JPH0728166B2

JPH0728166B2 - フィルタ及びその製造方法

Info

Publication number: JPH0728166B2
Application number: JP1267960A
Authority: JP
Inventors: デイビッド・エル・ハリス
Original assignee: テクトロニックス・インコーポレイテッド
Priority date: 1988-10-31
Filing date: 1989-10-13
Publication date: 1995-03-29
Anticipated expiration: 2010-03-29
Also published as: DE3933157C2; DE3933157A1; GB8919286D0; JPH0362601A; US4857871A; GB2224395A; GB2224395B

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、磁気的に同調可能なマイクロ波用のフィルタ
に関し、特にイットリウム−鉄−ガーネット（YIG）等
を材料としたフェリ磁性体による共振器素子を用いるフ
ィルタに関する。

［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］ YIGフィルタとして知られているもののひとつは、単一
のハウジングがあって、この中にYIGの球体を収納し、
ループ、同時ケーブル、及びこれらの関連の部品を結合
する。このやり方では、典型的な結合ループのワイアの
直径と比較して大きな孔がハウジングに穿たれ、YIG球
体のための空洞すなわちハウジング内の空洞内に同軸ケ
ーブルが通じるようになっている。もし同軸ケーブルの
中心導体から結合ループへの遷移が空洞縁において行わ
れると、見せ掛けの静磁気モードの結合が大変増加す
る。また、一方で、遷移がエッジからあまりに離れたと
ころでおこなわれると、フィルタにインダクタンスが導
入され、フィルタの周波数が同調されるにつれ入力結合
が変化する。これらの単一のハウジングからなるマイク
ロ波用のフィルタは、その最高同調周波数が比較的低い
範囲に留まっている。

ショアによる米国特許第4334201号には、２つの部分ま
たはリングに分割されたハウジングを有するYIGバンド
パス・フィルタが開示されている。このショアの特許に
おける２分割技術は、ハウジング内に小さい孔や通路を
設けることを容易にする。これらの小さな孔は、フィル
タの様々な部品を収容する。この特許公報は特にジャー
マン・シルバー（German Silver）のような粉末金属か
らハウジングの部品をモールドする手法を開示してい
る。これ以上詳しく述べないが、このショアの特許公報
は、ハウジングのリングを製作するためにその他の適当
な材料や工程を用いてもよいことが述べられている。粉
末状の金属材料をモールドすることによって形成された
フィルタは、およそ２から20GHzの範囲で同調できたに
過ぎなかった、粉末状の金属をモールドしたものを用い
て周波数の範囲を著しく拡張することは不可能と考えら
れてきた。モールドの代わりに、粉末の金属及び機械加
工を用いて周波数の範囲を拡張することは、高度に熟練
した機械技能者を必要とするであろう。技能者の技能に
依存するようなフィルタの製造技術では、同調するフィ
ルタに信頼できる一定の品質をもたらさない。

米国特許第4334201号公報に従って製造される装置にお
いては、YIG球体を収納する空洞を覆ったり塞いだりす
ることに、金属の挿入物を用いている。これらの挿入物
は、金メッキされ、フィルタハウジングの部品に設けら
れている、マグネットポールピースを受け入れるための
くぼみに、その形状がなじむ。磁石である各ポールピー
スは、これらの挿入物に対して圧され、所定の位置に支
持され、YIG共振器空洞が覆われる。その結果、ポール
ピースを形成する磁性材料は、機械的な力を受け、これ
は、フィルタの同調における線形性を妨げ、特に周波数
が高いときに著しい。従って、これらのフィルタを同調
することは予測しがたい要素を含む。付けくわうるに、
この種の挿入物は、YIGフィルタ球体の空洞の端部での
気密性に限度がある。さらにこれらの装置では、挿入物
及びハウジングを挟んでまたがるポールピース（柱状部
材）とポールピースの間隔（距離）は、約1.65ミリ・メ
ータ（約0.065インチ）である。

フィルタハウジングの部品は、プラスチックをインジェ
クションモールドし、そのプラスチックの部品を金属で
コーティングするかまたは金属をインジェクションモー
ルドするかの方法で作ることも可能である。再び述べる
と、このようなフィルタにとって同調可能であるような
最高の周波数は、粉末状の金属をモールドして作る部品
を用いた場合に達成できる周波数と略同じである。

従って、この種のマイクロ波用のフィルタ及びその製造
方法は、改善される必要があり、それらは、従来のもの
が有する欠点を克服するものでなければならない。

そこで本発明の目的は、フェリ磁性素子を用いた改善さ
れたマイクロ波フィルタと、そのようなうフィルタの製
造方法を提供することにある。

本発明の目的を更に詳しくいうと、そのようなフィルタ
の改善されたハウジング及びそのようなハウジングの製
造方法を提供することにある。

本発明の他の目的は、極めて高い周波数においても同調
できるフィルタを提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、所望のフィルタ特性を維持
しながら、大量生産を比較的やりやすいフィルタを提供
することにある。

本発明の更に他の目的は、所定の周波数において、使用
するにあたって、電力消費がより少ないフィルタを提供
することにある。

本発明の更に他の目的は、製造費用が比較的安価なフィ
ルタを提供することにある。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明は、ひとつ以上のフェリ磁性共振器素子を用いた
新しいマイクロ波用フィルタに関し、特にそのような型
のフィルタの新しいハウジング及びその製造方法に関す
る。なお、本発明においては化学的機械加工（ケミカル
ミーリング）とは、マスキング及び化学薬品（エッチン
グ溶液）を用いたエッチングによる高精度な機械（成
形）加工のことをいう。

本発明のひとつの特徴は、そのハウジングが、ハウジン
グの本体を形作るべく接合する第１及び第２の非磁性体
による金属の層状部材を具えている。ひとつ以上の開口
が化学的機械加工によってこれらの層状部材に設けら
れ、これらの開口が接合されて空洞を形成する。これら
の空洞には、フェリ磁性体の共振器すなわちフィルタに
包含される共振器が収められる。さらに、これら層状部
材の隣接する各面には、化学的機械加工によって設けら
れた対応する溝があって、層状部材が接合されると、フ
ィルタの部品を結合する通路を形成する。化学的機械加
工の技術を用いることによって、薄い層状部材であって
もこれらの通路と開口の位置決めを正確に行うことがで
きる。その結果として、本発明のフィルタは、40GHz以
上にまで同調することができる。

本発明の他の側面では、層状部材を構成する部品は、夫
々のカバー部材によって挟まれ、固定されている。これ
らのカバー部材は、プラスチックのようなインジェクシ
ョンモールドの非金属部品によって作られている。非金
属のカバー部材は、フィルタの使用にあたっては害にな
る渦電流を起こさない。更に、全体を強固にするため
に、カバー部材を用いることによって、ハウジングの層
状部材には、比較的薄い金属材料をもちいてもかまわな
くなる。すなわち、ハウジングの部材を厚くすることに
より、フィルタに強度をもたせる必要がない。

本発明のさらに別の視点では、共振器空洞を覆うための
非磁性金属の封止部材が、それぞれ隣接する層状部材と
カバー部材との間に設けられている。これらの封止部材
は、フェリ磁性体の共振器が収納された層状部材の空洞
を覆う。これらの部材は、層状部材の表面領域と実質的
に同じ領域にわたって展開していてよく、そうすること
によってフェリ磁性体の共振器が収納されている空洞の
端部を効果的に封止する。さらに、これらの部材は、フ
ィルタ内に含まれる同軸ケーブルのジャケットに取り付
けてもよく、これらのケーブルをより効果的に接地する
ことができる。

本発明のその他の目的は、特徴および利点は、以下の図
面に用いての詳細な説明によって一層明らかになろう。

［実施例］簡便のために、本発明に基づくマイクロ波用フィルタの
好適な実施例を、イットリウム−鉄−ガーネット（YI
G）球体を用いたものとして説明していく。その他のフ
ェリ磁性体の共振器、例えばリチウム−アルミニウム−
フェライト、ニッケル−亜鉛−フェライト、バリウム−
亜鉛−フェライトも使用可能なので、この形態に制限さ
れるものではない。この分野で知られているように、異
なった材料の共振器を用いることはそれによるマイクロ
波用のフィルタの周波数帯域の特性に影響を与える。

よく知られているように、D.C.の磁気フィールドがイッ
トリウム−鉄−ガーネットに適用されると、この材料
は、磁気フィールドの強さに比例して高Ｑ共振を呈す
る。磁気回転周波数として知られているこの周波数は、
磁気フィールドの強度を変化させることによって変化さ
せることができる。米国特許第4334201号公報の中で示
されているような従来のマイクロ波用のフィルタでは、
１つ、２つ、３つあるいはこれを超えるようなカスケー
ドフィルタ部分が、YIG球体を含む各部分の提供を受け
ている。このフィルタ部分は、その軸が相互に垂直であ
り、かつYIG球体に対して設けられている磁石のポール
ピースによって加えられている磁界に対しても垂直であ
るように配置された結合ループを有している。YIG球体
が磁界にさらされていないとき、ループの軸が互いに垂
直であり、YIG球体との間に相互作用が存在しないた
め、エネルギは、結合ループ間にて伝達されない。この
球体にD.C.磁界が適用され、結合ループに対して適用さ
れているRF信号の周波数が、磁気回転周波数と同一であ
れば、エネルギは、結合ループ間で伝達される。

本発明は、その構造と製造方法のゆえに、従来のものが
もっていた多くの欠点を改善する改良されたハウジング
を有するフィルタである。

第１図は、本発明に基づくマイクロ波用フィルタのハウ
ジングの分解斜視図である。ハウジング（10）は、対向
する２面（14）、（16）を有する第１層状部材（12）
と、対向する２面（20）及び（22）を有する第２層状部
材（18）とを含んでいる。層状部材（12）、（18）は極
めて薄く、典型的には約１ミリ・メータ（0.04インチ）
の厚みを超えることはなく、好適には、約0.2ミリ・メ
ータ（約0.008インチ）から約0.5ミリ・メータ（約0.02
インチ）の厚みである。これらの部品は、非磁性材料に
よって作られている。層状部材（12）及び（18）は後述
するように化学的機械加工を用いて製造する場合、これ
らは板材からつくるのがよく、この場合、表面（14）、
（16）及び（20）、（22）は、実質的に平面であり、相
互に平行である。同様に、層状部材（12）及び（18）
を、合金とは異なり銅など単一の材料によってつくるこ
とによって、この層状部材に化学的機械加工によって一
層正確に極めて小さな通路や開口を設けることができ
る。

層状部材（12）、（18）を接合させたときの厚みが、マ
イクロ波用フィルタに結合されている入力と出力の同軸
ケーブル（例えば第３図におけるケーブル（30）、（3
2）のように）の直径よりも小さいと仮定すると、層状
部材（12）には第１の矩形切り欠き（34）及び第２の矩
形切り欠き（36）が設けられることになる。同様に、層
状部材（18）には、第３の矩形切り欠き（38）及び第４
の矩形切り欠き（40）が設けられることになる。２つの
層状部材が表面（14）と（20）が合わさるように組み付
けられると、切り欠きの対（34）と（38）、及び（36）
と（40）が、入力及び出力用の同軸ケーブルを受け入れ
ることができるように、夫々位置決めされた切り欠きを
形成する。第２図は、第１図に示すフィルタのハウジン
グを構成する層状部材の平面図である。第３図は、第２
図に示す層状部材に関連の部品を取り付けた様子を描い
た平面図である。第３図に最もよく示されているよう
に、入力同軸ケーブル（30）の外被（41）は、ハンダ付
けなどによって、マイクロ波用フィルタに電気的接地を
提供するために、層状部材に接続される。同様に出力同
軸ケーブル（32）の外被（42）を層状部材に固定され
る。当然ながら、もし２つの層状部材（12）及び（18）
を合わせた厚みよりも、同軸ケーブルの直径のほうが小
さければ、開口（34）から（38）は、典型的にはくぼん
だ溝に置き換えられるであろう。これらの溝は、層状部
材の同軸ケーブルを受け入れるための孔を形成すべく互
いに合致するであろう。

層状部材（12）には、面（14）及び（16）の間の部材を
通って延びる第１及び第２の円形開口（50）及び（52）
（第１図参照）が設けられている。同様に層状部材（1
8）には、開口（54）及び（56）が設けられている。層
状部材（12）及び（18）が組み付けられると、開口の対
（50）と（54）、及び（52）と（56）は、位置合わせさ
れて、第３図に示すように共振器素子を収納するための
空洞（60）、（62）が形成される。共振器素子であるYI
G球体（64）及び（66）は、セラミックの棒によって構
成してもよい通常の支持部材（68）、（70）によって、
各空洞（60）及び（62）の中に支持されている。これら
の棒の直径が、層状部材（12）、（18）を合わせた厚さ
よりも大きいと仮定すると、矩形切り欠き（72）、（7
4）（第１図参照）は層状部材（12）に設けられ、同様
な切り欠き（76）、（78）は、層状部材（18）に設けら
れる。層状部材が組み付けられると、各切り欠きの対
（72）、（76）及び（74）、（78）は、第３図にもっと
もよく示されているように、YIG球体支持棒（68）、（7
0）を受け入れる為の切り欠き形成する。切り欠き（7
2）から（78）は、２つの層状部材を合わせたときの厚
みが、球体の支持棒（68）及び（70）の直径よりも厚い
場合には、典型的にはくぼんだ溝に置き換えられる。

この図に示され、この点に関して説明されるハウジング
は、２つのステージをもつフィルタ（TWO STAGE FILT
ER）のためのものであり、これは図示するだけに留め
る。

第１図に示すように、結合ループ部材を収納するため
の、細長いくぼんだ溝（80）、（82）、（84）が、面
（14）上に設けられており、切り欠き（34）から空洞を
形成している開口（50）に、開口（50）から空洞を形成
している開口（52）に、そして開口（52）から切り欠き
（36）に、夫々延びている。同様のくぼんだ溝（86）、
（88）及び（90）は、層状部材（18）の表面（20）上に
設けられている。溝（86）、（88）、（90）は、夫々切
り欠き（38）から空洞を形成している開口（54）に、開
口（54）から空洞を形成している開口（56）に、そして
開口（56）から切り欠き（40）にと延びている。溝の対
（80）と（86）、（82）と（88）、（84）と（90）は、
以下に説明するように、フィルタに用いられる結合ルー
プ部材のための通路となるようにハウジングを組み付け
たとき、相互に合致する。同様に、面（14）及び（20）
に設けられたくぼんだ溝（94）と（96）、及び（98）と
（100）は、棒（68）及び（70）が共振器を収納する空
洞へと延びるための通路を構成する。

第３図に示すように、導体である入力結合ループ部材
（102）は、例えば溶接接合等によって、入力同軸ケー
ブル（30）の中心導体の突出部（104）に接続してい
る。この接続は、切り欠き（34）及び（38）によって形
成される空間内で行われるのがよい。入力結合ループ部
材（102）は、溝（80）及び（86）の壁に接触しないよ
うに支持され、結合ループ部材の他端は、層状部材の間
の（106）にて固定される。第１図及び第２図に示すよ
うに、そのうちの１つに参照番号（107）が付されてい
る浅いすり割りは、結合ループの先端を受け入れるため
のものである。導体である出力結合ループ部材（110）
の一端は、出力同軸ケーブル（32）の中心導体の突出部
分（112）に、同様に接続されている。出力結合ループ
部材（110）は、層状部材の間で、反対側の端部（114）
において支持され、固定されている。出力結合ループ部
材（110）は、層状部材の壁（84）及び（90）によって
形作られる溝に接触してはいない。結合ループ部材（12
0）の内側ステージは、その各端部にて層状部材（12）
および（18）に対して固定されており、溝（82）、（8
8）の壁に接触しないように支持されている。結合ルー
プ部材の導体及び通路の直径は、入力／出力ケーブル
（30）及び（32）とインピーダンス整合するように寸法
が決定される。

第４図は、第３図の線IV−IVに沿う断面図、第５図は、
第３図の線Ｖ−Ｖに沿う断面図である。第４図に最もよ
く示されているように、出力結合ループ部材（110）
は、これが空洞（62）を通過するために、空洞内のYIG
球体（66）にたいして間隔をおいたループ（130）を形
成するよう形つくられている。入力同軸ケーブル及び入
力結合ループ部材も、同じように形成されており、詳し
くは示さない。第５図に示すように、結合ループ部材
（120）の内部での形状は、これが各共振器空洞（60）
及び（62）を通過するところでは、各共振器素子（64）
及び（66）に対して隙間をあけるようにループ（14
0）、（142）を形作っている。入力結合ループ部材のル
ープ軸は、ループ（140）の軸に対して直角であり、ル
ープ（140）及びループ（142）の軸は平行であり、出力
結合ループ部材のループ（130）の軸は、ループ（142）
の軸に対して直角である。

第１図を再度参照する。共振器空洞を封止している板材
の部材、すなわち封止部材（160）は、層状部材（12）
の表面（16）上に乗っている。同様な封止部材（162）
は、層状部材（18）の面（22）に隣接して配置されてい
る。封止部材（160）及び（162）は、同軸ケーブルを収
納するため、必要に応じて切り欠きや開口を設ける。典
型的には、封止部材（160）及び（162）は、約0.025ミ
リ・メータ（0.001インチ）から約0.05ミリ・メータ
（0.002インチ）の厚みのきわめて薄い金属箔によって
形成する。特定の例としては、共振器空洞（60）、（6
2）に垂れ下がることのないある程度硬い箔であるよう
ベリリウム銅を用いてもよい。ハウジングは、カバー部
材すなわち固体部材（170）、（172）を含む。部材（1
2）、（18）、（160）、（162）は、マイクロ波用フィ
ルタが組み立てられるときは、カバー部材（170）、（1
72）によって挟まれる。

カバー部材（170）及び（172）は、フィルタアセンブリ
を補強し、このため、内部に極めて薄い層状部材を用い
ることが可能となり、これらの薄い層状部材にはフィル
タの構体として剛性を付与する必要がない。さらに、カ
バー部材（170）、（172）は、インジェクションモール
ドによるなどのように典型的にはプラスチック、あるい
はその他の非金属材料によってつくる。従って、フィル
タ全体での性能に影響する渦電流が、このカバー部材に
発生することはない。各カバー部材（170）、（172）の
溝の対（174）と（176）、及び（178）と（180）は、出
力と入力の同軸ケーブルのための隙間を提供する。

開口（182）は、カバー部材（170）に設けられ、同様な
開口（184）は、カバー部材（172）に設けられる。これ
らの開口は、共振器空洞（60）及び（62）（第３図参
照）と重なって被うように寸法と形状が決まっており、
電磁石による各ポールピースを、これらの開口を通じて
位置決めし、内側の層状部材と隣接させる。図示する開
口（182）及び（184）は、円形のものを示しているが、
はすに設けられてもよく、さらに用いられる磁石のポー
ルピースの特定の形状に応じた形状でもよい。カバー部
材は封止部材（160）、（162）を適切に固定するので、
封止部材の保持のために磁石のポールピースで封止部材
を強く圧する必要はなく、磁石のポールピースには、機
械的な圧力が加えられていない。従って、磁気飽和は発
生しずらく高い週波数における同調の線形性が向上す
る。

マイクロ波用のフィルタの内部部品に比較的薄いものを
用いることによって、例えば40から60GHzあるいはそれ
以上の極めて高い周波数での使用が可能になっただけで
はなく、この構造によって電力消費の点でも利点が生ま
れる。特に、層状部材（12）、（18）及び封止部材（16
0）、（162）に比較的薄い部品を用いることができるの
で、これら部品の距離Ｄ（第４図参照）を最小にでき
る。一層詳しくいうと、磁石のポールピースは、夫々の
封止部材（160）、（162）に隣接した開口（182）、（1
84）の中に挿入可能である。この場合、ポールピース間
の距離は、距離Ｄに対応する。所定の周波数に達するた
めに電磁石に必要とされる電力は、ポールピース間の距
離の２乗に比例して変化する。この構造はきわめて薄い
部品の使用を可能にするので、距離Ｄは、比較的小さ
い。このことは、本発明にて可能な最大周波数よりも小
さい周波数でマイクロ波用のフィルタを使用していて
も、電力消費がより少なくなる。

さらに、封止部材（160）、（162）及び層状部材（1
2）、（18）の隣接する平面は、典型的には、これらが
酸化しないように薄い金の皮膜をメッキしておく。従っ
て、カバー部材（170）、（172）によってこれらの部品
が固定されると、金と金とが接触するために、共振器空
洞におけるエネルギの効果的な封止が達成される。この
封止は、封止部材が、開口（182）、（184）の縁をこえ
て延びているために、また図示している実施例では、封
止部材（160）、（162）が層状部材の隣接表面と実質的
に同様に展開しているために、密封状態が一層向上して
いる。

マイクロ波用のフィルタの各ハウジング部品は、ボルト
またはねじを受け入れるための開口が設けられており、
そのうちの２つは、カバー部材（170）に参照番号（19
0）、（192）を付した。これらの開口は、ハウジングの
部品が組み付けられたときは位置あわせされ、これらの
部品を相互に保持するための固定ボルトすなわちねじが
はいる。さらに、これらのハウジング部品は、図示しな
いが、位置決めまたは固定のためのピン孔を設けてもよ
い。部品が相互に重なるようにしてこの孔に固定用のピ
ンを貫通させる。その後に、ねじまたはボルトによって
部品を相互に固定し、完成したマイクロ波用のフィルタ
を固定ピンから単にはずす。

極めて高い周波数にて使用できるマイクロ波用のフィル
タを提供するために、このフィルタに用いられている薄
い層状部材のなかで、共振器空洞及び結合通路の位置決
めを形成を正確に行わねばならない。さらに、空洞間の
間隔を極めて狭くすることとともに、極めて小さな直径
の空洞と、結合通路が要求されている。特定の例とし
て、これに限定されるものではないが、本発明の特定の
マイクロ波用フィルタの典型的な寸法は、以下のように
なっている。

共振器空洞（60）（62）の直径：約1mm（0.04インチ） YIG球体（64）（66）の直径：約0.38mm（0.015インチ）共振器空洞（60）（62）の間の間隔：約0.13mm（0.005
インチ）各層状部材（12）（18）の厚み：約0.5mm（0.02イン
チ）封止部材（160）（162）の厚み：約0.025mm（0.001イン
チ）から約0.05mm（0.002インチ）結合通路の直径：約2mm（0.08インチ）から約0.25mm
（0.01インチ）結合ループ部材の直径：約0.05mm（0.002インチ）結合ループ部材のループの半径：約0.25mm（0.01イン
チ）層状部材の好適な製造方法では、感光性エマルジョンに
よって、銅その他の材料のシートの表面は被覆する。被
覆されたシートの上には光マスクを被せ、光をあてる。
開口（34）（36）及び（50）（52）（第１図参照）並び
に層状部材の境界は、マスクを通して露出する。このエ
マルジョンは、化学的機械加工が行われるべき所の表面
を露出させるように現像されてゆく。金属のシートをエ
ッチング溶液に漬けてシートから物質を除去し開口を形
成し、層状部材をシートから分離する。また、典型的に
は、多くの層状部材は、単一のシート材料から作られ
る。この場合は、後続する最初のエッチング工程のため
に、層状部材を一時的に相互接続しておくため、層状部
材同士の間で小さい耳を残しておく。この化学的機械加
工の工程は、各層状部材の一表面にくぼんだ溝を形成す
るため、部材的に繰り返し行われる。これら開口の形成
工程及びくぼんだ溝の形成工程の２つの化学的機械加工
工程は、いずれの順番で行われてもよい。また封止部材
（160）、（162）も、同じ方法で形成されてもよい。結
合ループも、化学的機械加工によって形成されてよい。

結合ループの端部を受け入れるためのくぼみ（107）を
切削するには、典型的にはレーザーを用いる。しかしな
がら、レーザー加工は、あまりに時間がかかりすぎ、層
状部材のその他の開口を正確に切削することができな
い。インクジェット・ヘッド等のように多数の小さな開
口を有する装置の製造には化学的機械加工が以前より使
われてきた。またこの手法はマイクロ波用のフィルタの
ための導体ループの製造にも使用されてきた。しかし、
以前には、マイクロ波用のフィルタのハウジング部材の
製造に、この技術が利用されたことはなかった。

一つの好適な実施例をもとに発明の要旨を説明し、図示
してきたが、本発明は、その要旨から逸脱することなく
変更を加えることは、当業者には容易である。例えば同
軸ケーブルをフィルタのハウジング部品に取付け、ある
いは接続する様々な方法が採用可能である。さらに、同
軸ケーブルの中心導体は、結合ループに様々な位置で接
続してよい。例えば図示するようなやり方とは異なり、
層状部材内の通路にて行われてもよい。

［発明の効果］本発明では、フィルタのハウジングの構造として、薄い
板状（層状）の部材を２枚接合し、その間に共振器を収
めるための空洞と、結合ループ部材等を収めるための通
路を設ける構造とした。そして、その部材の加工を化学
的機械加工の技術によって行った。したがって、フィル
タを構成する部品の厚さを薄くすることができるので、
ポールピース間の距離を短くできる。このため、高い周
波数にて同調可能で、しかも消費電力が少ないフィルタ
が容易に製造できる。さらに、製造にあたって、高度に
熟練した技能を必要としないので、安価で安定した品質
のフィルタが、大量生産できるようになるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に基づくマイクロ波用フィルタのハウ
ジングの分解斜視図、第２図は、第１図に示すフィルタ
のハウジングを構成する層状部材の平面図である。第３
図は、第２図に示す層状部材に関連の部品を取り付けた
様子を描いた平面図、第４図は、第３図の線IV−IVに沿
う断面図、第５図は、第３図の線Ｖ−Ｖに沿う断面図で
ある。これらの図において、（10）はハウジング、（12）及び
（18）は層状部材、（60）及び（62）は空洞、（64）、
（66）は共振器素子、（102）、（110）、（120）は結
合ループ部材、（160）、（162）は封止部材、（17
0）、（172）はカバー部材である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１及び第２の非磁性金属材料による層状
部材の各一面に、化学的機械加工により、夫々対応する
位置に、開口及び該開口と外部とに連通する溝を設け、上記第１及び第２層状部材の上記各一面を相互に接合さ
せ、上記開口によって空洞を、上記溝によって通路を層
状部材内に構成し、上記空洞内に共振器素子を配置し、上記結合通路及び上記空洞内に結合ループ部材を配置す
ると共に、上記空洞内でループを構成することによって
上記共振素子と電磁気的な結合関係におき、上記空洞を封止部材で封止することを特徴とするフィル
タの製造方法。
【請求項２】化学的機械加工により形成した開口及び該
開口と外部とに連通する溝を夫々各一面に有し、該各一
面を相互に接合することによって、上記開口によって空
洞が、上記溝によって通路が形成される厚さの薄い第１
及び第２層状部材を含むハウジングと、上記空洞内に配置された共振器素子と、上記通路内に延びると共に上記空洞内にてループを形成
し、上記共振器素子と磁気的な作用関係にある結合ルー
プ部材と、上記空洞を封止する厚さの薄い封止部材と、ポールピースを受け入れる開口を有し、上記ハウジング
及び上記封止部材を挟んで固定すると共に上記ハウジン
グ及び上記封止部材を補強するカバー部材とを具えたフ
ィルタ。