JPH0742130B2 - 光伝送路用棒状母材の製造方法 - Google Patents
光伝送路用棒状母材の製造方法Info
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- JPH0742130B2 JPH0742130B2 JP15918186A JP15918186A JPH0742130B2 JP H0742130 B2 JPH0742130 B2 JP H0742130B2 JP 15918186 A JP15918186 A JP 15918186A JP 15918186 A JP15918186 A JP 15918186A JP H0742130 B2 JPH0742130 B2 JP H0742130B2
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- Japan
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- glass tube
- quartz glass
- optical transmission
- transmission line
- base material
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma- or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
- C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
- C03B37/0183—Plasma deposition burners or heating means for plasma within a tube substrate
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光通信やイメージガイド等において使用する光
伝送路を製造するための棒状母材を、プラズマ炎を用い
て製造する方法に関する。
伝送路を製造するための棒状母材を、プラズマ炎を用い
て製造する方法に関する。
（従来技術） この種の光伝送路用棒状母材は、第２図に示すように、
中心軸を軸にして回転するガラス管Ａの一端から他端に
向けてSicl4、Ticl4、Gecl4、酸素等からなるガラス形
成用の気体状原料Ｂを導入するとともに、石英ガラス管
の外側から石英ガラス管の長手方向に沿って往復移動す
る酸水素炎Ｃにより石英ガラス管内に導入された原料を
酸化反応させ、これにより得られたガラスを石英ガラス
管Ａに順次堆積させることにより製造していた。
中心軸を軸にして回転するガラス管Ａの一端から他端に
向けてSicl4、Ticl4、Gecl4、酸素等からなるガラス形
成用の気体状原料Ｂを導入するとともに、石英ガラス管
の外側から石英ガラス管の長手方向に沿って往復移動す
る酸水素炎Ｃにより石英ガラス管内に導入された原料を
酸化反応させ、これにより得られたガラスを石英ガラス
管Ａに順次堆積させることにより製造していた。
他方、前記堆積の速度を高めるために、前記酸水素炎の
代わりに高周波エネルギ供給装置を用いて、石英ガラス
管内にプラズマ炎を発生させ、これにより前記原料を酸
化反応させて製造することも試みられている。
代わりに高周波エネルギ供給装置を用いて、石英ガラス
管内にプラズマ炎を発生させ、これにより前記原料を酸
化反応させて製造することも試みられている。
（本発明が解決する問題点） しかしながら後者の方法はプラズマ炎の温度が高すぎる
ため、沈積速度の制御や屈折率を調整するためのドーパ
ント含有量を適切に制御することが困難であった。さら
に同様の理由により石英ガラス管中に含有するOH基が沈
積形成されたガラス中に浸透し、伝送損失を悪化させる
などの欠点があった。
ため、沈積速度の制御や屈折率を調整するためのドーパ
ント含有量を適切に制御することが困難であった。さら
に同様の理由により石英ガラス管中に含有するOH基が沈
積形成されたガラス中に浸透し、伝送損失を悪化させる
などの欠点があった。
（発明の目的） 本発明の的は上記点に鑑み、石英ガラス管内に発生する
プラズマ熱を間接的に用いることにより、プラズマ炎の
温度を適宜に調整し、前記欠点の少ない特性の優れた光
伝送路を得ることにある。
プラズマ熱を間接的に用いることにより、プラズマ炎の
温度を適宜に調整し、前記欠点の少ない特性の優れた光
伝送路を得ることにある。
（問題点を解決するための構成） 本発明は中心軸を軸にして回転する石英ガラス管の一端
から他端に向けてガラス形成用の気体状原料を導入する
とともに、石英ガラス管の外側から供給する高周波エネ
ルギにより石英ガラス管内にプラズマ炎を発生させ、こ
のプラズマ炎の熱により前記原料を酸化反応させ、これ
により得られたガラスを石英ガラス管内面に沈積させて
光伝送路用棒状母材を製造する方法において、前記ガラ
ス管内に第２の石英ガラス管を配置して第２の石英ガラ
ス管内にプラズマ炎を発生させることを特徴とする光伝
送路用棒状母材の製造方法である。
から他端に向けてガラス形成用の気体状原料を導入する
とともに、石英ガラス管の外側から供給する高周波エネ
ルギにより石英ガラス管内にプラズマ炎を発生させ、こ
のプラズマ炎の熱により前記原料を酸化反応させ、これ
により得られたガラスを石英ガラス管内面に沈積させて
光伝送路用棒状母材を製造する方法において、前記ガラ
ス管内に第２の石英ガラス管を配置して第２の石英ガラ
ス管内にプラズマ炎を発生させることを特徴とする光伝
送路用棒状母材の製造方法である。
（実施例１） 第１図において、（１）は外径3mmΦ、内径30mmΦの石
英ガラス管、（２）は外径20mmΦの第２の石英ガラス
管、（３）は石英ガラス管（１）の外側に配置された高
周波コイルル、（４）は高周波発生源である。石英ガラ
ス管（１）及び第２の石英ガラス管（２）はそれぞれ両
端部において図示しないガラス旋盤により、両ガラス管
（１）（２）が互いに同軸的に配置され、しかも両ガラ
ス管は同期又は非同期して回転可能に構成されている。
石英ガラス管（１）と第２の石英ガラス管（２）とに間
には一端から他端に向けてSicl4、Gecl4及び酸素等の混
合気体によるガラス原料（５）が供給されている。第２
の石英ガラス管（２）は図示しない真空装置に接続さ
れ、その管内を減圧状態可能に構成されている。また高
周波コイル（３）は高周波発生源（４）から高周波エネ
ルギが供給されて、第２の石英ガラス管（２）内にプラ
ズマ炎を発生させる。
英ガラス管、（２）は外径20mmΦの第２の石英ガラス
管、（３）は石英ガラス管（１）の外側に配置された高
周波コイルル、（４）は高周波発生源である。石英ガラ
ス管（１）及び第２の石英ガラス管（２）はそれぞれ両
端部において図示しないガラス旋盤により、両ガラス管
（１）（２）が互いに同軸的に配置され、しかも両ガラ
ス管は同期又は非同期して回転可能に構成されている。
石英ガラス管（１）と第２の石英ガラス管（２）とに間
には一端から他端に向けてSicl4、Gecl4及び酸素等の混
合気体によるガラス原料（５）が供給されている。第２
の石英ガラス管（２）は図示しない真空装置に接続さ
れ、その管内を減圧状態可能に構成されている。また高
周波コイル（３）は高周波発生源（４）から高周波エネ
ルギが供給されて、第２の石英ガラス管（２）内にプラ
ズマ炎を発生させる。
このようにして第２の石英ガラス管（２）内にプラズマ
炎が発生すると、その熱により、石英ガラス管（１）内
に導入されたガラス原料（５）は酸化反応を起こし、こ
れにより得られたガラスが石英ガラス管（１）の内壁に
沈積する。この沈積ガラスは後に光伝送路のコア（又は
クラット）になる。プラズマ炎は高周波コイル（３）が
石英ガラス管の長手方向に移動するに従って石英ガラス
管（１）の長手方向に移動し、これによって石英ガラス
管（１）の長手方向にガラスが均一に沈積する。高周波
コイル（３）は石英ガラス管（１）の長手方向に複数回
往復移動し、これによって前記石英ガラスが石英ガラス
管（１）の内壁に複数層形成される。この際、プラズマ
炎の温度は第２の石英ガラス管（２）の内圧を調整する
ことにより適切な値に調整できる。またこの際のプラズ
マ炎の温度調整は第２の石英ガラス管（２）内にアルゴ
ン等のガスを導入することによっても行うことができ
る。このようにして石英ガラス管（１）内にガラスを所
定層、所定厚形成させた後は、第２の石英ガラス管
（２）を除去して、従来と同様に石英ガラス管（１）を
コラプスし、光伝送路用の棒状母材を得る。この後はこ
の棒状母材を加熱紡糸し、外径125μｍΦの光伝送繊維
等に構成する。
炎が発生すると、その熱により、石英ガラス管（１）内
に導入されたガラス原料（５）は酸化反応を起こし、こ
れにより得られたガラスが石英ガラス管（１）の内壁に
沈積する。この沈積ガラスは後に光伝送路のコア（又は
クラット）になる。プラズマ炎は高周波コイル（３）が
石英ガラス管の長手方向に移動するに従って石英ガラス
管（１）の長手方向に移動し、これによって石英ガラス
管（１）の長手方向にガラスが均一に沈積する。高周波
コイル（３）は石英ガラス管（１）の長手方向に複数回
往復移動し、これによって前記石英ガラスが石英ガラス
管（１）の内壁に複数層形成される。この際、プラズマ
炎の温度は第２の石英ガラス管（２）の内圧を調整する
ことにより適切な値に調整できる。またこの際のプラズ
マ炎の温度調整は第２の石英ガラス管（２）内にアルゴ
ン等のガスを導入することによっても行うことができ
る。このようにして石英ガラス管（１）内にガラスを所
定層、所定厚形成させた後は、第２の石英ガラス管
（２）を除去して、従来と同様に石英ガラス管（１）を
コラプスし、光伝送路用の棒状母材を得る。この後はこ
の棒状母材を加熱紡糸し、外径125μｍΦの光伝送繊維
等に構成する。
なお上記実施例において、必要により石英ガラス管
（１）の外径を水や空気等により冷却するようにしても
よく、また酸水素炎を併用するようにしてもよい。
（１）の外径を水や空気等により冷却するようにしても
よく、また酸水素炎を併用するようにしてもよい。
（発明の効果） 本発明は上述のように、石英ガラス管内に発生するプラ
ズマをさらに他のガラス管内で発生させ、そのプラズマ
熱を間接的に用いて、石英ガラス管内に導入したガラス
形成用の気体状原料を酸化反応させるようにしたので、
プラズマ熱による酸化反応温度を低下させることがで
き、これにより屈折率を調整するためのドーパント量を
適切に制御でき、伝送特性のすぐれた光伝送路用棒状母
材を製造することができる効果を有する。
ズマをさらに他のガラス管内で発生させ、そのプラズマ
熱を間接的に用いて、石英ガラス管内に導入したガラス
形成用の気体状原料を酸化反応させるようにしたので、
プラズマ熱による酸化反応温度を低下させることがで
き、これにより屈折率を調整するためのドーパント量を
適切に制御でき、伝送特性のすぐれた光伝送路用棒状母
材を製造することができる効果を有する。
第１図は本願発明の一実施例を示す説明図、第２図は従
来の一例を示す概念図である。 （１）は石英ガラス管、（２）は第２の石英ガラス管、
（３）は高周波コイル、（４）は高周波発生源、（５）
はガラス原料である。
来の一例を示す概念図である。 （１）は石英ガラス管、（２）は第２の石英ガラス管、
（３）は高周波コイル、（４）は高周波発生源、（５）
はガラス原料である。
Claims (3)
- 【請求項１】中心軸を軸にして回転する石英ガラス管の
一端から他端に向けてガラス形成用の気体状原料を導入
するとともに、石英ガラス管の外側から供給する高周波
エネルギにより石英ガラス管内にプラズマ炎を発生さ
せ、このプラズマ炎の熱により前記原料を酸化反応さ
せ、これにより得られたガラスを石英ガラス管内面に沈
積させて光伝送路用棒状母材を製造する方法において、
前記ガラス管内に第２の石英ガラス管を配置して第２の
石英ガラス管内にプラズマ炎を発生させることを特徴と
する光伝送路用棒状母材の製造方法。 - 【請求項２】第２の石英ガラス管内を減圧状態にした特
許請求の範囲第１項記載の光伝送路用棒状母材の製造方
法。 - 【請求項３】石英ガラス管の外側に火炎による補助加熱
装置が配置された特許請求の範囲第１項または第２項記
載の光伝送路用棒状母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918186A JPH0742130B2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 光伝送路用棒状母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918186A JPH0742130B2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 光伝送路用棒状母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6317233A JPS6317233A (ja) | 1988-01-25 |
| JPH0742130B2 true JPH0742130B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=15688075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15918186A Expired - Lifetime JPH0742130B2 (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | 光伝送路用棒状母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742130B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000042458A1 (en) | 1999-01-18 | 2000-07-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber and method of manufacture thereof |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP15918186A patent/JPH0742130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317233A (ja) | 1988-01-25 |
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