JPH0740484B2 - 磁場走査型質量分析計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 イ 産業上の利用分野 本発明は磁場の強さを変化させることによつてコレクタ
ースリツトを通過するイオンの質量を走査する磁場走査
型質量分析計に関するものである。

ロ 従来技術 磁場走査型質量分析計においては、磁場の強さの時間的
な変化率に比例した渦電流が磁極内に誘起されるので、
走査速度が速くなると磁極の中央部における磁場が渦電
流による磁束によつて弱められるという問題がある。こ
のため走査速度によつて磁場分布が変化し、磁場の一様
性が悪くなつて所定の分解能が得られなくなるという欠
点があり、また質量スペクトルの測定を行うために磁場
強度を検出して質量目盛信号（マスマーカー信号）を得
ているがこの磁場検出器（ホール素子など）は磁極の周
辺部に設置されるので、走査速度を上げて行くと実際に
質量分析を行つている領域の磁場強度よりも検出される
磁場強度の方が強くなつて質量目盛か実際よりも大きく
なつてしまうという欠点があつた。

ハ 目的 本発明は上記の欠点を解消するために、磁場を走査した
ときにも一定磁場のときと同様に磁極間の磁場分布が一
様であるようにすることを目的とするものである。

ニ 構成 上記の目的を達成するために、本発明は電磁石の磁極縁
辺に補助コイルを設けて、この補助コイルに渦電流とは
反対方向に磁場強度の変化率に比例した電流を供給する
ことにより、渦電流による磁束を打ち消すようにしたも
のである。

ホ 実施例 図面は本発明の一実施例を示したものである。第１図に
おいて１は分析管で２は試料イオン化室である。分析管
１内の試料イオンは電磁石の磁極３によつて方向を曲げ
られたのちコレクタースリツト４を通つてイオン検出器
５に入る。６は補助コイルで両磁極面間に磁極縁辺に沿
つて配設され、できるだけ薄くするために銅板を絶縁フ
イルムで狭んだ面状導体を用いている。この補助コイル
６は電流可変の定電流源７に接続されている。第２図は
第１図のＡ−Ａ断面における磁場の分布を示したもの
で、実線は補助コイルなしで磁場を走査した場合に磁極
内の渦電流によつて磁極中央部の磁場が弱められている
状態を示している。また点線は一定磁場の場合あるいは
補助コイルによつて補正された状態を示している。第３
図は補助コイルに磁場の強さの変化率に比例した電流を
供給するための回路構成を示したもので、磁場発生用電
磁石の励磁コイル８の両端子間電圧を電圧計９で検出
し、その検出信号によつて直流電流電源７を制御して、
励磁コイル８の両端子間電圧に比例した電流を補助コイ
ル６に供給する。励磁コイルの両端間電圧を検出する代
りに磁場を検出して、その微分信号で補助コイルに流す
電流を制御してもよい。

ヘ 効果 本発明は上記のように磁極縁辺に補助コイルを設けて磁
場の変化率に比例した電流を流すようにしたもので、渦
電流は磁極縁辺に集中する傾向があるから、補助コイル
が、この渦電流に近接して配置されることにより、補助
コイルの発生する磁場によつて渦電流による磁場は相殺
され、磁場走査時における磁場分布を一様均一な分布に
近づけることができ、したがつて磁場検出器が磁極周辺
部に配置されていても磁場の走査速度の差異によつて質
量目盛信号に狂いを生じるおそれがなく、また走査速度
が速くなつてもゆつくり走査する場合と同程度の分解能
を得ることができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す要部概略平面図、第２
図は同上の動作説明図、第３図は同上のブロツク回路図
である。 １…分析管、２…イオン化質、３…磁極、４…コレクタ
ースリツト、５…イオン検出器、６…補助コイル、７…
定電流電源、８…励磁コイル、９…電圧計。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料をイオン化して電場により加速したの
   ち、磁場内に導入してイオンの方向を曲げ、コレクター
   スリツトを通してイオン検出器で検出するようにし、上
   記磁場の強さを経時的に変化させることによりコレクタ
   ースリツトに入射するイオンの質量を走査するようにし
   た構成において、上記磁場を形成する電磁石の磁極縁辺
   に補助コイルを設けて、該補助コイルに上記磁場の強さ
   の変化率に比例した電流を供給することにより、磁極内
   の渦電流による磁束を相殺せしめたことを特徴とする磁
   場走査型質量分析計。