained in each phosphor layer may be the same or different.

本発明に係るパネルの蛍光層の層厚はパネルの放射線に
対する感度、輝尽性蛍光体の種類等によって異なるが、
30μm〜1000μmの範囲から選ばれるのが好ましく、60
μm〜600μmの範囲から選ばれるがより好ましい。
The layer thickness of the fluorescent layer of the panel according to the present invention varies depending on the sensitivity of the panel to radiation, the type of stimulable phosphor, and the like,
It is preferably selected from the range of 30 μm to 1000 μm, 60
It is more preferably selected from the range of μm to 600 μm.

さらに、本発明に係るパネルの蛍光層は前述のように輝
尽励起光および輝尽発光の指向性に優れているため、輝
尽励起光の蛍光層中での散乱が減少し、画像の鮮鋭性が
著しく向上する。
Furthermore, since the fluorescent layer of the panel according to the present invention is excellent in the directivity of stimulated excitation light and stimulated emission as described above, scattering of the stimulated excitation light in the fluorescent layer is reduced, resulting in a sharp image. Significantly improved.

本発明に係るパネルにおいて用いられる支持体としては
各種高分子材料、ガラス、金属、セラミッツス等が用い
られ、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフ
ィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリア
ミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフ
ィルム、ポリカーボネートフィルム等のプラスチックフ
ィルム、アルミニウム、鉄、銅、クロム等の金属シート
或は該金属酸化物の被覆層を有する金属シートが好まし
い。
As the support used in the panel according to the present invention, various polymer materials, glass, metal, ceramics, etc. are used, and cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyamide film, polyimide film, triacetate film, polycarbonate film, etc. The plastic film, a metal sheet of aluminum, iron, copper, chromium or the like, or a metal sheet having a coating layer of the metal oxide is preferable.

さらにこれらの支持体は、蛍光層との接着性を向上させ
る目的で蛍光層が設けられる面に下引層を設けてもよ
い。また、これら支持体の層厚は用いる支持体の材質等
によて異なるが、一般的には80μm〜2000μmであり、
取扱い上の点からさらに好ましくは80μm〜1000μmで
ある。
Further, these supports may be provided with an undercoat layer on the surface on which the fluorescent layer is provided for the purpose of improving the adhesiveness with the fluorescent layer. The layer thickness of these supports varies depending on the material of the support used, etc., but is generally 80 μm to 2000 μm,
From the viewpoint of handling, it is more preferably 80 μm to 1000 μm.

本発明に係るパネルにおいては、一般的に前記蛍光層が
露呈する面に、蛍光層を物理的にあるいは化学的に保護
するための保護層が設けられてもよい。この保護層は保
護層用途布液を蛍光層上に直接塗布して形成してもよい
し、或はあらかじめ別途形成した保護層を蛍光層上に接
着してもよい。保護層の材料としては酢酸セルロース、
ニトロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポリビ
ニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリカーボネ
ート、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレン、塩化ビニリデン、ナイロン等の通常の保護
層用材料が用いられる。
In the panel according to the present invention, a protective layer for physically or chemically protecting the fluorescent layer may be provided on the surface where the fluorescent layer is generally exposed. This protective layer may be formed by directly applying the protective layer application liquid onto the fluorescent layer, or by adhering a separately formed protective layer to the fluorescent layer. Cellulose acetate as the material of the protective layer,
Usual protective layer materials such as nitrocellulose, polymethylmethacrylate, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, polycarbonate, polyester, polyethylene terephthalate, polyethylene, vinylidene chloride and nylon are used.

また、この保護層は蒸着法、スパッタ法等により、SiC,
SiO2,SiN,Al2O3などの無機物質を積層して形成してもよ
い。これらの保護層の層厚は一般には0.1μm〜100μm
程度が好ましい。
In addition, this protective layer is made of SiC,
It may be formed by stacking inorganic substances such as SiO 2 , SiN, and Al 2 O 3 . The thickness of these protective layers is generally 0.1 μm to 100 μm.
A degree is preferable.

本発明に係るパネルは第4図に概略的に示される放射線
画像変換方法に用いられた場合、優れた鮮鋭性、粒状性
および感度を与える。すなわち、第4図において、41は
放射線発生装置、42は被写体、43は本発明によるパネ
ル、44は輝尽励起光源、45は該パネルにより放射された
輝尽発光を検出する光電変換装置、46は45で検出された
信号を画像として再生する装置、47は再生された画像を
表示する装置、48は輝尽励起光と輝尽蛍光とを分離し、
輝尽蛍光のみを透過させるフィルタである。尚45以降は
43からの光情報を何らかの形で画像として再生できるも
のであればよく、上記に限定されるものではない。
The panel according to the present invention provides excellent sharpness, graininess and sensitivity when used in the radiation image conversion method shown schematically in FIG. That is, in FIG. 4, 41 is a radiation generator, 42 is a subject, 43 is a panel according to the present invention, 44 is a stimulated excitation light source, 45 is a photoelectric conversion device for detecting stimulated emission emitted by the panel, 46 Is a device that reproduces the signal detected by 45 as an image, 47 is a device that displays the reproduced image, 48 separates stimulated excitation light and stimulated fluorescence,
It is a filter that transmits only stimulated fluorescence. After 45
The light information from 43 can be reproduced as an image in some form, and is not limited to the above.

第4図に示されるように、放射線発生装置41からの放射
線は被写体42を通して本発明によるパネル43に入射す
る。この入射した放射線はパネル43の蛍光層に吸収さ
れ、そのエネルギーが蓄積され、放射線透過像の蓄積像
が形成される。次にこの蓄積像を輝尽励起光源44からの
輝尽励起光で励起して輝尽発光として放出せしめる。パ
ネル43は、蛍光層中に結着剤が含まれておらず、蛍光層
の輝尽励起光の指向性が高いため上記輝尽励起光による
走査の際に、輝尽励起光が蛍光層中で拡散するのが抑制
される。
As shown in FIG. 4, the radiation from the radiation generator 41 enters the panel 43 according to the present invention through the subject 42. The incident radiation is absorbed by the fluorescent layer of the panel 43, the energy is accumulated, and an accumulated image of a radiation transmission image is formed. Next, this accumulated image is excited by stimulated excitation light from the stimulated excitation light source 44 and emitted as stimulated emission. The panel 43 does not contain a binder in the fluorescent layer, and since the directivity of the stimulated excitation light of the fluorescent layer is high, during scanning with the stimulated excitation light, the stimulated excitation light is in the fluorescent layer. It suppresses the diffusion.

放射される輝尽発光の強弱は蓄積された放射線エネルギ
ー量に比例するので、この光信号を例えば光電子増倍管
等の光電変換装置45で光電変換し、画像再生装置46によ
って画層として再生し、画像表示装置47によって表示す
ることにより、被写体の放射線透過像を観察することが
できる。
Since the intensity of the stimulated emission emitted is proportional to the amount of accumulated radiation energy, this optical signal is photoelectrically converted by the photoelectric conversion device 45 such as a photomultiplier tube and reproduced as an image layer by the image reproduction device 46. By displaying the image on the image display device 47, a radiation transmission image of the subject can be observed.

(実施例) 次に実施例によって本発明を説明する。(Example) Next, the present invention will be described with reference to an example.

実施例 1 支持体として1000μm厚の石英ガラスを蒸着器中に設置
した。次に、抵抗加熱用のモリブデンボートに目的とす
るアルカリハライド輝尽性蛍光体(RbBr:0.0003Tl)の
原料であるRbBrを入れ、もう一方のタンタルボートには
TlBrを入れ抵抗加熱用電極にセットし、続いて蒸着器を
排気して2×10-6Torrの真空度とした。次に、モリブデ
ン、タンタルそれぞれのボートに電流を流し抵抗加熱法
によってRbBr,TlBrを蒸発させた。膜厚検出計によりRbB
r,TlBrの蒸着速度を各々コントロールしながら前記支持
体上にRbBr;0.0003Tl輝尽性蛍光体を層厚が300μmの厚
さになるまで堆積されてパネルSを得た。
Example 1 Quartz glass having a thickness of 1000 μm was placed in a vapor depositor as a support. Next, put RbBr, which is the raw material of the desired alkali halide stimulable phosphor (RbBr: 0.0003Tl), into the molybdenum boat for resistance heating, and put it in the other tantalum boat.
TlBr was charged and set on the resistance heating electrode, and then the vaporizer was evacuated to a vacuum degree of 2 × 10 −6 Torr. Next, RbBr and TlBr were evaporated by a resistance heating method by passing an electric current through each boat of molybdenum and tantalum. RbB by film thickness detector
A panel S was obtained by depositing RbBr; 0.0003Tl stimulable phosphor on the support while controlling the vapor deposition rates of r and TlBr to a thickness of 300 μm.

次にパネルSを第2図(a)に示す拡散法熱増感装置の
熱処理容器にセットし、ここにTlBr濃度が0.0003molと
なる量のTlBr蒸気を送り込み600℃、1時間熱処理し
た。このようにして本発明の製造方法によるパネルAを
得た。
Next, the panel S was set in the heat treatment container of the diffusion type thermal sensitizer shown in FIG. 2 (a), and TlBr vapor in an amount so that the TlBr concentration was 0.0003 mol was fed into the panel S and heat treated at 600 ° C. for 1 hour. In this way, a panel A obtained by the manufacturing method of the present invention was obtained.

このようにして得られた本発明によるパネルAに管電圧
50KVpのX線を10mR照射した後、半導体レーザ光(790n
m)で輝尽励起し、輝尽性蛍光層から放射される輝尽発
光を光検出器(光電子増倍管)で光電変換し、この信号
を画像再生装置によって画像として再生し、銀塩フィル
ム上に記録した。信号の大きさより、パネルAのX線に
対する感度を調べ第1表に示す。
The tube voltage is applied to the panel A according to the present invention thus obtained.
After irradiating 10mR of 50KVp X-ray, semiconductor laser light (790n
The photostimulated luminescence emitted from the stimulable phosphor layer is photo-electrically converted by a photodetector (photomultiplier tube), and this signal is reproduced as an image by an image reproduction device. Recorded above. The sensitivity of panel A to X-rays was examined from the magnitude of the signal, and the results are shown in Table 1.

第1表において、X線に対する感度は本発明によりパネ
ルAを100として相対値で示してある。
In Table 1, the sensitivities to X-rays are shown as relative values with panel A as 100 according to the invention.

(実施例 2) 実施例1に於いて得られたパネルSを第2図(b)に示
す装置の熱処理容器に入れ、この回りに、目的とする蛍
光層の組成と同じ組成の混合粉末(RbBr+0.0003TlBr)
を充填した。次にこの容器を600℃、1時間熱処理する
ことにより、本発明の製造方法によるパネルBを得た。
このようにして得られたパネルBは実施例1と同様にし
て評価しその結果を第1表に示す。
(Example 2) The panel S obtained in Example 1 was placed in a heat treatment container of the apparatus shown in Fig. 2 (b), and around this, a mixed powder of the same composition as the intended composition of the fluorescent layer ( RbBr + 0.0003TlBr)
Was filled. Next, this container was heat-treated at 600 ° C. for 1 hour to obtain a panel B according to the manufacturing method of the present invention.
The panel B thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1 and the results are shown in Table 1.

(実施例 3) 熱処理条件を300℃、3時間とした以外は実施例2と同
様にして本発明の製造方法によるパネルCを得た。この
ようにして得られたパネルCは実施例1と同様にして評
価しその結果を第1表に示す。
(Example 3) A panel C according to the manufacturing method of the present invention was obtained in the same manner as in Example 2 except that the heat treatment conditions were 300 ° C and 3 hours. The panel C thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

比較例(1) 実施例1に於いて得られたパネルSを第6図に示す装置
の熱処理容器に入れこれを600℃、1時間熱処理するこ
とにより比較のパネルPを得た。このようにして得られ
た比較のパネルPは実施例1と同様にして評価しその結
果を第1表に示す。
Comparative Example (1) The panel S obtained in Example 1 was placed in a heat treatment container of the apparatus shown in FIG. 6 and heat-treated at 600 ° C. for 1 hour to obtain a comparative panel P. The comparative panel P thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1 and the results are shown in Table 1.

比較例(2) 熱処理条件を300℃、3時間とする以外は比較例1と同
様にして比較のパネルQを得た。このようにして得られ
た比較のパネルQは実施例1と同様にして評価し、その
結果を第1表に示す。
Comparative Example (2) A comparative panel Q was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the heat treatment conditions were 300 ° C. and 3 hours. The comparative panel Q thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

第1表より明らかなように、本発明の製造方法によるパ
ネルA,B,Cは比較のパネルP,Qに比べて、粒状性、鮮鋭性
は同等ながらX線感度は約2〜3倍高いものとなった。
これは熱処理時における蛍光層からの付活剤の逃散がお
さえられ、熱増感効果が有効に生かされたためである。
一方比較のパネルP,Qは熱処理時に付活剤が逃散し、こ
のためX線感度が著しく低下してしまった。
As is clear from Table 1, the panels A, B, and C produced by the manufacturing method of the present invention have the same graininess and sharpness as those of the comparative panels P and Q, but the X-ray sensitivity is about 2-3 times higher. It became a thing.
This is because escape of the activator from the fluorescent layer during heat treatment was suppressed, and the thermal sensitizing effect was effectively utilized.
On the other hand, in the comparative panels P and Q, the activator escaped during the heat treatment, resulting in a marked decrease in X-ray sensitivity.

また、熱処理による増感効果は未熱処理パネルSとの比
較により明らかである。
Further, the sensitizing effect by the heat treatment is clear by comparison with the unheated panel S.

(発明の効果) 本発明により、熱処理時の付活輝尽性蛍光体の付活剤の
濃度(含有率)の変動による放射線画像変換パネルの感
度の低下を防止することができる。また、輝尽性蛍光体
層と直に接して、付活輝尽性蛍光体の付活剤成分を設置
して熱処理した場合のような、輝尽性蛍光体層の感度分
布のムラの発生も防止できる。
(Effect of the Invention) According to the present invention, it is possible to prevent a decrease in sensitivity of a radiation image conversion panel due to a change in the concentration (content rate) of the activator of the activatable stimulable phosphor during heat treatment. In addition, occurrence of unevenness in the sensitivity distribution of the stimulable phosphor layer, as in the case where the activator component of the stimulable phosphor is placed in direct contact with the stimulable phosphor layer and subjected to heat treatment. Can also be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は熱処理時間に対する感度変化を表わす図であ
る。 第2図は本発明に用いられる拡散法熱増感装置、第3図
は本発明に用いられるイオン注入装置の夫々一例を示す
概要図である。 第4図は本発明に係るパネルを用いる放射線画像変換方
法の説明図である。 第5図はRbBr:Tl蛍光体の発光強度とTl含有量との関係
図である。 第6図は従来の熱処理方法に用いられる熱処理装置の一
例である。 21……増感を施すパネル、22,30,62……熱処理容器 23,63……加熱用ヒータ、24,64……熱処理炉 25……加熱用ヒータ、26……蒸発容器 27……付活剤を含有する物質粉末 28……ガス量調整バルブ、29……雰囲気粉 31……イオン源部、32……引出・加速レンズ部 33……質料分析部、34……偏向部 35……試料室、36……増感を施すパネル 37……加熱用ヒータ
FIG. 1 is a diagram showing a change in sensitivity with respect to heat treatment time. FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a diffusion-type thermal sensitizer used in the present invention, and FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of an ion implantation device used in the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of a radiation image conversion method using the panel according to the present invention. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the emission intensity of the RbBr: Tl phosphor and the Tl content. FIG. 6 shows an example of a heat treatment apparatus used in a conventional heat treatment method. 21 …… Intensifying panel, 22,30,62 …… Heat treatment container 23,63 …… Heating heater, 24,64 …… Heat treatment furnace 25 …… Heating heater, 26 …… Evaporation container 27 …… Substance powder containing activator 28 …… Gas amount control valve, 29 …… Atmosphere powder 31 …… Ion source part, 32 …… Extraction / accelerating lens part 33 …… Material analysis part, 34 …… Deflecting part 35 …… Sample chamber, 36 ... Sensitization panel 37 ... Heating heater

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 文生 東京都日野市さくら町1番地 小西六写真 工業株式会社内 審査官 田村 爾 (56)参考文献 特開 昭59−36183(JP,A) 特開 昭52−144386(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (72) Inventor Fumio Shimada 1 Sakura-cho, Hino-shi, Tokyo Konishi Roku Photo Industrial Co., Ltd. Examiner Taji Tamura (56) Reference JP-A-59-36183 (JP, A) Special Kaisho 52-144386 (JP, A)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】付活輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍光体層を
形成し、形成した後、熱処理する、付活輝尽性蛍光体を
含む輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルの製
造方法において、 付活輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍光体層を熱処理するに
際して、前記輝尽性蛍光体層と同一系内の前記輝尽性蛍
光体層から離れた位置に設置された前記付活輝尽性蛍光
体の付活剤成分を蒸気化することを特徴とする放射線画
像変換パネルの製造方法。
1. A radiographic image having a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor, which is formed by forming a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor and then heat-treating. In the method for manufacturing a conversion panel, when heat-treating a stimulable phosphor layer containing an activating stimulable phosphor, a position separated from the stimulable phosphor layer in the same system as the stimulable phosphor layer A method for producing a radiation image conversion panel, characterized in that the activator component of the activatable stimulable phosphor installed in the above is vaporized.
【請求項2】前記輝尽性蛍光体層が気相堆積法により形
成されたものであることを特徴とする請求項1の放射線
画像変換パネルの製造方法。
2. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the stimulable phosphor layer is formed by a vapor deposition method.
【請求項3】前記付活輝尽性蛍光体が、前記付活輝尽性
蛍光体の付活剤の蒸気圧が輝尽性蛍光体母体の蒸気圧と
ほぼ等しいか大きい付活輝尽性蛍光体であることを特徴
とする請求項1または2の放射線画像変換パネルの製造
方法。
3. The activating stimulable phosphor, wherein the vapor pressure of the activator of the activating stimulable phosphor is substantially equal to or larger than the vapor pressure of the stimulable phosphor matrix. It is a fluorescent substance, The manufacturing method of the radiation image conversion panel of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項4】前記付活輝尽性蛍光体が付活剤の含有量に
対して輝尽発光のピークを有するものであることを特徴
とする請求項1、2または3の放射線画像変換パネルの
製造方法。
4. The radiation image conversion panel according to claim 1, 2 or 3, wherein the activatable stimulable phosphor has a peak of stimulated luminescence with respect to the content of the activator. Manufacturing method.
【請求項5】付活剤成分を蒸気化するのに、前記放射線
画像変換パネルと同一系内の前記輝尽性蛍光体層から離
れた位置に設置された前記付活輝尽性蛍光体の付活剤成
分を加熱することを特徴とする請求項1、2、3または
4の放射線画像変換パネルの製造方法。
5. A method for vaporizing an activator component, wherein the activator phosphor is placed at a position apart from the photostimulable phosphor layer in the same system as the radiation image conversion panel. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the activator component is heated.
【請求項6】付活剤成分を蒸気化するのに、前記放射線
画像変換パネルと同一系内の前記輝尽性蛍光体層から離
れた位置に設置されたイオン源により、前記付活輝尽性
蛍光体の付活剤成分イオンを生成することを特徴とする
請求項1、2、3または4の放射線画像変換パネルの製
造方法。
6. The vaporization of the activator component is performed by an ion source installed at a position apart from the stimulable phosphor layer in the same system as the radiation image conversion panel. 5. The method for producing a radiation image conversion panel according to claim 1, wherein the activator component ions of the fluorescent substance are generated.
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