JPH0744205B2 - Probe card mounting method - Google Patents
Probe card mounting methodInfo
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- JPH0744205B2 JPH0744205B2 JP62206036A JP20603687A JPH0744205B2 JP H0744205 B2 JPH0744205 B2 JP H0744205B2 JP 62206036 A JP62206036 A JP 62206036A JP 20603687 A JP20603687 A JP 20603687A JP H0744205 B2 JPH0744205 B2 JP H0744205B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はプローブカード取付方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a probe card mounting method.
［従来の技術］ プローバは半導体ウェハに多数形成されたチップの電気
的特性を測定するための装置であり、各チップの電極と
プローブカードの針との接触を図ることにより測定を行
う。プローブカードは被測定体であるチップの種類等に
よって異なり、被測定体に応じて交換されるもので従来
第３図に示すようなターミナルピンタイプのものが使わ
れていた。プローバ１側のプローブカード取付部である
プローブカードソケット３もこのようなターミナルピン
タイプのプローブカード２に対応してターミナルピン21
が嵌着されるソケット部31を有しており、オペレータが
プローブカード２をプローブカードソケット31に差し込
み、ビス止め等により固定することにより装着してい
た。[Prior Art] A prober is a device for measuring the electrical characteristics of a large number of chips formed on a semiconductor wafer, and the measurement is performed by making contact between the electrodes of each chip and the needles of a probe card. The probe card differs depending on the type of chip to be measured and is replaced according to the measured object. Conventionally, a terminal pin type as shown in FIG. 3 has been used. The probe card socket 3 that is the probe card mounting portion on the side of the prober 1 also corresponds to such a terminal pin type probe card 2 and has terminal pins 21.
Has a socket portion 31 into which the probe card 2 is fitted, and the operator inserts the probe card 2 into the probe card socket 31 and fixes the probe card 2 with screws or the like to mount the probe card 2.
一方、近年プローバの完全無人化、自動化の要請に伴な
いプローブカードの自動交換方法が開発され（特願昭61
−254071号）、プローブカードソケット及びプローブカ
ードは従来のターミナルピンタイプのものから第４図に
示すようなポゴピンタイプのものに変わりつつある。す
なわち、プローブカードソケット３′はスプリングを備
えたポゴピン32をプローブカード２′はポゴピン32に対
応する端子部22をそれぞれ備えており、ロボートアーム
等の自動交換手段によってプローブカード２′をプロー
ブカードソケット３′に容易に着脱可能できるようにな
っている。On the other hand, in recent years, an automatic probe card replacement method has been developed in response to a request for completely unattended prober automation.
-254071), probe card sockets and probe cards are changing from the conventional terminal pin type to the pogo pin type as shown in FIG. That is, the probe card socket 3'has a pogo pin 32 provided with a spring, and the probe card 2'has a terminal portion 22 corresponding to the pogo pin 32. The probe card 2'is automatically replaced by a robot arm or the like. It can be easily attached to and detached from the socket 3 '.
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上記のようなポゴピンタイプのプローブカー
ドソケットを備えた自動交換用のプローバにおいては当
然のことながらポゴピンタイプのプローブカードしか使
用できないため、これまで使用されてきたターミナルピ
ンタイプのプローブカードがすべて無駄になり、ユーザ
に過大の経済的負担を与えるという問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, in the prober for automatic exchange equipped with the pogo pin type probe card socket as described above, only the pogo pin type probe card can be used as a matter of course. All of the terminal pin type probe cards that have been used are wasted, which causes an excessive financial burden on the user.
この発明は、多種のプローブカードに対応できるように
したプローブカード取付構造を提供するものである。The present invention provides a probe card mounting structure adapted to various types of probe cards.
［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため本発明のプローブカード
取付方法は、プローブカードと、ポゴピン及び端子の係
合によってプローブカードを交換可能に固定するプロー
ブカード取付部とを備え、プローブカードとプローブカ
ード取付部との間の電気的接触を介して電気的測定を行
うプローバのプローブカード取付方法において、プロー
ブカード取付部に係合する端子またはポゴピンを有する
プローブカードはプローブカード取付部に直接取り付
け、ピンまたはソケットを備えるプローブカードにはプ
ローブカード交換リングを設け、このプローブカード交
換リングをプローブカード取付部にポゴピンと端子との
係合により取り付けるものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve such an object, a probe card mounting method of the present invention is a probe card mounting portion for fixing a probe card exchangeably by engagement of a pogo pin and a terminal. In the probe card mounting method of the prober, which comprises a probe card and an electrical measurement between the probe card mounting portion and an electrical contact, a probe card having a terminal or a pogo pin that engages with the probe card mounting portion is provided. A probe card exchange ring is directly attached to the probe card attachment portion, and a probe card exchange ring is provided on the probe card provided with a pin or a socket.
本発明のプローブカード取付方法に適用されるプローブ
カード交換リングは一面に設けられた端子と、端子と対
応して他面に設けられたソケットとが電気的に接続され
ているものである。The probe card exchange ring applied to the probe card attaching method of the present invention is one in which the terminal provided on one surface and the socket provided on the other surface corresponding to the terminal are electrically connected.
更に、本発明のプローブカード取付方法は、プローブカ
ードと、ポゴピンが設けられプローブカード取付部とを
備えたプローバのプローブカード取付部にプローブカー
ドを取り付けるプローブカード取付方法であって、ピン
を備えたプローブカードとプローブカード取付部間に、
ピンに対応したソケットを一面に備え他面にソケットと
電気的に接続されポゴピンと係合する端子を備えたプロ
ーブカード交換リングを介在させるものである。Further, the probe card attaching method of the present invention is a probe card attaching method for attaching a probe card to a probe card attaching portion of a prober provided with a probe card and a probe card attaching portion provided with a pogo pin, and including a pin. Between the probe card and the probe card mounting part,
A probe card exchange ring having a socket corresponding to a pin on one surface and a terminal on the other surface that is electrically connected to the socket and engages with a pogo pin is interposed.
［作用］ プローブカード取付部がポゴピンあるいはポゴピンに係
合される端子を備えた自動交換方式のプローバのとき
は、プローブカード取付部に係合される端子あるいはポ
ゴピンを備えたプローブカードはプローブカード取付部
に直接自動交換で取付ける。プローブカードがピンを備
えたものである場合、プローブカード交換リングを適用
する。この場合、プローブカード交換リングの一方の例
えばソケット部に例えばターミナルピンを有するプロー
ブカードのターミナルピンを係合させることにより、プ
ローブカード交換リングをプローブカードに予め装着し
ておき、プローブカードとプローブカード交換リングと
を一体としてプローブカード自動交換方式のプローバに
適用する。[Operation] When the probe card mounting portion is an automatic exchange type prober having pogo pins or terminals engaged with the pogo pins, the probe card equipped with terminals or pogo pins engaged with the probe card mounting portion is attached with the probe card. It is installed by automatic exchange directly on the part. If the probe card is one with pins, apply the probe card replacement ring. In this case, the probe card replacement ring is attached to the probe card in advance by engaging the terminal pin of the probe card having the terminal pin with one of the sockets of the probe card replacement ring, for example. Applicable to a probe card automatic prober type prober together with an exchange ring.
これにより、プローブカードとプローブカード交換リン
グは一体にロボットアーム等の自動交換手段によって搬
送され、プローブカード交換リングの他方の端子部とプ
ローブ装置側に固定されたプローブカード取付部のポゴ
ピンとの接続を図ることができる。As a result, the probe card and the probe card exchange ring are integrally conveyed by automatic exchange means such as a robot arm, and the other terminal portion of the probe card exchange ring and the pogo pin of the probe card attachment portion fixed to the probe device side are connected. Can be achieved.
［実施例］ 以下、本発明のプローブカード取付構造の実施例を図面
を参照して説明する。第１図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うにプローブカード交換リング（以下、交換リングと略
す）10は、適用されるプローブカードとほぼ等しい外周
のドーナツ状の形状を有し、一方の面10a側にプローブ
カードのターミナルピンに対応した位置にターミナルピ
ンと同数のソケット部11を有する。ソケット部11が形成
された面10aと反対側の面10bにはソケット部11と対応し
て各端子12が形成されている。各端子12と各ソケット部
11はそれぞれ電気的に連結されている。ソケット部を構
成する導体が交換リングを貫通するようにして一体に形
成してもよい。又、各端子12はプローバ側のプローブカ
ード取付部のポゴピンと接触するための端子部でポゴピ
ンと対応した位置に配列している。[Embodiment] An embodiment of the probe card mounting structure of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), a probe card exchange ring (hereinafter abbreviated as exchange ring) 10 has a donut shape with an outer periphery that is substantially equal to the applied probe card, and has one surface. The same number of sockets 11 as the terminal pins are provided at the position corresponding to the terminal pins of the probe card on the 10a side. Each terminal 12 is formed corresponding to the socket portion 11 on the surface 10b opposite to the surface 10a on which the socket portion 11 is formed. Each terminal 12 and each socket part
Each 11 is electrically connected. The conductor forming the socket portion may be integrally formed so as to penetrate the exchange ring. Further, each terminal 12 is a terminal portion for contacting with the pogo pin of the probe card mounting portion on the prober side and is arranged at a position corresponding to the pogo pin.
このように構成される交換リング10はターミナルピンタ
イプのプローブカード２をポゴピンタイプのプローブカ
ード取付部３′を有するプローバ１′で適用する場合に
用いられる。The exchange ring 10 thus constructed is used when the terminal pin type probe card 2 is applied to the prober 1'having the pogo pin type probe card mounting portion 3 '.
すなわち、第２図に示すように交換リング10のソケット
部11にプローブカード２のターミナルピン21を係合させ
ることにより、交換リング10とプローブカード２を一体
化し、これをプローブカード自動交換機能付プローバ
１′にセットする。これにより、プローバ１′は交換リ
ング10と一体化されたプローブカード２をポゴピンタイ
プのプローブカードと同様の通常の操作プロセスにより
位置決め、搬送しポゴピンタイプのプローブカード取付
部３′に圧接係止することができる。That is, as shown in FIG. 2, by engaging the terminal pin 21 of the probe card 2 with the socket portion 11 of the exchange ring 10, the exchange ring 10 and the probe card 2 are integrated, and this is provided with a probe card automatic exchange function. Set it on the prober 1 '. As a result, the prober 1'positions and conveys the probe card 2 integrated with the exchange ring 10 by a normal operation process similar to that of the pogo pin type probe card and press-contacts and locks it with the pogo pin type probe card mounting portion 3 '. be able to.
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように本発明によれば多種の
プローブカードの交換を容易にし、自動位置決めされプ
ローブカードの自動交換が可能となる。[Effects of the Invention] As is apparent from the above description, according to the present invention, various probe cards can be easily replaced, and the probe cards that are automatically positioned can be automatically replaced.
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のプローブカー
ド取付方法の一実施例を説明するための交換リングの相
異なる方向からの斜視図、第２図は第１図の交換リング
にプローブカードを装着した説明図、第３図及び第４図
はそれぞれ従来のプローブカード及びプローブカードソ
ケットを説明する図である。 １′……プローブ装置 ２……ターミナルピンタイプのプローブカード ３′……ポゴピンタイプのプローブカード取付部 10……プローブカード交換リング 12、22……端子 11……ソケット部 21……ターミナルピン 32……ポゴピン1 (a) and 1 (b) are perspective views from different directions of a replacement ring for explaining one embodiment of the probe card mounting method of the present invention, and FIG. 2 shows the replacement ring of FIG. FIGS. 3 and 4 are diagrams for explaining a conventional probe card and a probe card socket, respectively, in which a probe card is mounted. 1 '... probe device 2 ... terminal pin type probe card 3' ... pogo pin type probe card mounting part 10 ... probe card replacement ring 12, 22 ... terminal 11 ... socket part 21 ... terminal pin 32 ...... Pogo pin
Claims (3)
合によって前記プローブカードを交換可能に固定するプ
ローブカード取付部とを備え、前記プローブカードと前
記プローブカード取付部との間の電気的接触を介して電
気的測定を行うプローバのプローブカード取付方法にお
いて、前記プローブカード取付部に係合する端子または
ポゴピンを有するプローブカードは前記プローブカード
取付部に直接取り付け、ピンまたはソケットを備えるプ
ローブカードにはプローブカード交換リングを設け、前
記プローブカード交換リングを前記プローブカード取付
部に前記ポゴピンと前記端子との係合により取り付ける
ことを特徴とするプローブカード取付方法。1. A probe card, and a probe card mounting portion for fixing the probe card in an exchangeable manner by engagement of pogo pins and terminals, wherein electrical contact between the probe card and the probe card mounting portion is established. In a probe card mounting method of a prober for performing electrical measurement through, a probe card having a terminal or a pogo pin that engages with the probe card mounting portion is directly mounted to the probe card mounting portion, and a probe card having pins or sockets A probe card mounting method, comprising providing a probe card replacement ring, and mounting the probe card replacement ring on the probe card mounting portion by engaging the pogo pin and the terminal.
けられた端子と、前記端子と対応した他面に設けられた
ソケットとが電気的に接続されていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のプローブカード取付方法。2. The probe card exchange ring according to claim 1, wherein a terminal provided on one surface and a socket provided on the other surface corresponding to the terminal are electrically connected. The probe card mounting method according to item 1.
ローブカード取付部とを備えたプローバの前記プローブ
カード取付部に前記プローブカードを取り付けるプロー
ブカード取付方法であって、ピンを備えたプローブカー
ドと前記プローブカード取付部間に、前記ピンに対応し
たソケットを一面に備え他面に前記ソケットと電気的に
接続され前記ポゴピンと係合する端子を備えたプローブ
カード交換リングを介在させることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のプローブカード取付方法。3. A probe card attaching method for attaching the probe card to the probe card attaching portion of a prober comprising a probe card and a probe card attaching portion provided with a pogo pin, the probe card having a pin and the probe card attaching method. A probe card exchange ring having a socket corresponding to the pin on one surface and a terminal electrically connected to the socket and engaging with the pogo pin on the other surface is interposed between the probe card attachment portions. The probe card mounting method according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62206036A JPH0744205B2 (en) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | Probe card mounting method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62206036A JPH0744205B2 (en) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | Probe card mounting method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448439A JPS6448439A (en) | 1989-02-22 |
| JPH0744205B2 true JPH0744205B2 (en) | 1995-05-15 |
Family
ID=16516836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62206036A Expired - Fee Related JPH0744205B2 (en) | 1987-08-18 | 1987-08-18 | Probe card mounting method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744205B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04276018A (en) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | Manufacture of door guard bar excellent in collapse resistant property |
| JPH0513046U (en) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | Semiconductor probe board inspection device |
| JP4185218B2 (en) * | 1999-04-02 | 2008-11-26 | 株式会社ヨコオ | Contact probe and method for manufacturing the same, probe device using the contact probe, and method for manufacturing the same |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192441U (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-20 | 富士通株式会社 | Integrated circuit testing equipment |
| JPS6265435A (en) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Fujitsu Ltd | Device for testing wafer |
| JPS6286739A (en) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | Nec Corp | Probe card |
-
1987
- 1987-08-18 JP JP62206036A patent/JPH0744205B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6448439A (en) | 1989-02-22 |
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