JPH072991B2 - 差圧シール装置 - Google Patents
差圧シール装置Info
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- JPH072991B2 JPH072991B2 JP27096488A JP27096488A JPH072991B2 JP H072991 B2 JPH072991 B2 JP H072991B2 JP 27096488 A JP27096488 A JP 27096488A JP 27096488 A JP27096488 A JP 27096488A JP H072991 B2 JPH072991 B2 JP H072991B2
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Landscapes
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 長尺薄帯例えば冷延ないし熱延鋼帯のような長尺材を連
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライプレーティン
グ法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のあ
る空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライ
プレーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つ
いで下げていくエア・トウ・エア（Air-to-Air）方式が
用いられ、このような差圧室相互間における圧力差を維
持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差圧シール
を必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に実現する
ことができる、差圧シール装置を提案しようとするもの
である。
続的に送給する間に、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライプレーティン
グ法によって表面被覆を施す際には、複数の圧力差のあ
る空間領域相互（以下差圧室と呼ぶ）によって、ドライ
プレーティング領域に至る間に、順次真空度をあげ、つ
いで下げていくエア・トウ・エア（Air-to-Air）方式が
用いられ、このような差圧室相互間における圧力差を維
持しつつ長尺材の連続的な通過を誘導する、差圧シール
を必要とし、ここに適切な差圧シールを有利に実現する
ことができる、差圧シール装置を提案しようとするもの
である。
（従来の技術） エア・トウ・エア方式に関してすでに多数の提案を見る
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同2972330
号、同2996410号明細書をはじめ、三菱重工技法Vol.21
（1984）No.6のp125〜131、真空：第30巻，（1987），
第10号のp775〜785、日新製鋼技法第51号：（1984）,p9
3〜101、などのように、近年来の精密工作技術の進歩と
相まって、実用化が進められつつある。これらのシール
法のうちの、とくに最後に引用した文献には、通板の向
きにわずかに軸心をずらせた一対のロール間に挟んで長
尺材を各ロール周面に沿わせるようにして、シール面積
を拡大することが、また最近に至って特開昭62−13572
号公報では、一対の通板のロールに、長尺材を囲うシー
ルバーとアダプターとを組合せて、その囲いの内部にて
差圧を維持する試みが提案されているが、何れにあって
も、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板するので、
被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働
き、さらには大きな張力も受ける。
ことができ、たとえば米国特許第2384500号、同2972330
号、同2996410号明細書をはじめ、三菱重工技法Vol.21
（1984）No.6のp125〜131、真空：第30巻，（1987），
第10号のp775〜785、日新製鋼技法第51号：（1984）,p9
3〜101、などのように、近年来の精密工作技術の進歩と
相まって、実用化が進められつつある。これらのシール
法のうちの、とくに最後に引用した文献には、通板の向
きにわずかに軸心をずらせた一対のロール間に挟んで長
尺材を各ロール周面に沿わせるようにして、シール面積
を拡大することが、また最近に至って特開昭62−13572
号公報では、一対の通板のロールに、長尺材を囲うシー
ルバーとアダプターとを組合せて、その囲いの内部にて
差圧を維持する試みが提案されているが、何れにあって
も、一対のロール間に長尺材を挟圧して通板するので、
被処理物は、その表、裏面で曲げ応力、圧縮応力が働
き、さらには大きな張力も受ける。
このような張力や局部的な面圧の作用は、製品の品質に
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
悪影響を及ぼし、例えば一方向性珪素鋼板にエア・トウ
・エア方式を適用した際に磁気特性の劣化を起こすこと
がわかった。
また、最近ではこのような問題に加え、とくに上記珪素
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、板割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
鋼板の如き脆い長尺薄帯を対象とした場合に、連続通板
時の該薄帯の振動による、シール装置本体との接触等に
より、板割れが発生し易いことが指摘されるようになっ
た。
（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、長尺薄帯のエア・トウ・エア方式に
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案することろにある。
よる処理に適合して、製品品質の劣化や板割れを生じる
うれいなしに、有効な差圧シールを実現することができ
る、差圧シール装置を提案することろにある。
（課題を解決するための手段） この発明は、圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
圧力シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて、
長尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一の磁性体ダイドロー
ルと、上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その
対向する一方の面の側の一部が上記ガイドロール上の薄
帯面に近接し、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成さ
れ、対向する他方の側の一部が上記ガイドロール外周面
に近接し、かつ、該先端が上記ガイドロール外周面に沿
った形状に形成されるとともに、上記ガイドロール外面
に沿った形状に形成され、かつ、該先端部が上記ロール
外面に近接し、上記対向する両部分をほぼ気密に保つよ
うに接続した側面構造を有するシーリングアタチメント
を備え、該シーリングアタッチメントに上記ガイドロー
ルと同期回転する磁石体シールロールを１以上配設した
ことを特徴とする差圧シール装置であり、ここに上記シ
ーリングアタッチメントは、処理すべき長尺薄帯の板厚
の変化に対応出来るように該シーリングアタッチメント
の、ガイドロール上の薄帯面に近接する部位を上下にス
ライドできるようにしておくのがよい。
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
圧力シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて、
長尺薄帯の巻きがけ案内を司る単一の磁性体ダイドロー
ルと、上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その
対向する一方の面の側の一部が上記ガイドロール上の薄
帯面に近接し、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成さ
れ、対向する他方の側の一部が上記ガイドロール外周面
に近接し、かつ、該先端が上記ガイドロール外周面に沿
った形状に形成されるとともに、上記ガイドロール外面
に沿った形状に形成され、かつ、該先端部が上記ロール
外面に近接し、上記対向する両部分をほぼ気密に保つよ
うに接続した側面構造を有するシーリングアタチメント
を備え、該シーリングアタッチメントに上記ガイドロー
ルと同期回転する磁石体シールロールを１以上配設した
ことを特徴とする差圧シール装置であり、ここに上記シ
ーリングアタッチメントは、処理すべき長尺薄帯の板厚
の変化に対応出来るように該シーリングアタッチメント
の、ガイドロール上の薄帯面に近接する部位を上下にス
ライドできるようにしておくのがよい。
さて第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）にこの発明に従
う差圧シール装置の部分事例を示す。図中１は長尺薄
帯、２は磁性体ガイドロール、３はシーリングアタッチ
メントであって、このシーリングアタッチメント３に
は、ガイドロール２に密着して同期回転する仕組の磁石
体シールロール3aを設けてある。また４は第１差圧室、
５は第２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差の
ある空間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長
尺薄帯１を大気圧p0下からの添数字の順の圧力ｐに真空
度を高めるが、ここで差圧の値が最も高い(p0)−(p1)の
空間領域相互間に、この差圧シール装置を用いた場合に
ついて説明する。
う差圧シール装置の部分事例を示す。図中１は長尺薄
帯、２は磁性体ガイドロール、３はシーリングアタッチ
メントであって、このシーリングアタッチメント３に
は、ガイドロール２に密着して同期回転する仕組の磁石
体シールロール3aを設けてある。また４は第１差圧室、
５は第２差圧室、６は第３差圧室で、これらの圧力差の
ある空間領域相互間にわたって該圧力差を維持しつつ長
尺薄帯１を大気圧p0下からの添数字の順の圧力ｐに真空
度を高めるが、ここで差圧の値が最も高い(p0)−(p1)の
空間領域相互間に、この差圧シール装置を用いた場合に
ついて説明する。
該領域相互間の境界に相当する差圧室ケーシング７の入
側にて、ガイドロール２を軸受け支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
側にて、ガイドロール２を軸受け支持し、このガイドロ
ール２の外周に長尺薄帯１を予め設定された巻付き接触
角θにて巻きがけする。
シーリングアタッチメント３は、ガイドロールの外周を
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすき間
δ１を形成する凹円弧状シール面s1と、そのＡ−Ａ断
面、Ｂ−Ｂ断面を第１図（ｂ），（ｃ）において示すよ
うに巻きがけ域にて長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対
してやはり極く微小なすき間δ２とδ３，δ３′を直接
形成する第２の凹円弧状シール面s2及び第２の凹円弧状
シール面s2の奥でこれに連なってガイドロール２の接線
方向に、長尺薄帯１の断面寸法に比しはるかに大きく開
口するスリットｔをそなえる。その外観を第２図（ａ）
に、またガイドロール２に面する凹円弧状シール面s1,s
2を第２図（ｂ）にわかり易くそれぞれ図解した。
ほぼ半周にわたって取囲み、長尺薄帯１の巻きがけ域を
除いてガイドロール２の外周面に対し極く微小なすき間
δ１を形成する凹円弧状シール面s1と、そのＡ−Ａ断
面、Ｂ−Ｂ断面を第１図（ｂ），（ｃ）において示すよ
うに巻きがけ域にて長尺薄帯１の背面並びに両側縁に対
してやはり極く微小なすき間δ２とδ３，δ３′を直接
形成する第２の凹円弧状シール面s2及び第２の凹円弧状
シール面s2の奥でこれに連なってガイドロール２の接線
方向に、長尺薄帯１の断面寸法に比しはるかに大きく開
口するスリットｔをそなえる。その外観を第２図（ａ）
に、またガイドロール２に面する凹円弧状シール面s1,s
2を第２図（ｂ）にわかり易くそれぞれ図解した。
また、第３図（ａ），（ｂ）は、上述したシーリングア
タッチメント３のとくにガイドロール２に巻きがけられ
た長尺薄帯１に近接する部位（以下スライダーという）
３−１のみを、処理すべき薄帯の板厚に応じて上下にス
ライドさせる構造について図解したものである。ここに
スライダー３−１とアタッチメント本体３−２との間に
は差圧を維持するのに役立つシール部材（図示せず）を
もうける。なお第１図における差圧室4,5間及び5,6間の
差圧(p1-p2)，(p2-p3)は、上述の(p0-p1)に比しはるか
に小さいこともあって、軸心を通板方向にずらせたロー
ル対8,9によるロールシールを用いた場合を示してい
る。
タッチメント３のとくにガイドロール２に巻きがけられ
た長尺薄帯１に近接する部位（以下スライダーという）
３−１のみを、処理すべき薄帯の板厚に応じて上下にス
ライドさせる構造について図解したものである。ここに
スライダー３−１とアタッチメント本体３−２との間に
は差圧を維持するのに役立つシール部材（図示せず）を
もうける。なお第１図における差圧室4,5間及び5,6間の
差圧(p1-p2)，(p2-p3)は、上述の(p0-p1)に比しはるか
に小さいこともあって、軸心を通板方向にずらせたロー
ル対8,9によるロールシールを用いた場合を示してい
る。
（作 用） 上記の構成になる装置において、長尺薄帯１は強い面圧
を受けることがないように単一のガイドロール２に巻が
けられ、微小すき間δ２を通して大気圧(p0)から第１差
圧室４内の圧力(p1)へと送り進められる。この際微小す
き間δ１では磁石体シールロール3a（以下磁石ロール3a
と記す）とガイドロール２が吸引密着された状態になっ
ている。このためこの発明による差圧シール装置では、
局部面圧に起因した品質劣化等のうれいなしに有効な差
圧シールが成就されることとなる。
を受けることがないように単一のガイドロール２に巻が
けられ、微小すき間δ２を通して大気圧(p0)から第１差
圧室４内の圧力(p1)へと送り進められる。この際微小す
き間δ１では磁石体シールロール3a（以下磁石ロール3a
と記す）とガイドロール２が吸引密着された状態になっ
ている。このためこの発明による差圧シール装置では、
局部面圧に起因した品質劣化等のうれいなしに有効な差
圧シールが成就されることとなる。
第４図（ａ），（ｂ）に、ロールの自重による面圧がか
かっても品質特性に影響がないものを対象とした場合と
してシーリングアタッチメント３のシール面S2に磁石体
シールロール3b（以下磁石ロール3bと記す）を設け、よ
り高い差圧シールを実現する例を示した。
かっても品質特性に影響がないものを対象とした場合と
してシーリングアタッチメント３のシール面S2に磁石体
シールロール3b（以下磁石ロール3bと記す）を設け、よ
り高い差圧シールを実現する例を示した。
このような構造になる差圧シール装置を用いて特に局部
面圧が品質特性に悪影響を及ぼすような長尺薄帯を処理
する必要があるときは、磁石ロール3bの横断面を模式的
に示す第５図のように、ロールの外側を磁石10、その内
側にテフロン、硬質ゴムあるいはカーボンの如き軽量部
材11を装てんした２重構造（その逆であってもよい。）
とし、ロール自重の軽減を図るのが効果的である。
面圧が品質特性に悪影響を及ぼすような長尺薄帯を処理
する必要があるときは、磁石ロール3bの横断面を模式的
に示す第５図のように、ロールの外側を磁石10、その内
側にテフロン、硬質ゴムあるいはカーボンの如き軽量部
材11を装てんした２重構造（その逆であってもよい。）
とし、ロール自重の軽減を図るのが効果的である。
なお、シーリングアタッチメント３に配設する磁石ロー
ルはそのロール表面粗度を中心線平均粗さRa＝10〜0.1
μｍ程度の比較的粗い表面にすることによってガイドロ
ール２に付着したFe粉末等を磁石ロールに磁着させ長尺
薄帯のピンホール（ピックアップまたは押しきずとも呼
ばれる。）を防止することも可能となる。
ルはそのロール表面粗度を中心線平均粗さRa＝10〜0.1
μｍ程度の比較的粗い表面にすることによってガイドロ
ール２に付着したFe粉末等を磁石ロールに磁着させ長尺
薄帯のピンホール（ピックアップまたは押しきずとも呼
ばれる。）を防止することも可能となる。
また、この磁石ロールは、その機能を有効に働かせるた
めにそれを支持する軸受を固定せずにばね等を用いてガ
イドロール３の軸方向に変位できるような構造にしてお
くこと、そしてその径は、差圧シール装置の構造上、あ
るいは経済的観点から小径である方が好ましく、具体的
にはガイドロールの直径の1/2以下にするのが好適であ
る。
めにそれを支持する軸受を固定せずにばね等を用いてガ
イドロール３の軸方向に変位できるような構造にしてお
くこと、そしてその径は、差圧シール装置の構造上、あ
るいは経済的観点から小径である方が好ましく、具体的
にはガイドロールの直径の1/2以下にするのが好適であ
る。
（実施例） 実施例−１ 上掲第１図に示すような、シール面s1に磁石ロール3aを
配設した構造になるシーリングアタッチメント３を備え
た差圧シール装置を適用しここに板厚0.20mm、板幅500m
mの鋼板をラインスピード15m/minにて通板させ、(P0)〜
(P1)間の差圧状況を調査した。その結果を磁石ロール3a
を有しない差圧シール装置の調査結果とともに表−１に
示す。
配設した構造になるシーリングアタッチメント３を備え
た差圧シール装置を適用しここに板厚0.20mm、板幅500m
mの鋼板をラインスピード15m/minにて通板させ、(P0)〜
(P1)間の差圧状況を調査した。その結果を磁石ロール3a
を有しない差圧シール装置の調査結果とともに表−１に
示す。
表−１から明らかなように、この発明によれば、高い差
圧を維持できることが明らかである。
圧を維持できることが明らかである。
また、第４図（ａ），（ｂ）に示したシーリングアタッ
チメント３を備えた装置にて上記と同様の調査を行った
ところP1＝70Torrという結果が得られ、より高い差圧を
維持できることが確かめられた。
チメント３を備えた装置にて上記と同様の調査を行った
ところP1＝70Torrという結果が得られ、より高い差圧を
維持できることが確かめられた。
実施例−２ 上掲第３図（ａ），（ｂ）に示すような、微小隙間δ２
を適宜変更できるシーリングアタッチメント３を備えた
差圧シール装置を用い、ここに微小隙間δ２を適性な隙
間に調整した上で、板厚0.20mm,0.70mm,1.5mmになる各
ステンレス鋼板（C:0.015％,Si:0.019％,Cr:18.9％,P:
0.007％）をラインスピード20m/minにて通板させ、その
際の(P0)〜(P1)間の差圧状況を調査した。
を適宜変更できるシーリングアタッチメント３を備えた
差圧シール装置を用い、ここに微小隙間δ２を適性な隙
間に調整した上で、板厚0.20mm,0.70mm,1.5mmになる各
ステンレス鋼板（C:0.015％,Si:0.019％,Cr:18.9％,P:
0.007％）をラインスピード20m/minにて通板させ、その
際の(P0)〜(P1)間の差圧状況を調査した。
その結果、板厚0.20mmの鋼板の場合(P0):760Torr-(P1):
100Torr,板厚0.70mmの鋼板の場合(P0):760Torr-(P1):11
0Torr,板厚1.5mmの場合(P0):760Torr-(P1):115Torrとい
う結果が得られ、高い差圧が維持できることが確かめら
れた。
100Torr,板厚0.70mmの鋼板の場合(P0):760Torr-(P1):11
0Torr,板厚1.5mmの場合(P0):760Torr-(P1):115Torrとい
う結果が得られ、高い差圧が維持できることが確かめら
れた。
（発明の効果） この発明によれば、品質劣化の原因となる強い面圧を受
けることなしに高い差圧を維持でき、とくに超鉄損一方
向性珪素鋼板に対しドライプレーティング皮膜の形成を
行うときに用いて好適なばかりでなく、強い局部面圧が
製品の品質に影響し易い軟鋼などに対しても適用し得る
のはいうまでもない。
けることなしに高い差圧を維持でき、とくに超鉄損一方
向性珪素鋼板に対しドライプレーティング皮膜の形成を
行うときに用いて好適なばかりでなく、強い局部面圧が
製品の品質に影響し易い軟鋼などに対しても適用し得る
のはいうまでもない。
第１図（ａ）（ｂ）および（ｃ）はこの発明に従う差圧
シール装置の構成を示す模式図、 第２図（ａ），（ｂ）および第３図（ａ），（ｂ）は要
部の外観図、 第４図（ａ），（ｂ）はこの発明に従う差圧シール装置
の他の例を示す図、 第５図は磁石ロールの断面模式図である。 １……長尺薄帯 ２……ガイドロール ３……シーリングアタッチメント ３−１……スライダー ３−２……アタッチメント本体 4,5,6……差圧室 ７……差圧室ケーシング 8,9……ロール 10……磁石 11……軽量部材 s1……凹円弧状シール面 s2……第２の凹円弧状シール面 ｔ……スリット
シール装置の構成を示す模式図、 第２図（ａ），（ｂ）および第３図（ａ），（ｂ）は要
部の外観図、 第４図（ａ），（ｂ）はこの発明に従う差圧シール装置
の他の例を示す図、 第５図は磁石ロールの断面模式図である。 １……長尺薄帯 ２……ガイドロール ３……シーリングアタッチメント ３−１……スライダー ３−２……アタッチメント本体 4,5,6……差圧室 ７……差圧室ケーシング 8,9……ロール 10……磁石 11……軽量部材 s1……凹円弧状シール面 s2……第２の凹円弧状シール面 ｔ……スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 文仁 千葉県千葉市川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 長嶺 恒夫 千葉県千葉市川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内
Claims (2)
- 【請求項１】圧力差のある空間領域相互間にわたり、該
圧力差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する
差圧シールにおいて、 上記空間領域相互間の境界にて、長尺薄帯の巻きがけ案
内を司る、単一の磁性体ガイドロールと、 上記長尺薄帯の周囲を囲むように配設され、その対向す
る一方の面の側の一部が上記ガイドロール上の薄帯面に
近接し、かつ、同薄帯面に沿った形状に形成され、 対向する他方の側の一部が上記ガイドロール外周面に近
接し、かつ、該先端が上記ガイドロール外周面に沿った
形状に形成されるとともに、 上記ガイドロール外面に沿った形状に形成され、かつ、
該先端部が上記ガイドロール外面に近接し、上記対向す
る両部分をほぼ気密に保つように接続した側面構造を有
するシーリングアタッチメントを備え、 該シーリングアタッチメントに上記ガイドロールと同期
回転する磁石体シールロールを１以上配設したことを特
徴とする差圧シール装置。 - 【請求項２】シーリングアタッチメントのガイドロール
上の薄帯面に近接する部位が、上下にスライドするもの
である請求項１記載の差圧シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27096488A JPH072991B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-10-28 | 差圧シール装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63-150004 | 1988-06-20 | ||
| JP15000488 | 1988-06-20 | ||
| JP27096488A JPH072991B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-10-28 | 差圧シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0285367A JPH0285367A (ja) | 1990-03-26 |
| JPH072991B2 true JPH072991B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=26479732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27096488A Expired - Lifetime JPH072991B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-10-28 | 差圧シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH072991B2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP27096488A patent/JPH072991B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0285367A (ja) | 1990-03-26 |
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