Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0722681B2 - Ozone extinction device - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0722681B2 - Ozone extinction device - Google Patents

Ozone extinction device

Info

Publication number
JPH0722681B2
JPH0722681B2 JP3103621A JP10362191A JPH0722681B2 JP H0722681 B2 JPH0722681 B2 JP H0722681B2 JP 3103621 A JP3103621 A JP 3103621A JP 10362191 A JP10362191 A JP 10362191A JP H0722681 B2 JPH0722681 B2 JP H0722681B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
substrate
electrodes
decomposition
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3103621A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04313330A (en
Inventor
聰 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okaya Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Okaya Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okaya Electric Industry Co Ltd filed Critical Okaya Electric Industry Co Ltd
Priority to JP3103621A priority Critical patent/JPH0722681B2/en
Publication of JPH04313330A publication Critical patent/JPH04313330A/en
Publication of JPH0722681B2 publication Critical patent/JPH0722681B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02ATECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Landscapes

  • Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はオゾン消滅装置に係
り,特にオゾンをオゾン分解用の触媒層に接触させると
共に,オゾン分解用の紫外線及び赤外線の少なくとも一
方を照射してオゾンの分解を促進させるように構成した
オゾン消滅装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ozone extinguishing device, and more particularly, to contact ozone with a catalyst layer for ozone decomposition and to irradiate at least one of ultraviolet rays and infrared rays for ozone decomposition to accelerate the decomposition of ozone. The present invention relates to an ozone extinguishing device configured as described above.

【0002】[0002]

【従来の技術】オゾナイザーによって生成されたオゾン
は,殺菌など種々の目的に使用されるものであるが,使
用後のオゾンは,従来は紙フィルターや活性炭等によっ
て除去していた。
Ozone generated by an ozonizer is used for various purposes such as sterilization. After use, ozone is conventionally removed by a paper filter or activated carbon.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら,紙フィ
ルターや活性炭は一定期間使用した後に交換する必要が
あり,これら消耗品の交換の手間やそのランニング・コ
ストがかさむ欠点を有しており,また,特に活性炭はオ
ゾンを吸収すると爆発する危険性を有していた。さら
に,両者ともオゾンの消滅程度を自由に制御することが
困難であった。
However, the paper filter and the activated carbon have to be replaced after being used for a certain period of time, which has a drawback that the consumables need to be replaced and the running cost thereof is high. In particular, activated carbon has a risk of exploding when absorbing ozone. Furthermore, it was difficult for both of them to freely control the degree of ozone extinction.

【0004】本発明は,上記した従来技術の課題を解決
せんとするものであり,その目的とするところは,紙フ
ィルター等の消耗品の交換の必要がなく,安全で,しか
もオゾンの消滅程度を自由に制御することができるオゾ
ン消滅装置を提供することにある。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to eliminate the need for exchanging consumables such as paper filters and to be safe, and to the extent of eliminating ozone. An object of the present invention is to provide an ozone extinguishing device that can freely control the temperature.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に,本発明に係るオゾン消滅装置は,第1の基板と,第
2の基板及び光源部からなり,上記第1の基板上及び第
2の基板上にそれぞれオゾン分解用の触媒層を形成し,
これら触媒層が所定の間隔をおいて対向するように第1
の基板と第2の基板とを配置し,以て触媒層に挟まれた
オゾン通過用の隙間部を形成すると共に,上記隙間部に
向けて上記光源部からオゾン分解用の紫外線及び赤外線
の少なくとも一方を照射するよう構成し,さらに,上記
第1の基板と触媒層との間及び第2の基板と触媒層との
間にそれぞれ電極を配設し,これらの電極間に交流電圧
を印加するよう構成した。上記オゾン分解用の触媒層
は,例えば酸化マンガン(MnO)によって形成す
る。照射する紫外線については,特にその波長が問題と
なる。すなわち,その波長が300nm以上の紫外線が
オゾンの分解促進効果を有し,波長が240〜300n
mの範囲内の紫外線を照射すると,かえってオゾンの生
成を助長する結果となる。したがって,オゾン通過用の
隙間部には波長が300nm以上の紫外線を照射する。
In order to achieve the above object, an ozone extinguishing apparatus according to the present invention comprises a first substrate, a second substrate and a light source section, and is provided on the first substrate and the first substrate. The catalyst layers for ozone decomposition are formed on the two substrates,
The first so that these catalyst layers face each other at a predetermined interval.
And a second substrate are arranged to form a gap for ozone passage sandwiched between the catalyst layers, and at least ultraviolet rays and infrared rays for ozone decomposition from the light source unit are directed toward the gap. One of the electrodes is arranged between the first substrate and the catalyst layer and the second substrate and the catalyst layer, and an AC voltage is applied between these electrodes. Configured as The catalyst layer for ozone decomposition is formed of, for example, manganese oxide (MnO 2 ). Regarding the ultraviolet rays to be applied, the wavelength thereof is a particular problem. That is, ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm or more have an ozone decomposition promoting effect, and have a wavelength of 240 to 300 n.
Irradiation with ultraviolet rays within the range of m results in promoting the production of ozone. Therefore, ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm or more are applied to the gap for passing ozone.

【0006】上記光源部は,電極の配設された一対の基
板を所定間隔を隔てて対向配置すると共に,基板周縁部
を気密封止して形成した空間部内部に紫外線発生ガス及
び赤外線発生ガスの少なくとも一方を封入すると共に,
上記電極間に交流電圧を印加することにより,紫外線及
び赤外線の少なくとも一方を照射するよう形成されてお
り,上記電極間に印加する交流電圧の周波数を変えるこ
とにより,照射する紫外線及び赤外線の光量を加減でき
るよう構成した。
In the light source unit, a pair of substrates having electrodes are arranged to face each other at a predetermined interval, and an ultraviolet gas and an infrared gas are generated in a space formed by hermetically sealing the peripheral edges of the substrates. Encapsulating at least one of
It is formed so as to irradiate at least one of ultraviolet rays and infrared rays by applying an AC voltage between the electrodes, and by changing the frequency of the AC voltage applied between the electrodes, It is configured to be adjustable.

【0007】[0007]

【作用】オゾン(O)は,本来常温中において自然に
酸素(O)に分解するものであるが,上記のように,
オゾン分解用の触媒層に挟まれたオゾン通過用の隙間部
にオゾンを導き,触媒層にオゾンを接触させることによ
ってオゾンの分解が促進される。
Function: Ozone (O 3 ) naturally decomposes into oxygen (O 2 ) at room temperature, but as described above,
Decomposition of ozone is promoted by guiding the ozone into a gap for passing ozone sandwiched between the catalyst layers for ozone decomposition and bringing the ozone into contact with the catalyst layer.

【0008】また,第1の基板と触媒層との間及び第2
の基板と触媒層との間にそれぞれ電極を配設し,これら
電極間に交流電圧を印加することによって,隙間部を通
過するオゾンを振動させて触媒層への接触効率を高める
ことができ,その結果オゾンの分解がより促進される。
Also, between the first substrate and the catalyst layer and the second
By disposing electrodes between the substrate and the catalyst layer and applying an AC voltage between these electrodes, the ozone passing through the gap can be vibrated to improve the contact efficiency with the catalyst layer, As a result, the decomposition of ozone is further promoted.

【0009】さらに,オゾン通過用の隙間部に導かれた
オゾンに対し,上記のように所定の波長を有する紫外線
を照射することによってオゾンの分解が光化学的に促進
され,また,赤外線を照射することによってオゾンの分
解が熱化学的に促進される。
Further, by irradiating the ozone introduced into the ozone passing space with the ultraviolet ray having the predetermined wavelength as described above, the decomposition of ozone is photochemically promoted and the infrared ray is irradiated. This promotes the thermochemical decomposition of ozone.

【0010】光源部は,電極の配設された一対の基板を
所定間隔を隔てて対向配置すると共に,基板周縁部を気
密封止して形成した空間部内部に紫外線発生ガス及び赤
外線発生ガスの少なくとも一方を封入しており,上記電
極間に交流電圧を印加すると,両電極間に生成するプラ
ズマ放電により,上記ガスから紫外線及び赤外線の少な
くとも一方が照射される。そして,上記電極間に印加す
る交流電圧の周波数を変えることにより,照射する紫外
線及び赤外線の光量を加減でき,オゾンの分解程度を自
由に調節することができる。
The light source unit comprises a pair of substrates having electrodes arranged opposite to each other with a predetermined gap therebetween, and an ultraviolet generating gas and an infrared generating gas inside a space formed by hermetically sealing the peripheral edge of the substrates. When at least one of the electrodes is sealed and an AC voltage is applied between the electrodes, plasma discharge generated between the electrodes causes at least one of ultraviolet rays and infrared rays to be emitted from the gas. By changing the frequency of the AC voltage applied between the electrodes, the amount of ultraviolet rays and infrared rays to be irradiated can be adjusted, and the degree of decomposition of ozone can be adjusted freely.

【0011】[0011]

【実施例】以下に本発明を,図示の実施例に基づいて説
明する。図1に示すように,本発明に係るオゾン消滅装
置1は,上部触媒基板2,分解用光源3及び下部触媒基
板4から構成される。上部触媒基板2は,支持部材5,
5によって分解用光源3の上方に所定の間隔を置いて配
置固定される。また,下部触媒基板4も,図示しない支
持部材によって分解用光源3の下方に所定の間隔を置い
て配置固定される。この結果,上部触媒基板2と分解用
光源3との間及び分解用光源3と下部触媒基板4との間
には,それぞれ上部通気用隙間6及び下部通気用隙間7
が形成される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on the illustrated embodiments. As shown in FIG. 1, an ozone extinction device 1 according to the present invention comprises an upper catalyst substrate 2, a decomposition light source 3 and a lower catalyst substrate 4. The upper catalyst substrate 2 has a support member 5,
5 disposes and is fixed above the disassembly light source 3 with a predetermined interval. In addition, the lower catalyst substrate 4 is also arranged and fixed below the decomposition light source 3 with a predetermined space by a supporting member (not shown). As a result, an upper ventilation gap 6 and a lower ventilation gap 7 are provided between the upper catalyst substrate 2 and the decomposition light source 3 and between the decomposition light source 3 and the lower catalyst substrate 4, respectively.
Is formed.

【0012】上部触媒基板2は,図2に示すように,第
1の基板ガラス8と,該第1の基板ガラス8の下面に配
設された複数本の第1の電極9と,該第1の電極9を被
覆する第1の誘電体層10と,該第1の誘電体層10の
下面を被復する第1の触媒層11によって構成される。
As shown in FIG. 2, the upper catalyst substrate 2 includes a first substrate glass 8, a plurality of first electrodes 9 arranged on the lower surface of the first substrate glass 8, and a plurality of first electrodes 9 disposed on the lower surface of the first substrate glass 8. The first dielectric layer 10 covers the first electrode 9 and the first catalyst layer 11 that restores the lower surface of the first dielectric layer 10.

【0013】分解用光源3は,第2の基板ガラス12及
び第3の基板ガラス13を有し,第2の基板ガラス12
の上面には複数本の第2の電極14が配設され,この第
2の電極14を被覆するように第2の誘電体層15が形
成され,該第2の誘電体層15の上面には第2の触媒層
16が形成される。また,第2の基板ガラス12の下面
には,複数本の第3の電極17が配設されており,該第
3の電極17を被覆するように第3の誘電体層18が形
成され,該第3の誘電体層18の下面には第1の保護膜
層19が形成される。
The decomposition light source 3 has a second substrate glass 12 and a third substrate glass 13, and the second substrate glass 12
A plurality of second electrodes 14 are arranged on the upper surface of the second dielectric layer 15, a second dielectric layer 15 is formed so as to cover the second electrodes 14, and the second dielectric layer 15 is formed on the upper surface of the second dielectric layer 15. The second catalyst layer 16 is formed. Further, a plurality of third electrodes 17 are arranged on the lower surface of the second substrate glass 12, and a third dielectric layer 18 is formed so as to cover the third electrodes 17, A first protective film layer 19 is formed on the lower surface of the third dielectric layer 18.

【0014】一方,第3の基板ガラス13の上面には複
数本の第4の電極20が配設されており,該第4の電極
20を被覆するように第4の誘電体層21が形成され,
該第4の誘電体層21の上面には第2の保護膜層22が
形成される。また,第3の基板ガラス13の下面には,
複数本の第5の電極23が配設されており,この第5の
電極23を被覆するように第5の誘電体層24が形成さ
れ,該第5の誘電体層24の下面には第3の触媒層25
が形成される。
On the other hand, a plurality of fourth electrodes 20 are provided on the upper surface of the third substrate glass 13, and a fourth dielectric layer 21 is formed so as to cover the fourth electrodes 20. And
A second protective film layer 22 is formed on the upper surface of the fourth dielectric layer 21. In addition, on the lower surface of the third substrate glass 13,
A plurality of fifth electrodes 23 are arranged, a fifth dielectric layer 24 is formed so as to cover the fifth electrodes 23, and a lower surface of the fifth dielectric layer 24 is provided with a first dielectric layer 24. 3 catalyst layers 25
Is formed.

【0015】そして,上記第2の基板ガラス12の下方
(正確には第1の保護膜層19の下面)の周辺部及び第
3の基板ガラス13の上方(正確には第2の保護膜層2
2の上面)の周辺部はフリットガラス等のシール材26
によって気密封止される。このシール材26は,スペー
サーとしても機能するため,第2の基板ガラス12及び
第3の基板ガラス13との間に空間部27が形成され
る。この空間部27の内壁面には,一定範囲内の波長を
有する紫外線を発生させるための螢光体が塗布されてい
る。また,空間部27の内部には,真空処理をした後に
ヘリウム(He),ネオン(Ne),キセノン(Xe)
等の不活性ガスが封入される。
Then, the peripheral portion below the second substrate glass 12 (to be exact, the lower surface of the first protective film layer 19) and above the third substrate glass 13 (to be exact, the second protective film layer 19). Two
The upper surface of 2 is a sealing member 26 such as frit glass.
Is hermetically sealed by. Since the sealing material 26 also functions as a spacer, a space portion 27 is formed between the second substrate glass 12 and the third substrate glass 13. The inner wall surface of this space 27 is coated with a fluorescent material for generating ultraviolet rays having a wavelength within a certain range. Further, inside the space 27, after vacuum processing, helium (He), neon (Ne), xenon (Xe)
Inert gas such as is sealed.

【0016】下部触媒基板4は,第4の基板ガラス28
と,該第4の基板ガラス28の上面に配設された複数本
の第6の電極29と,該第6の電極29を被覆する第6
の誘電体層30と,該第6の誘電体層30の上面を被覆
する第4の触媒層31によって構成される。
The lower catalyst substrate 4 is the fourth substrate glass 28.
A plurality of sixth electrodes 29 arranged on the upper surface of the fourth substrate glass 28, and a sixth electrode 29 for covering the sixth electrodes 29.
And the fourth catalyst layer 31 covering the upper surface of the sixth dielectric layer 30.

【0017】なお,上記した第1の基板ガラス8,第2
の基板ガラス12,第3の基板ガラス13及び第4の基
板ガラス28は,厚さ0.15〜0.5mmのソーダラ
イムガラスによって形成される。また,第1の電極9,
第2の電極14,第3の電極17,第4の電極20,第
5の電極23及び第6の電極29は,それぞれ酸化スズ
(SnO)或いはITO(スズ酸化インジウム)など
によって形成された,厚さ100〜250nmの帯状の
透明電極であり,銀・パラジウム(AgPd)などによ
って形成された図示しない端子部を介して外部電極と接
続されている。上記第1の誘電体層10,第2の誘電体
層15,第3の誘電体層18,第4の誘電体層21,第
5の誘電体層24及び第6の誘電体層30は,それぞれ
厚さが0.1〜0.3mmで,透明な酸化鉛(Pb
)によって形成されている。上記第1の触媒層1
1,第2の触媒層16,第3の触媒層25及び第4の触
媒層31は,それぞれ透明な酸化マンガン(MnO
によって形成され,厚さは150〜250nmである。
上記第1の保護膜層19及び第2の保護膜層22は,仕
事関数が小さくイオン衝撃に強い酸化マグネシウム(M
gO)によって形成されており,その厚さは150〜2
50nmである。
The above-mentioned first substrate glass 8 and second substrate glass 8
The substrate glass 12, the third substrate glass 13, and the fourth substrate glass 28 are formed of soda lime glass having a thickness of 0.15 to 0.5 mm. Also, the first electrode 9,
The second electrode 14, the third electrode 17, the fourth electrode 20, the fifth electrode 23, and the sixth electrode 29 are each formed of tin oxide (SnO 2 ) or ITO (indium tin oxide). , A band-shaped transparent electrode having a thickness of 100 to 250 nm, and connected to an external electrode through a terminal portion (not shown) formed of silver / palladium (AgPd) or the like. The first dielectric layer 10, the second dielectric layer 15, the third dielectric layer 18, the fourth dielectric layer 21, the fifth dielectric layer 24 and the sixth dielectric layer 30 are Transparent lead oxide (Pb
O 2 ). The first catalyst layer 1
1, the second catalyst layer 16, the third catalyst layer 25, and the fourth catalyst layer 31 are made of transparent manganese oxide (MnO 2 ), respectively.
And the thickness is 150 to 250 nm.
The first protective film layer 19 and the second protective film layer 22 are made of magnesium oxide (M
gO) and its thickness is 150 to 2
It is 50 nm.

【0018】上記構成を有するオゾン消滅装置1の上部
通気用隙間6及び下部通気用隙間7にオゾンを導き,そ
こを通過させることによってオゾンを酸素に分解するこ
とができる。すなわち,オゾンは本来常温で自然に酸素
に分解するものであるが,酸化マンガン(MnO),
酸化鉛(PbO),ソーダライムガラス等の固体触媒
の表面において特に速やかにその分解反応が進行する性
質を有している。したがって,オゾンが上部通気用隙間
6及び下部通気用隙間7を通過する際に,酸化マンガン
(MnO)によって形成された上記第1の触媒層11
ないし第4の触媒層31に接することにより,その分解
が促進される。また,第1の触媒層11ないし第4の触
媒層31の表面に存する図示しない欠損部(微細な孔)
から内部に侵入して次層にまで達したオゾンも,酸化鉛
(PbO)によって形成された第1の誘電体層10,
第2の誘電体層15,第5の誘電体層24及び第6の誘
電体層30に接することにより,その分解が促進され
る。同じく,第1の誘電体層10,第2の誘電体層1
5,第5の誘電体層24及び第6の誘電体層30の表面
に存する図示しない欠損部(微細な孔)から内部に侵入
して次層にまで達したオゾンも,ソーダライムガラスに
よって形成された第1の基板ガラス8ないし第4の基板
ガラス28に接することにより,その分解が促進され
る。このように,本実施例においては第1の触媒層11
ないし第4の触媒層31のみならず,第1の誘電体層1
0,第2の誘電体層15,第5の誘電体層24,第6の
誘電体層30並びに第1の基板ガラス8ないし第4の基
板ガラス28も,オゾン分解用の触媒層として機能す
る。
The ozone can be decomposed into oxygen by guiding the ozone to the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7 of the ozone extinguishing apparatus 1 having the above-described structure and passing the ozone therethrough. That is, although ozone is naturally decomposed into oxygen at room temperature, manganese oxide (MnO 2 ),
It has the property that the decomposition reaction of the solid catalyst such as lead oxide (PbO 2 ) and soda lime glass proceeds particularly quickly. Therefore, when ozone passes through the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7, the first catalyst layer 11 made of manganese oxide (MnO 2 ) is formed.
The contact with the fourth catalyst layer 31 promotes its decomposition. Further, not-shown defective portions (fine holes) existing on the surfaces of the first to fourth catalyst layers 11 to 31.
The ozone that has penetrated from the inside to reach the next layer is also the first dielectric layer 10 formed of lead oxide (PbO 2 ),
By contacting the second dielectric layer 15, the fifth dielectric layer 24, and the sixth dielectric layer 30, their decomposition is promoted. Similarly, the first dielectric layer 10 and the second dielectric layer 1
5, Ozone that has penetrated into the next layer from a not-shown defect (fine hole) existing on the surface of the fifth dielectric layer 24 and the sixth dielectric layer 30 to the next layer is also formed by soda lime glass The decomposition is promoted by coming into contact with the formed first substrate glass 8 to fourth substrate glass 28. Thus, in this embodiment, the first catalyst layer 11
To not only the fourth catalyst layer 31 but also the first dielectric layer 1
0, the second dielectric layer 15, the fifth dielectric layer 24, the sixth dielectric layer 30, and the first substrate glass 8 to the fourth substrate glass 28 also function as catalyst layers for ozone decomposition. .

【0019】オゾンを上部通気用隙間6及び下部通気用
隙間7に導く際に,上記第1の電極9と第2の電極14
との間に交流電圧を印加すると共に,第5の電極23と
第6の電極29との間にも交流電圧を印加することによ
って,上部通気用隙間6及び下部通気用隙間7を通過す
るオゾンを上下に振動させて,第1の触媒層11乃至第
4の触媒層31への接触率を高め,オゾンの分解効率を
向上させることができる。
When the ozone is introduced into the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7, the first electrode 9 and the second electrode 14 are introduced.
Ozone passing through the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7 by applying an AC voltage between the fifth electrode 23 and the sixth electrode 29 while applying an AC voltage between Can be vibrated up and down to increase the contact rate with the first to fourth catalyst layers 11 to 31, thereby improving the decomposition efficiency of ozone.

【0020】また,上記分解用光源3の上記空間部27
を上下で挟むように配置された第3の電極17と第4の
電極20との間に交流電圧を印加すると,両電極間に生
成するプラズマ放電により,空間部27内に封入された
ヘリウム(He)及びネオン(Ne)から赤外線が発生
すると共に,キセノン(Xe)からは紫外線が発生す
る。この紫外線はその波長が147nmであるが,これ
が空間部27の内壁面に塗布された螢光体を励起し,そ
の結果波長が300nm〜400nmの紫外線が分解用
光源3から放射される。これら赤外線及び紫外線は,第
2の基板ガラス12及び第3の基板ガラス13等を透過
して上部通気用隙間6及び下部通気用隙間7に到達し,
オゾンに照射される。そして,赤外線はオゾンの分解を
熱化学的に促進すると共に,紫外線はオゾンの分解を光
化学的に促進する。
The space 27 of the disassembly light source 3
When an AC voltage is applied between the third electrode 17 and the fourth electrode 20, which are arranged so as to sandwich the helium between the upper and lower sides, the plasma discharge generated between both electrodes causes the helium ( Infrared rays are emitted from He) and neon (Ne), and ultraviolet rays are emitted from xenon (Xe). This ultraviolet ray has a wavelength of 147 nm, but this excites the fluorescent substance coated on the inner wall surface of the space 27, and as a result, ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm to 400 nm are emitted from the decomposition light source 3. These infrared rays and ultraviolet rays pass through the second substrate glass 12, the third substrate glass 13, etc. and reach the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7,
Irradiated with ozone. The infrared rays thermochemically promote the decomposition of ozone, and the ultraviolet rays photochemically promote the decomposition of ozone.

【0021】ただし,紫外線についてはその波長が問題
となる。すなわち,オゾンは波長が360nm以下の紫
外線を吸収することができるが,上記したように,波長
が240〜300nmの紫外線を照射すると,かえって
オゾンの生成を助長することとなるため,300nm以
上の波長を有する紫外線を上部通気用隙間6及び下部通
気用隙間7に照射する必要がある。一方,ソーダライム
ガラスには,300nm以上の紫外線のみを透過させ,
それ以下の波長の紫外線を透過させないという性質があ
る。したがって,分解用光源からは上記のように主とし
て300〜400nmの波長の紫外線が発せられるので
あるが,たとえ300nm以下の紫外線が発せられたと
しても,波長が300nm以下の紫外線はソーダライム
ガラスによって構成された第2の基板ガラス12及び第
3の基板ガラス13を透過することができず,上部通気
用隙間6及び下部通気用隙間7には到達し得ない。
However, the wavelength of ultraviolet rays becomes a problem. That is, ozone can absorb ultraviolet rays having a wavelength of 360 nm or less, but as described above, irradiation with ultraviolet rays having a wavelength of 240 to 300 nm will rather promote the generation of ozone. It is necessary to irradiate the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7 with ultraviolet rays having the above. On the other hand, soda lime glass transmits only ultraviolet rays of 300 nm or more,
It has a property of not transmitting ultraviolet rays having a wavelength shorter than that. Therefore, the decomposition light source mainly emits ultraviolet rays having a wavelength of 300 to 400 nm as described above. Even if ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm or less are emitted, the ultraviolet rays having a wavelength of 300 nm or less are composed of soda lime glass. The second substrate glass 12 and the third substrate glass 13 thus formed cannot pass through and cannot reach the upper ventilation gap 6 and the lower ventilation gap 7.

【0022】図3のグラフにおいて,紫外線の波長に対
するオゾンの紫外線吸収率及びソーダライムガラスの紫
外線透過率の関係を示す。このグラフは,横軸に紫外線
の波長をとると共に,縦軸にオゾンの紫外線吸収率及び
ソーダライムガラスの紫外線透過率の相対値をとるもの
である。図中において斜線で示した範囲(すなわち,波
長が300〜360nmの範囲)が,オゾンの分解促進
に利用し得る紫外線の範囲となる。
The graph of FIG. 3 shows the relationship between the ultraviolet absorption rate of ozone and the ultraviolet transmission rate of soda lime glass with respect to the wavelength of ultraviolet rays. In this graph, the horizontal axis shows the wavelength of ultraviolet rays, and the vertical axis shows the relative values of the ultraviolet absorption rate of ozone and the ultraviolet transmission rate of soda lime glass. The shaded range in the figure (that is, the range of wavelengths from 300 to 360 nm) is the range of ultraviolet rays that can be used to accelerate the decomposition of ozone.

【0023】なお,上記第3の電極17及び第4の電極
20に印加する交流電圧の周波数を上げることによっ
て,分解用光源3から放射される紫外線及び赤外線の光
量を増加させることができ,反対に周波数を下げること
によってその光量を減少させることができる。この結
果,単に第3の電極17及び第4の電極20に印加する
交流電圧の周波数を変えることによって,オゾン分解の
程度を制御することが可能となる。
By increasing the frequency of the AC voltage applied to the third electrode 17 and the fourth electrode 20, the amount of ultraviolet rays and infrared rays emitted from the decomposition light source 3 can be increased. The amount of light can be reduced by lowering the frequency. As a result, it is possible to control the degree of ozone decomposition by simply changing the frequency of the AC voltage applied to the third electrode 17 and the fourth electrode 20.

【0024】上記より明らかなように,本実施例におい
ては,上部触媒基板2を構成する第1の基板ガラス8が
第1の基板として,また分解用光源を構成する第2の基
板ガラス12が第2の基板として機能し,第1の触媒層
11及び第2の触媒層16に挟まれた上部通気用隙間6
がオゾン通過用の隙間部となる。同じく,分解用光源3
を構成する第3の基板ガラス13が第1の基板として,
また下部触媒基板4を構成する第4の基板ガラス28が
第2の基板として機能し,第3の触媒層25及び第4の
触媒層31に挟まれた下部通気用隙間7がオゾン通過用
の隙間部となる。このように,本実施例においてはオゾ
ン通過用の隙間部として,上部通気用隙間6と下部通気
用隙間7の2つが形成され,これらに対して光源部たる
分解用光源3から同時に紫外線及び赤外線が照射される
ので,より効率的なオゾンの分解が実現できる。
As is clear from the above, in this embodiment, the first substrate glass 8 constituting the upper catalyst substrate 2 serves as the first substrate, and the second substrate glass 12 constituting the decomposition light source is The upper ventilation gap 6 that functions as a second substrate and is sandwiched between the first catalyst layer 11 and the second catalyst layer 16.
Is a gap for passing ozone. Similarly, the light source for disassembly 3
The third substrate glass 13 constituting the
Further, the fourth substrate glass 28 constituting the lower catalyst substrate 4 functions as a second substrate, and the lower ventilation gap 7 sandwiched between the third catalyst layer 25 and the fourth catalyst layer 31 is used for ozone passage. It becomes a gap. As described above, in this embodiment, two gaps for the upper ventilation 6 and the lower ventilation 7 are formed as the gaps for passing ozone, and ultraviolet rays and infrared rays are simultaneously emitted from the decomposition light source 3 which is the light source portion. Since it is irradiated with ozone, more efficient ozone decomposition can be realized.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明に係るオゾン消滅装置において
は,上記のように第1の基板上及び第2の基板上にそれ
ぞれオゾン分解用の触媒層を形成すると共に,これら触
媒層を対向させたオゾン通過用の隙間部を形成し,該隙
間部に光源部からオゾン分解用の紫外線及び赤外線の少
なくとも一方を照射するよう構成したので,紙フィルタ
ー等の消耗品を交換することなく,安全にオゾンの分解
を促進することができる。
As described above, in the ozone extinction apparatus according to the present invention, the catalyst layers for ozone decomposition are formed on the first substrate and the second substrate, respectively, and the catalyst layers are made to face each other. Since a gap for passing ozone is formed and the gap is irradiated with at least one of ultraviolet rays and infrared rays for ozone decomposition from the light source, it is possible to safely use ozone without replacing consumables such as a paper filter. Can promote the decomposition of.

【0026】また,上記第1の基板と触媒層との間及び
第2の基板と触媒層との間に電極を配設し,これら電極
間に交流電圧を印加するよう構成したので,隙間部を通
過するオゾンを振動させて触媒層により効果的に接触さ
せることができ,オゾンの分解をより促進することがで
きる。
Further, since the electrodes are arranged between the first substrate and the catalyst layer and between the second substrate and the catalyst layer and an AC voltage is applied between these electrodes, the gap portion is formed. The ozone that passes through can be vibrated so that it can contact the catalyst layer more effectively, and the decomposition of ozone can be further promoted.

【0027】さらに,光源部を構成する一対の基板に配
設された電極間に印加する交流電圧の周波数を変えるこ
とにより,照射する紫外線及び赤外線の光量を加減で
き,オゾンの分解の程度を容易に制御することができ
る。
Further, by changing the frequency of the AC voltage applied between the electrodes arranged on the pair of substrates constituting the light source section, it is possible to adjust the amount of ultraviolet rays and infrared rays to be irradiated, and to easily decompose ozone. Can be controlled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の全体を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an entire embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例の概略断面斜視図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional perspective view of the above embodiment.

【図3】紫外線の波長に対するオゾンの紫外線吸収率及
びソーダライムガラスの紫外線透過率を示すグラフであ
る。
FIG. 3 is a graph showing the ultraviolet absorption rate of ozone and the ultraviolet transmittance of soda lime glass with respect to the wavelength of ultraviolet rays.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 オゾン消滅装置 3 分解用光源(光源部) 6 上部通気用隙間(隙間部) 7 下部通気用隙間(隙間部) 8 第1の基板ガラス(第1の基板) 9 第1の電極 11 第1の触媒層 12 第2の基板ガラス(第2の基板) 13 第3の基板ガラス(第1の基板) 14 第2の電極 16 第2の触媒層 23 第5の電極 25 第3の触媒層 28 第4の基板ガラス(第2の基板) 29 第6の電極 31 第4の触媒層 1 Ozone Extinguishing Device 3 Decomposition Light Source (Light Source) 6 Upper Venting Gap (Gap) 7 Lower Venting Gap (Gap) 8 First Substrate Glass (First Substrate) 9 First Electrode 11 First Catalyst layer 12 second substrate glass (second substrate) 13 third substrate glass (first substrate) 14 second electrode 16 second catalyst layer 23 fifth electrode 25 third catalyst layer 28 Fourth substrate glass (second substrate) 29 Sixth electrode 31 Fourth catalyst layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B01D 53/34 ZAB ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location B01D 53/34 ZAB

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の基板と,第2の基板及び光源部か
らなり,上記第1の基板上及び第2の基板上にそれぞれ
オゾン分解用の触媒層を形成し,これら触媒層が所定の
間隔をおいて対向するように第1の基板と第2の基板と
を配置し,以て触媒層に挟まれたオゾン通過用の隙間部
を形成すると共に,上記隙間部に向けて上記光源部から
オゾン分解用の紫外線及び赤外線の少なくとも一方を照
射するよう構成し,さらに,上記第1の基板と触媒層と
の間及び第2の基板と触媒層との間にそれぞれ電極を配
設し,これらの電極間に交流電圧を印加するよう構成し
たことを特徴とするオゾン消滅装置。
1. A first substrate, a second substrate, and a light source section, wherein catalyst layers for ozone decomposition are formed on the first substrate and the second substrate, respectively. The first substrate and the second substrate are arranged so as to face each other with an interval of, thereby forming a gap for ozone passage sandwiched between the catalyst layers, and the light source facing the gap. From at least one of ultraviolet rays and infrared rays for ozone decomposition
And the first substrate and the catalyst layer.
Electrodes between the second substrate and the catalyst layer.
And configured to apply an AC voltage between these electrodes.
An ozone extinguishing device characterized in that
【請求項2】 上記光源部は,電極の配設された一対の
基板を所定間隔を隔てて対向配置すると共に,基板周縁
部を気密封止して形成した空間部内部に紫外線発生ガス
及び赤外線発生ガスの少なく上も一方を封入すると共
に,上記電極間に交流電圧を印加することにより,紫外
線及び赤外線の少なくとも一方を照射するよう形成され
ており,上記電極間に印加する交流電圧の周波数を変え
ることにより,照射する紫外線及び赤外線の光量を加減
できるよう構成したことを特徴とする請求項1に記載の
オゾン消滅装置。
2. The light source unit comprises a pair of electrodes provided with electrodes.
The boards are arranged facing each other with a predetermined space between them, and
UV generated gas inside the space formed by hermetically sealing the area
In addition, the amount of infrared gas generated is small
By applying an AC voltage between the above electrodes,
Formed to irradiate at least one of rays and infrared rays
The frequency of the AC voltage applied between the electrodes is changed.
By adjusting the amount of ultraviolet and infrared light emitted
The ozone annihilation apparatus according to claim 1 , wherein the ozone annihilation apparatus is configured so as to be capable of performing.
JP3103621A 1991-04-10 1991-04-10 Ozone extinction device Expired - Lifetime JPH0722681B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3103621A JPH0722681B2 (en) 1991-04-10 1991-04-10 Ozone extinction device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3103621A JPH0722681B2 (en) 1991-04-10 1991-04-10 Ozone extinction device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04313330A JPH04313330A (en) 1992-11-05
JPH0722681B2 true JPH0722681B2 (en) 1995-03-15

Family

ID=14358840

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3103621A Expired - Lifetime JPH0722681B2 (en) 1991-04-10 1991-04-10 Ozone extinction device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0722681B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4508311B2 (en) * 1999-05-26 2010-07-21 栗田工業株式会社 Adjustment method of ozone concentration
JP5299857B2 (en) * 2007-03-30 2013-09-25 株式会社明電舎 Ozonolysis equipment

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63305922A (en) * 1987-06-05 1988-12-13 Ebara Res Co Ltd Method for treating waste ozone

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04313330A (en) 1992-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100036228A (en) Flat uv discharge lamp, uses and manufacture
JP7137891B1 (en) UV irradiation device
JP2009505365A (en) Used with coplanar discharge flat UV lamp
EP1929507A2 (en) Flat coplanar-discharge lamp and uses of same
US20160228928A1 (en) Method of cleaning substrate by ultraviolet rays with adjustable radiation energy
CN102004358A (en) Manufacturing method and device of a liquid crystal panel
US6588122B2 (en) Method for treating surfaces of substrates and apparatus
JPH0722681B2 (en) Ozone extinction device
TWI575559B (en) Light irradiation device
FR2936093A1 (en) Tubular discharge UV lamp e.g. tanning lamp, for e.g. refrigerator, has two electrodes associated to main faces of one of dielectric tubes, where electrodes are in form of bands that partially occupy, in projection, interelectrode spaces
JP2772913B2 (en) Method for manufacturing transparent electrode substrate, gas discharge display panel with touch switch, and liquid crystal display panel with backlight
US20210245100A1 (en) Light transmissive material and lamp, and gas treatment device and gas treatment method
WO2007119676A1 (en) Method for manufacturing sealing panel and plasma display panel
JP2004179157A (en) Light emitting device, method for manufacturing light emitting device, and method for manufacturing plasma display panel
US7304431B2 (en) Plasma display panel
JP3045989B2 (en) Ultraviolet light emitting panel and purification device using the ultraviolet light emitting panel
JP2003338245A (en) Display device
JPH08124540A (en) Xenon irradiation device and object surface modification device using the same
JPH07288109A (en) Xenon irradiation device and object surface modification device using the same
JP2000011960A (en) Surface treatment device and method using dielectric barrier discharge lamp
JPH10302642A (en) Plasma display panel and method of manufacturing the same
KR20230144214A (en) A device for manufacturing a far ultraviolet sterilization device and manufacturing method for a far ultraviolet sterilization device using the same
JPH0241900B2 (en)
KR102791437B1 (en) Method for obtaining a substrate coated with a functional layer
KR20080100135A (en) Exposure equipment