JPH0748573B2 - Piezoelectric element displacement amplification mechanism - Google Patents
Piezoelectric element displacement amplification mechanismInfo
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- JPH0748573B2 JPH0748573B2 JP63273620A JP27362088A JPH0748573B2 JP H0748573 B2 JPH0748573 B2 JP H0748573B2 JP 63273620 A JP63273620 A JP 63273620A JP 27362088 A JP27362088 A JP 27362088A JP H0748573 B2 JPH0748573 B2 JP H0748573B2
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- piezoelectric element
- lever arm
- displacement
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電素子を駆動源として変位増幅を行なう圧電
素子変位増幅機構に関する。The present invention relates to a piezoelectric element displacement amplification mechanism that performs displacement amplification using a piezoelectric element as a drive source.
従来、この種の圧電素子変位増幅機構は、第5図に示す
ように圧電素子13の両端が第2のヒンジ141,142によっ
てそれぞれレバーアーム151,152の一方の端部に接続さ
れ、レバーアーム151,152は支点を第1のヒンジ161,162
によって基板17に接続され、レバーアーム151,152の他
方の端部によって挟まれるように変位伝達手段としての
座屈ばね18が支持されていて、第2のヒンジ141とレバ
ーアーム151の接続部と第2のヒンジ142とレバーアーム
152の接続部の距離が第1のヒンジ161とレバーアーム15
1の接続部と第1のヒンジ162とレバーアーム152の接続
部の距離と同等になるように構成されていた。Conventionally, in this type of piezoelectric element displacement amplification mechanism, as shown in FIG. 5, both ends of the piezoelectric element 13 are connected to one end of the lever arms 15 1 and 15 2 by second hinges 14 1 and 14 2 , respectively. Then, the lever arms 15 1 and 15 2 use the fulcrum as the first hinge 16 1 and 16 2
The second hinge 14 1 and the lever arm 15 1 are supported by a buckling spring 18 serving as a displacement transmitting means so that the buckling spring 18 is connected to the base plate 17 by the other end of the lever arm 15 1 , 15 2 and is sandwiched by the other ends. Connection of 2nd hinge 14 2 and lever arm
The distance of the connection of 15 2 is the first hinge 16 1 and the lever arm 15
It was configured so as to be equal to the distance of the first hinge 16 2 and the lever arm 15 and second connecting portions 1 of the connection portion.
第3図は第5図の圧電素子変位増幅機構を梁要素で示し
たものである。FIG. 3 shows the piezoelectric element displacement amplification mechanism of FIG. 5 as a beam element.
レバーアーム151,152と第2のヒンジ141,142の接続部を
91,92、レバーアーム151,152と第1のヒンジ161,162の
接続部を101,102、そしてレバーアーム151,152と座屈ば
ね18の接続部を111,112とし、接続部91〜101〜111、92
〜102〜112をそれぞれ結んでつくる角度を121,122とす
ると、接続部91,92の間の距離と接続部101と102の間の
距離が等しくなっている。Connect the connection between the lever arm 15 1 , 15 2 and the second hinge 14 1 , 14 2
9 1 , 9 2 , connect the connection between the lever arms 15 1 and 15 2 and the first hinges 16 1 and 16 2 with 10 1 and 10 2 , and connect the connection between the lever arms 15 1 and 15 2 and the buckling spring 18. 11 1 , 11 2 and connection part 9 1 to 10 1 to 11 1 , 9 2
If the angles formed by connecting ~ 10 2 ~ 11 2 are 12 1 and 12 2 , respectively, the distance between the connecting portions 9 1 and 9 2 is equal to the distance between the connecting portions 10 1 and 10 2 .
この従来の圧電素子変位増幅機構として、接続部91と
92、接続部101と102の間の距離が13mm、レバーアーム15
1,152の長さが28mmで、150v(ボルト)の電圧を印加す
ると21kgfの力を発生する圧電素子を組み込んで製作し
たところ、座屈ばね18の中央で変位230μm、発生力250
gfの出力性能が得られ、エネルギ変換効率は34%にすぎ
なかった。As a conventional piezoelectric element displacement amplification mechanism, and the connecting portion 9 1
9 2 , distance between connections 10 1 and 10 2 is 13 mm, lever arm 15
The length of 1 , 15 2 is 28 mm, and when a piezoelectric element that generates a force of 21 kgf when a voltage of 150 v (volt) is applied is built in, the center of buckling spring 18 has a displacement of 230 μm and a generated force of 250
The output performance of gf was obtained, and the energy conversion efficiency was only 34%.
上述した従来の圧電素子変位増幅機構は、第2のヒンジ
141とレバーアーム151の接続部と第2のヒンジ142とレ
バーアーム152の接続部の距離が第1のヒンジ161とレバ
ーアーム151の接続部と第1のヒンジ162とレバーアーム
152の接続部の距離と同等になるような構成となってい
るので、圧電素子変位増幅機構を設計する際、前記のそ
れぞれの距離が制限されてしまってエネルギ変換効率の
良い最適設計を行なう時の支障になるという欠点があ
る。The above-described conventional piezoelectric element displacement amplification mechanism includes the second hinge.
The distance between the connecting portion of the lever 14 1 and the lever arm 15 1 and the connecting portion of the second hinge 14 2 and the lever arm 15 2 is the distance between the connecting portion of the first hinge 16 1 and the connecting portion of the lever arm 15 1 and the first hinge 16 2 . Lever arm
Since a 15 such that equal to the distance of the second connecting part configuration, when designing the piezoelectric element displacement amplification mechanism, perform energy conversion efficient optimal design each of the distance of the is too long and the limited It has the drawback of being a hindrance to time.
本発明の圧電素子変位増幅機構は、印加される電圧に応
じて収縮する圧電素子と、前記圧電素子の一端に第1の
ヒンジを介してその一端が接続された第1のレバーアー
ムと、前記圧電素子の他端に第2のヒンジを介してその
一端が接続された第2のレバーアームと、前記第1およ
び第2のレバーアームの間に設けられ、かつ前記第1の
レバーアームの一端の近傍に第3のヒンジを介して接続
され、さらに前記第2のレバーアームの一端の近傍に第
4のヒンジを介して接続される基板と、前記第1のレバ
ーアームの他端と前記第2のレバーアームの他端との間
に設けられた変位検出用の変位検出手段とを備え、前記
圧電素子の変位を前記第1および第2のヒンジを介して
前記第1および第2のレバーアームに伝達し、前記第3
および第4のヒンジを支点として前記変位を前記変位検
出手段に増幅して伝達する圧電素子変位増幅機構におい
て、前記第1のヒンジと第2のヒンジとの間の距離より
も、前記第3のヒンジと第4のヒンジとの間の距離が短
く構成されていることを特徴とする。A piezoelectric element displacement amplification mechanism of the present invention includes a piezoelectric element that contracts according to an applied voltage, a first lever arm having one end connected to one end of the piezoelectric element via a first hinge, and A second lever arm, one end of which is connected to the other end of the piezoelectric element via a second hinge, and one end of the first lever arm, which is provided between the first and second lever arms. A substrate connected to the vicinity of the second lever arm via a third hinge, and further connected to a vicinity of one end of the second lever arm via a fourth hinge, and the other end of the first lever arm to the first lever arm. And a second displacement detecting means for detecting a displacement provided between the second lever arm and the other end of the lever arm, and the displacement of the piezoelectric element is transmitted through the first and second hinges to the first and second levers. It is transmitted to the arm, and the third
And a piezoelectric element displacement amplification mechanism that amplifies and transmits the displacement to the displacement detection means with a fourth hinge as a fulcrum, in the third element rather than the distance between the first hinge and the second hinge. It is characterized in that the distance between the hinge and the fourth hinge is short.
圧電素子の変位をレバーアームに伝える第2のヒンジと
基板とレバーアームを接続してテコの支点の役割をする
第1のヒンジの間隔が広がって、支点を中心にレバーア
ームが回転しやすくなること、支点になる第1のヒンジ
が伸びて支点が移動することがなくなること、そして支
点付近のレバーアームの幅が広くなって剛性が大きくな
り、レバーアームでのエネルギーロスが減少することに
より、エネルギ変換効率が大幅に向上する。The distance between the second hinge that transmits the displacement of the piezoelectric element to the lever arm and the first hinge that functions as a lever fulcrum by connecting the substrate and the lever arm is widened, and the lever arm easily rotates around the fulcrum. That is, the first hinge, which is a fulcrum, does not move and the fulcrum does not move, and the width of the lever arm near the fulcrum becomes wider to increase rigidity, and energy loss in the lever arm decreases. The energy conversion efficiency is greatly improved.
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明の圧電素子変位増幅機構の第1の実施例
を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a first embodiment of the piezoelectric element displacement amplification mechanism of the present invention.
一対のレバーアーム11,12が第1のヒンジ21,22を介して
基板3の対向する側面に固着され、さらにこのレバーア
ーム11,12には圧電素子4の両端面が第2のヒンジ51,52
を介して固着されている。レバーアーム11,12の他端に
は、わずかに湾曲した座屈ばね6が支持されている。こ
れらのレバーアーム11,12、第1のヒンジ21,22、第2の
ヒンジ51,52、基板3は、42Ni−Fe合金材をプレス打ち
抜き法、ワイヤーカット法で製作し、座屈ばね6はステ
ンレスのばね薄板を加工して製作した。また、圧電素子
4は、第2のヒンジ51,52と熱硬化性樹脂で接続され、
レバーアーム11,12と座屈ばね6はアルミリベットを用
いたカシメで接続されている。A pair of lever arms 1 1 and 1 2 are fixed to opposite side surfaces of the substrate 3 via first hinges 2 1 and 2 2 , and further, both end surfaces of the piezoelectric element 4 are attached to the lever arms 1 1 and 1 2. Second hinge 5 1 , 5 2
It is fixed through. The other end of the lever arm 1 1, 1 2, buckling spring 6 which is slightly curved is supported. The lever arms 1 1 , 1 2 , the first hinges 2 1 , 2 2 , the second hinges 5 1 , 5 2 , and the substrate 3 are made of 42Ni-Fe alloy material by press punching and wire cutting. The buckling spring 6 was manufactured by processing a stainless steel thin plate. The piezoelectric element 4 is connected to the second hinges 5 1 and 5 2 with a thermosetting resin,
The lever arm 1 1, 1 2 and buckling spring 6 are connected by crimping with aluminum rivets.
この圧電素子4に電圧を印加することにより、圧電素子
4の変位7は第2のヒンジ51,52を介して各レバーアー
ム11,12に伝えられ、第1のヒンジ21,22を支点としてテ
コの原理でレバーアーム11,12の他端で変位が拡大され
る。さらに、レバーアーム11,12に挟まれた座屈ばね6
の両端にはその軸方向に変位が伝えられ、座屈ばね6は
座屈によって両端に伝えられた変位に対し直角方向に変
形し、座屈ばね6の中央部に最大変位8を生ずる。その
後、印加電圧を零ボルトに戻すと圧電素子1の歪は原点
に復帰し、これに従って座屈ばね6の変位も復帰する。By applying a voltage to the piezoelectric element 4, the displacement 7 of the piezoelectric element 4 is transmitted to the lever arms 1 1 , 1 2 via the second hinges 5 1 , 5 2 , and the first hinge 2 1 , The displacement is magnified at the other ends of the lever arms 1 1 and 1 2 on the principle of leverage with 2 2 as a fulcrum. Further, the buckling spring 6 sandwiched between the lever arms 1 1 and 1 2
A displacement is transmitted to both ends of the buckling spring 6, and the buckling spring 6 is deformed in a direction perpendicular to the displacement transmitted to the both ends by buckling, and a maximum displacement 8 is generated in the central portion of the buckling spring 6. Then, when the applied voltage is returned to zero volt, the strain of the piezoelectric element 1 returns to the origin, and the displacement of the buckling spring 6 also returns accordingly.
第2図は、第1図の圧電素子変位増幅機構を梁要素で示
したものである。FIG. 2 shows the piezoelectric element displacement amplification mechanism of FIG. 1 as a beam element.
レバーアーム11,12と第2のヒンジ51,52の接続部を91,9
2、レバーアーム11,12と第1のヒンジ21,22の接続部を1
01,102、そしてレバーアーム11,12と座屈ばね6の接続
部を111,112とし、接続部91〜101〜111、92〜102〜112
とそれぞれ結んでつくる角度を121,122とする。そこ
で、第2図のように接続部101と102の間の距離を変更し
てエネルギ変換効率が良くなるように圧電素子変位増幅
機構の設計を見直したところ、エネルギ変換効率が良く
なるのは第2図のようにした時で、接続部91と92の間の
距離が13mm、接続部101と102の間の距離が11mmで角度12
1,122は120゜(度)であった。Connect the connecting parts of the lever arms 1 1 and 1 2 and the second hinges 5 1 and 5 2 to 9 1 and 9
2 , connect the lever arm 1 1 , 1 2 and the first hinge 2 1 , 2 2 to 1
0 1 , 10 2 and the connecting portions of the lever arms 1 1 , 1 2 and the buckling spring 6 are 11 1 , 11 2 , and the connecting portions 9 1 〜 10 1 〜 11 1 , 9 2 〜 10 2 〜 11 2
The angles formed by tying with and are 12 1 and 12 2 , respectively. Therefore, as shown in FIG. 2 , when the distance between the connecting portions 10 1 and 10 2 is changed and the design of the piezoelectric element displacement amplification mechanism is reviewed so that the energy conversion efficiency is improved, the energy conversion efficiency is improved. Is as shown in Fig. 2 , the distance between the connecting parts 9 1 and 9 2 is 13 mm, the distance between the connecting parts 10 1 and 10 2 is 11 mm, and the angle 12
1, 12 2 was 120 ° (degrees).
第1図の圧電素子変位増幅機構にも前記の150v(ボル
ト)の電圧を印加すると21kgfの力を発生する圧電素子
を組み込んで製作したところ、座屈ばね6の中央で変位
320μm、発生力260gfの出力性能が得られ、エネルギ変
換効率は51%になり、従来例の34%に比べて17%向上し
た。圧電素子4の変位7をレバーアーム11,12に伝える
第2のヒンジ51,52と、基板3とレバーアーム11,12を接
続してテコの支点の役割りをする第1のヒンジ21,22の
間隔が広がって、支点を中心にレバーアーム11,12が回
転しやすくなった。また、従来の圧電素子変位増幅機構
のような圧電素子が変位すると支点になる第1のヒンジ
21,22が伸びてしまって支点が移動してしまうというこ
とが無くなった。そして支点付近のレバーアーム11,12
の幅が広くなって剛性が大きくなり、レバーアーム11,1
2でのエネルギーロスが減少した。以上のことがエネル
ギ変換効率を大幅に向上させた。The piezoelectric element displacement amplifying mechanism shown in FIG. 1 was also incorporated with a piezoelectric element that generates a force of 21 kgf when the above-mentioned voltage of 150 v (volt) is applied.
An output performance of 320 μm and a generated force of 260 gf was obtained, and the energy conversion efficiency was 51%, an improvement of 17% compared to 34% of the conventional example. The the second hinge 5 1, 5 2 convey the displacement 7 of the piezoelectric element 4 to the lever arm 1 1, 1 2, the substrate 3 and the lever arm 1 1, 1 2 by connecting role of the fulcrum of the lever The distance between the hinges 1 1 and 2 2 of No. 1 is widened, and the lever arms 1 1 and 1 2 can easily rotate around the fulcrum. In addition, a first hinge that serves as a fulcrum when a piezoelectric element is displaced, such as a conventional piezoelectric element displacement amplification mechanism.
It is no longer possible for the fulcrum to move due to the expansion of 2 1 , 2 2 . And the lever arms 1 1 , 1 2 near the fulcrum
The width of the arm becomes wider and the rigidity increases, and the lever arm 1 1 , 1
Energy loss at 2 decreased. The above has greatly improved the energy conversion efficiency.
第4図は本発明の第2の実施例の正面図である。FIG. 4 is a front view of the second embodiment of the present invention.
本実施例は、座屈ばね6の向きを90゜(度)変えてレバ
ーアーム11,12にアルミリベットで接続してあり、座屈
ばね6の動く方向が第1の実施例と変わった以外、他の
動作機構は同じである。This embodiment, Yes connected to the lever arm 1 1, 1 2 the direction of the buckling spring 6 is changed by 90 ° (degrees) with aluminum rivets, the direction of movement of the buckling spring 6 and the first embodiment changes Other than that, the other operating mechanism is the same.
第2の実施例においても第1の実施例と同様にエネルギ
変換効率は50%になった。In the second embodiment, as in the first embodiment, the energy conversion efficiency is 50%.
以上説明したように本発明は、レバーアームと圧電素子
を接続する第2のヒンジのレバーアーム側の接続部間の
距離よりも、前記レバーアームと基板を接続する第1の
ヒンジのレバーアーム側の接続部間の距離の方を短かく
することにより、エネルギ変換効率を約50%にできる効
果がある。As described above, according to the present invention, the lever arm side of the first hinge connecting the lever arm and the substrate is more than the distance between the lever arm side connecting portions of the second hinge connecting the lever arm and the piezoelectric element. There is an effect that the energy conversion efficiency can be increased to about 50% by making the distance between the connection parts of the two shorter.
第1図は本発明の圧電素子変位増幅機構の第1の実施例
の正面図、第2図は第1の実施例の圧電素子変位増幅機
構を梁要素で表したモデル図、第3図は第5図の従来の
圧電素子変位増幅機構を梁要素で表したモデル図、第4
図は本発明の第2の実施例の正面図、第5図は従来の圧
電素子変位増幅機構の正面図である。 12,12,151,152……レバーアーム、 21,22,161,162……第1のヒンジ、 51,52,141,142……第2のヒンジ、 3,17……基板、 4,13……圧電素子、 6,18……座屈ばね、 7……圧電素子4の変位、 8……座屈ばね6の変位、 91,92……第2のヒンジとレバーアームの接続部、 101,102……第1のヒンジとレバーアームの接続部、 111,112……レバーアームと座屈ばねの接続部 121,122……接続部9,10,11がつくる角度。FIG. 1 is a front view of a first embodiment of the piezoelectric element displacement amplification mechanism of the present invention, FIG. 2 is a model diagram showing the piezoelectric element displacement amplification mechanism of the first embodiment with beam elements, and FIG. FIG. 4 is a model diagram showing the conventional piezoelectric element displacement amplification mechanism of FIG. 5 with beam elements.
FIG. 5 is a front view of a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a front view of a conventional piezoelectric element displacement amplification mechanism. 1 2 , 1 2 , 15 1 , 15 2 …… Lever arm, 2 1 , 2 2 , 16 1 , 16 2 …… First hinge, 5 1 , 5 2 , 14 1 , 14 2 …… Second Hinge, 3,17 ... Substrate, 4,13 ... Piezoelectric element, 6,18 ... Buckling spring, 7 ... Piezoelectric element 4 displacement, 8 ... Buckling spring 6 displacement, 9 1 , 9 2 ...... Second hinge and lever arm connection, 10 1 , 10 2 ...... First hinge and lever arm connection, 11 1 , 11 2 ...... Lever arm and buckling spring connection 12 1 , 12 2 …… Angle formed by the connecting parts 9,10,11.
Claims (1)
と、前記圧電素子の一端に第1のヒンジを介してその一
端が接続された第1のレバーアームと、前記圧電素子の
他端に第2のヒンジを介してその一端が接続された第2
のレバーアームと、前記第1および第2のレバーアーム
の間に設けられ、かつ前記第1のレバーアームの一端の
近傍に第3のヒンジを介して接続され、さらに前記第2
のレバーアームの一端の近傍に第4のヒンジを介して接
続される基板と、前記第1のレバーアームの他端と前記
第2のレバーアームの他端との間に設けられた変位検出
用の変位検出手段とを備え、前記圧電素子の変位を前記
第1および第2のヒンジを介して前記第1および第2の
レバーアームに伝達し、前記第3および第4のヒンジを
支点として前記変位を前記変位検出手段に増幅して伝達
する圧電素子変位増幅機構において、前記第1のヒンジ
と第2のヒンジとの間の距離よりも、前記第3のヒンジ
と第4のヒンジとの間の距離が短く構成されていること
を特徴とする圧電素子変位増幅機構。1. A piezoelectric element that contracts in response to an applied voltage, a first lever arm whose one end is connected to one end of the piezoelectric element via a first hinge, and the other end of the piezoelectric element. A second end of which one end is connected to the second hinge via a second hinge.
Between the first lever arm and the first and second lever arms, and is connected to one end of the first lever arm near a third hinge via a third hinge.
For detecting displacement provided between a substrate connected to one end of the lever arm via a fourth hinge, and the other end of the first lever arm and the other end of the second lever arm. Displacement detecting means for transmitting the displacement of the piezoelectric element to the first and second lever arms via the first and second hinges, and using the third and fourth hinges as a fulcrum. In a piezoelectric element displacement amplification mechanism that amplifies and transmits a displacement to the displacement detection means, the distance between the third hinge and the fourth hinge is greater than the distance between the first hinge and the second hinge. A piezoelectric element displacement amplification mechanism characterized in that the distance between the two is short.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273620A JPH0748573B2 (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Piezoelectric element displacement amplification mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP63273620A JPH0748573B2 (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Piezoelectric element displacement amplification mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02119277A JPH02119277A (en) | 1990-05-07 |
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Family
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Family Applications (1)
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| JP63273620A Expired - Lifetime JPH0748573B2 (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Piezoelectric element displacement amplification mechanism |
Country Status (1)
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Families Citing this family (4)
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1988
- 1988-10-28 JP JP63273620A patent/JPH0748573B2/en not_active Expired - Lifetime
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