JPH0722752B2 - ウエ−ハプロセス排水の処理方法 - Google Patents
ウエ−ハプロセス排水の処理方法Info
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- JPH0722752B2 JPH0722752B2 JP62107048A JP10704887A JPH0722752B2 JP H0722752 B2 JPH0722752 B2 JP H0722752B2 JP 62107048 A JP62107048 A JP 62107048A JP 10704887 A JP10704887 A JP 10704887A JP H0722752 B2 JPH0722752 B2 JP H0722752B2
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- wafer process
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体工業より排出されるウエーハプロセス排
水の処理方法に関する。
水の処理方法に関する。
一般に、半導体工場の廃水は、排水源より分類すると、
ウエーハプロセス廃水、廃ガス処理装置廃水、空
調設備廃水、超純水製造装置廃水、生活廃水に分類
される。
ウエーハプロセス廃水、廃ガス処理装置廃水、空
調設備廃水、超純水製造装置廃水、生活廃水に分類
される。
これらの中で一番処理がむづかしいのがウエーハプロセ
ス廃水で、この廃水は水量が多く、フッ酸、塩酸、硝
酸、りん酸、酢酸、フッ化アンモニウム、過酸化水素な
どを含んでいる。
ス廃水で、この廃水は水量が多く、フッ酸、塩酸、硝
酸、りん酸、酢酸、フッ化アンモニウム、過酸化水素な
どを含んでいる。
ウエーハプロセス廃水の処理として、消石灰などのアル
カリ性カルシウム塩を添加することにより、pHを中性域
とし、フッ素を難溶性フッ化カルシウムとして沈殿分離
するか、あるいはアルカリ性のアルミニウム塩または、
マグネシウム塩を添加することにより、フッ素を吸着さ
せ沈殿分離したのち上澄水を生物処理し、排出する方法
が一般的である。しかしながら廃水中に過酸化水素を含
有すると、フッ素を沈殿分離する際、沈殿物と過酸化水
素が反応し、フロック中に気泡を抱き込み、沈殿分離に
不具合を生じるので、重亜硫酸ソーダを添加して、過酸
化水素を分解していた。しかしながら、重亜硫酸ソーダ
による過酸化水素の分解法には、 （イ）過酸化水素と重亜硫酸ソーダが反応する際、pHが
下がり、亜硫酸ガスを発生し、周囲の環境に悪影響を及
ぼす。
カリ性カルシウム塩を添加することにより、pHを中性域
とし、フッ素を難溶性フッ化カルシウムとして沈殿分離
するか、あるいはアルカリ性のアルミニウム塩または、
マグネシウム塩を添加することにより、フッ素を吸着さ
せ沈殿分離したのち上澄水を生物処理し、排出する方法
が一般的である。しかしながら廃水中に過酸化水素を含
有すると、フッ素を沈殿分離する際、沈殿物と過酸化水
素が反応し、フロック中に気泡を抱き込み、沈殿分離に
不具合を生じるので、重亜硫酸ソーダを添加して、過酸
化水素を分解していた。しかしながら、重亜硫酸ソーダ
による過酸化水素の分解法には、 （イ）過酸化水素と重亜硫酸ソーダが反応する際、pHが
下がり、亜硫酸ガスを発生し、周囲の環境に悪影響を及
ぼす。
（ロ）過酸化水素と重亜硫酸ソーダは等量反応なので、
過酸化水素濃度が高い場合、重亜硫酸ソーダが大量に必
要となる。
過酸化水素濃度が高い場合、重亜硫酸ソーダが大量に必
要となる。
などの欠点があった。
本発明は、前述の欠点を解決するため鋭意研究を重ねた
結果、酵素であるカタラーゼの使用が各種の問題点を一
挙に解決することを見出したものである。
結果、酵素であるカタラーゼの使用が各種の問題点を一
挙に解決することを見出したものである。
カタラーゼは1892年ジャコブソン（Jacobson）が過酸化
水素を特異的に分解する酵素として植物組織中から見出
したものであり、現在では嫌気性菌以外のほとんどすべ
ての生物体に分布しており、動物組織特に肝臓、赤血球
に多く存在し、植物では葉緑体などに存在している。そ
して、カタラーゼは、シアン、アジド、フッ素イオンと
結合し、低濃度でその作用が阻害されるという性質があ
る。
水素を特異的に分解する酵素として植物組織中から見出
したものであり、現在では嫌気性菌以外のほとんどすべ
ての生物体に分布しており、動物組織特に肝臓、赤血球
に多く存在し、植物では葉緑体などに存在している。そ
して、カタラーゼは、シアン、アジド、フッ素イオンと
結合し、低濃度でその作用が阻害されるという性質があ
る。
そこで、本発明者等は、廃水中に存在するフッ素イオン
を水に不溶性のフッ化カルシウムにすることにより、カ
タラーゼに対する活性を失わしめた後、カタラーゼの有
効利用をはかったものである。なお、フッ素イオンの10
〜20ppm程度の存在であれば、カタラーゼの利用に支障
はない。
を水に不溶性のフッ化カルシウムにすることにより、カ
タラーゼに対する活性を失わしめた後、カタラーゼの有
効利用をはかったものである。なお、フッ素イオンの10
〜20ppm程度の存在であれば、カタラーゼの利用に支障
はない。
カタラーゼの添加量は、従来、過酸化水素の分解用に用
いられていた重亜硫酸ソーダが過酸化水素と等モル必要
であったのに較べて極めて少量でその目的を達する。目
安となる使用量は、ほぼつぎのとおりである。
いられていた重亜硫酸ソーダが過酸化水素と等モル必要
であったのに較べて極めて少量でその目的を達する。目
安となる使用量は、ほぼつぎのとおりである。
廃水中の過酸化水素濃度が10〜100mg/lのとき添加量は5
0mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が100〜250mg/lのとき添加量は
100mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が250〜500mg/lのとき添加量は
150mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が500〜1,000mg/lのとき添加量
は200mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が1,000〜5,000mg/lのとき添加
量は300mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が5,000〜10,000mg/lのとき添
加量は500mg/l 使用時のpHは、５〜９、とくに７〜８において酵素の活
性が最高になるのでもっとも好ましい。
0mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が100〜250mg/lのとき添加量は
100mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が250〜500mg/lのとき添加量は
150mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が500〜1,000mg/lのとき添加量
は200mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が1,000〜5,000mg/lのとき添加
量は300mg/l 廃水中の過酸化水素濃度が5,000〜10,000mg/lのとき添
加量は500mg/l 使用時のpHは、５〜９、とくに７〜８において酵素の活
性が最高になるのでもっとも好ましい。
処理時の水温は０〜50℃である。
アルカリ性カルシウム含有化合物としては消石灰、生石
灰等が挙げられる。
灰等が挙げられる。
凝集剤としては、ノニオンまたはアニオン性の高分子凝
集剤が挙げられ、例えばポリアクリルアミド、ポリアク
リル酸ソーダ、ポリアクリルアミド部分加水分解物など
が使用できる。
集剤が挙げられ、例えばポリアクリルアミド、ポリアク
リル酸ソーダ、ポリアクリルアミド部分加水分解物など
が使用できる。
以下に実験例、実施例を示して説明する。
実験例１ ウエーハプロセス廃水（pH2.0,H2O2200ppm）に水酸化カ
ルシウムを添加して系中のフッ素イオンを水不溶性のCa
F2に変化させ、ついで水酸化ナトリウム水溶液を加えpH
を７に微調整したのち、所定濃度になるようにカタラー
ゼを添加し、機械的に20分間攪拌する。カタラーゼ添加
前後の過酸化水素濃度およびpHを測定した。
ルシウムを添加して系中のフッ素イオンを水不溶性のCa
F2に変化させ、ついで水酸化ナトリウム水溶液を加えpH
を７に微調整したのち、所定濃度になるようにカタラー
ゼを添加し、機械的に20分間攪拌する。カタラーゼ添加
前後の過酸化水素濃度およびpHを測定した。
結果を第１表に示す。
比較実験例１ 従来法と比較のため、34％重亜硫酸ソーダを所定量添加
して同様の実験を行なった。
して同様の実験を行なった。
結果を第１表に示す。
実験例２ ウエーハプロセス廃水（pH1.5,H2O21000ppm）に水酸化
カルシウムを加えて系中のフッ素イオンを水不溶性のCa
F2に変化させ、さらに水酸化ナトリウム水溶液を加え、
pHを７に微調整したのち、所定濃度になるようにカタラ
ーゼを添加し、機械的に20分間攪拌する。カタラーゼ添
加前後の過酸化水素濃度およびpHを測定した。
カルシウムを加えて系中のフッ素イオンを水不溶性のCa
F2に変化させ、さらに水酸化ナトリウム水溶液を加え、
pHを７に微調整したのち、所定濃度になるようにカタラ
ーゼを添加し、機械的に20分間攪拌する。カタラーゼ添
加前後の過酸化水素濃度およびpHを測定した。
結果を第２表に示す。
比較実験例２ 従来法と比較のため、34％重亜硫酸ソーダを所定量添加
して同様の実験を行なった。
して同様の実験を行なった。
結果を第２表に示す。
実施例１ 図面に示すウエーハプロセス排水処理設備を使用した。
５m3容量のＡ槽に排水を15m3/hrの割合で供給し、消石
灰を約５％水性スラリーとして、500l/hrの割合で加え
た。また、35％塩酸を添加して、pHを６〜７に調整し
た。
５m3容量のＡ槽に排水を15m3/hrの割合で供給し、消石
灰を約５％水性スラリーとして、500l/hrの割合で加え
た。また、35％塩酸を添加して、pHを６〜７に調整し
た。
Ａ槽からＢ槽、Ｂ槽から沈殿槽への排水の移送は、オバ
ーフロー方式により行なった。Ｂ槽もＡ槽と同一容量の
槽であり、ここでは25％水酸化ナトリウム溶液を添加し
てpHを７に微調整した。カタラーゼは、Ａ槽から送られ
てくる処理水量に対し、50ppmになるように、Ｂ槽に連
続添加した。
ーフロー方式により行なった。Ｂ槽もＡ槽と同一容量の
槽であり、ここでは25％水酸化ナトリウム溶液を添加し
てpHを７に微調整した。カタラーゼは、Ａ槽から送られ
てくる処理水量に対し、50ppmになるように、Ｂ槽に連
続添加した。
Ｂ槽の滞留時間は約20分間である。Ｂ槽に流入する排水
中の過酸化水素濃度は平均値で150ppmであった。Ｂ槽で
処理された排水は、沈殿槽に送られるが、このとき凝集
剤としてポリアクリルアミド系のクリフロック pA 362
（栗田工業株式会社商標）を約1ppm加えることにより、
沈殿を促進する。沈殿槽の有効容積は約76m3のものを使
用した。沈殿槽から気泡の発生はみられなかった。試験
の結果、沈殿槽における過酸化水素濃度は、10ppm以下
となり、フッ化カルシウムフロックの浮上は認められな
かった。
中の過酸化水素濃度は平均値で150ppmであった。Ｂ槽で
処理された排水は、沈殿槽に送られるが、このとき凝集
剤としてポリアクリルアミド系のクリフロック pA 362
（栗田工業株式会社商標）を約1ppm加えることにより、
沈殿を促進する。沈殿槽の有効容積は約76m3のものを使
用した。沈殿槽から気泡の発生はみられなかった。試験
の結果、沈殿槽における過酸化水素濃度は、10ppm以下
となり、フッ化カルシウムフロックの浮上は認められな
かった。
本発明の効果は、次の通りである。
（１）重亜硫酸ソーダを使用するときのように反応によ
りpHがさがることもなく、又亜硫酸ガスのような有毒ガ
スを発生することがないので、二次公害の心配もない。
りpHがさがることもなく、又亜硫酸ガスのような有毒ガ
スを発生することがないので、二次公害の心配もない。
（２）カタラーゼは触媒的に働くので、使用量が極めて
少い。
少い。
第１図は、本発明の１実施例を示す。 Ａ槽、フッ素イオン除去のための槽であり、Ｂ槽はカタ
ラーゼを用いた過酸化水素分解槽、Ｃ槽は沈殿槽であ
る。 1:消石灰スリラー貯槽、2:カタラーゼ水溶液貯槽 3:凝集剤貯槽、4:攪拌機 5:ウエーハプロセス排水供給パイプ ６〜7:移送パイプ 8:処理済排水の排出用パイプ
ラーゼを用いた過酸化水素分解槽、Ｃ槽は沈殿槽であ
る。 1:消石灰スリラー貯槽、2:カタラーゼ水溶液貯槽 3:凝集剤貯槽、4:攪拌機 5:ウエーハプロセス排水供給パイプ ６〜7:移送パイプ 8:処理済排水の排出用パイプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｚ 21/306
Claims (1)
- 【請求項１】ウエーハプロセス排水中に、アルカリ性カ
ルシウム含有化合物を添加し、排水中のフッ素イオンを
フッ化カルシウムにした後、pH5〜９において、カタラ
ーゼを添加し、過酸化水素を分解し、ついで、固液分離
することを特徴とするウエーハプロセス排水の処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107048A JPH0722752B2 (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | ウエ−ハプロセス排水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107048A JPH0722752B2 (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | ウエ−ハプロセス排水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63270595A JPS63270595A (ja) | 1988-11-08 |
| JPH0722752B2 true JPH0722752B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=14449195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62107048A Expired - Fee Related JPH0722752B2 (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | ウエ−ハプロセス排水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722752B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01297198A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-11-30 | Nec Corp | 排水処理方法 |
| US9254400B2 (en) * | 2010-03-02 | 2016-02-09 | Ecolab Usa Inc. | Method for processing peroxygen solutions |
| WO2017221944A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | パナソニックヘルスケアホールディングス株式会社 | カタラーゼ阻害剤及びカタラーゼ阻害剤を用いるアナライトの測定方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556606A (en) * | 1978-06-29 | 1980-01-18 | Toshiba Corp | Priority change system |
| IT1147298B (it) * | 1981-06-30 | 1986-11-19 | Brev C D R Di D Anrea Regazzo | Procedimento di depurazione di acque contenenti inquinanti organici |
| SE440498B (sv) * | 1983-08-10 | 1985-08-05 | Sca Development Ab | Sett att biologiskt rena avloppsvatten fran tillverkning av peroxidblekt massa |
| JPS60175504A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-09 | Kurita Water Ind Ltd | 膜分離装置の洗浄方法 |
| JPS62279885A (ja) * | 1986-05-27 | 1987-12-04 | Naigai Kagaku Seihin Kk | 過酸化水素含有廃水の処理方法 |
-
1987
- 1987-04-30 JP JP62107048A patent/JPH0722752B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63270595A (ja) | 1988-11-08 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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