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JPH0735266B2 - Optical fiber and manufacturing method thereof - Google Patents
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JPH0735266B2 - Optical fiber and manufacturing method thereof - Google Patents

Optical fiber and manufacturing method thereof

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JPH0735266B2
JPH0735266B2 JP61095312A JP9531286A JPH0735266B2 JP H0735266 B2 JPH0735266 B2 JP H0735266B2 JP 61095312 A JP61095312 A JP 61095312A JP 9531286 A JP9531286 A JP 9531286A JP H0735266 B2 JPH0735266 B2 JP H0735266B2
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gas
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコア部がGeO2ガラスからなり、長波長域(〜2.
1μm)まで低損失な光伝送が可能であり、大きな非線
形光学効果を有する光ファイバとその製造方法に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] In the present invention, the core portion is made of GeO 2 glass and has a long wavelength region (up to 2.
The present invention relates to an optical fiber capable of low-loss optical transmission up to 1 μm and having a large nonlinear optical effect, and a method for manufacturing the same.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、SiO2系ガラスや多成分系ガラス以外の酸化物ガラ
スを用いた光ファイバとしては、高橋らの発表(エレク
トロン レター 1982、18巻、398〜399頁)に見られる
ように、コア部材としてGeO2ガラスに屈折率を上昇させ
るためのアンチモン(Sb)を添加したガラス材料を使用
し、クラッド部材としてGeO2ガラスを使用した多モード
ファイバの例がある。しかし、この種のファイバではコ
アにアンチモンを添加したGeO2ガラスを使用しているた
めに、Sb2O3によって生じる吸収損失によって損失を低
減できないという問題点があった。
Conventionally, as an optical fiber using an oxide glass other than SiO 2 glass and multi-component glass, as seen in the publication by Takahashi et al. (Electron Letter 1982, Vol. 18, pp. 398-399), it is used as a core member. using a glass material obtained by adding antimony (Sb) to increase the refractive index to GeO 2 glass, there is an example of a multimode fiber using GeO 2 glass as the cladding member. However, since this type of fiber uses GeO 2 glass with antimony added to the core, there is a problem in that the loss cannot be reduced by the absorption loss caused by Sb 2 O 3 .

また、アンチモンの添加量に制限があるためにコア層と
クラッド層の比屈折率差を十分に大きくできないという
問題点があった。
Further, there is a problem that the relative refractive index difference between the core layer and the clad layer cannot be made sufficiently large because the amount of antimony added is limited.

このような、GeO2ガラスからなる光ファイバの製造にお
いては、GeO2の軟化点が低く(約1050℃)蒸気圧が高い
という性質ゆえに、VAD法で代表されるような、ガラス
母材を多孔質体として形成し、これを透明ガラス化して
線引きするという工程を経る製造方法は用いることがで
きず、特に単一モードの光ファイバの製造が困難であっ
た。
Such, in the manufacture of optical fiber comprising a GeO 2 glass, porous nature due that the softening point of GeO 2 is low (about 1050 ° C.) vapor pressure is high, as represented by the VAD method, the glass preform It is impossible to use a manufacturing method in which the material is formed as a material, and the material is made into transparent glass and drawn, and it is difficult to manufacture a single-mode optical fiber.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明は、光ファイバのコア部を純粋なGeO2ガラスによ
って形成し、クラッド部にはGeO2との構造上の不整が問
題とならず、かつ屈折率がGeO2より小さくなるような材
料を用いることにより、不要な吸収がなくGeO2の特性と
しての長波長(〜2.1μm)まで低損失な光ファイバを
実現しようとするものである。
The present invention, the core portion of the optical fiber formed by pure GeO 2 glass, the cladding portion does not become irregular in the structure of the GeO 2 issues, and materials such as refractive index is less than GeO 2 By using it, it is intended to realize an optical fiber which does not have unnecessary absorption and has low loss up to a long wavelength (up to 2.1 μm) as a characteristic of GeO 2 .

また、VAD法を改良することにより、低融点なGeO2ガラ
ス又はGeO2を主成分とするガラスを微粒子状に堆積させ
ることを可能とし、コア,クラッド構造を有する任意の
径の光ファイバ母材を得ようとするものである。
In addition, by improving the VAD method, it becomes possible to deposit low-melting GeO 2 glass or glass containing GeO 2 as a main component in the form of fine particles, and an optical fiber preform of any diameter having a core / clad structure. Is what you are trying to get.

本発明の製造方法により可能となるGeO2コアの単一モー
ド光ファイバにおいては、光のパワーの集中により高効
率の非線形光学効果が期待できる。
In the GeO 2 core single mode optical fiber made possible by the manufacturing method of the present invention, highly efficient non-linear optical effect can be expected due to the concentration of optical power.

SiO2に比較して軟下温度の低いGeO2を火炎法により多孔
質体として堆積させるためには、火炎の温度を低下させ
る必要がある。火炎温度が一定以上では堆積部分の温度
がGeO2の昇華温度以上となって、堆積が起こらない。酸
水素炎の火炎温度は、可燃性ガスである水素の流量を減
少させることにより低下させることが可能であるが、火
炎が不安定となり、一定直径での多孔質体の堆積が不可
能となる。そこで、本発明においてはガラス微粒子合成
用トーチに可燃性ガス,支燃性ガスと同時に一定量の不
活性ガスを供給し、火炎温度を低下せしめ、該火炎中に
低軟化温度の酸化物を形成するガス原料を供給すること
を特徴とする。
In order to deposit GeO 2 having a lower softening temperature than SiO 2 as a porous body by the flame method, it is necessary to lower the flame temperature. If the flame temperature is above a certain level, the temperature of the deposition part will be above the sublimation temperature of GeO 2 , and deposition will not occur. The flame temperature of an oxyhydrogen flame can be lowered by reducing the flow rate of hydrogen, which is a combustible gas, but the flame becomes unstable and it becomes impossible to deposit a porous body with a constant diameter. . Therefore, in the present invention, a torch for synthesizing glass particles is supplied with a certain amount of an inert gas at the same time as a combustible gas and a combustion-supporting gas to lower the flame temperature and form an oxide having a low softening temperature in the flame. It is characterized by supplying a gas raw material to do so.

本発明の方法によれば、不活性ガス量の制御により火炎
温度を低下させることができ、かつ、火炎の状態を安定
に保つことができるために、GeO2やGeO2を主成分とする
ガラス微粒子の一定径での堆積が可能となる。またSiO2
系ガラスに融化点を低下せしめる添加物を加えたガラス
も問題なく堆積できる。
According to the method of the present invention, it is possible to lower the flame temperature by controlling the amount of inert gas, and, since it is possible to maintain a stable state of the flame, the glass containing GeO 2 or GeO 2 as the main component. It is possible to deposit fine particles with a constant diameter. Also SiO 2
Glass in which an additive for lowering the melting point is added to the system glass can be deposited without any problem.

〔問題点を解決するための手段および作用〕[Means and Actions for Solving Problems]

本発明では、光ファイバのコアとして純粋なGeO2を用い
るためにクラッド部材の選定が重要となる。
In the present invention, the selection of the cladding member is important because pure GeO 2 is used as the core of the optical fiber.

クラッド部材の第一の候補はSiO2系ガラスである。SiO2
系ガラスをクラッドとするためには、GeO2との軟化温度
の差異および熱膨張率の差異が問題となる。屈折率は、
GeO2が約1.6であるのに対して、SiO2は約1.46であり、G
eO2が十分に大きいので十分な比屈折率差 ただしn0,n1はそれぞれコア部とクラッド部の屈折率)
を得ることができる。
The first candidate for the clad member is SiO 2 glass. SiO 2
In order to use the system glass as the cladding, the difference in the softening temperature and the difference in the coefficient of thermal expansion with GeO 2 are problems. The refractive index is
GeO 2 is about 1.6, whereas SiO 2 is about 1.46 and G
eO 2 is large enough to give a sufficient relative refractive index difference Where n 0 and n 1 are the refractive indices of the core and cladding, respectively.
Can be obtained.

燃化温度と熱膨張率の差はSiO2へのP2O5の添加により解
決される。P2O5添加によりSiO2の屈折率は、増加するが
増加率は小さく実用的な範囲でGeO2との△nは5%が確
保される。第2図はSiO2にP2O5を添加したガラスの
(a)屈折率、(b)軟化温度、(c)熱膨張係数α
と、GeO2の値との比較を示す。例えばP2O5を15mol%添
加したSiO2ガラスでは屈折率は、1.47、軟化温度は1050
℃、熱膨張係数は2.5×10-6となり、GeO2ガラスとの各
特性の差は軟化温度で10℃、熱膨張係数で約3倍であ
り、コア,クラッド構造の形成は可能となる。このとき
の比屈折率差△nは8.8%である。
The difference between the combustion temperature and the coefficient of thermal expansion is solved by adding P 2 O 5 to SiO 2 . The addition of P 2 O 5 increases the refractive index of SiO 2 , but the increase rate is small and Δn with GeO 2 is secured at 5% in a practical range. Figure 2 is a glass doped with P 2 O 5 to SiO 2 (a) refractive index, (b) softening temperature, (c) the thermal expansion coefficient α
And the comparison with the value of GeO 2 . For example, SiO 2 glass containing 15 mol% P 2 O 5 has a refractive index of 1.47 and a softening temperature of 1050.
℃, the thermal expansion coefficient is 2.5 × 10 -6 , the difference between the characteristics and GeO 2 glass is 10 ° C. softening temperature, about 3 times the thermal expansion coefficient, it is possible to form the core, clad structure. At this time, the relative refractive index difference Δn is 8.8%.

クラッド材の第二の候補はフッ素を添加したGeO2ガラス
である。
The second candidate for the clad material is GeO 2 glass with fluorine added.

フッ素を添加したGeO2ガラスにおいては、その軟化温
度、熱膨張係数のGeO2ガラスからの変化は小さいため
に、コア,クラッド間の屈折率差を確保すること、およ
びGeO2に有効にフッ素を含有させる方法が主要な課題と
なる。
In the fluorine-added GeO 2 glass, the softening temperature and the coefficient of thermal expansion of GeO 2 glass are little changed from that of GeO 2 glass. Therefore, it is necessary to secure the refractive index difference between the core and the cladding and to effectively add fluorine to GeO 2. The method of inclusion is a major issue.

第3図は、フッ素を添加したGeO2ガラスの屈折率の変化
を示す。1mol%のフッ素の添加により、約0.2の屈折率
の減少が観測される。GeO2へのフッ素の添加は、SiO2
ラスへのフッ素の添加と同様に、多孔質ガラス体を形成
し、これをフッ素雰囲気中で処理しこの多孔質体を透明
化することにより、有効に添加が可能となることが明ら
かになった。また、透明ガラス体となったGeO2ガラスを
フッ素雰囲気中で処理しても、フッ素は添加されないこ
とからGeO2多孔質体のカサ密度を制御することによりフ
ッ素の添加量をファイバ径方向に制御できることが明ら
かになった。
FIG. 3 shows the change in the refractive index of GeO 2 glass containing fluorine. A refractive index decrease of about 0.2 is observed with the addition of 1 mol% fluorine. The addition of fluorine to GeO 2 is effectively performed by forming a porous glass body and treating this in a fluorine atmosphere to make the porous body transparent, as in the case of adding fluorine to SiO 2 glass. It became clear that addition was possible. Also, even if the transparent glass body GeO 2 glass is treated in a fluorine atmosphere, fluorine is not added, so the amount of fluorine added is controlled in the fiber radial direction by controlling the bulk density of the GeO 2 porous body. It became clear that it could be done.

以上のようにフッ素の振舞は、GeO2系多孔質ガラスの堆
積温度が低いこと、透明ガラス化のための加熱温度が低
いことを除いて、SiO2系ガラスについて得られている知
見とほぼ同等である。しかし、GeO2系ガラスにおいては
多孔質体の限定された部分のみにフッ素が含有されるよ
うに堆積を行うならば、その後の透明化によってもフッ
素は当該限定された部分に、ほぼ留まることが明らかに
なった。SiO2系ガラスにおいては、多孔質体のカサ密度
の制御なしには、このようにフッ素を極在化することは
できない。この差は、GeO2系ガラスの多孔質体の透明ガ
ラス化温度(約900℃)においては、多孔質体中でのフ
ッ素の拡散がそれほど速くならないことに起因すると考
えられる。
As described above, the behavior of fluorine is almost the same as the findings obtained for SiO 2 -based glass, except that the deposition temperature of GeO 2 -based porous glass is low and the heating temperature for vitrification is low. Is. However, in the case of GeO 2 -based glass, if the deposition is performed so that fluorine is contained only in the limited part of the porous body, the fluorine may remain in the limited part due to the subsequent transparency. It was revealed. In SiO 2 -based glass, fluorine cannot be localized in this way without controlling the bulk density of the porous body. It is considered that this difference is due to the fact that the diffusion of fluorine in the porous body is not so fast at the transparent vitrification temperature (about 900 ° C.) of the porous body of GeO 2 glass.

フッ素の添加は、コア部材の第1の候補であるSiO2−P2
O5系ガラスに対して行っても有効である。
The addition of fluorine is the primary candidate for the core member, SiO 2 -P 2
It is also effective when applied to O 5 type glass.

〔実施例〕〔Example〕

実施例1 第1図は本発明光ファイバの実施例を示す図であり、フ
ァイバ断面におけるコア,クラッドの寸法と屈折率分布
を示す。21はGeO2ガラスからなるコア部であり、22はSi
O2−P2O5(15mol%)ガラスからなるクラッド部であ
る。第1図の下図は半径方向の屈折率分布を示し、本実
施例における比屈折率差△0は8.8%である。コア径D0
は0.8μm、ファイバ径D1は125μmである。この時、フ
ァイバの伝送特定を定める は、波長λ=0.5μm以上で、V≦2.405を満足し、単一
モード光ファイバとなる。この光ファイバの損失は、波
長1.4〜2.1μmの範囲で1dB/Km以下であった。
Example 1 FIG. 1 is a diagram showing an example of the optical fiber of the present invention, showing the dimensions of the core and cladding and the refractive index distribution in the fiber cross section. 21 is a core made of GeO 2 glass, 22 is Si
This is a cladding part made of O 2 -P 2 O 5 (15 mol%) glass. The lower part of FIG. 1 shows the refractive index distribution in the radial direction, and the relative refractive index difference Δ0 in this example is 8.8%. Core diameter D 0
Is 0.8 μm and the fiber diameter D 1 is 125 μm. At this time, determine the fiber transmission specification At a wavelength λ = 0.5 μm or more, V ≦ 2.405 is satisfied, resulting in a single-mode optical fiber. The loss of this optical fiber was 1 dB / Km or less in the wavelength range of 1.4 to 2.1 μm.

更に、5mVの半導体レーザ光(λ=1.3μm)を該ファイ
バに入射したところ、λ=1.36〜1.54μmの波長域で誘
導ラマン効果による出射光を生じた。比屈折率が大きい
ために、コア部の伝播光の強度度は△n=0.3%程度の
光ファイバに比較して約102倍の大きさとなった。この
強い閉じ込め効果により、光強度により屈折率が変化す
るカー効果が観測され、パルス幅10psecの光パルス(波
長1.55μm)を入射したところ、1Kmの伝播でパルス幅
が5psecとなるパルスの自己集束現象が見られた。
Further, when a semiconductor laser beam of 5 mV (λ = 1.3 μm) was made incident on the fiber, emitted light due to the stimulated Raman effect was generated in the wavelength range of λ = 1.36 to 1.54 μm. Since the relative refractive index is large, the intensity of the propagating light in the core portion is about 10 2 times as large as that of the optical fiber having Δn = 0.3%. Due to this strong confinement effect, the Kerr effect in which the refractive index changes depending on the light intensity is observed, and when a light pulse with a pulse width of 10 psec (wavelength 1.55 μm) is injected, self-focusing of the pulse with a pulse width of 5 psec at 1 km propagation. A phenomenon was seen.

実施例2 第4図は本発明の第2の実施例を示し、GeO2によりコア
部を形成しクラッド部をFを0.2モル%添加したGeO2
ラス22′により形成した。この時のコアとクラッドの比
屈折率差は0.31%となり、コア径D0を8μmとすれば波
長1.29μm以上でV≦2.405となって単一モード光ファ
イバとなった。
Example 2 FIG. 4 shows a second example of the present invention, in which the core portion was formed of GeO 2 and the clad portion was formed of GeO 2 glass 22 'to which 0.2 mol% of F was added. At this time, the relative refractive index difference between the core and the clad was 0.31%, and when the core diameter D 0 was 8 μm, V ≦ 2.405 was obtained at a wavelength of 1.29 μm or more, and a single mode optical fiber was obtained.

該単一モード光ファイバの波長1.3〜2.1μmの範囲での
損失は1dB/Km以下であり、50mWの半導体レーザ光(λ=
1.3μm)を該ファイバに入射したところ、λ=1.36〜
1.56μmの波長域に誘導ラマン効果による出射光を生じ
た。
The loss of the single mode optical fiber in the wavelength range of 1.3 to 2.1 μm is 1 dB / Km or less, and the 50 mW semiconductor laser light (λ =
1.3 μm) is incident on the fiber, λ = 1.36 ~
Emitted light was generated by the stimulated Raman effect in the wavelength range of 1.56 μm.

実施例3 上記実施例2のファイバにおいて、クラッドガラス21′
中のフッ素の添加量を多くして、△n=3%とした。こ
のファイバではコア径D0を2.0μmとすることにより、
波長1μm以上で単一モード条件を満足した。このファ
イバに半導体レーザ光(λ=1.3μm)を入射したとこ
ろ、入射光量が5mWで誘導ラマン光を生じ、極めて高い
非線形光学効果を示した。
Example 3 In the fiber of Example 2 above, the cladding glass 21 '
The amount of fluorine added therein was increased to Δn = 3%. In this fiber, by setting the core diameter D 0 to 2.0 μm,
The single mode condition was satisfied at a wavelength of 1 μm or more. When semiconductor laser light (λ = 1.3 μm) was incident on this fiber, stimulated Raman light was generated with an incident light amount of 5 mW, and a very high nonlinear optical effect was exhibited.

実施例4 第5図は、本発明の光ファイバの製造方法に用いるガラ
ス微粒子合成用トーチの構成を示す。1は原料ノズル、
2は燃焼ガスノズル、3は助燃ガスノズル、4はガス混
合器、5はトーチ本体である。該トーチでは、燃焼ガス
および不活性ガスをガス混合器4に導入して所望の割合
で混合した後に、燃焼ガスノズルに導く。燃焼ガスノズ
ルからの混合ガスと助燃ガスはトーチ先端において火炎
を形成し、該火炎中で原料ノズル1から供給るGeCl4
のガラス原料が、火炎加水分解されて、GeO2等のガラス
微粒子となる。燃焼ガスに不活性ガスを混合することに
より、火炎温度を低下させることができる。第6図は不
活性ガスとしてHeを用いた場合の燃焼ガスであるH2との
流量比による火炎温度の変化の様子を示す。HeとH2の流
量の和は5/分で一定とした。火炎温度は、トーチ先
端より20mmの距離で中心部で測定した。Heを50%混合す
ることにより、火炎温度は900℃まで低下した。全流量
を一定としたために、火炎流の流体的条件は変化せず、
火炎の形状は一定であった。
Example 4 FIG. 5 shows the structure of a glass particle synthesizing torch used in the method for producing an optical fiber of the present invention. 1 is a raw material nozzle,
2 is a combustion gas nozzle, 3 is an auxiliary combustion gas nozzle, 4 is a gas mixer, and 5 is a torch body. In the torch, the combustion gas and the inert gas are introduced into the gas mixer 4, mixed at a desired ratio, and then introduced into the combustion gas nozzle. The mixed gas from the combustion gas nozzle and the auxiliary gas form a flame at the tip of the torch, and the glass raw material such as GeCl 4 supplied from the raw material nozzle 1 in the flame is flame-hydrolyzed into glass fine particles such as GeO 2. . The flame temperature can be lowered by mixing an inert gas with the combustion gas. FIG. 6 shows how the flame temperature changes with the flow rate ratio of H 2 which is the combustion gas when He is used as the inert gas. The sum of the flow rates of He and H 2 was constant at 5 / min. The flame temperature was measured at the center at a distance of 20 mm from the torch tip. By mixing 50% of He, the flame temperature decreased to 900 ℃. Since the total flow rate was constant, the fluid conditions of the flame flow did not change,
The shape of the flame was constant.

第7図は、第5図のトーチを用いて、GeO2の多孔質体を
堆積する状態を示す。32は形成された火炎流、33は該火
炎流中に形成されたガラス微粒子流であり、35は反応容
器、36は出発棒、38は排気口である。ガラス原料として
GeCl4を毎分200cc、燃焼ガスとして、H2を2.5/分、H
eを2.5/分、助焼ガスとしてO2を10/分の割合でト
ーチ5に供給した。ガラス微粒子流33を回転しつつ上昇
する出発棒36の先端に吹きつけることにより、GeO2の多
孔質ガラス体34が毎分50mmの速さで軸方向に形成され
た。HeとH2の総流量を一定のままでHeの流量比を増加さ
せると多孔質体の成長速度は速くなり、H2を増加させる
と遅くなった。総流量を一定とする限り、多孔質体の形
状に大きな変化はなかった。
FIG. 7 shows a state in which a porous body of GeO 2 is deposited using the torch of FIG. 32 is a flame flow formed, 33 is a glass fine particle flow formed in the flame flow, 35 is a reaction vessel, 36 is a starting rod, and 38 is an exhaust port. As a glass raw material
GeCl 4 is 200 cc / min, H 2 is 2.5 / min, H as combustion gas
E was supplied to the torch 5 at a rate of 2.5 / min and O 2 as a co-firing gas at a rate of 10 / min. By blowing the fine glass particle stream 33 onto the tip of the starting rod 36 that rises while rotating, a porous glass body 34 of GeO 2 was formed in the axial direction at a speed of 50 mm / min. The growth rate of the porous body increased with increasing the flow rate of He while keeping the total flow rate of He and H 2 constant, and decreased with increasing H 2 . As long as the total flow rate was constant, there was no significant change in the shape of the porous body.

しかし、上記合成でHeを流入せず、H2のみを減じて火炎
温度を低下させた場合には、H2の流量を減ずるにしたが
い火炎が不安定となって、一定形状の多孔質体を形成す
ることができなかった。
However, when He is not introduced in the above synthesis and only H 2 is reduced to lower the flame temperature, the flame becomes unstable as the flow rate of H 2 is reduced, and a porous body of a certain shape is formed. Could not be formed.

上記工程で形成されたGeO2多孔質ガラスからなる母材は
脱水剤としての塩素とヘリウムを導入した電気炉内で脱
水かつ透明ガラス化した。電気炉の温度は900℃に設定
した。当該工程において、電気炉中の雰囲気ガスに微量
の酸素を添加することは、一酸化ゲルマニウム(GeO)
の生成の防止に効果があった。酸素の添加量は全ガス量
の1mol%以上で効果が認められ、5mol%の添加ではGeO
の生成は認められなかった。酸素を添加せずに透明ガラ
ス化した場合には、約1ppbのGeOの生成が観測された。
The base material made of GeO 2 porous glass formed in the above step was dehydrated and made into a transparent glass in an electric furnace into which chlorine and helium as dehydrating agents were introduced. The temperature of the electric furnace was set to 900 ° C. In the process, adding a trace amount of oxygen to the atmosphere gas in the electric furnace is the germanium monoxide (GeO).
It was effective in preventing the generation of. The effect was recognized when the amount of oxygen added was 1 mol% or more of the total gas amount.
Was not observed. When transparent vitrification was performed without adding oxygen, about 1 ppb GeO was observed.

光ファイバのコア,クラッド構造を形成するには、透明
ガラス化した、又は多孔質の状態のGeO2母材の外周に、
SiO2−P2O5ガラス微粒子を同心円状に堆積させた。
In order to form the core and clad structure of an optical fiber, transparent vitrified or porous GeO 2 base material is formed on the outer periphery of
The SiO 2 -P 2 O 5 glass fine particles are deposited concentrically.

SiO2−P2O5ガラス微粒子は、第5図のガラス微粒子合成
トーチの原料ノズル1に、SiCl4に加えてPOCl3を導入す
ることにより合成した。燃焼ガスノズルには、GeO2多孔
質母材の合成時と同様に事前にHeガスを混合したH2ガス
を導入し、火炎温度を1000℃に設定した。SiCl4とPOCl3
の供給量の比を4:1とすることにより、合成されたクラ
ッド層には約15mol%のP2O5が添加された。多孔質状のG
eO2母材の外周にSiO2−P2O5多孔質体を堆積させる場合
には、第7図において母材の成長方向に複数のトーチを
設置し、最下段のトーチにはGeCl4を、上段のトーチに
はSiCl4およびPOCl3を導入してそれぞれのガラス微粒子
を合成し、コア,クラッドを単一の工程で堆積させるこ
とができる。
The SiO 2 —P 2 O 5 glass fine particles were synthesized by introducing POCl 3 in addition to SiCl 4 into the raw material nozzle 1 of the glass fine particle synthesis torch shown in FIG. H 2 gas mixed with He gas was introduced into the combustion gas nozzle in the same manner as in the synthesis of the GeO 2 porous base material, and the flame temperature was set to 1000 ° C. SiCl 4 and POCl 3
About 15 mol% of P 2 O 5 was added to the synthesized clad layer by setting the ratio of the supply amount of P to 4: 1. Porous G
When depositing a SiO 2 —P 2 O 5 porous body on the outer circumference of the eO 2 base material, a plurality of torches are installed in the growth direction of the base material in FIG. 7, and GeCl 4 is placed on the torch at the bottom. , SiCl 4 and POCl 3 can be introduced into the upper torch to synthesize the respective glass particles, and the core and clad can be deposited in a single process.

以上のように堆積した多孔質ガラスからなるクラッド層
又はコアおよびクラッド層を前述と同様に、脱水剤の存
在下で透明ガラス化することにより、コア,クラッド構
造を有する光ファイバ母材が得られた。この母材を加熱
温度1200℃で線引きして、光ファイバを得た。このファ
イバにおける比屈折率差は、約8.8%であった。
An optical fiber preform having a core / clad structure can be obtained by transparentizing the clad layer or core and clad layer made of porous glass deposited as described above in the presence of a dehydrating agent in the same manner as described above. It was This base material was drawn at a heating temperature of 1200 ° C. to obtain an optical fiber. The relative refractive index difference in this fiber was about 8.8%.

実施例5 実施例4の前段の工程を用いて、円柱形のGeO2多孔質体
を堆積し、これを脱水加熱して、GeO2透明ガラス体とし
た。該GeO2透明ガラス体を中心として、その周囲に再び
GeO2多孔質体を堆積した。堆積条件は中心部のGeO2の堆
積時と同一とした。このように形成した中心部が透明Ge
O2ガラス、周囲部が多孔質GeO2からなる母材を透明ガラ
ス化するに際し、又は透明ガラス化する直前にフッ素を
含む雰囲気中で加熱した。該処理により、フッ素は多孔
質ガラス中に拡散し、透明ガラス化時に該ガラス中にと
り込まれた。処理以前から透明ガラスであった母材の中
心部には、フッ素の拡散は認められなかった。フッ素は
添化された部分の屈折率を低下させる作用を有し、約1
%のフッ素雰囲気中で900℃で熱処理することにより、
コアとクラッドの比屈折率差0.31%が得られた。雰囲気
中のフッ素含有量の増加および温度を1100℃程度まで上
昇させることにより、比屈折率差は3%程度まで増加さ
せることが可能であった。
Example 5 A cylindrical GeO 2 porous body was deposited using the process of the first stage of Example 4, and this was dehydrated and heated to obtain a GeO 2 transparent glass body. Centering around the GeO 2 transparent glass body,
A GeO 2 porous body was deposited. The deposition conditions were the same as when GeO 2 was deposited in the central part. The center part formed in this way is transparent Ge
A base material composed of O 2 glass and a peripheral portion of porous GeO 2 was heated in a vitreous atmosphere during or immediately before the vitrification. By this treatment, fluorine diffused into the porous glass and was incorporated into the glass during transparent vitrification. No diffusion of fluorine was observed in the center of the base material, which was transparent glass before the treatment. Fluorine has a function of lowering the refractive index of the added portion, and is about 1
% By heat treatment at 900 ℃ in a fluorine atmosphere,
A relative refractive index difference of 0.31% between the core and the clad was obtained. It was possible to increase the relative refractive index difference to about 3% by increasing the fluorine content in the atmosphere and raising the temperature to about 1100 ° C.

実施例4および5において、最終的に得られるファイバ
のコア,クラッドの寸法の比は、多孔質体の堆積時の直
径の制御により調整した。堆積する多孔質体のカサ密度
はガラスの組成および合成トーチの火炎温度により一定
の値となり、この値を実験的に求めておけばその後の透
明ガラス化処理における径の縮少は、十分に予測するこ
とが可能である。母材の線引きによるファイバ径の制御
は、加熱温度と線引き速度の制御によりなされ、線引き
直後のファイバ径の光学的な読みとりとその炉温度と線
引き速度に対するフィードバックにより高精度に達成さ
れる。
In Examples 4 and 5, the ratio of the dimensions of the core and cladding of the fiber finally obtained was adjusted by controlling the diameter of the porous body during deposition. The bulk density of the deposited porous material has a constant value depending on the glass composition and the flame temperature of the synthetic torch. If this value is experimentally obtained, the reduction in diameter in the subsequent transparent vitrification treatment can be sufficiently predicted. It is possible to The control of the fiber diameter by drawing the base material is performed by controlling the heating temperature and the drawing speed, and is achieved with high accuracy by optically reading the fiber diameter immediately after drawing and feeding back the furnace temperature and the drawing speed.

実施例6 第7図に示したGeO2多孔質体の作製状況において、円柱
状に作製した多孔質体の側面に第5図のトーチを用いて
クラッド層の形成を行った。この際、フッ素化合物を原
料中に混合し、多孔質ガラスに直接フッ素の添加を行っ
た。具体的にはクラッド層形成用トーチにガラス原料と
して、GeCl4を毎分500cc、SF6を毎分10cc供給し、また
燃焼ガスとしてH2を2.5/分、Heを2.5/分、助燃ガ
スとしてO2を10/分の割合で供給してフッ素を含むク
ラッド層を形成した後、電気炉内で800℃〜900℃で透明
ガラス化し、光ファイバ母材を得た。この母材のコア,
クラッドの比屈折率差△nは0.4%であった。また、原
料中に混合するフッ素の添加量を多くした場合、△nは
最大2%程度まで向上できた。これは、GeO2ガラスの場
合、透明ガラス化温度が800〜900℃と低いため、クラッ
ド層の多孔質体に含有させたフッ素がコア部に拡散せ
ず、またフッ素が揮発しにくくガラス中に混入しやすい
ためと考えられる。フッ素源としてはCF4等を用いるこ
とも有効である。
Example 6 In the production condition of the GeO 2 porous body shown in FIG. 7, a cladding layer was formed on the side surface of the cylindrical porous body using the torch of FIG. At this time, a fluorine compound was mixed into the raw material, and fluorine was directly added to the porous glass. Specifically as a glass raw material for forming a clad layer torch min 500cc of GeCl 4, and supplies min 10cc of SF 6, also the H 2 2.5 / min as the combustion gas, the the He 2.5 / min, as supporting gas O 2 was supplied at a rate of 10 / min to form a clad layer containing fluorine, and then vitrified into transparent glass at 800 ° C. to 900 ° C. in an electric furnace to obtain an optical fiber preform. This base material core,
The relative refractive index difference Δn of the clad was 0.4%. Further, when the amount of fluorine mixed in the raw material was increased, Δn could be improved up to about 2% at the maximum. This is because in the case of GeO 2 glass, the transparent vitrification temperature is as low as 800 to 900 ° C, so the fluorine contained in the porous body of the clad layer does not diffuse to the core part, and the fluorine does not easily volatilize in the glass. It is thought that it is easy to mix. It is also effective to use CF 4 or the like as the fluorine source.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明は、純粋なGeO2ガラスをコアとする光ファイバで
あり、材料固有の特性として1.4〜2.1μmの波長域まで
低損失な光の伝播が可能である。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is an optical fiber having a pure GeO 2 glass as a core, and is capable of propagating light with low loss up to a wavelength range of 1.4 to 2.1 μm as a characteristic peculiar to a material.

また、GeO2−P2O5又は、フッ素添加GeO2をクラッドとし
て、コア,クラッド構造を形成することができ、この
時、従来の石英系光ファイバに比較して著しく大きな比
屈折率差(最大10%)を達成できる。その効果として伝
播光の著しい集中を達成でき、高効率でカー効果、誘導
ラマン効果を実現することができる。
In addition, GeO 2 -P 2 O 5 or fluorine-doped GeO 2 can be used as a clad to form a core / clad structure. At this time, a significantly large relative refractive index difference ( Can be achieved up to 10%). As an effect, a remarkable concentration of propagating light can be achieved, and a Kerr effect and a stimulated Raman effect can be realized with high efficiency.

本発明の製造方法は、燃焼ガスに不活性ガスを混合する
ことに特徴があり、火炎温度を広い範囲で制御でき、か
つ、火炎形状を変化させないためにGeO2等の軟化温度の
低いガラスを多孔質体として一定形状で堆積させること
が可能となる。この技術的課題の解決により、低融化点
のガラスからなり、寸法および屈折率が十分に制御され
た光ファイバの製造が可能となった。また透明ガラスと
多孔質ガラスに対するフッ素の拡散速度の差を利用し
て、コア,クラッド構造を形成する方法が低融点ガラス
からなる光ファイバの製造に適用可能となった。フッ素
の添加においては透明ガラス化温度が低いことにより、
任意の部分にフッ素を添加した光ファイバの製造が可能
となった。
The production method of the present invention is characterized by mixing an inert gas with the combustion gas, the flame temperature can be controlled in a wide range, and a low softening temperature glass such as GeO 2 in order to not change the flame shape. It is possible to deposit the porous body in a constant shape. By solving this technical problem, it has become possible to manufacture an optical fiber made of glass having a low melting point and having sufficiently controlled dimensions and refractive index. In addition, the method of forming core and clad structures by utilizing the difference in the diffusion rate of fluorine between transparent glass and porous glass has become applicable to the production of optical fibers made of low melting glass. Due to the low transparent vitrification temperature in the addition of fluorine,
It has become possible to manufacture an optical fiber in which fluorine is added to any part.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の光ファイバの第1の実施例を示す図、
第2図はSiO2ガラスへのP2O5の添加による(a)ガラス
屈折率の変化、(b)軟化温度の変化、(c)熱膨張係
数の変化を示す図、第3図はGeO2ガラスにフッ素を添加
した場合の屈折率変化を示す図、第4図は本発明の光フ
ァイバの第2の実施例を示す図、第5図は本発明の光フ
ァイバの製造方法に用いるガラス微粒子合成用トーチの
構造を示す図、第6図は不活性ガスとして、Heを用いた
場合の燃焼ガスであるH2との流量比による火炎温度の変
化を示す図、第7図は第5図のトーチを用いてGeO2の多
孔質体を堆積する状態を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of an optical fiber of the present invention,
Fig. 2 shows (a) glass refractive index change, (b) softening temperature change, (c) thermal expansion coefficient change by addition of P 2 O 5 to SiO 2 glass, and Fig. 3 shows GeO. 2 Diagram showing changes in refractive index when fluorine is added to glass, FIG. 4 is a diagram showing a second embodiment of the optical fiber of the present invention, and FIG. 5 is glass used in the method for producing an optical fiber of the present invention. FIG. 6 is a diagram showing the structure of a torch for synthesizing fine particles, FIG. 6 is a diagram showing a change in flame temperature depending on a flow rate ratio with H 2 which is a combustion gas when He is used as an inert gas, and FIG. it is a diagram showing a state of depositing a porous body of GeO 2 using the torch of FIG.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G02B 6/16 321 7036−2K // C03C 3/32 (72)発明者 堀口 正治 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (56)参考文献 特開 昭56−72404(JP,A) 特開 昭55−144446(JP,A) 特開 昭57−11839(JP,A)─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Internal reference number FI Technical display location G02B 6/16 321 7036-2K // C03C 3/32 (72) Inventor Shoji Horiguchi Naka-gun, Ibaraki Prefecture Tokai-mura, Oita, Shirahoji, 162, Shirane, Nippon Telegraph and Telephone Corporation, Ibaraki Research Institute of Telecommunications (56) Reference JP-A-56-72404 (JP, A) JP-A-55-144446 (JP, A) JP 57-11839 (JP, A)

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】GeO2ガラスからなるコア部と、該コア部よ
り屈折率の小さいクラッド部からなることを特徴とする
光ファイバ。
1. An optical fiber comprising a core part made of GeO 2 glass and a clad part having a refractive index smaller than that of the core part.
【請求項2】クラッド部がSiO2−P2O5ガラスからなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ファイ
バ。
2. The optical fiber according to claim 1, wherein the cladding portion is made of SiO 2 —P 2 O 5 glass.
【請求項3】クラッド部がSiO2−P2O5−Fガラスからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ファ
イバ。
3. The optical fiber according to claim 1, wherein the cladding portion is made of SiO 2 —P 2 O 5 —F glass.
【請求項4】クラッド部がGeO2−Fガラスからなること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ。
4. The optical fiber according to claim 1, wherein the cladding portion is made of GeO 2 -F glass.
【請求項5】燃焼ガス及び助燃ガスにより単一又は複数
の火炎を形成し、該火炎中に分解して酸化物となるガラ
ス原料を供給し、火炎内反応により生成するガラス微粒
子を円柱状に堆積させて多孔質光ファイバ母材とし、こ
れを透明化後線引きして光ファイバとする光ファイバの
製造方法において、燃焼ガス、助燃ガスに不活性ガスを
混合して、火炎温度を低下せしめ、低軟化温度の酸化物
を形成するガラス原料を該火炎中に供給し、コア部をGe
O2ガラスとすることを特徴とする光ファイバの製造方
法。
5. A glass raw material which forms a single or a plurality of flames by a combustion gas and an auxiliary combustion gas, decomposes into the flames to become an oxide, and glass fine particles produced by a reaction in the flame are formed into a columnar shape. A porous optical fiber preform is deposited, and a method for producing an optical fiber in which this is made transparent and then drawn to form an optical fiber, in which a combustion gas, an auxiliary gas is mixed with an inert gas to lower the flame temperature, A glass raw material that forms an oxide with a low softening temperature is supplied into the flame, and the core is Ge
A method for manufacturing an optical fiber, which comprises O 2 glass.
【請求項6】母材の成長方向に複数の火炎を形成し、異
なる組成の原料を供給することにより、異なる組成のガ
ラス微粒子を同心円状に堆積させることを特徴とする特
許請求の範囲第5項記載の光ファイバの製造方法。
6. The glass particles of different composition are concentrically deposited by forming a plurality of flames in the growth direction of the base material and supplying raw materials of different compositions. A method for manufacturing an optical fiber according to the item.
【請求項7】供給するガラス原料によって、不活性ガス
流量を調整し異なる火炎温度内でガラス微粒子を合成す
ることを特徴とする特許請求の範囲第5項又は第6項記
載の光ファイバの製造方法。
7. The production of an optical fiber according to claim 5, wherein the fine glass particles are synthesized within different flame temperatures by adjusting the flow rate of the inert gas depending on the glass raw material supplied. Method.
【請求項8】不活性ガスの増加に伴い燃焼ガスの流量を
減少させ不活性ガス、燃焼ガス及び助焼ガスの流量の和
を一定とすることを特徴とする特許請求の範囲第5項、
第6項又は第7項記載の光ファイバの製造方法。
8. The method according to claim 5, wherein the flow rate of the combustion gas is reduced as the amount of the inert gas is increased, and the sum of the flow rates of the inert gas, the combustion gas and the co-firing gas is made constant.
Item 6. A method for manufacturing an optical fiber according to Item 6 or 7.
【請求項9】母材の成長方向に形成した複数の火炎のう
ち少なくとも1つの火炎にフッ素を含む組成の原料を供
給することを特徴とする特許請求の範囲第5項、第6
項、第7項又は第8項記載の光ファイバの製造方法。
9. A raw material having a composition containing fluorine is supplied to at least one flame among a plurality of flames formed in a growth direction of a base material.
Item 7. A method for manufacturing an optical fiber according to Item 7 or 8.
【請求項10】ガラス微粒子を円柱状に堆積させて多孔
質光ファイバ母材とし、該多孔質光ファイバ母材を透明
化するに際し、雰囲気ガス中に1モル%以上の酸素ガス
を含有させることを特徴とする特許請求の範囲第5項、
第6項、第7項、第8項又は第9項記載の光ファイバの
製造方法。
10. A porous optical fiber preform is prepared by depositing glass particles in a columnar shape, and when the porous optical fiber preform is made transparent, the atmosphere gas contains 1 mol% or more oxygen gas. Claim 5 characterized by the following:
Item 6. A method for manufacturing an optical fiber according to item 7, item 7, item 8 or item 9.
【請求項11】透明化するに際し、フッ素を含む雰囲気
ガス中で、1000℃以下の温度で透明ガラス化することを
特徴とする特許請求の範囲第5項、第6項、第7項、第
8項、第9項、第10項又は第11項記載の光ファイバの製
造方法。
11. A transparent vitrification at a temperature of 1000 ° C. or less in an atmosphere gas containing fluorine at the time of making it transparent, claims 5, 6, 7 and 8. A method for manufacturing an optical fiber according to item 8, item 9, item 10 or item 11.
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