JPH0721466B2 - 自動多機能分析装置 - Google Patents
自動多機能分析装置Info
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- JPH0721466B2 JPH0721466B2 JP59148927A JP14892784A JPH0721466B2 JP H0721466 B2 JPH0721466 B2 JP H0721466B2 JP 59148927 A JP59148927 A JP 59148927A JP 14892784 A JP14892784 A JP 14892784A JP H0721466 B2 JPH0721466 B2 JP H0721466B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子線照射によって試料から発生する各種の
量子信号を検出してその量子信号から元素の濃度を計算
し、濃度のカラー・マップ像を出力するとともに、指定
された帯状領域のラインプロファイルを出力する自動多
機能分析装置に関するものである。
量子信号を検出してその量子信号から元素の濃度を計算
し、濃度のカラー・マップ像を出力するとともに、指定
された帯状領域のラインプロファイルを出力する自動多
機能分析装置に関するものである。
第１図は自動多機能分析装置のシステム構成を示す図で
あり、１は電子銃、２は収束レンズ、３は走査コイル、
４は対物レンズ、５は反射電子検出器、６は試料、７は
試料ステージ、８はＸ線分光器、９は走査電源、10は映
像ディジタイザ、11はＸ線計測装置、12はステージ・ド
ライバ、13ないし16はインターフェイス、17はコンピュ
ータ、18はカラー・グラフィック・ディスプレイ、19は
XYグラフィック・プロッタ、20はコンソール・プリン
タ、21はハードディスク、22は磁気テープをそれぞれ示
している。
あり、１は電子銃、２は収束レンズ、３は走査コイル、
４は対物レンズ、５は反射電子検出器、６は試料、７は
試料ステージ、８はＸ線分光器、９は走査電源、10は映
像ディジタイザ、11はＸ線計測装置、12はステージ・ド
ライバ、13ないし16はインターフェイス、17はコンピュ
ータ、18はカラー・グラフィック・ディスプレイ、19は
XYグラフィック・プロッタ、20はコンソール・プリン
タ、21はハードディスク、22は磁気テープをそれぞれ示
している。
自動多機能分析装置（Comprehensive Multi Analyzer;C
MA装置）は、電子線照射によって試料から発生する各種
の量子信号（特性Ｘ線、反射電子、二次電子等）を検出
し、試料表面の二次元的組成分布に対応させた情報収集
と処理を行い、解析結果をカラー・ディスプレイ等に出
力するものであり、そのシステム構成を示したのが第１
図である。
MA装置）は、電子線照射によって試料から発生する各種
の量子信号（特性Ｘ線、反射電子、二次電子等）を検出
し、試料表面の二次元的組成分布に対応させた情報収集
と処理を行い、解析結果をカラー・ディスプレイ等に出
力するものであり、そのシステム構成を示したのが第１
図である。
第１図において、走査電源９により走査コイル３をドラ
イブすると、極めて細い電子線束をTV走査のように試料
表面で二次元走査する微小領域分析を行うことができ、
ステージ・ドライバ12によりステージ７をドライブする
と、電子線を固定し試料そのものをXY駆動走査する広領
域分析を行うことができる。電子線照射によって試料か
ら発生する特性Ｘ線はＸ線分光器８により検出され、反
射電子は反射電子検出器５により検出される。検出され
た各元素の画素毎の生データは、Ｘ線計測装置11、イン
ターフェイス15を通して、又は映像ディジタイザ10、イ
ンターフェイス14を通して試料面に対応する整列された
フォーマットでハードディスク21に収録される。コンピ
ュータ17は、主メモリを有し制御プログラムを実行する
ことにより、インターフェイス13ないし16を通して上述
の如き電子線径と照射位置、Ｘ線の分光検出と計測、試
料の駆動、量子信号情報の数値化等の制御を行い、さら
にはハードディスク21に収録された生データの解析、結
果の出力等の処理を行う。なお、データ格納手段として
は、ハードディスク21の他、コンピュータ17の主メモリ
や磁気テープ（MT）22等があり、適宜これらの手段が利
用される。また、カラー・グラフィック・ディスプレイ
18に表示するデータの格納手段として、図示しないが、
フレーム・メモリが用いられることもある。
イブすると、極めて細い電子線束をTV走査のように試料
表面で二次元走査する微小領域分析を行うことができ、
ステージ・ドライバ12によりステージ７をドライブする
と、電子線を固定し試料そのものをXY駆動走査する広領
域分析を行うことができる。電子線照射によって試料か
ら発生する特性Ｘ線はＸ線分光器８により検出され、反
射電子は反射電子検出器５により検出される。検出され
た各元素の画素毎の生データは、Ｘ線計測装置11、イン
ターフェイス15を通して、又は映像ディジタイザ10、イ
ンターフェイス14を通して試料面に対応する整列された
フォーマットでハードディスク21に収録される。コンピ
ュータ17は、主メモリを有し制御プログラムを実行する
ことにより、インターフェイス13ないし16を通して上述
の如き電子線径と照射位置、Ｘ線の分光検出と計測、試
料の駆動、量子信号情報の数値化等の制御を行い、さら
にはハードディスク21に収録された生データの解析、結
果の出力等の処理を行う。なお、データ格納手段として
は、ハードディスク21の他、コンピュータ17の主メモリ
や磁気テープ（MT）22等があり、適宜これらの手段が利
用される。また、カラー・グラフィック・ディスプレイ
18に表示するデータの格納手段として、図示しないが、
フレーム・メモリが用いられることもある。
ハードディスク21に収録された生データは、そのまま白
黒により表示出力しても、その表示出力の内容からは種
々の分析を行うことが難しいため、従来は、生データを
もとに元素の濃度計算を行い、元素の濃度をレベル分け
し各々のレベルに対応した色でマップ像を、カラー・グ
ラフィック・ディスプレイ18やXYグラフィック・プロッ
タ19を使って出力することが考えられている。
黒により表示出力しても、その表示出力の内容からは種
々の分析を行うことが難しいため、従来は、生データを
もとに元素の濃度計算を行い、元素の濃度をレベル分け
し各々のレベルに対応した色でマップ像を、カラー・グ
ラフィック・ディスプレイ18やXYグラフィック・プロッ
タ19を使って出力することが考えられている。
例えば、圧延鋼材の品質評価を行う場合におけるライン
分析による偏析の定量評価法として、従来は、鋼の表面
若しくは中心部等の切断面より小ドリルを用いて一方向
に多数点にわたり鋼箔片を切り出し化学分析する連続ド
リル採取による化学分析法と、自動多機能分析装置によ
り出力された上述の如きマップ像上のＸ方向若しくはＹ
方向で濃度のラインプロファイルを出力する１ラインプ
ロファイル法とが採用されている。
分析による偏析の定量評価法として、従来は、鋼の表面
若しくは中心部等の切断面より小ドリルを用いて一方向
に多数点にわたり鋼箔片を切り出し化学分析する連続ド
リル採取による化学分析法と、自動多機能分析装置によ
り出力された上述の如きマップ像上のＸ方向若しくはＹ
方向で濃度のラインプロファイルを出力する１ラインプ
ロファイル法とが採用されている。
上述の如き圧延鋼材において、Ｃ、Mn、Ｐ、Ｓ等の濃度
偏析しやすい元素は圧延によってその分布状態が圧延方
向に薄く引き延ばされており、ミクロ的にちぎれて不連
続になってしまう場合が多い。かかる圧延鋼材に対する
偏析の定量評価を行う場合、上述した前者の連続ドリル
採取による化学分析法では、数mm以下の偏析の解析は不
可能であり、検査面（分析面積の単位）が数mm単位とな
り、大まかな編析調査となるため、その結果が不連続、
不正確になりやすく、さらには、試料を破壊してしまう
（破壊検査）という問題がある。他方、１ラインプロフ
ァイル法は、１ラインでは分析面積の単位が小さすぎる
場合がある。特に圧延鋼材の場合には鋼の品質との対応
において、そのライン分析位置によっては分析値の代表
性に問題がある。本発明は、上述の問題点の解決を図っ
たものであり、分析値の代表性を損なうことなく、迅速
且つ効率的にマクロ的な鋼の品質評価を行い得る自動多
機能分析装置の濃度線分析方式を提供することを目的と
するものである。
偏析しやすい元素は圧延によってその分布状態が圧延方
向に薄く引き延ばされており、ミクロ的にちぎれて不連
続になってしまう場合が多い。かかる圧延鋼材に対する
偏析の定量評価を行う場合、上述した前者の連続ドリル
採取による化学分析法では、数mm以下の偏析の解析は不
可能であり、検査面（分析面積の単位）が数mm単位とな
り、大まかな編析調査となるため、その結果が不連続、
不正確になりやすく、さらには、試料を破壊してしまう
（破壊検査）という問題がある。他方、１ラインプロフ
ァイル法は、１ラインでは分析面積の単位が小さすぎる
場合がある。特に圧延鋼材の場合には鋼の品質との対応
において、そのライン分析位置によっては分析値の代表
性に問題がある。本発明は、上述の問題点の解決を図っ
たものであり、分析値の代表性を損なうことなく、迅速
且つ効率的にマクロ的な鋼の品質評価を行い得る自動多
機能分析装置の濃度線分析方式を提供することを目的と
するものである。
そのために本発明の自動多機能分析装置の濃度線分析方
式は、電子線照射によって試料から発生する各種の量子
信号を検出し、試料表面の二次元的組成分布に対応させ
た元素の濃度の情報収集と処理を行い、解析結果をカラ
ー・ディスプレイ等に出力する自動多機能分析装置にお
いて、検出した量子信号より元素の濃度計算を行う濃度
計算手段、元素の濃度をレベル分けし各々のレベルに対
応した色でマップ像を出力するマップ像出力手段、出力
されたマップ像上に２本のラインにより任意の帯状領域
を指定する領域指定手段、指定された帯状領域につき幅
方向に平均濃度を計算する平均濃度計算手段、及び該計
算された平均濃度をラインプロファイル出力する分析出
力手段を具備し、マップ像上でＸ方向若しくはＹ方向の
２本のラインにより挟まれた任意の帯状領域が指定され
た場合には、当該帯状領域の平均濃度をラインプロファ
イル出力するように構成したことを特徴とするものであ
る。
式は、電子線照射によって試料から発生する各種の量子
信号を検出し、試料表面の二次元的組成分布に対応させ
た元素の濃度の情報収集と処理を行い、解析結果をカラ
ー・ディスプレイ等に出力する自動多機能分析装置にお
いて、検出した量子信号より元素の濃度計算を行う濃度
計算手段、元素の濃度をレベル分けし各々のレベルに対
応した色でマップ像を出力するマップ像出力手段、出力
されたマップ像上に２本のラインにより任意の帯状領域
を指定する領域指定手段、指定された帯状領域につき幅
方向に平均濃度を計算する平均濃度計算手段、及び該計
算された平均濃度をラインプロファイル出力する分析出
力手段を具備し、マップ像上でＸ方向若しくはＹ方向の
２本のラインにより挟まれた任意の帯状領域が指定され
た場合には、当該帯状領域の平均濃度をラインプロファ
イル出力するように構成したことを特徴とするものであ
る。
第２図はカラー・グラフィック・ディスプレイ画面上で
の帯状領域の指定態様を示す図である。本発明の自動多
機能分析装置では、従来と同様に濃度計算手段により検
出された量子信号から元素の濃度計算が行われ、その計
算された元素の濃度がマップ像出力手段によりレベル分
けされ各々のレベルに対応した色でマップ像として出力
される。このマップ像に対してオペレータが例えば第２
図図示の如くカーソルX1、X2を使った操作によりＸ方向
で任意の帯状領域を指定すると、平均濃度計算手段によ
りその指定された帯状領域の各Ｙ方向の位置に対応して
Ｘ方向の平均濃度の計算が行われ、そしてその平均濃度
が線分析出力手段によりラインプロファイル出力され
る。これらの出力手段としては、カラー・グラフィック
・ディスプレイやXYグラフィック・プロッタ等がある。
の帯状領域の指定態様を示す図である。本発明の自動多
機能分析装置では、従来と同様に濃度計算手段により検
出された量子信号から元素の濃度計算が行われ、その計
算された元素の濃度がマップ像出力手段によりレベル分
けされ各々のレベルに対応した色でマップ像として出力
される。このマップ像に対してオペレータが例えば第２
図図示の如くカーソルX1、X2を使った操作によりＸ方向
で任意の帯状領域を指定すると、平均濃度計算手段によ
りその指定された帯状領域の各Ｙ方向の位置に対応して
Ｘ方向の平均濃度の計算が行われ、そしてその平均濃度
が線分析出力手段によりラインプロファイル出力され
る。これらの出力手段としては、カラー・グラフィック
・ディスプレイやXYグラフィック・プロッタ等がある。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第３図はマップ像とともにラインプロファイルを出力す
るシステムの本発明の１実施例構成を示す図、第４図は
帯状領域の平均濃度計算を説明する図、第５図はマップ
像とラインプロファイルの表示出力例を示す図である。
るシステムの本発明の１実施例構成を示す図、第４図は
帯状領域の平均濃度計算を説明する図、第５図はマップ
像とラインプロファイルの表示出力例を示す図である。
第３図において、31は濃度計算部、32はレベル分け処理
部、33は色分け処理部、34と36は表示制御部、35は平均
濃度計算部をそれぞれ示している。濃度計算部31は、面
走査して第１図図示のハードディスク21等に収録された
特性Ｘ線や反射電子等の生データについて、従来行って
いたと同様にそれぞれの点における元素の重量濃度
（％）を計算するものである。レベル分け処理部32は、
濃度計算部31で計算された元素の重量濃度について、例
えば最大最小濃度間をｎ等分し平均濃度を中心に任意の
％区分にレベル分け処理を行うものである。色分け処理
部33は、レベル分け処理部32でレベル分けされた各％区
分に対応して表示の色分け処理を行うものであり、表示
制御部34は、その色分けに従ってマップ像を第１図図示
のカラー・グラフィック・ディスプレイ18に表示する処
理を行うものである。なお、レベル分けの％区分や表示
の色分け等は分析の都度その目的に合わせて適宜指定さ
れる。
部、33は色分け処理部、34と36は表示制御部、35は平均
濃度計算部をそれぞれ示している。濃度計算部31は、面
走査して第１図図示のハードディスク21等に収録された
特性Ｘ線や反射電子等の生データについて、従来行って
いたと同様にそれぞれの点における元素の重量濃度
（％）を計算するものである。レベル分け処理部32は、
濃度計算部31で計算された元素の重量濃度について、例
えば最大最小濃度間をｎ等分し平均濃度を中心に任意の
％区分にレベル分け処理を行うものである。色分け処理
部33は、レベル分け処理部32でレベル分けされた各％区
分に対応して表示の色分け処理を行うものであり、表示
制御部34は、その色分けに従ってマップ像を第１図図示
のカラー・グラフィック・ディスプレイ18に表示する処
理を行うものである。なお、レベル分けの％区分や表示
の色分け等は分析の都度その目的に合わせて適宜指定さ
れる。
平均濃度計算部35は、カラー・グラフィック・ディスプ
レイ18に表示されたマッブ像上にカーソル等により帯状
領域が指定された場合、その帯状領域の平均濃度を計算
するものであり、表示制御部36は、平均濃度計算部35で
計算された平均濃度をラインプロファイル表示するもの
である。第４図(a)図示の如くカーソルX1、X2により帯
状領域が指定された場合、平均濃度計算は、y1，y2，…
…について濃度の平均計算が行われる。即ち、ラインプ
ロファイル表示する関数をIxとすると、 Ix＝y1（xi＋xj＋……） ＋y2（xi＋xj＋……）＋…… ＋yn（xi＋xj＋……）x ＝Ix／yn により平均濃度が求められる。そして関数Ixが第４図
(b)図示の如く表示される。
レイ18に表示されたマッブ像上にカーソル等により帯状
領域が指定された場合、その帯状領域の平均濃度を計算
するものであり、表示制御部36は、平均濃度計算部35で
計算された平均濃度をラインプロファイル表示するもの
である。第４図(a)図示の如くカーソルX1、X2により帯
状領域が指定された場合、平均濃度計算は、y1，y2，…
…について濃度の平均計算が行われる。即ち、ラインプ
ロファイル表示する関数をIxとすると、 Ix＝y1（xi＋xj＋……） ＋y2（xi＋xj＋……）＋…… ＋yn（xi＋xj＋……）x ＝Ix／yn により平均濃度が求められる。そして関数Ixが第４図
(b)図示の如く表示される。
或る鋼材のＣ（炭素）のマップ像とその平均濃度線分析
の例を示したのが第５図である。第５図においてマップ
像はモノクロにより表わされているが実際には黒の部分
が濃度の％区分に応じて幾つかの色により区分されて表
示されているため、マップ像によっても偏析状態が色識
別で明瞭に観察できる。このマップ像上中央やや右より
にカーソルX1、X2を表示して帯状領域を指定することに
よって得られたものが、マップ像右側に示したラインプ
ロファイルである。
の例を示したのが第５図である。第５図においてマップ
像はモノクロにより表わされているが実際には黒の部分
が濃度の％区分に応じて幾つかの色により区分されて表
示されているため、マップ像によっても偏析状態が色識
別で明瞭に観察できる。このマップ像上中央やや右より
にカーソルX1、X2を表示して帯状領域を指定することに
よって得られたものが、マップ像右側に示したラインプ
ロファイルである。
なを、以上に説明した如きマップ像とラインプロファイ
ルの表示を行うに当たって、それぞれを別のディスプレ
イを使って表示しても、１個のカラー・グラフィック・
ディスプレイだけによりその画面を分割して同時に表示
するようにしてもよい。また、マップ像とラインプロフ
ァイルとは、表示するだけでなく、XYグラフィック・プ
ロッタを使って印刷出力することも勿論可能であること
は云うまでもない。さらにマップ像を色分け出力する場
合、等高線図の線を色分けして出力してもよい。
ルの表示を行うに当たって、それぞれを別のディスプレ
イを使って表示しても、１個のカラー・グラフィック・
ディスプレイだけによりその画面を分割して同時に表示
するようにしてもよい。また、マップ像とラインプロフ
ァイルとは、表示するだけでなく、XYグラフィック・プ
ロッタを使って印刷出力することも勿論可能であること
は云うまでもない。さらにマップ像を色分け出力する場
合、等高線図の線を色分けして出力してもよい。
第６図は従来のライン分析例と本発明によるライン分析
例とを対比して示した図である。第６図(a)において圧
延方向をＡとし、圧延方向に薄く引き延ばされた成分偏
析があるものとすると、連続ドリル採取Ｂによる分析例
は第６図(b)、１ラインプロファイルＣによる分析例は
第６(c)、本発明の帯状領域指定Ｄによる分析例は第６
図(d)のようになる。これらの例を見ると明らかなよう
に、第６図(b)では、成分偏析が一様でなくてもそれが
現れにくい。また第６(c)では、そのラインがたまたま
成分偏析の間隙を通っている場合と丁度成分偏析の真中
を通っている場合とにおおきな差が見られ、正確な評価
が難しい。しかし第６図(d)では、成分偏析の程度等を
平均化された状態で把握することができ、より正確に品
質の評価を行うことができる。
例とを対比して示した図である。第６図(a)において圧
延方向をＡとし、圧延方向に薄く引き延ばされた成分偏
析があるものとすると、連続ドリル採取Ｂによる分析例
は第６図(b)、１ラインプロファイルＣによる分析例は
第６(c)、本発明の帯状領域指定Ｄによる分析例は第６
図(d)のようになる。これらの例を見ると明らかなよう
に、第６図(b)では、成分偏析が一様でなくてもそれが
現れにくい。また第６(c)では、そのラインがたまたま
成分偏析の間隙を通っている場合と丁度成分偏析の真中
を通っている場合とにおおきな差が見られ、正確な評価
が難しい。しかし第６図(d)では、成分偏析の程度等を
平均化された状態で把握することができ、より正確に品
質の評価を行うことができる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、先に
述べた連続ドリル採取による化学分析法に比べると、試
料を破壊することもなく（非破壊）数μ〜数mm迄の任意
の分析面積単位で偏析の解析が可能となる。また、１ラ
インプロファイル法により検査面積を増加させたことに
より、分析値は平均化（単純化）され、分析値の代表性
を損なわずに迅速且つ効率的に、マクロ的な鋼の品質評
価を行うことができる。
述べた連続ドリル採取による化学分析法に比べると、試
料を破壊することもなく（非破壊）数μ〜数mm迄の任意
の分析面積単位で偏析の解析が可能となる。また、１ラ
インプロファイル法により検査面積を増加させたことに
より、分析値は平均化（単純化）され、分析値の代表性
を損なわずに迅速且つ効率的に、マクロ的な鋼の品質評
価を行うことができる。
第１図は自動多機能分析装置のシステム構成を示す図、
第２図はカラー・グラフィック・ディスプレイ画面上で
の帯状領域の指定態様を示す図、第３図はマップ像とと
もにラインプロファイルを出力するシステムの本発明の
１実施例構成を示す図、第４図は帯状領域の平均濃度計
算を説明する図、第５図はマップ像とラインプロファイ
ルの表示出力例を示す図、第６図は従来のライン分析例
と本発明によるライン分析例とを対比して示した図であ
る。 １……電子銃、２……収束レンズ、３……走査コイル、
４……対物レンズ、５……反射電子検出器、６……試
料、７……試料ステージ、８……Ｘ線分光器、９……走
査電源、10……映像ディジタイザ、11……Ｘ線計測装
置、12……ステージ・ドライバ、13ないし16……インタ
ーフェイス、17……コンピュータ、18……カラー・グラ
フィック・ディスプレイ、19……XYグラフィック・プロ
ッタ、20……コンソール・プリンタ、21……ハードディ
スク、22……磁気テープ、31……濃度計算部、32……レ
ベル分け処理部、33……色分け処理部、34と36……表示
制御部、35……平均濃度計算部。
第２図はカラー・グラフィック・ディスプレイ画面上で
の帯状領域の指定態様を示す図、第３図はマップ像とと
もにラインプロファイルを出力するシステムの本発明の
１実施例構成を示す図、第４図は帯状領域の平均濃度計
算を説明する図、第５図はマップ像とラインプロファイ
ルの表示出力例を示す図、第６図は従来のライン分析例
と本発明によるライン分析例とを対比して示した図であ
る。 １……電子銃、２……収束レンズ、３……走査コイル、
４……対物レンズ、５……反射電子検出器、６……試
料、７……試料ステージ、８……Ｘ線分光器、９……走
査電源、10……映像ディジタイザ、11……Ｘ線計測装
置、12……ステージ・ドライバ、13ないし16……インタ
ーフェイス、17……コンピュータ、18……カラー・グラ
フィック・ディスプレイ、19……XYグラフィック・プロ
ッタ、20……コンソール・プリンタ、21……ハードディ
スク、22……磁気テープ、31……濃度計算部、32……レ
ベル分け処理部、33……色分け処理部、34と36……表示
制御部、35……平均濃度計算部。
フロントページの続き (72)発明者 田形 昭次郎 東京都昭島市中神町1418番地 日本電子株 式会社内 (72)発明者 鈴見 純 東京都昭島市中神町1418番地 日本電子株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭51−21891（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−7044（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】電子線照射によって試料から発生する各種
の量子信号を検出し、試料表面の二次元的組成分布に対
応させた元素の濃度の情報収集と処理を行い、解析結果
をカラー・ディスプレイ等に出力する自動多機能分析装
置において、検出した量子信号より元素の濃度計算を行
う濃度計算手段、元素の濃度をレベル分けし各々のレベ
ルに対応した色でマップ像を出力するマップ像出力手
段、出力されたマップ像上に２本のラインにより任意の
帯状領域を指定する領域指定手段、指定された帯状領域
につき幅方向に平均濃度を計算する平均濃度計算手段、
及び該計算された平均濃度をラインプロファイル出力す
る分析出力手段を具備し、マップ像上でＸ方向若しくは
Ｙ方向の２本のラインにより挟まれた任意の帯状領域が
指定された場合には、当該帯状領域の平均濃度をライン
プロファイル出力するように構成したことを特徴とする
自動多機能分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59148927A JPH0721466B2 (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 自動多機能分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59148927A JPH0721466B2 (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 自動多機能分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6162849A JPS6162849A (ja) | 1986-03-31 |
| JPH0721466B2 true JPH0721466B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=15463772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59148927A Expired - Fee Related JPH0721466B2 (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 自動多機能分析装置 |
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-
1984
- 1984-07-18 JP JP59148927A patent/JPH0721466B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062270A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Jeol Ltd | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
Also Published As
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