JPH0749958B2 - Surface shape measuring device - Google Patents
Surface shape measuring deviceInfo
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- JPH0749958B2 JPH0749958B2 JP8124489A JP8124489A JPH0749958B2 JP H0749958 B2 JPH0749958 B2 JP H0749958B2 JP 8124489 A JP8124489 A JP 8124489A JP 8124489 A JP8124489 A JP 8124489A JP H0749958 B2 JPH0749958 B2 JP H0749958B2
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、面の形状測定装置に係わり、特に、建築物の
構造材であるパネルの接合面に好適に用いられる形状測
定装置に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface shape measuring apparatus, and more particularly to a shape measuring apparatus preferably used for a joint surface of a panel which is a structural material of a building. is there.
[従来の技術] 一般に、建築物の構造材として用いられているパネル
は、その端面どうしを突き合わせて、これらを接着等に
より相互に接合することが行われている。[Prior Art] In general, a panel used as a structural material of a building has its end faces abutted with each other and bonded to each other by adhesion or the like.
ところで、このようなパネルの接合において、均一でか
つ強固な接合強度を得るには、接合されるパネル間を隙
間なく突き合わせるか、あるいは、前記隙間を均一に
し、かつ、極力狭めることが望まれ、これを達成するた
めには、前記パネルの接合面の真直度をある範囲内に保
持することが必要となる。By the way, in order to obtain a uniform and strong joining strength in joining such panels, it is desired that the joined panels are abutted with each other without a gap or the gap is made uniform and narrowed as much as possible. In order to achieve this, it is necessary to maintain the straightness of the joint surface of the panel within a certain range.
そこで従来では、基準となるスケールをパネルの接合面
に当接させておき、これらのスケールとパネルとの間に
隙間ゲージを挿入することによって前記接合面の真直度
を測定し、この測定結果に基づきパネルの接合性の良否
を判断することが行われている。Therefore, in the past, the standard scale was brought into contact with the joint surface of the panel, and the straightness of the joint surface was measured by inserting a gap gauge between the scale and the panel, and the measurement result was measured. Based on this, it is carried out to judge whether the bondability of the panel is good or bad.
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、前述した従来の技術においては、次のよ
うな不具合を有している。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-described conventional technique has the following problems.
すなわち、接合面の真直度を測定するためには、スケー
ルと接合面との間の隙間ゲージを挿入しなければならな
いが、正確な隙間測定を行おうとすると、複数の隙間ゲ
ージを順次差し替えなければならず、作業が煩雑なもの
となる。That is, in order to measure the straightness of the joint surface, a gap gauge between the scale and the joint surface must be inserted, but when attempting to measure the gap accurately, a plurality of gap gauges must be sequentially replaced. However, the work becomes complicated.
また、一枚の隙間ゲージによって測定し得る範囲は、約
10数mmがせいぜいであり、2000mmにもよぶパネルの接合
面の測定に適用すると、その作業性が一層煩雑なものと
なる。Also, the range that can be measured with one gap gauge is about
The workability becomes even more complicated when applied to the measurement of the bonding surface of the panel, which is at most 10 mm and is 2000 mm.
さらに、接合面の拡大とともに、スケールも長尺化し、
これに伴ってスケールが撓み易くなり、この結果、測定
精度の低下を招いてしまう。Furthermore, as the joint surface expands, the scale also becomes longer,
Along with this, the scale easily bends, resulting in a decrease in measurement accuracy.
一方、前述のパネルのように相互に突き合わせて接合す
る場合、接合面の長さが異なると、接合面の端部におい
て断差が生じてしまうことから、その長さも均一にして
おく必要があり、そのための測長を行わなければならな
いが、この作業を前記接合面の真直度の測定操作と独立
して行わなければならない。On the other hand, in the case of joining together by abutting against each other like the above-mentioned panel, if the lengths of the joint surfaces are different, a gap will occur at the end of the joint surface, so it is necessary to make the lengths uniform as well. The length measurement for that purpose must be performed, but this work must be performed independently of the operation of measuring the straightness of the joint surface.
したがって、従来においてはこれらの不具合への対処が
望まれており、本発明は、このような従来の技術におい
て残されている課題を解決せんとするものである。Therefore, conventionally, it has been desired to deal with these problems, and the present invention is to solve the problems remaining in such conventional techniques.
[課題を解決するための手段] 本発明は、前述した課題を有効に解決し得る面の形状測
定装置を提供せんとするもので、この形状測定装置は、
特に、測定物の被検査面と交差する面に被検査面と平行
に載置されるガイドレールと、このガイドレールに平行
に張設された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長
さ方向に沿って移動可能に装着された走行基台と、この
走行基台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させら
れた凹凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設
けられ、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向にお
ける相対移動を検出する補正センサ、および、前記被検
査面の端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガ
イドレールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす
駆動機構と、前記走行基台の移動量を検出する距離セン
サとを備えていることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] The present invention is intended to provide a surface shape measuring apparatus that can effectively solve the above-mentioned problems.
In particular, a guide rail placed parallel to the surface to be inspected on a surface intersecting the surface to be inspected of the object to be measured, a reference wire stretched in parallel to the guide rail, and the guide rail in the longitudinal direction thereof. A traveling base mounted so as to be movable along the traveling base, the unevenness sensor provided integrally with the traveling base, facing the surface to be inspected, and provided at a position facing the reference wire. A correction sensor that detects relative movement in a direction orthogonal to the surface to be inspected, an end sensor that detects an end of the surface to be inspected, and a traveling sensor are provided between the traveling base and the guide rail. A drive mechanism for moving the base and a distance sensor for detecting the amount of movement of the traveling base are provided.
[作用] 本発明に係わる面の形状測定装置は、ガイドレールを測
定物の被検査面と平行に設置したのちに、走行基台を駆
動機構によってガイドレールに沿って移動させながら、
凹凸センサによって走行基台と被検査面との距離を測定
し、その変化量に基づき被検査面の凹凸を測定する。[Operation] In the surface shape measuring device according to the present invention, after the guide rail is installed in parallel with the surface to be inspected of the object to be measured, the traveling base is moved along the guide rail by the drive mechanism,
The unevenness sensor measures the distance between the traveling base and the surface to be inspected, and the unevenness of the surface to be inspected is measured based on the amount of change.
また、補正センサにより、走行基台と基準ワイヤとの相
対移動が測定されて、この相対移動に伴う前記凹凸セン
サにおける距離の測定誤差が補正される。Further, the correction sensor measures the relative movement between the traveling base and the reference wire, and corrects the distance measurement error in the unevenness sensor due to the relative movement.
さらに、端部センサにより被検査面の各端部を検出し、
その領域において距離センサにより走行基台の移動量を
検出することにより、被検査面の長さを測定する。Furthermore, the edge sensor detects each edge of the surface to be inspected,
The length of the surface to be inspected is measured by detecting the amount of movement of the traveling base by the distance sensor in that area.
[実施例] 以下、本発明の一実施例を、第1図ないし第3図に基づ
き説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3.
図面中、符号1は本実施例に係わる面の形状測定装置を
示し、この形状測定装置1は、測定物Wの被検査面Fと
交差する面(以下載置面と称す)Sに前記被検査面Fと
平行に載置されるガイドレール2と、このガイドレール
2に平行に張設された基準ワイヤ3と、前記ガイドレー
ル2にその長さ方向に沿って移動可能に装着された走行
基台4と、この走行基台4に一体に設けられ、前記被検
査面Fへ対向させられた凹凸センサ5、基準ワイヤ3に
対向させられた位置に設けられ、基準ワイヤ3の前記被
検査面Fと直交する方向における相対移動を検出する補
正センサ6、および、前記被検査面Fの端部を検出する
端部センサ7と、前記走行基台4とガイドレール2との
間に設けられて、走行基台4の移動をなす駆動機構(図
示略)と、この駆動機構に併設されて前記走行基台4の
移動量を検出する距離センサ9とを備えた概略構成とな
っている。In the drawings, reference numeral 1 indicates a surface shape measuring apparatus according to the present embodiment, and the shape measuring apparatus 1 is mounted on a surface (hereinafter referred to as a mounting surface) S of an object W which intersects a surface F to be inspected. A guide rail 2 placed parallel to the inspection surface F, a reference wire 3 stretched in parallel to the guide rail 2, and a travel attached to the guide rail 2 so as to be movable along the length direction thereof. The base 4 and the unevenness sensor 5 provided integrally with the traveling base 4 and facing the surface F to be inspected, and the reference wire 3 are provided so as to face the reference wire 3. A correction sensor 6 for detecting relative movement in a direction orthogonal to the surface F, an end sensor 7 for detecting an end of the surface F to be inspected, and the traveling base 4 and the guide rail 2 are provided. Drive mechanism (not shown) for moving the traveling base 4, and It has a schematic configuration comprising a distance sensor 9 which is parallel in mechanism for detecting the movement amount of the travel base 4.
前記ガイドレール2は、長尺な平板状に形成され、その
下面(第2図および第3図において下方を下とし、上方
を上とする)には、前記載置面S上に当接させられる支
持脚10が、長さ方向に間隔をおいて複数垂設されてい
る。The guide rail 2 is formed in the shape of a long flat plate, and its lower surface (the lower side is the lower side and the upper side is the upper side in FIGS. 2 and 3) is brought into contact with the mounting surface S. A plurality of supported legs 10 are vertically provided at intervals in the length direction.
また、ガイドレール2の両端部には、ステー11が上方へ
向かって突設され、これらのステー11間に、前記基準ワ
イヤ3が張設されている。Further, stays 11 project upward from both ends of the guide rail 2, and the reference wire 3 is stretched between the stays 11.
この基準ワイヤ3の一端部は、一方のステー11に係止具
12を介して係止され、また、他端部は、他方のステー11
に張力調整機構13を介して係止されている。One end of this reference wire 3 is attached to one stay 11 by a fastener.
12 and the other end is connected to the other stay 11.
It is locked via the tension adjusting mechanism 13.
この張力調整機構13は、他方のステー11に回動可能にか
つ軸方向に移動可能に装着された調整ノブ14と、この調
整ノブ14と基準ワイヤ3の他端部との間に介装されたテ
ンションスプリング(図示略)とによって構成され、前
記調整ノブ14を回転操作することにより、前記テンショ
ンスプリングを伸ばして基準ワイヤ3に所定の張力を与
え、これによって、基準ワイヤ3を直線状態に保持する
ようになっている。The tension adjusting mechanism 13 is interposed between the adjusting knob 14 rotatably and axially movable on the other stay 11, and between the adjusting knob 14 and the other end of the reference wire 3. And a tension spring (not shown). By rotating the adjustment knob 14, the tension spring is extended to give a predetermined tension to the reference wire 3, thereby keeping the reference wire 3 in a straight line state. It is supposed to do.
このガイドレール2に装着される走行基台4は、ガイド
レール2と略平行に配設された基部4aと、この基部4aか
ら被検査面Fと対向する位置まで垂設された測定部4bと
によって構成されており、前記基部4aの下面には、第2
図に示すように、ガイドレール2の上面上を転動させら
れる複数の車輪15と、ガイドレール2の長さ方向の両側
縁部に転動自在に係合させられた複数のガイドローラ16
とが設けられ、上面には前記補正センサ6が装着されて
いる。The traveling base 4 mounted on the guide rail 2 includes a base portion 4a arranged substantially parallel to the guide rail 2 and a measuring portion 4b vertically extending from the base portion 4a to a position facing the surface F to be inspected. The bottom surface of the base portion 4a has a second
As shown in the figure, a plurality of wheels 15 that roll on the upper surface of the guide rail 2 and a plurality of guide rollers 16 that are rollably engaged with both side edges of the guide rail 2 in the longitudinal direction.
And the correction sensor 6 is mounted on the upper surface.
前記凹凸センサ5は、本実施例においては、レーザ光を
用いたセンサが用いられ、レーザ光を被検査面Fに照射
して反射面の距離によって異なる反射光の角度を測定す
ることにより、凹凸センサ5と被検査面Fとの距離L2が
計測されるようになっている。In the present embodiment, a sensor using laser light is used as the unevenness sensor 5, and the unevenness is obtained by irradiating the surface F to be inspected with laser light and measuring the angle of the reflected light that varies depending on the distance of the reflecting surface. A distance L2 between the sensor 5 and the surface F to be inspected is measured.
また、前記補正センサ6は、ラインセンサが用いられ、
前記基準ワイヤ3と直交する方向に沿って配設された多
数の受光器17と、これらの受光器17へ向けて平行光線を
照射する投光器18とによって構成されており、これらの
投光器18と受光器17との間に前記基準ワイヤ3が非接触
状態で挿通されている。A line sensor is used as the correction sensor 6,
It is composed of a large number of light receivers 17 arranged along the direction orthogonal to the reference wire 3 and a light projector 18 for irradiating these light receivers 17 with parallel light rays. The reference wire 3 is inserted in a non-contact state with the container 17.
そして、この補正センサ6は、投光器18からの照射光が
基準ワイヤ3によって遮られた受光器17の位置によっ
て、前記基準ワイヤ3と補正センサ6の基準位置との距
離L3が計測されるようになっている。The correction sensor 6 measures the distance L3 between the reference wire 3 and the reference position of the correction sensor 6 by the position of the light receiver 17 where the irradiation light from the projector 18 is blocked by the reference wire 3. Has become.
そして、この平行光線と前記凹凸センサ5から照射され
るレーザ光とが、同一面上において照射されるように、
前記両センサ5・6の位置およびそれぞれの照射方向が
設定されている。Then, the parallel light and the laser light emitted from the unevenness sensor 5 are emitted on the same plane,
The positions of both the sensors 5 and 6 and their respective irradiation directions are set.
前記端部センサ7は、本実施例においては、前記走行基
台4の基部4aの下面に設けられた投光器19と、前記測定
部4bの、前記凹凸センサ5の下方に設けられた受光器20
とによって構成されており、これらの投光器19および受
光器20は、前記投光器19によって照射される光線が、前
記測定物Wの被検査面Fと載置面Sとによって形成され
る角部によって遮蔽されるような位置関係のもとに設置
されている。In the present embodiment, the end sensor 7 includes a light projector 19 provided on the lower surface of the base 4a of the traveling base 4 and a light receiver 20 provided below the unevenness sensor 5 of the measuring unit 4b.
In the projector 19 and the light receiver 20, the light rays emitted by the projector 19 are shielded by the corners formed by the surface F to be inspected and the mounting surface S of the measurement object W. It is installed under the following positional relationship.
そして、この端部センサ7は、走行基台4の移動に伴
い、前記測定物Wの角部によって投光器19と受光器20と
の間の光の授受が遮断させられた時点で、前記被検査面
Fの一端部を検出するとともに、測定開始位置信号を出
力し、また、再度前記光の授受が行われた時点で、被検
査面Fの他端部を検出するとともに、測定終了位置信号
を出力するようになっている。Then, the end sensor 7 is inspected at the time when the transmission and reception of light between the light projector 19 and the light receiver 20 is blocked by the corner portion of the measured object W as the traveling base 4 moves. One end of the surface F is detected, a measurement start position signal is output, and when the light is exchanged again, the other end of the surface F to be inspected is detected and a measurement end position signal is output. It is designed to output.
前記距離センサ9は、前記ガイドレール2の下面に平行
に、かつ、ほぼ全長に亙って取り付けられたラック21
と、前記走行基台4の基部4aに取り付けられたエンコー
ダ22と、このエンコーダ22の回転軸23に一体に取り付け
られ、前記ラック21へ噛合させられるピニオン24とによ
って構成されており、走行基台4の走行に伴ってピニオ
ン24が回転させられるとともに、このピニオン24の回転
量がエンコーダ22において電気信号に変換されて出力さ
れる。The distance sensor 9 is mounted on the rack 21 parallel to the lower surface of the guide rail 2 and over almost the entire length.
And the encoder 22 attached to the base 4a of the traveling base 4, and the pinion 24 integrally attached to the rotary shaft 23 of the encoder 22 and meshed with the rack 21. The pinion 24 is rotated as the vehicle travels 4, and the rotation amount of the pinion 24 is converted into an electric signal by the encoder 22 and output.
そして、このエンコーダ22からの出力信号に基づき、前
記走行基台4の移動量が検出されるようになっている。Then, based on the output signal from the encoder 22, the moving amount of the traveling base 4 is detected.
一方、前記駆動機構は、前述のように図示を省略した
が、その具体例としては、前記走行基台4の基部4aに電
動モータを装着しておき、この電動モータによって前記
ピニオン24を回転させることが考えられる。On the other hand, although the drive mechanism is not shown as described above, as a specific example thereof, an electric motor is mounted on the base portion 4a of the traveling base 4, and the pinion 24 is rotated by the electric motor. It is possible.
また、前記各センサ5・6・7・9からの出力信号は形
状測定装置1と別途設けられたコントロールユニットへ
電気的に接続されて、それぞれにおける測定結果がコン
トロールユニットへ入力されるようになっている。Further, the output signals from the respective sensors 5, 6, 7, 9 are electrically connected to the shape measuring apparatus 1 and a control unit separately provided, and the measurement results of each are input to the control unit. ing.
次いで、このように構成された本実施例の形状測定装置
1の作用について説明する。Next, the operation of the shape measuring apparatus 1 of the present embodiment configured as described above will be described.
まず、測定物Wの載置面S上に支持脚10を載置して、ガ
イドレール2を被検査面Fと平行に配置するとともに、
走行基台4をガイドレール2の一端部に移動させ、さら
に、基準ワイヤ3に張力調整機構13によって所定の張力
を与えておく。First, the support leg 10 is placed on the placement surface S of the object to be measured W, the guide rail 2 is arranged in parallel with the surface F to be inspected, and
The traveling base 4 is moved to one end of the guide rail 2 and a predetermined tension is applied to the reference wire 3 by the tension adjusting mechanism 13.
この状態において、基準ワイヤ3は前記被検査面Fに対
して略平行に保持され、かつ、端部センサ7が被検査面
Fの一端部から外方側へずれて位置させられている。In this state, the reference wire 3 is held substantially parallel to the surface F to be inspected, and the end sensor 7 is positioned so as to be displaced outward from one end of the surface F to be inspected.
これより、各センサ5・6・7・9を起動するととも
に、走行基台4をガイドレール2に沿って他端部へ向け
て移動させる。As a result, the sensors 5, 6, 7 and 9 are activated, and the traveling base 4 is moved along the guide rail 2 toward the other end.
そして、前記凹凸センサ5が被検査面Fの端部へ対向さ
せられる位置まで走行基台4が移動させられた時点で、
測定操作が開始される。Then, at the time when the traveling base 4 is moved to a position where the unevenness sensor 5 faces the end of the surface F to be inspected,
The measurement operation is started.
すなわち、走行基台4が前記位置まで移動させられる
と、端部センサ7の投光器19と受光器20との間が測定物
Wによって遮られることにより、被検査面Fの端部が検
出され、その検出信号がコントロールユニットに出力さ
れ、この信号に基づき凹凸センサ5、補正センサ6、お
よび、距離センサ9における測定が開始される。That is, when the traveling base 4 is moved to the above position, the gap between the light emitter 19 and the light receiver 20 of the end sensor 7 is blocked by the measurement object W, and the end portion of the surface F to be inspected is detected. The detection signal is output to the control unit, and the unevenness sensor 5, the correction sensor 6, and the distance sensor 9 start measurement based on this signal.
ここで、前記凹凸センサ5においては、被検査面Fへ照
射するレーザ光の反射面の距離によって異なる反射光の
角度により、被検査面Fの端部と凹凸センサ5との距離
L2が測定され、補正センサ6においては、その基準点と
基準ワイヤ3との距離L3が測定され、さらに、距離セン
サ9においては、距離測定の基準位置が検出される。Here, in the concave-convex sensor 5, the distance between the end portion of the surface F to be inspected and the concave-convex sensor 5 is determined by the angle of the reflected light that varies depending on the distance of the reflecting surface of the laser light applied to the surface F to be inspected.
L2 is measured, the correction sensor 6 measures the distance L3 between the reference point and the reference wire 3, and the distance sensor 9 detects the reference position for distance measurement.
次いで、この測定操作を走行基台5をガイドレール4に
沿って移動させつつ連続的に行うことにより、前記距離
L2・L3が被検査面Fの全長に亙って測定され、この測定
操作は、走行基台4が被検査面Fの他端部まで移動させ
られて、測定物Wによる端部センサ7の遮断が解除され
た時点で停止させられる。Then, this measurement operation is continuously performed while moving the traveling base 5 along the guide rails 4 to obtain the distance
L2 and L3 are measured over the entire length of the surface F to be inspected, and this measurement operation is performed by moving the traveling base 4 to the other end of the surface F to be inspected and then measuring the end sensor 7 by the object W. It is stopped when the interruption is released.
このような測定操作により、被検査面Fの全長に亙っ
て、その凹凸状態すなわち真直度が測定され、かつ、被
検査面Fの長さが測定される。By such a measuring operation, the unevenness state, that is, the straightness is measured over the entire length of the surface F to be inspected, and the length of the surface F to be inspected is measured.
詳述すれば、走行基台4の移動により、凹凸センサ5と
被検査面Fとの距離L2が連続して測定されているから、
被検査面Fに例えば凸部が存在すると、前記距離L2が減
少した形で測定され、また、凹部が存在すると、前記距
離L2が増加した形で測定され、これらの相対的な変化に
より、凹凸形状およびその大きさが測定される。More specifically, the distance L2 between the unevenness sensor 5 and the surface F to be inspected is continuously measured by the movement of the traveling base 4,
For example, when a convex portion is present on the surface F to be inspected, the distance L2 is measured in a reduced form, and when a concave portion is present, the distance L2 is measured in an increased form. The shape and its size are measured.
そして、距離センサ9により走行基台4の被検査面Fに
対する移動位置が測定されているから、凹凸センサ5の
出力と距離センサ9との出力とにより、凹凸の位置まで
即座に測定される。Then, since the moving position of the traveling base 4 with respect to the surface F to be inspected is measured by the distance sensor 9, the uneven position can be immediately measured by the output of the unevenness sensor 5 and the output of the distance sensor 9.
さらに、測定の継続により、端部センサ7によって被検
査面Fの他端部が検出されて、その信号が距離センサ9
へ出力される。Further, as the measurement is continued, the other end of the surface F to be inspected is detected by the end sensor 7, and the signal is transmitted to the distance sensor 9
Is output to.
この時点における距離センサ9の測定値と前記基準値と
の差に基づき、被検査面Fの両端部間の距離、すなわ
ち、被検査面F(測定物W)の長さが測定される。Based on the difference between the measured value of the distance sensor 9 and the reference value at this time, the distance between both ends of the surface F to be inspected, that is, the length of the surface F to be inspected (measurement object W) is measured.
一方、何らかの原因で、走行基台4が移動中にガイドレ
ール2に対してずれた場合、被検査面Fに凹凸がない状
態においても、凹凸センサ5からの距離検出値が変化し
てしまい、あたかも被検査面Fに凹凸部が存在するかの
ような検出結果が出力される。On the other hand, if the traveling base 4 shifts with respect to the guide rail 2 during movement for some reason, the distance detection value from the unevenness sensor 5 changes even when the surface F to be inspected has no unevenness. A detection result as if the surface F to be inspected has an uneven portion is output.
しかしながら、この走行基台4にずれが生じると、その
ずれ量が次のようにして補正されて、前述の誤出力が防
止される。However, when a deviation occurs in the traveling base 4, the deviation amount is corrected as follows, and the above-mentioned erroneous output is prevented.
すなわち、例えば、走行基台4の測定部4bが被検査面F
から離間する方向にずれたとすると(このずれ量をDと
する)、凹凸センサ5によって検出される距離L2′は、
被検査面Fに凹部が存在することを示す出力となる。That is, for example, the measurement unit 4b of the traveling base 4 is mounted on the surface F to be inspected.
If it is deviated in the direction away from (the amount of deviation is D), the distance L2 ′ detected by the unevenness sensor 5 is
The output indicates that a concave portion is present on the surface F to be inspected.
ここで、凹凸センサ5と補正センサ6が走行基台4に一
体に取り付けられて、補正センサ6の基準点と凹凸セン
サ5との距離L1が一定に保持され、かつ、基準ワイヤ3
がガイドレール2に取り付けられているとともに、前記
補正センサ6に非接触状態に挿通されていることから、
走行基台4のずれにより、補正センサ7においても同等
のずれ量Dを含んだ距離L3′が出力される。Here, the unevenness sensor 5 and the correction sensor 6 are integrally attached to the traveling base 4, the distance L1 between the reference point of the correction sensor 6 and the unevenness sensor 5 is kept constant, and the reference wire 3
Is attached to the guide rail 2 and is inserted into the correction sensor 6 in a non-contact state,
Due to the displacement of the traveling base 4, the correction sensor 7 also outputs the distance L3 ′ including the equivalent displacement amount D.
これらの関係を示せば、次の(1)式となる。If these relationships are shown, the following equation (1) is obtained.
L3−L3′=L2′−L2=D ………(1) これを変形すると、 L2′=D+L2 ………(2) L3′=L3+D ………(3) となる。L3−L3 ′ = L2′−L2 = D (1) When this is modified, L2 ′ = D + L2 (2) L3 ′ = L3 + D (3)
ここで、被検査面Fに凹凸がない状態で、かつ、走行基
台4のずれがない状態であると、基準ワイヤ3と被検査
面Fとの距離L4が一定であることから、次の(4)式が
成り立つ。Here, when the surface F to be inspected has no unevenness and the traveling base 4 is not displaced, the distance L4 between the reference wire 3 and the surface F to be inspected is constant. Equation (4) holds.
L2+L3+L4=L1 ………(4) また、走行基台4がずれた状態においては次の(5)式
が成り立つ。L2 + L3 + L4 = L1 (4) When the traveling base 4 is displaced, the following equation (5) holds.
L2′+L3′+L4=L1 ………(5) そして、これらの(2)(3)(4)(5)式とから次
の(6)式が得られる。L2 ′ + L3 ′ + L4 = L1 (5) Then, the following equation (6) is obtained from these equations (2), (3), (4) and (5).
L2′+L3′+L4=D+L2+L3−D+L4 =L2+L3+L4 =L1 ………(9) これによって(4)式=(5)式となって、前記走行基
台4のずれによる誤出力が防止され、正確な距離情報、
すなわち、被検査面Fの表面形状の形先な情報が得られ
る。L2 '+ L3' + L4 = D + L2 + L3-D + L4 = L2 + L3 + L4 = L1 (9) As a result, the formula (4) = (5) is obtained, and the incorrect output due to the displacement of the traveling base 4 is prevented, and the accurate output is obtained. Distance information,
That is, information on the shape of the surface shape of the surface F to be inspected can be obtained.
また、これらの各情報は、電気信号として得られること
から、後処理工程へのフィードバックや管理情報として
の蓄積活用が容易となる。Further, since each of these pieces of information is obtained as an electric signal, it becomes easy to feed back to the post-processing step and accumulate and use as management information.
さらに、ガイドレール2を測定物Wの載置面S上へ設置
するのみで測定可能な状態にセットできるから、例え
ば、パネルの製造ライン中への組み込みも容易に行え
る。Furthermore, since the guide rail 2 can be set in a measurable state simply by installing it on the mounting surface S of the object to be measured W, for example, the panel can be easily incorporated in the manufacturing line.
なお、前記実施例において示した各構成部材の諸形状や
寸法等は一例であって、適用する部材の形状や設計要求
等に基づき種々変更可能である。It should be noted that the various shapes, dimensions, etc. of the respective constituent members shown in the above embodiments are merely examples, and can be variously changed based on the shapes, design requirements, etc. of the applied members.
[発明の効果] 以上説明したように、本発明に係わる面の形状測定装置
によれば、次のような優れた効果を奏する。[Effects of the Invention] As described above, the surface shape measuring device according to the present invention has the following excellent effects.
走行基台を被検査面に沿って移動させつつ凹凸センサに
よって被検査面の凹凸状態を連続的に検出して、被検査
面の真直度の検出を容易にかつ迅速に実施することがで
きる。It is possible to easily and quickly detect the straightness of the surface to be inspected by continuously detecting the unevenness state of the surface to be inspected by the unevenness sensor while moving the traveling base along the surface to be inspected.
また、被検査面と基準ワイヤとを平行に保持して、凹凸
センサからの出力と補正センサからの出力との比較によ
り、走行基台のずれに基づく誤出力を補正して、高精度
の真直度測定を行うことができる。In addition, by holding the surface to be inspected and the reference wire in parallel and comparing the output from the unevenness sensor and the output from the correction sensor, erroneous output due to the displacement of the traveling base is corrected, and high-accuracy straightening is performed. Degree measurement can be performed.
しかも、前記真直度の測定と同時に、距離センサによる
被検査面の長さ測定を行うことができ、全体形状の測定
が容易に実施できる。Moreover, the length of the surface to be inspected can be measured by the distance sensor at the same time when the straightness is measured, and the entire shape can be easily measured.
さらに、測定物の載置面に設置するのみで測定可能な状
態にセットでき、被検査面を有するワークの搬送経路中
への組み込みが行え、自動化への応用が容易に行える。Further, it can be set in a measurable state simply by installing it on the mounting surface of the object to be measured, the work having the surface to be inspected can be incorporated into the conveyance path, and automation can be easily applied.
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は平面
図、第2図は第1図のA−A線に沿う矢視断面図、第3
図は第1図のB−B線に沿う矢視図である。 1……(面の)形状測定装置、 2……ガイドレール、3……基準ワイヤ、 4……走行基台、5……凹凸センサ、 6……補正センサ、7……端部センサ、 9……距離センサ、F……被検査面、 S……載置面、W……測定物。The drawings show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a plan view, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
The drawing is a view taken along the line BB in FIG. 1 ... (surface) shape measuring device, 2 ... guide rail, 3 ... reference wire, 4 ... traveling base, 5 ... unevenness sensor, 6 ... correction sensor, 7 ... end sensor, 9 …… Distance sensor, F …… Inspected surface, S …… Placement surface, W …… Measured object.
Claims (1)
と平行に載置されるガイドレールと、このガイドレール
に平行に張設された基準ワイヤと、前記ガイドレールに
その長さ方向に沿って移動可能に装着された走行基台
と、この走行基台に一体に設けられ、前記被検査面へ対
向させられた凹凸センサ、基準ワイヤに対向させられた
位置に設けられ、基準ワイヤの前記被検査面と直交する
方向における相対移動を検出する補正センサ、および、
前記被検査面の端部を検出する端部センサと、前記走行
基台とガイドレールとの間に設けられて、走行基台の移
動をなす駆動機構と、前記走行基台の移動量を検出する
距離センサとを備えていることを特徴とする面の形状測
定装置1. A guide rail placed parallel to the surface to be inspected on a surface intersecting the surface to be inspected of the object to be measured, a reference wire stretched in parallel with the guide rail, and a length of the guide rail. A traveling base mounted so as to be movable along the vertical direction, provided integrally with the traveling base, and provided at a position opposed to the unevenness sensor facing the surface to be inspected and the reference wire, A correction sensor for detecting relative movement of the reference wire in the direction orthogonal to the surface to be inspected, and
An end sensor that detects an end of the surface to be inspected, a drive mechanism that is provided between the traveling base and the guide rail to move the traveling base, and detects a movement amount of the traveling base. For measuring the shape of the surface
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02259517A JPH02259517A (en) | 1990-10-22 |
| JPH0749958B2 true JPH0749958B2 (en) | 1995-05-31 |
Family
ID=13741000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8124489A Expired - Lifetime JPH0749958B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Surface shape measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749958B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106323209A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Load-applicable guiderail testing device |
| CN106323161A (en) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | Guide rail detection bench |
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| JP7632026B2 (en) * | 2021-04-23 | 2025-02-19 | セイコーエプソン株式会社 | Three-dimensional modeling apparatus and method for manufacturing a three-dimensional object, |
| CN119779200B (en) * | 2024-12-19 | 2025-11-04 | 浙江威肯特智能机械有限公司 | A linear guide flatness detection device |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP8124489A patent/JPH0749958B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02259517A (en) | 1990-10-22 |
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