JPH0739281B2 - Cassette transfer device - Google Patents
Cassette transfer deviceInfo
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- JPH0739281B2 JPH0739281B2 JP61079164A JP7916486A JPH0739281B2 JP H0739281 B2 JPH0739281 B2 JP H0739281B2 JP 61079164 A JP61079164 A JP 61079164A JP 7916486 A JP7916486 A JP 7916486A JP H0739281 B2 JPH0739281 B2 JP H0739281B2
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- Japan
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- cassette
- lane
- support arm
- lift
- transfer table
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カセツト移送装置に関し、さらに詳しくは半
導体製造工程におけるウエハカセツトの装置間あるいは
テーブル内のレーン間の移送装置に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette transfer device, and more particularly to a transfer device between wafer cassette devices in a semiconductor manufacturing process or between lanes in a table.
第４図は従来のカセツト移送装置の斜視図である。図に
おいて、（１）は平行なレーン（Ａ），（Ｂ）及び
（Ｃ）を有するカセツト移送テーブル、（２）はカセツ
ト（７）を持つて上下するリフト、（３）はリフト
（２）のカセツト置き台、（４）は走行ロボツトで、レ
ール（５）上を走行し、ハンド（６）でカセット（７）
をそれぞれのレーン（Ａ）〜（Ｃ）のうちいずれかのレ
ーンに配送する。（８）は各レーンのカセツト置き台
で、カセツト（７）が置かれるとテーブル（１）上を移
動し所定の位置へカセツト（７）を搬送する。FIG. 4 is a perspective view of a conventional cassette transfer device. In the figure, (1) is a cassette transfer table having parallel lanes (A), (B) and (C), (2) is a lift having a cassette (7) and moves up and down, and (3) is a lift (2). The cassette holder of (4) is a traveling robot, which travels on the rail (5) and the cassette (7) with the hand (6).
Is delivered to any one of the lanes (A) to (C). Reference numeral (8) is a cassette holder for each lane, and when the cassette (7) is placed, it moves on the table (1) and conveys the cassette (7) to a predetermined position.
次に動作について説明する。Next, the operation will be described.
カセツトをリフトよりカセツト移送テーブルの方へ移送
する場合について説明すると、まずカセツト（７）はリ
フト（２）のカセツト置き台（３）上に載置されてカセ
ツト移送テーブル（１）の所定位置に下降してくる。The case where the cassette is transferred from the lift to the cassette transfer table will be described. First, the cassette (7) is placed on the cassette holder (3) of the lift (2) and placed at a predetermined position on the cassette transfer table (1). Come down.
次に、走行ロボツト（４）のハンド（６）によつてカセ
ツト置き台（３）上のカセツト（７）を把持し、所定の
レーン、例えば図示の場合レーン（Ｂ）のカセツト置き
台（８）上に載置する。カセツト（７）がこのようにし
てカセツト置き台（８）上に置かれるとカセツト置き台
（８）は所定の位置へ移動し次の工程に供える。Next, the cassette (7) on the cassette holder (3) is grasped by the hand (6) of the traveling robot (4), and the cassette holder (8) in a predetermined lane, for example, lane (B) in the figure, is held. ) Place on top. When the cassette (7) is placed on the cassette holder (8) in this way, the cassette holder (8) moves to a predetermined position and is ready for the next step.
なお、カセツト（７）をカセツト移送テーブル（１）よ
りリフト（２）の方へ移送する場合は上記と逆に行えば
よい。When the cassette (7) is transferred from the cassette transfer table (1) to the lift (2), the procedure may be reversed.
従来のカセツト移送装置は上記のように構成されている
ので、カセツトをリフトよりカセツト移送テーブルの方
へ、あるいはその反対方向へ移送するにはリフトとカセ
ツト移送テーブルの間にあつて専用の高価な走行ロボツ
トが必要であつた。Since the conventional cassette transfer device is constructed as described above, in order to transfer the cassette from the lift to the cassette transfer table or in the opposite direction, a dedicated and expensive device is used between the lift and the cassette transfer table. A traveling robot was needed.
また、走行ロボツトを使用するとハンドによるカセツト
の掴みや載置動作に時間がかかり、移送時間のロスが大
きかつた。In addition, when the traveling robot is used, it takes a long time to grasp and place the cassette with the hand, resulting in a large loss of transfer time.
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たものであり、カセツトが正面からみたときＴ字状をな
していることに着目し、簡単で安価なカセツト移送装置
を得ることを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and paying attention to the fact that the cassette has a T-shape when viewed from the front, to obtain a simple and inexpensive cassette transfer device. To aim.
本発明に係るカセツト移送装置は、両側面に突起片が形
成された箱状のカセットを搬送するためのレーンを複数
有するカセット移送テーブルと、上記カセットをカセッ
ト移送テーブルのレーン近傍に搬送するリフトとを有す
るカセット移送装置において、上記カセット移送テーブ
ルを貫通した垂直部、及び該垂直部の上部から上記レー
ン側に直角に折り曲げられ、その先端部にほぼコの字状
に形成されたハンド部を有する水平部からなる支持腕
と、該支持腕の垂直部に設けられ、その支持部を垂直方
向に上下動するプッシャーと、該プッシャーを介して上
記支持腕を支持し、その支持腕を上記レーンの幅方向に
移動する腕移動機構部とを備え、上記カセットをリフト
から所定のレーンに移送する際、あるいは所定のレーン
からリフトに移送する際、コの字状のハンド部にカセッ
トの突起片が係止するようにしたものである。The cassette transfer device according to the present invention includes a cassette transfer table having a plurality of lanes for transferring a box-shaped cassette having protruding pieces formed on both side surfaces, and a lift for transferring the cassette near the lane of the cassette transfer table. In a cassette transfer device having: a vertical portion penetrating the cassette transfer table, and a hand portion bent from the upper portion of the vertical portion to the lane side at a right angle and having a substantially U-shaped end portion. A support arm composed of a horizontal portion, a pusher provided in a vertical portion of the support arm and vertically moving the support portion, and the support arm supported via the pusher, and the support arm is provided in the lane. An arm moving mechanism that moves in the width direction is provided, and when the above cassette is transferred from a lift to a predetermined lane, or from a predetermined lane to a lift. When, projecting piece of cassette-shaped hand part of the child is obtained so as to lock.
本発明においては、カセツトをリフトのカセツト置き台
より支持腕の方へ移送する場合、支持腕の先端部に設け
られたコの字状のハンド部を前もって所定の位置に待機
させておき、次いでリフトのカセツト置き台を下降させ
てコの字状のハンド部内を通過させれば、カセツトの両
側の突起片がコの字状のハンド部に引掛り、これにより
カセツトを持ち上げ支持した状態となる。したがつて次
に、この支持腕をカセツト移送テーブルの所定のレーン
上に移動させその位置で支持腕を下降させると、支持腕
に支持されたカセツトはレーンのカセツト置き台上に載
置されることになり、次にそのカセツト置き台を移動さ
せればカセツトは支持腕より抜き取られる。In the present invention, when the cassette is transferred from the cassette holder of the lift to the supporting arm, the U-shaped hand portion provided at the tip of the supporting arm is made to stand by at a predetermined position in advance, and then, When the cassette stand of the lift is lowered and passed through the U-shaped hand part, the protruding pieces on both sides of the cassette are hooked on the U-shaped hand part, and thus the cassette is lifted and supported. . Therefore, next, when this support arm is moved onto a predetermined lane of the cassette transfer table and the support arm is lowered at that position, the cassette supported by the support arm is placed on the cassette holder of the lane. Then, if the cassette holder is moved next, the cassette can be pulled out from the supporting arm.
なお、以上と逆の動作によりカセツトをカセツト移送テ
ーブルよりリフトの方へ移送できることはいうまでもな
い。It goes without saying that the cassette can be transferred to the lift from the cassette transfer table by the operation reverse to the above.
以下、本発明の一実施例を図について説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本発明の実施例の斜視図であり、図において、
（10）は先端がハンド部（以下、「二股腕部（11）」と
いう）となつている支持腕である。この支持腕（10）は
各レーンに対し直角方向に配設されたボールネジ（12）
に沿つて移動し得るようになつており、ボールネジ（1
2）に螺合するナツト部材（13）にプツシヤー（14）を
介し支持されている。支持腕（10）の二股腕部（11）は
コ字状ないしＵ字状に形成されている。カセツト（７）
は第２図に示すように、正面から見たときにＴ字状にな
つているので、カセツト（７）の両側の突起片（以下、
「取手部（7a）」という）にこの二股腕部（11）が引掛
ることになる。したがつて、二股腕部（11）の間隔はカ
セツト（７）の胴部（7b）よりも若干広くなつている。
また、この胴部（7b）を支持するカセツト置き台（３）
及び（８）の幅も二股腕部（11）の間隔より小さくなつ
ている。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention.
Reference numeral (10) is a supporting arm whose tip is a hand portion (hereinafter, referred to as a “forked arm portion (11)”). This support arm (10) has ball screws (12) arranged at right angles to each lane.
Along with the ball screw (1
It is supported by a nut member (13) which is screwed to 2) via a pusher (14). The bifurcated arm portion (11) of the support arm (10) is formed in a U shape or a U shape. Cassette (7)
As shown in FIG. 2, since it has a T-shape when viewed from the front, the projection pieces (hereinafter,
This forked arm (11) will be hooked to the "handle (7a)". Therefore, the distance between the bifurcated arms (11) is slightly wider than that of the body (7b) of the cassette (7).
Also, a cassette holder (3) for supporting the body (7b)
The widths of (8) and (8) are also smaller than the distance between the forked arms (11).
支持腕（10）の二股腕部（11）の各先端は第３図に一部
拡大して示すように、カセツト（７）を確実に保持する
ように爪先形状に形成されている。Each tip of the bifurcated arm portion (11) of the support arm (10) is formed in a toe shape so as to securely hold the cassette (7), as shown in a partially enlarged view in FIG.
また、支持腕（10）は第１図に示すように中間部を逆Ｌ
字状に屈曲され、その垂直部（10a）がカセツト移送テ
ーブル（１）に設けられたスリツト（15）に沿つて移動
する。スリツト（15）はカセツト移送テーブル（１）上
においてレーン（Ａ）〜（Ｃ）の一側にこれらのレーン
と直角方向に延設されている。したがつて、ボールネジ
（12）はカセツト移送テーブル（１）の内部においてこ
のスリツト（15）の下方に平行に延設される。プツシヤ
ー（14）はこの垂直部（10a）に連結され支持腕（10）
を上下動させる。なお、支持腕（10）を上下動させず固
定とした場合はカセツト置き台（８）をレーンに沿つて
移動させるほか上下方向にも移動させる。（16）はボー
ルネジ（12）の駆動用モータであり、（17）はナツト部
材（13）の回り止めをなすガイドである。上述したボー
ルネジ（12）、ナット部材（13）、駆動用モータ（16）
及びガイド（17）で本発明の腕移動機構部が構成されて
いる。In addition, the support arm (10) has an inverted L-shaped intermediate portion as shown in FIG.
It is bent in a letter shape, and its vertical portion (10a) moves along the slit (15) provided on the cassette transfer table (1). The slit (15) extends on one side of the lanes (A) to (C) on the cassette transfer table (1) in a direction perpendicular to these lanes. Therefore, the ball screw (12) is extended in parallel below the slit (15) inside the cassette transfer table (1). The pusher (14) is connected to the vertical part (10a) and the supporting arm (10) is connected.
Move up and down. When the support arm (10) is fixed without moving up and down, the cassette stand (8) is moved along the lane as well as vertically. (16) is a motor for driving the ball screw (12), and (17) is a guide for preventing the nut member (13) from rotating. Ball screw (12), nut member (13), drive motor (16) described above.
The guide (17) constitutes the arm moving mechanism of the present invention.
次に上記実施例の動作を説明する。Next, the operation of the above embodiment will be described.
カセツト（７）をリフト（２）よりカセツト移送テーブ
ル（１）の方へ移送する場合について説明すると、まず
支持腕（10）の二股腕部（11）を第１図のカセツト置き
台（３）がある位置に待機させておく。The case of transferring the cassette (7) from the lift (2) to the cassette transfer table (1) will be described. First, the bifurcated arm portion (11) of the support arm (10) is transferred to the cassette holder (3) shown in FIG. I will wait at a certain position.
次にリフト（２）のカセツト置き台（３）上に載置され
たカセツト（７）を下降させカセツト置き台（３）及び
その上のカセツト（７）の胴部（7b）が支持腕（10）の
二股腕部（11）の間を通るようにすると、カセツト
（７）の両側の取手部（7a）が二股腕部（11）に引掛り
カセツト（７）を持ち上げた状態に支持する。したがつ
て、次に支持腕（10）をボールネジ（12）の駆動によつ
て所定のレーン位置まで移動させ支持腕（10）に支持さ
れたカセツト（７）を移送する。Next, the cassette (7) placed on the cassette stand (3) of the lift (2) is lowered to allow the body (7b) of the cassette stand (3) and the cassette (7) on the cassette stand (7b) to support arms (7b). When the handle (7a) on both sides of the cassette (7) is hooked on the bifurcated arm (11), the cassette (7) is supported in a raised state when the cassette (7) is passed between the forked arms (11). . Therefore, the support arm (10) is moved to a predetermined lane position by driving the ball screw (12), and the cassette (7) supported by the support arm (10) is transferred.
図示のレーン（Ｂ）にカセツト（７）を移送する場合、
支持腕（10）の二股腕部（11）をレーン（Ｂ）のカセツ
ト置き台（８）の上方に位置させ、次いで支持腕（10）
をプツシヤー（14）により下降させる。すると、支持腕
（10）に支持されたカセツト（７）は二股腕部（11）よ
り離れカセツト置き台（８）上に支持される。したがつ
て、次にこのカセツト置き台（８）をレーン（Ｂ）に沿
つて移動させればカセツト（７）は二股腕部（11）より
抜き取られ支持腕（10）より完全に離れることになる。When transferring the cassette (7) to the illustrated lane (B),
The bifurcated arm portion (11) of the support arm (10) is located above the cassette stand (8) of the lane (B), and then the support arm (10).
Is lowered by the pusher (14). Then, the cassette (7) supported by the support arm (10) is separated from the bifurcated arm (11) and supported on the cassette holder (8). Therefore, if the cassette stand (8) is then moved along the lane (B), the cassette (7) will be pulled out from the bifurcated arm (11) and completely separated from the support arm (10). Become.
カセツト（７）を抜き取られた支持腕（10）は最初の位
置に戻り、次のカセツトを受け取るべく待機する。The support arm (10) with the cassette (7) removed returns to the initial position and waits to receive the next cassette.
以上のようにしてカセツト（７）のリフト（２）よりカ
セツト移送テーブル（１）の所定のレーンへの移送が終
了する。なお、これと反対方向への移送は上記と逆の動
作を行わせればよい。As described above, the transfer of the cassette (7) from the lift (2) to the predetermined lane of the cassette transfer table (1) is completed. The transfer in the opposite direction may be performed by performing the operation reverse to the above.
なお、上記実施例では１つのカセツト移送テーブルに対
する移送について説明したが、支持腕（10）をその垂直
部（10a）で首振り自在とすれば２以上の隣接して配置
されたカセツト移送テーブルに対しても移送を行うこと
ができる。In the above embodiment, the transfer to one cassette transfer table has been described, but if the supporting arm (10) can be swung by its vertical portion (10a), two or more adjacent cassette transfer tables can be arranged. It can also be transferred.
本発明によれば次のような効果がある。 The present invention has the following effects.
（１） 極めて簡単な形式の支持腕をリフトとカセツト
移送テーブルの間に介在させるだけであるので、簡単で
安価なカセツト移送装置が得られる。(1) Since the supporting arm of a very simple type is merely interposed between the lift and the cassette transfer table, a simple and inexpensive cassette transfer device can be obtained.
（２） カセツトの移送にあたつては、支持腕を所定の
位置に直線移動させるだけで特別にカセツトの掴み動作
や載置動作を必要としないので、移送時間の大幅の短縮
が可能となる。(2) When transferring the cassette, the supporting arm is simply moved linearly to a predetermined position and no special gripping operation or placing operation of the cassette is required, so that the transfer time can be greatly shortened. .
第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図（ａ）（ｂ）
はカセツトの正面図と平面図、第３図は支持腕の一部拡
大平面図、第４図は従来例の斜視図である。 （１）：カセツト移送テーブル、（３）：カセツト置き
台、（７）：カセツト、（８）：カセツト置き台、（1
0）：支持腕、（11）：二股腕部、（Ａ），（Ｂ），
（Ｃ）：レーン。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 (a) and 2 (b).
Is a front view and a plan view of the cassette, FIG. 3 is a partially enlarged plan view of the support arm, and FIG. 4 is a perspective view of a conventional example. (1): cassette transfer table, (3): cassette holder, (7): cassette, (8): cassette holder, (1
0): support arm, (11): bifurcated arm, (A), (B),
(C): Lane. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
トを搬送するためのレーンを複数有するカセット移送テ
ーブルと、上記カセットをカセット移送テーブルのレー
ン近傍に搬送するリフトとを有するカセット移送装置に
おいて、 上記カセット移送テーブルを貫通した垂直部、及び該垂
直部の上部から上記レーン側に直角に折り曲げられ、そ
の先端部にほぼコの字状に形成されたハンド部を有する
水平部からなる支持腕と、 該支持腕の垂直部に設けられ、その支持部を垂直方向に
上下動するプッシャーと、 該プッシャーを介して上記支持腕を支持し、その支持腕
を上記レーンの幅方向に移動する腕移動機構部とを備
え、 上記カセットをリフトから所定のレーンに移送する際、
あるいは所定のレーンからリフトに移送する際、コの字
状のハンド部にカセットの突起片が係止することを特徴
とするカセット移送装置。1. A cassette transfer having a cassette transfer table having a plurality of lanes for transferring a box-shaped cassette having protrusions formed on both side surfaces thereof, and a lift for transferring the cassette to the vicinity of the lane of the cassette transfer table. In the apparatus, a vertical portion that penetrates the cassette transfer table and a horizontal portion that is bent at a right angle from the upper portion of the vertical portion to the lane side and that has a hand portion that is formed in a substantially U-shape at the tip thereof. A support arm, a pusher that is provided in a vertical portion of the support arm, and vertically moves the support portion, and the support arm is supported by the pusher, and the support arm is moved in the width direction of the lane. When moving the cassette from the lift to a predetermined lane,
Alternatively, when transferring from a predetermined lane to a lift, a protruding piece of the cassette is locked to a U-shaped hand portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079164A JPH0739281B2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Cassette transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079164A JPH0739281B2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Cassette transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62240226A JPS62240226A (en) | 1987-10-21 |
| JPH0739281B2 true JPH0739281B2 (en) | 1995-05-01 |
Family
ID=13682317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61079164A Expired - Lifetime JPH0739281B2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Cassette transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0739281B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08148540A (en) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | M C Electron Kk | Wafer processing system |
| CN107324041B (en) | 2016-04-29 | 2019-11-26 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | Manipulator and automatic film magazine handling device for film magazine clamping |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5998646U (en) * | 1982-12-23 | 1984-07-04 | 三菱電機株式会社 | Instruction management table storage case used in the semiconductor wafer manufacturing process |
| JPS6056706A (en) * | 1983-09-09 | 1985-04-02 | Toshiba Corp | Station with transferring mechanism |
| JPS61154139A (en) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | Wafer carrier holding mechanism |
| JPS62213978A (en) * | 1986-03-13 | 1987-09-19 | 日本電信電話株式会社 | Manipulator for carrying and charging |
-
1986
- 1986-04-08 JP JP61079164A patent/JPH0739281B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62240226A (en) | 1987-10-21 |
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