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JPH073642B2 - Process abnormality diagnosis method - Google Patents
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JPH073642B2 - Process abnormality diagnosis method - Google Patents

Process abnormality diagnosis method

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Publication number
JPH073642B2
JPH073642B2 JP62151380A JP15138087A JPH073642B2 JP H073642 B2 JPH073642 B2 JP H073642B2 JP 62151380 A JP62151380 A JP 62151380A JP 15138087 A JP15138087 A JP 15138087A JP H073642 B2 JPH073642 B2 JP H073642B2
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JP
Japan
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change
physical quantity
measurement points
time
abnormality diagnosis
Prior art date
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Application number
JP62151380A
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Japanese (ja)
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JPS63316216A (en
Inventor
淳一 潮崎
Original Assignee
山武ハネウエル株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 山武ハネウエル株式会社 filed Critical 山武ハネウエル株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、化学プラント、各種生産処理プロセス等の異
常の原因すなわち障害発生点を自動的に求める異常診断
方法に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an abnormality diagnosis method for automatically finding the cause of an abnormality in a chemical plant, various production processing processes, etc., that is, the point of failure occurrence.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

化学処理プロセス等の異常診断方法としては、プロセス
の各点相互間における被処理体の物理量変化相関々係を
示す符号付有向グラフを用いる方法が開発されており、
化学工学論文集・第10巻・第2号・第233〜239頁(198
4)に詳細が記載されている。
As a method for diagnosing abnormalities in chemical treatment processes, etc., methods have been developed that use a directed graph with signs that show the correlation between the physical quantity changes of the object to be treated between the points of the process.
Chemical Engineering Papers, Vol. 10, No. 2, pp. 233-239 (198
Details are given in 4).

また、前述の方法では、単一の障害点すなわち単一の原
因による異常しか診断できず、複数の障害点すなわち複
合原因による異常も診断可能とした方法が開発され、化
学工学論文集・第11巻・第3号・第343〜346頁(1985)
に記載されている。
Further, in the above-mentioned method, a method has been developed which is capable of diagnosing only a single failure point, that is, an abnormality caused by a single cause, and is also capable of diagnosing multiple failure points, that is, an abnormality caused by multiple causes. Volume 3, Issue 343-346 (1985)
It is described in.

なお、診断時刻以前のデータも用い、異常パターンの経
時変化を利用すると共に、多層グラフを用い、診断状況
をより正確とする方法が実用化されており、化学工学論
文集・第10巻・第5号・第609〜615頁(1984)に開示さ
れている。
It should be noted that a method for making the diagnosis status more accurate by using the change over time of the abnormal pattern by using the data before the diagnosis time and using the multi-layer graph has been put to practical use. No. 5, pp. 609-615 (1984).

たヾし、複数の障害点(以下、これらの障害点の組を候
補と称する)による異常も診断可能とした方法では、場
合により診断結果として多数の候補が求められ、障害点
の特定が不可能となる問題点を生じており、異常パター
ンの経時変化を利用する方法においては、大規模なプロ
セスへ適用する場合、前述の方法に比し数10倍のメモリ
容量と演算時間とを必要とし、実用がほヾ不可能となる
欠点を生じている。
However, in the method that enables the diagnosis of anomalies due to a plurality of failure points (hereinafter, a set of these failure points is referred to as a candidate), a large number of candidates may be obtained as a diagnosis result in some cases, and the failure point cannot be identified. However, the method that utilizes the change over time of the abnormal pattern requires several tens of times the memory capacity and the calculation time as compared with the above method when applied to a large-scale process. , Has the drawback that practical use is almost impossible.

この対策としては、本出願人による特願昭61−195540号
により、第1次の異常診断により求めた障害点の候補を
記憶し、第1次の診断時とは異なる物理量の変化に応じ
て第2次の異常診断を行ない、この際には、第1次の診
断により求めた候補中から更に候補を求めるものとし、
メモリ容量および演算所要時間を低減する方法が提案さ
れている。
As a countermeasure against this, according to Japanese Patent Application No. 61-195540 by the present applicant, the candidate of the failure point obtained by the primary abnormality diagnosis is stored, and the physical quantity different from that at the time of the primary diagnosis is stored. A second abnormality diagnosis is performed, and at this time, further candidates are to be obtained from the candidates obtained by the first diagnosis,
A method for reducing the memory capacity and the calculation time is proposed.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、前述の方法においても、大規模なプロセスへ適
用すると、障害点の候補数が十分に減少しないと共に、
演算所要時間の低減が不十分となる問題を生ずる場合が
あり、特に、循環状のプロセスでは障害点の特定が不可
能となる問題を生じている。
However, even if the above method is applied to a large-scale process, the number of candidate points of failure does not decrease sufficiently, and
There may be a problem that the reduction of the calculation time is insufficient, and in particular, the problem that it becomes impossible to identify the failure point occurs in the cyclic process.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

前述の問題を解決するため、本発明はつぎの手段により
構成するものとなつている。
In order to solve the above problems, the present invention is configured by the following means.

すなわち、被処理体の処理を行うプロセス上に被処理体
の物理量を測定する複数の測定点を設けて、物理量変化
がこれら個々の測定点から他の測定点に波及する過程を
記憶しておき、各測定点にて物理量が所定の基準値から
正または負方向へ変化したことを検出し、任意の複数の
測定点で検出された物理量の変化とこれら測定点相互間
における物理量変化の波及過程とに基づきプロセスの障
害点の候補を判断する異常診断方法において、各測定点
にて物理量が基準値から正または負方向へ変化した時刻
を複数回記憶し、任意の複数の測定点における各時刻が
これら測定点相互間における物理量変化の波及経過と矛
盾しないもののみを障害点の候補とするものとしてい
る。
That is, a plurality of measurement points for measuring the physical quantity of the object to be processed are provided on the process of processing the object to be processed, and the process in which the physical quantity change propagates from these individual measurement points to other measurement points is stored. , Detecting that the physical quantity has changed in a positive or negative direction from a predetermined reference value at each measurement point, the change in the physical quantity detected at arbitrary multiple measurement points and the ripple process of the physical quantity change between these measurement points. In the abnormality diagnosis method that determines the candidate of the fault point of the process based on and, the time when the physical quantity changed from the reference value to the positive or negative direction at each measurement point is stored multiple times, and the time at each arbitrary measurement point is stored. Considers only those points that do not contradict the spread of changes in physical quantities between these measurement points as candidate points for failure.

〔作 用〕[Work]

したがつて、原因は結果より早く生じ、結果は原因より
遅延して生ずる原理に基づき、異常の原因が結果へ波及
する経過と一致する候補のみを用い、異常の診断がなさ
れるものとなり、循環状のプロセスにおいても確実かつ
速やかに障害点を求めることができる。
Therefore, based on the principle that the cause occurs earlier than the result, and the result occurs later than the cause, the abnormality is diagnosed by using only candidates that match the progress of the cause of the abnormality to the result. Even in the above process, the failure point can be determined reliably and promptly.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例を示す図によつて本発明の詳細を説明す
る。
Hereinafter, the details of the present invention will be described with reference to the drawings illustrating examples.

第2図はプロセスの概要図であり、被処理体としての液
体Wが管路1を介して供給される槽2からは、液体Wが
管路3,5を介し順次に槽4,6へ供給されたうえ、管路7か
ら給送される一方、管路8,10を経てポンプ9により槽6
から槽2へ還流し、槽2,4,6間を循環するものとなつて
おり、槽2,4,6においては、各々ヒータ11〜13により加
熱され、各個に所定の処理が行なわれる。
FIG. 2 is a schematic diagram of the process. From the tank 2 to which the liquid W as the object to be treated is supplied via the pipeline 1, the liquid W is sequentially transferred to the tanks 4 and 6 via the pipelines 3 and 5. In addition to being supplied, it is fed from the pipe line 7, while it is supplied from the pipe line 8 and 10 by the pump 9 to the tank 6
From the tank to the tank 2 and circulates between the tanks 2, 4, and 6. In the tanks 2, 4, and 6, the heaters 11 to 13 heat the respective tanks, and a predetermined process is performed on each of them.

したがつて、液体Wは、槽2から槽4へ、槽4から槽6
へと一定方向に流動し、各槽2,4,6において順次にかつ
反復して処理されてから、管路7により図上省略した所
定の部位へ給送される。
Therefore, the liquid W flows from the tank 2 to the tank 4 and from the tank 4 to the tank 6.
Flow in a fixed direction, and are sequentially and repeatedly processed in each of the tanks 2, 4, and 6 and then fed to a predetermined site not shown in the drawing by a pipe line 7.

また、各槽2,4,6の各点には、特定の複数点として温度
計14〜16が各個に設けてあり、これらにより液温度量
T1,T2,T3を物理量として計測し、電子計算機(以下、CP
T)21へ計測値を与えている。
In addition, at each point of each tank 2, 4, and 6, thermometers 14 to 16 are provided as specific multiple points, and the liquid temperature
T 1 , T 2 and T 3 are measured as physical quantities, and an electronic computer (hereinafter CP
The measured value is given to T) 21.

CPT21には、ブラウン管表示装置(以下、CRT)22、キー
ボード(以下、KB)23、プリンタ(以下、PRT)24等が
付属しており、KB23の操作およびCRT22のライトペン等
による入力操作等により、CPT21中のメモリには槽2〜
槽6によるプロセスの構成が格納されていると共に、CP
T21中のプロセツサ(以下、CPU)は、メモリ中のプログ
ラムを実行し、温度計14〜16からの計測値およびプロセ
スの構成に基づいて異常診断を行ない、この結果をCRT2
2およびPRT24により表示およびプリントアウトを行なう
ものとなつている。
The CPT21 is equipped with a cathode ray tube display device (hereinafter, CRT) 22, keyboard (hereinafter, KB) 23, printer (hereinafter, PRT) 24, etc., and can be operated by operating the KB23 and inputting with a light pen of the CRT22. , Memory 2 in CPT21 is tank 2
The structure of the process by tank 6 is stored and CP
The processor (hereinafter CPU) in T21 executes the program in memory, performs abnormality diagnosis based on the measured values from thermometers 14 to 16 and the process configuration, and outputs this result to CRT2.
2 and PRT24 for display and printout.

第3図は、プロセスの構造をCPT21中のメモリへ格納す
る際に用いる符号付有向グラフを示す図であり、これに
よつて槽2,4,6の各点における液温度T1〜T3の変化相関
関係を表わすものとなつている。
FIG. 3 is a diagram showing a signed directed graph used when storing the structure of the process in the memory of the CPT 21, and thereby the liquid temperatures T 1 to T 3 at the respective points of the tanks 2, 4 and 6 are shown. It represents the change correlation.

すなわち、液温度T1〜T3を各々管路3,5,8,10と対応する
矢印により連結すると共に、上流側の液温度変化と同一
方向へ下流側の温度変化が生ずるときは+の符号を付
し、両者の関係が反対方向となるときは−の符号を付す
るものとなつており、第2図の例では、すべてが同一方
向となるため、第3図の符号がすべて+となつている。
That is, the liquid temperatures T 1 to T 3 are connected to the pipelines 3 , 5, 8, and 10 by the corresponding arrows, and when the temperature change on the downstream side in the same direction as the liquid temperature change on the upstream side occurs, When the relations between the two are opposite, the signs of − are attached, and in the example of FIG. 2, since all are in the same direction, all the symbols in FIG. It is said.

また、CPT21は、液温度計14〜16の計測値を基準値との
対比により正または負方向の変化有無として判断するも
のとなつており、この状況は第4図に示すとおりとなつ
ている。
Further, the CPT21 judges that the measured values of the liquid thermometers 14 to 16 are compared with the reference value as the presence or absence of a change in the positive or negative direction, and this situation is as shown in FIG. .

すなわち、計測値Tに対し、各々基準値0が定めている
と共に、正および負の方向へ許容範囲を二重に設定し、
これに応じて判断レベルα+-+が定めてあ
り、つぎの関係により正方向変化“+”、負方向変化
“−”、および、 な正方向変化“+?"、同様の負方向変化“−?"を検出し
ている。
That is, the reference value 0 is set for each of the measured values T, and the allowable range is doubled in the positive and negative directions.
The determination levels α + , α , β + , β are determined accordingly, and the positive direction change “+”, the negative direction change “−”, and A positive change "+?" And a similar negative change "-?" Are detected.

α≦T≦α……“0"(無変化) T>β……“+” T<β……“−” β≧T>α……“+?" α>T≧β……“−?" 第5図は、前述の変化検出状況を第31図の符号付有向グ
ラフへ適用した実施例を示す図であり、この場合は、槽
2,4,6の温度T1〜T3がいずれも“+”となつており、こ
れに基づき従来の異常診断を行なえば、第6図(A)に
示すとおり、まず、仮定候補を二重丸により示す温度T1
とし、これと他の温度T2,T3との関連性を判断し、つぎ
に、同図(B)のとおり、仮定候補を温度T2として同様
の判断を行ない、更に、同図(c)のとおり、仮定候補
を槽として同様に判断し、槽2,4,6のすべてが候補にな
つてしまう。
α ≦ T ≦ α + …… “0” (no change) T> β + …… “+” T <β …… “-” β + ≧ T> α + …… “+?” α T ≧ β - ...... "-? " FIG. 5 is a diagram showing an example of applying the change detection status described above to the code directed graph of Figure 31, in this case, the vessel
All of the temperatures T 1 to T 3 of 2, 4, 6 are “+”, and if the conventional abnormality diagnosis is performed based on this, as shown in FIG. Temperature T 1 indicated by Shigemaru
Then, the relationship between this temperature and the other temperatures T 2 and T 3 is determined, and then the same determination is performed with the assumed candidate temperature T 2 as shown in FIG. ), The candidate is assumed to be a tank in the same manner, and tanks 2, 4, and 6 all become candidates.

これに対し、各槽2,4,6の液温度T1〜T3が各々変化を生
じた時刻を例えば3回にわたつて順次に求め、これらの
時刻をメモリへ格納して記憶し、各時刻が異常の波及す
る経過と矛盾しないものゝみを用い、診断を行なうもの
とすれば、第6図(A)〜(C)の中からいずれか一つ
の関連性のみを選択し、これによつて診断を行なえばよ
いものとなる。
On the other hand, the times at which the liquid temperatures T 1 to T 3 of the tanks 2, 4, 6 respectively change are sequentially obtained over, for example, three times, and these times are stored and stored in a memory. If the diagnosis is to be performed by using a tool whose time does not contradict the course of the abnormality, select only one of the relationships from Figures 6 (A) to (C) and Therefore, the diagnosis should be made.

すなわち、第5図において、温度T1〜T3が各個に“+?"
の変化を生じた時刻を▲tα ▼、▲tα ▼、▲tα
▼とし、同様に“+”の変化を生じた時刻を▲tβ
▼、▲tβ ▼、▲tβ ▼とし、つぎの関係が成立す
るものとすれば、 ▲tα ▼=▲tβ ▼<▲tα ▼=▲tβ ▼<▲
α ▼=▲tβ ▼ ……(1) 時刻▲tα ▼、▲tβ ▼が最も早く、時刻▲tα
▼、▲tβ ▼がつぎに早く、時刻▲tα ▼、▲tβ
▼が最も遅延しており、時刻▲tα ▼、▲tβ
と対応する温度T2が異常の原因である確率が高く、第6
図(B)の診断のみを行なえばよく、これによつて、容
易にかつ高速に原因を特定することができる。
That is, in FIG. 5, the temperatures T 1 to T 3 are "+?"
The time at which the change occurs is ▲ t α 1 ▼, ▲ t α 2 ▼, ▲ t α
3 ▼, and the time when the change of “+” similarly occurs is ▲ t β 1
▼, ▲ t β 2 ▼, ▲ t β 3 ▼, and if the following relation holds, then ▲ t α 2 ▼ = ▲ t β 2 ▼ <▲ t α 1 ▼ = ▲ t β 1 ▼ < ▲
t α 3 ▼ = ▲ t β 3 ▼ (1) Times ▲ t α 2 ▼ and ▲ t β 2 ▼ are earliest, and time ▲ t α 1
▼, ▲ t β 1 ▼ is the next earliest, and time ▲ t α 3 ▼, ▲ t β
3 ▼ is the most delayed, and times ▲ t α 2 ▼ and ▲ t β 2 ▼.
It is highly probable that the temperature T 2 corresponding to
It suffices to perform only the diagnosis shown in FIG. 6B, which makes it possible to easily and quickly identify the cause.

また、以上はプロセスの構成が槽2,4,6による場合であ
り、比較的単純であるが、これを一般化すれば第7図の
関連性が成立する。
Further, the above is the case where the process is constituted by the tanks 2, 4, and 6, which is relatively simple, but if this is generalized, the relation of FIG. 7 is established.

すなわち、仮定候補31を頂点とし、最終的な異常結果の
出現する変化検出点321〜32kへ至る複数の異常波及ルー
トl1〜lkが想定され、これらの中間には各ルートl1〜lk
に応じた中間測定点331〜33(P−1)が介在する。
(ただし、33p=32k,33oが測定点である場合は331=33o
とする。) 第8図は、各ルートl1〜lk中いずれか一つのルートliを
抽出して示す図であり、測定点331〜33Pが“+?"または
“−?"の変化を生じた各時刻を▲tα ▼〜▲tα
とし、“+”または“−”の変化を生じた各時刻を▲t
β ▼〜▲tβ ▼とする。(ただし、もし、その点が
“+?"または“−?"の測定点の場合はこの時刻は定義し
ない) ところで異常波及ルートは計算機処理によつて捜し出す
ので、その探索はあらゆるルートにわたつて行なわれ
る。このため、非常に錯綜したプロセスにおいてその点
が異常になつた時刻を考慮しない診断を行なつた場合は
第9図に示すようなルートを捜し出してしまうことも考
えられる。第9図においてそれぞれ付された数字はその
地点で変化が発生した順序である。このような時間が逆
転する現象は現実にはありえないが、計算機処理によつ
てルートを探索するときは隣接する現象を手操り、時間
関係は考慮しないため、おこり得る。
That is, a plurality of abnormal propagation routes l 1 to lk are assumed, with the hypothesis candidate 31 as the apex and reaching the change detection points 32 1 to 32k where the final abnormal result appears, and each route l 1 to lk is in between.
Intermediate measurement point 33 1 ~33 (P-1) mediated in accordance with the.
(However, if 33p = 32k, 33o is the measurement point, 33 1 = 33o
And ) FIG. 8 is a diagram in which any one route li is extracted from each route l 1 to lk, and the measurement points 33 1 to 33 P change “+?” Or “−?”. Set each time to ▲ t α 1 ▼ ~ ▲ t α P
And each time when a change of "+" or "-" occurs by ▲ t
Let β 1 ▼ to ▲ t β P ▼. (However, if the point is a measurement point of "+?" Or "-?", This time is not defined.) By the way, since the abnormal propagation route is found by computer processing, the search is performed over all routes. Done. Therefore, in a very complicated process, when a diagnosis is made without considering the time when the point becomes abnormal, it is possible that a route as shown in FIG. 9 is searched for. The numbers attached in FIG. 9 indicate the order in which changes occurred at that point. Such a phenomenon that the time is reversed is not possible in reality, but when searching for a route by computer processing, an adjacent phenomenon is manually manipulated and the time relationship is not considered, so that it can occur.

そこでルートliの中で“+”または“−”の測定点をk,
j,l…として、 ▲tα ▼≦▲tβ ▼(i=1,2,3,……k−1) …
(2a) ▲tα ▼≦▲tβ ▼(i=1,2,3,……j−1) …
(2b) ▲tα ▼≦▲tβ ▼(i=1,2,3,……h−1) …
(2c) このような演算を行ない、それが全て成立するなら、そ
のルートのデータは矛盾しないものと判定することによ
つて異常診断の精度を上げることができる。
Therefore, in the route li, set the measurement point of "+" or "-" to k,
As j, l ..., ▲ t α i ▼ ≦ ▲ t β k ▼ (i = 1,2,3, ... k-1) ...
(2a) ▲ t α i ▼ ≤ ▲ t β j ▼ (i = 1,2,3, ... j-1) ...
(2b) ▲ t α i ▼ ≦ ▲ t β h ▼ (i = 1,2,3, ... h-1) ...
(2c) If such an operation is performed and all of the above are satisfied, it is possible to improve the accuracy of the abnormality diagnosis by determining that the data of the route does not conflict.

したがつて、(2a)〜(2c)式の関係が成立するか否か
を第7図の各ルートl1〜lkについてチエツクし、この時
間条件が成立するルートliを求めればよいものとなる。
Therefore, it is sufficient to check whether or not the relationships of the expressions (2a) to (2c) are established for each of the routes l 1 to lk in FIG. 7, and obtain the route li that satisfies this time condition. .

第1図は、以上の原理に基づくCPT21中のプログラムに
よる異常診断状況のフロチヤートであり、ステツプ10
1、102の前処理プログラムを常時実行しており、前述の
変化検出に応じ、ステツプ111以降の異常診断プログラ
ムへ移行するものとなつている。
Fig. 1 is a flowchart of the abnormal diagnosis situation by the program in CPT21 based on the above principle.
The preprocessing programs 1 and 102 are constantly executed, and the abnormality diagnosis program after step 111 is to be executed in response to the above-described change detection.

すなわち、「測定点の符号判定」101により、液温計14
〜16からの計測値につき前述の“0"、“+”、“−”、
“+?"、“−?"を各々判定し、これらのいずれかに
“+”または“−”を含むものが生ずれば「“+"or
“−”の点あり?」102がY(YES)となり、「原因探
索」111へ移行する。
That is, the liquid temperature gauge 14
"0", "+", "-", for the measured values from ~ 16,
"+?" And "-?" Are judged respectively, and if any of them contains "+" or "-", "+" or
Is there a "-" mark? "102 becomes Y (YES), and the process moves to" cause search "111.

ステツプ111においては、CPT21のCPUにより構成した時
計機能により、“+”、“−”、“+?"、“−?"の生じ
た時刻を求め、これをメモリへ格納すると共に、メモリ
中へ格納してある第7図の各ルートを用い、異常原因を
逐次探索し、これについで(2a)〜(2d)式による時間
条件チエツク」112を行ない、この結果が成立する「OK
?」113を判断し、これのYにしたがい、CRT22により
「候補表示」121を行なつてから、「すべての候補・出
力済?」122をチエツクしこれがN(NO)の間はステツ
プ111以降を反復する。
In the step 111, the time when "+", "-", "+?", "-?" Occurs is found by the clock function configured by the CPU of the CPT21, and this time is stored in the memory and is also stored in the memory. Using the stored routes shown in FIG. 7, the cause of the abnormality is sequentially searched, and then the time condition check according to the equations (2a) to (2d) 112 is performed, and this result is satisfied.
"?" 113 is judged, and according to Y of this, CRT22 performs "candidate display" 121, and then checks "All candidates / output done?" 122. While this is N (NO), step 111 or later. Is repeated.

なお、ステツプ122がYとなれば、通常はステツプ101、
102の反復へ戻る。
If step 122 becomes Y, normally step 101,
Return to iteration 102.

したがつて、被処理体が循環するプロセスにおいても、
障害点の特定を行なえると共に、演算所要時間が短縮さ
れ、確実かつ速やかに異常診断を行なうことができる。
Therefore, even in the process of circulating the object to be processed,
The failure point can be specified, the time required for calculation can be shortened, and the abnormality can be diagnosed reliably and promptly.

たヾし、第2図の構成は、プロセスの状況に応じて定ま
るものであり、被処理体としては、液体のみならず、鉱
石、石炭、コンクリートブロツク等の塊状体、または、
粉末、粒状体等の物体であればよく、これに応じて検出
する物理量を温度、湿度、流量、圧力、重量等から選定
すればよい等、種々の変形が自在である。
However, the structure shown in FIG. 2 is determined according to the state of the process. As the object to be processed, not only liquid but also lumps of ore, coal, concrete block, or the like, or
It may be an object such as a powder or a granular body, and various modifications can be freely made such that the physical quantity to be detected may be selected from temperature, humidity, flow rate, pressure, weight and the like.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明により明らかなとおり本発明によれば、プロ
セスの異常診断に要する演算時間が短縮されると共に、
被処理体の循環するプロセスにおいても障害点を特定す
ることができるため、特に大規模なプロセスへ適用する
場合において有利となり、各種プロセスの自動的異常診
断において顕著な効果が得られる。
As is clear from the above description, according to the present invention, the calculation time required for process abnormality diagnosis is shortened, and
Since the failure point can be specified even in the circulating process of the object to be processed, it is advantageous especially when applied to a large-scale process, and a remarkable effect is obtained in automatic abnormality diagnosis of various processes.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図は本発明の実施例を示し、第1図は異常診断処理のフ
ローチヤート、第2図はプロセスの概要図、第3図は第
2図の液温度変化相関々係を表わす符号付有向グラフ、
第4図は液温変化の検出に用いる判断レベルの図、第5
図は変化検出状況の実測例を示す図、第6図は異常診断
の状況を示す図、第7図は異常波及ルートを示す図、第
8図は第7図からいずれか一つのルートを抽出して示す
図、第9図は矛盾ルートを説明するための図である。 1,3,5,7,8,10……管路、2,4,6……槽、14〜16……温度
計、21……CPT(電子計算機)、22……CRT(ブラウン管
表示装置)、23……KB(キーボード)、24……PRT(プ
リンタ)、W……液体、T1〜T3……液温。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a flow chart of abnormality diagnosis processing, FIG. 2 is a schematic view of the process, and FIG. 3 is a directed graph with signs showing the correlation of liquid temperature changes in FIG.
FIG. 4 is a diagram of judgment levels used for detecting changes in liquid temperature, and FIG.
Fig. 6 is a diagram showing an example of actual measurement of change detection conditions, Fig. 6 is a diagram showing conditions of abnormality diagnosis, Fig. 7 is a diagram showing abnormal transmission routes, and Fig. 8 is any one route extracted from Fig. 7. 9 and FIG. 9 are diagrams for explaining the inconsistent route. 1,3,5,7,8,10 …… Pipe, 2,4,6 …… Bath, 14-16 …… Temperature, 21 …… CPT (computer), 22 …… CRT (CRT display) ), 23 …… KB (keyboard), 24 …… PRT (printer), W …… liquid, T 1 to T 3 …… liquid temperature.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被処理体の処理を行うプロセス上に前記被
処理体の物理量を測定する複数の測定点を設けて、前記
物理量変化がこれら個々の測定点から他の測定点に波及
する過程を記憶しておき、前記各測定点にて前記物理量
が所定の基準値から正または負方向へ変化したことを検
出し、任意の複数の測定点で検出された物理量の変化と
これら測定点相互間における前記物理量変化の波及過程
とに基づき前記プロセスの障害点の候補を判断する異常
診断方法において、 前記各測定点にて前記物理量が前記基準値から正または
負方向へ変化した時刻を複数回記憶し、 任意の複数の測定点における前記各時刻がこれら測定点
相互間における前記物理量変化の波及経過と矛盾しない
もののみを前記障害点の候補とすることを特徴とするプ
ロセスの異常診断方法。
1. A process in which a plurality of measurement points for measuring a physical quantity of the object to be processed are provided on a process of processing the object to be processed, and the change in the physical quantity spreads from these individual measurement points to other measurement points. Is stored, and it is detected that the physical quantity changes in a positive or negative direction from a predetermined reference value at each of the measurement points, and a change in the physical quantity detected at any of a plurality of measurement points and the mutual measurement points are detected. In the abnormality diagnosis method for determining a candidate of a failure point of the process based on the propagation process of the change in the physical quantity between the plurality of times, the physical quantity at each measurement point changes from the reference value in the positive or negative direction a plurality of times. The difference in the process characterized in that only the ones in which the respective times at any of a plurality of measurement points are stored and which are consistent with the spillover process of the change in the physical quantity between the measurement points are set as the candidates for the failure point. Diagnostic methods.
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