Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0754813B2 - Film carrier board - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0754813B2 - Film carrier board - Google Patents

Film carrier board

Info

Publication number
JPH0754813B2
JPH0754813B2 JP61201822A JP20182286A JPH0754813B2 JP H0754813 B2 JPH0754813 B2 JP H0754813B2 JP 61201822 A JP61201822 A JP 61201822A JP 20182286 A JP20182286 A JP 20182286A JP H0754813 B2 JPH0754813 B2 JP H0754813B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film carrier
carrier substrate
chip
chip component
reel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61201822A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6358848A (en
Inventor
祐一郎 伊庭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP61201822A priority Critical patent/JPH0754813B2/en
Publication of JPS6358848A publication Critical patent/JPS6358848A/en
Publication of JPH0754813B2 publication Critical patent/JPH0754813B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/701Tape-automated bond [TAB] connectors

Landscapes

  • Credit Cards Or The Like (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、TAB(Tape Automated Bonding)法を用
いたチップ部品の実装に用いられるフィルムキャリア基
板に関し、例えばICカードやカード電卓等の製造に用い
られるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial field of application) The present invention relates to a film carrier substrate used for mounting chip components using a TAB (Tape Automated Bonding) method, for example, an IC card or a card. It is used for manufacturing calculators and the like.

(従来の技術) フィルムキャリア基板を用いて製造される電装品をICカ
ードに例をとって説明すると、ICカードは、ポケットサ
イズのプラスチック製のカード基材に、CPUおよびメモ
リを構成するICチップ(チップ部品)が埋込まれ、カー
ド基材の表面部にはリーダ・ライタ等の外部装置とのデ
ータの送受信用および電源入力用等の複数個の外部端子
が設けられている。
(Prior Art) An electrical component manufactured by using a film carrier substrate will be described by taking an IC card as an example. An IC card is a pocket-sized plastic card substrate, and an IC chip that constitutes a CPU and a memory. (Chip part) is embedded, and a plurality of external terminals for transmitting / receiving data to / from an external device such as a reader / writer and for inputting a power source are provided on the surface of the card substrate.

ISO(国際標準化機構)規格によると、カード基材の厚
さは、0.76mmに規定されている。
According to the ISO (International Organization for Standardization) standards, the thickness of the card substrate is specified to be 0.76 mm.

ICカードは、このような薄いカード基材中にICチップを
埋込む必要から、薄形実装が図られ、この実装法として
例えばフィルムキャリア基板を用いたTAB実装法があ
る。
The IC card is thinly mounted because it is necessary to embed the IC chip in such a thin card base material. As this mounting method, for example, there is a TAB mounting method using a film carrier substrate.

第3図は、このようなTAB実装法に用いられる従来のフ
ィルムキャリア基板を示すものである。
FIG. 3 shows a conventional film carrier substrate used in such a TAB mounting method.

フィルムキャリア基板11は、ポリイミドフィルム上に銅
箔製のフィンガリード2が所要形状にパターニングさ
れ、ICチップ等のチップ部品の取付部には、当該チップ
部品の寸法形状に対応したチップ取付孔3が穿設されて
いる。
On the film carrier substrate 11, finger leads 2 made of copper foil are patterned on a polyimide film into a required shape, and a chip mounting hole 3 corresponding to the size and shape of the chip component is provided at a mounting portion of a chip component such as an IC chip. Has been drilled.

チップ部品における電源パッド、またはフィンガリード
2の先端部には、フィンガリードとチップ部品のエッジ
部分との接触を避け、またボンディングの確実性を高め
るために金等のバンプが形成される。
A bump such as gold is formed on the power supply pad of the chip component or on the tip of the finger lead 2 in order to avoid contact between the finger lead and the edge portion of the chip component and to increase the reliability of bonding.

またポリイミドフィルムの両側部には、写真フィルムと
同様のパーフォレーション孔4が穿設されている。パー
フォレーション孔4は、フィルムキャリア基板11の送り
および所要の位置合わせ等に用いられる。
Further, perforation holes 4 similar to those of the photographic film are formed on both sides of the polyimide film. The perforation holes 4 are used for feeding the film carrier substrate 11 and required alignment.

そして、パーフォレーション孔4に図示省略のスプロケ
ットギヤが噛合して、リールに巻かれた長尺のフィルム
キャリア基板11が引出され、フィンガリード2にチップ
部品の電極パッドが位置合わせされた後、その複数の接
続部が一度で同時にボンディングされる。
Then, a sprocket gear (not shown) meshes with the perforation hole 4, the long film carrier substrate 11 wound on the reel is drawn out, and the electrode pads of the chip component are aligned with the finger leads 2 and then the plurality of the electrode pads are aligned. The connection parts of are simultaneously bonded at once.

このボンディング工程において、チップ部品12が実装さ
れたフィルムキャリア基板11は、第4図に示すようなフ
ィルムキャリア用リール14に巻き取られる。
In this bonding step, the film carrier substrate 11 on which the chip parts 12 are mounted is wound around the film carrier reel 14 as shown in FIG.

このようにしてフィルムキャリア基板11へチップ部品12
がボンディングされた後、検査等が行なわれてから、フ
ィルムキャリア基板11はプレス抜きによりボンディング
部周辺の所定の打抜き線の部分で打抜かれ、フィンガリ
ード2の後端側が他の配線基板の配線パターンに、導電
性接着剤またはリフローソルダリングにより一度に接合
される。
In this way, the chip component 12 is transferred to the film carrier substrate 11.
After being bonded, the film carrier substrate 11 is punched at a predetermined punching line portion around the bonding portion by press punching, and the rear end side of the finger lead 2 is a wiring pattern of another wiring substrate. Then, they are bonded at once by a conductive adhesive or reflow soldering.

このようにして複数個のチップ部品12が、フィルムキャ
リア基板11を介して1個の配線基板上に実装されて所要
の回路が構成される。
In this way, a plurality of chip parts 12 are mounted on one wiring board via the film carrier board 11 to form a required circuit.

上記のフィルムキャリア基板11へのチップ部品12のボン
ディングはILB(Inner Lead Bonding)、また、打抜
き後のチップ部品付フィルムキャリア基板の他の配線基
板への接続はOLB(Outer Lead Bonding)と呼ばれ
る。
Bonding of the chip component 12 to the film carrier substrate 11 is called ILB (Inner Lead Bonding), and connection of the film carrier substrate with chip component to another wiring substrate after punching is called OLB (Outer Lead Bonding).

TAB実装法は、前記のように長尺のフィルムキャリア基
板11がリールから引出され、これにICチップ等のチップ
部品12が一度で同時にボンディングされるので、自動化
に適し、量産性に向いている。
The TAB mounting method is suitable for automation and is suitable for mass production because the long film carrier substrate 11 is pulled out from the reel as described above and the chip components 12 such as the IC chip are simultaneously bonded to it at one time. .

ところでフィルムキャリア基板11は、ポリイミドフィル
ム等のプラスチック材質で作製されているので可撓性を
有している。したがってチップ部品12が実装されたフィ
ルムキャリア基板11がフィルムキャリア用リール14に巻
き取られたようなとき、フィルムキャリア基板11のみが
フィルムキャリア用リール14の円周巻取面になじむよう
に曲ってフィンガリード2に引張り力が加わる。
By the way, the film carrier substrate 11 is flexible because it is made of a plastic material such as a polyimide film. Therefore, when the film carrier substrate 11 on which the chip parts 12 are mounted is wound around the film carrier reel 14, only the film carrier substrate 11 is bent so as to conform to the circumferential winding surface of the film carrier reel 14. A tensile force is applied to the finger leads 2.

(発明が解決しようとする問題点) 従来は、第4図に示すように、チップ部品12が実装され
たフィルムキャリア基板11が、フィルムキャリア用リー
ル14等に巻きとられたようなとき、フィルムキャリア基
板11がフィルムキャリア用リール14の円周巻取面になじ
むように曲るので、フィンガリード2に引張り力が加わ
って、ボンディングされたチップ部品12が外れてしまう
ことがあり、歩留り低下を招くという問題点があった。
特に、フィルムキャリア基板11上に、1こまとして複数
個のチップ部品から所定の回路機能が構成されるものに
あっては、この問題点は顕著であった。
(Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, as shown in FIG. 4, when a film carrier substrate 11 on which a chip component 12 is mounted is wound around a reel 14 for film carrier, etc. Since the carrier substrate 11 bends so as to conform to the circumferential winding surface of the film carrier reel 14, a tensile force may be applied to the finger leads 2 and the bonded chip components 12 may come off, resulting in reduced yield. There was a problem of inviting.
In particular, this problem was remarkable when the film carrier substrate 11 had a predetermined circuit function composed of a plurality of chip parts per frame.

この発明の上記事情に基づいてなされたもので、チップ
部品がボンディングされたフィンガリードに引張り力が
加わるのを避けてチップ部品の外れを防止し、歩留りを
向上させることのできるフィルムキャリア基板を提供す
ることを目的とする。
A film carrier substrate which has been made based on the above circumstances of the present invention and which can prevent detachment of chip components by avoiding application of tensile force to finger leads to which chip components are bonded and which can improve yield The purpose is to do.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) この発明は上記問題点を解決するために、フィンガリー
ドを備え、該フィンガリードにチップ部品の電極パッド
がボンディングされて当該チップ部品が実装されるフィ
ルムキャリア基板であって、複数個のチップ部品により
所定の回路機能が構成される1こま毎の境界部分と、こ
の1こまの中の複数のチップ部品の間の部分とに、該長
さ方向と直交する方向に屈曲性付与用のスリットを設け
たことを要旨とする。
[Structure of the Invention] (Means for Solving Problems) In order to solve the above problems, the present invention includes finger leads, and electrode pads of chip parts are bonded to the finger leads to mount the chip parts. A film carrier substrate, in which a plurality of chip components form a predetermined circuit function, and a border portion between the plurality of chip components; and a portion between the plurality of chip components in the one frame. The gist is that a slit for imparting flexibility is provided in a direction orthogonal to the depth direction.

(作用) チップ部品が実装されたフィルムキャリア基板は、フィ
ルムキャリア用リール等に巻取られたようなとき、チッ
プ部品の実装されている部分から外れたスリットの設け
られている部分で大きく曲り、チップ部品の実装されて
いる部分の曲率は小さくなる。したがって、フィンガリ
ードに加わる引張力が顕著に低減されてチップ部品の外
れが防止される。
(Operation) When the film carrier substrate on which the chip parts are mounted is wound around a reel for film carrier or the like, it is largely bent at a portion provided with a slit which is separated from a portion on which the chip parts are mounted, The curvature of the portion where the chip component is mounted becomes small. Therefore, the tensile force applied to the finger leads is remarkably reduced, and the chip component is prevented from coming off.

(実施例) 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、この発明の実施例を示す図であって、フィル
ムキャリア基板の平面図である。第2図は、この発明の
フィルムキャリア基板のボンディング工程に適用される
ボンディング装置の構成図である。
FIG. 1 is a view showing an embodiment of the present invention and is a plan view of a film carrier substrate. FIG. 2 is a block diagram of a bonding apparatus applied to the film carrier substrate bonding step of the present invention.

なお第1図および第2図において、前記第3図および第
4図における部材または部位等と同一ないし均等のもの
は、前記と同一符号を以って示し重複した説明を省略す
る。
In FIG. 1 and FIG. 2, the same or equivalent members or parts as those in FIG. 3 and FIG.

まず、構成を説明すると、第1図中、10はフィルムキャ
リア基板で、フィルムキャリア基板10には、チップ部品
12の実装部、即ち、チップ部品取付孔3の部分以外の部
位に、1こま毎の境界部分と、この1こまの中の複数の
チップ部品の間の部分とに、当該長さ方向と直交する方
向に屈曲性付与用のスリット5,5a,5bが設けられてい
る。
First, the structure will be described. In FIG. 1, 10 is a film carrier substrate, and the film carrier substrate 10 is a chip component.
Twelve mounting parts, that is, a portion other than the portion of the chip component mounting hole 3, a boundary portion for each frame and a portion between a plurality of chip components in the frame are orthogonal to the length direction. Slits 5, 5a, 5b for imparting bendability are provided in the direction of movement.

ボンディング装置を示す第2図中、6はフィルムキャリ
ア基板10を予め巻回しておくためのリール、7はステー
ジ、8はボンディングツールである。
In FIG. 2 showing the bonding apparatus, 6 is a reel for winding the film carrier substrate 10 in advance, 7 is a stage, and 8 is a bonding tool.

次にフィルムキャリア基板10へチップ部品の実装および
作用を述べる。
Next, mounting and operation of the chip component on the film carrier substrate 10 will be described.

リール6に巻かれた長尺のフィルムキャリア基板10が、
そのパーフォレーション孔4に噛合する図示省略のスプ
ロケットギヤ等により駆動されて引出される。引出され
たフィルムキャリア基板10は、ステージ7の部分で、ま
ず、そのフィンガリード(図示省略)と、チップ部品12
の電極パッド13との位置合わせが行なわれる。このとき
フィルムキャリア基板10は、第2図に示すようにスリッ
ト5の部分で屈曲して、その1こま分の平面度が良好に
保たれるので、位置合わせが容易且つ正確に行なわれ
る。
The long film carrier substrate 10 wound on the reel 6
It is driven and drawn out by a sprocket gear or the like (not shown) that meshes with the perforation hole 4. The film carrier substrate 10 that has been pulled out is the portion of the stage 7 that first has its finger leads (not shown) and the chip parts 12
Is aligned with the electrode pad 13. At this time, the film carrier substrate 10 is bent at the slit 5 as shown in FIG. 2 and the flatness of one frame is kept good, so that the alignment can be performed easily and accurately.

位置合わせ後、ボンディングツール8により、複数の接
続部が一度で同時にボンディングされる。
After the alignment, the bonding tool 8 simultaneously bonds a plurality of connection parts at once.

リール6からのフィルムキャリア基板10を引出し、位置
合わせ、および一括ボンディングが自動的に引続いて行
なわれ、チップ部品12が実装されたフィルムキャリア基
板10は、フィルムキャリア用リール14に順次巻取られ
る。
The film carrier substrate 10 is pulled out from the reel 6, the alignment and the collective bonding are automatically carried out successively, and the film carrier substrate 10 on which the chip parts 12 are mounted is sequentially wound on the film carrier reel 14. .

そして、このフィルムキャリア用リール14への巻取り時
においても、フィルムキャリア基板10は、チップ部品12
の実装されている部分から外れたスリット5,5a,5bの部
分で大きく曲り、チップ部品12の実装されている部分の
曲率が小さくなる。したがって、従来のフィルムキャリ
ア基板11と比べるとフィンガリード2に加わる引張力が
顕著に低減されてボンディング部からチップ部品12の外
れることが防止される。
Even when the film carrier reel 14 is wound up, the film carrier substrate 10 keeps the chip component 12
The slits 5, 5a, 5b, which are separated from the mounted portion, are largely bent, and the curvature of the mounted portion of the chip component 12 is reduced. Therefore, as compared with the conventional film carrier substrate 11, the tensile force applied to the finger leads 2 is remarkably reduced and the chip component 12 is prevented from coming off the bonding portion.

チップ部品12の実装によりフィルムキャリア基板10の1
こま分には、1回路分の機能が構成されるので、この1
こま分を切出して、これをそのまま1個のモジュールと
してICカード等の電装品に積層することもできる。
By mounting the chip component 12, 1 of the film carrier substrate 10
Since the function for one circuit is configured in the frame,
It is also possible to cut out the diced pieces and stack the diced pieces as they are as a single module on electrical components such as an IC card.

一方、OLB工程が必要とされる場合は、フィルムキャリ
ア基板10は、プレス抜きによりその1こま分が打抜か
れ、打抜かれたフィルムキャリア基板10上の配線パター
ンが、他の配線基板の配線パターンに、導電性接着剤ま
たはリフローソルダリングにより接合される。
On the other hand, when the OLB process is required, the film carrier substrate 10 is punched out by one press, and the punched wiring pattern on the film carrier substrate 10 becomes the wiring pattern of another wiring substrate. , Bonded by conductive adhesive or reflow soldering.

このようにして複数個のチップ部品12が、フィルムキャ
リア基板10を介して1個の配線基板上に実装されて所要
の回路が構成される。
In this way, a plurality of chip parts 12 are mounted on one wiring board via the film carrier board 10 to form a required circuit.

そして、上記のプレス抜きの工程の際においても、フィ
ルムキャリア基板10の1こま分は、スリット5の屈曲作
用により平面度が保たれるので、良好な打抜き性が得ら
れる。
Even in the above-mentioned press punching process, since the flatness of one frame of the film carrier substrate 10 is maintained by the bending action of the slit 5, a good punching property can be obtained.

[発明の効果] 以上説明したように、この発明の構成によれば、フィル
ムキャリア基板は、チップ部品の実装部以外のスリット
の部分で大きく屈曲するので、チップ部品の実装後にフ
ィルムキャリア用リールに巻き取られるようなときは、
チップ部品の実装されている部分の曲率が小さくなって
フィンガリードに加わる引張力が低減され、チップ部品
の外れが防止できる。又、この発明の構成による附随的
効果として、フィンガリードとチップ部品の電極パッド
とのボンディングは、1こま単位で行なわれるので、本
願発明のフィルムキャリア基板は1こまの境界にもスリ
ットが設けられているから、1こま部分の平面度が良好
に保たれて位置合わせが容易且つ正確に行なわれる。ま
た、プレス抜きの工程の際においても、フィルムキャリ
ア基板の1こま分単位で行なわれるので、1こま部分の
平面度が良好に保たれる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the configuration of the present invention, since the film carrier substrate is largely bent at the slit portion other than the mounting portion of the chip component, the film carrier reel is mounted on the reel for film carrier after mounting the chip component. When you get rolled up,
The curvature of the portion where the chip component is mounted is reduced, the tensile force applied to the finger leads is reduced, and the chip component can be prevented from coming off. As an additional effect of the structure of the present invention, since the bonding between the finger lead and the electrode pad of the chip component is performed on a frame-by-frame basis, the film carrier substrate of the present invention is provided with a slit at the boundary of each frame. Therefore, the flatness of one frame portion is kept good, and the alignment is easily and accurately performed. Further, even in the step of removing the press, the flatness of one frame portion can be kept good because it is performed in units of one frame unit of the film carrier substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの発明に係るフィルムキャリア基板の実施例
を示す平面図、第2図はこの発明に係る実施例のボンデ
ィング工程に適用されるボンディング装置の構成図、第
3図は従来のフィルムキャリア基板を示す平面図、第4
図は同上従来例の問題点を説明するためのフィルムキャ
リア用リールへの巻取部分を示す図である。 10,11:フィルムキャリア基板、 2:フィンガリード、 3:チップ取付孔、 5、5a、5b:スリット、 12:チップ部品、 13:電極パッド。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a film carrier substrate according to the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram of a bonding apparatus applied to a bonding step of the embodiment according to the present invention, and FIG. 3 is a conventional film carrier. Plan view showing the substrate, fourth
The figure is a diagram showing a winding portion on a reel for a film carrier for explaining the problems of the conventional example. 10, 11: Film carrier substrate, 2: Finger lead, 3: Chip mounting hole, 5, 5a, 5b: Slit, 12: Chip part, 13: Electrode pad.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フィンガリードを備え、該フィンガリード
にチップ部品の電極パッドがボンディングされて当該チ
ップ部品が実装されるフィルムキャリア基板であって、 複数個のチップ部品により所定の回路機能が構成される
1こま毎の境界部分と、当該1こまの中の複数のチップ
部品の間の部分とに該フィルムキャリアの長さ方向と直
交する方向に該フィルムキャリアを屈曲しやすくするス
リットを設けたことを特徴とするフィルムキャリア基
板。
1. A film carrier substrate having finger leads, wherein electrode pads of chip parts are bonded to the finger leads to mount the chip parts, wherein a predetermined circuit function is constituted by a plurality of chip parts. A slit for facilitating bending of the film carrier in a direction orthogonal to the length direction of the film carrier is provided at a boundary part of each frame and a part between a plurality of chip parts in the frame. A film carrier substrate.
JP61201822A 1986-08-29 1986-08-29 Film carrier board Expired - Lifetime JPH0754813B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61201822A JPH0754813B2 (en) 1986-08-29 1986-08-29 Film carrier board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61201822A JPH0754813B2 (en) 1986-08-29 1986-08-29 Film carrier board

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6358848A JPS6358848A (en) 1988-03-14
JPH0754813B2 true JPH0754813B2 (en) 1995-06-07

Family

ID=16447474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61201822A Expired - Lifetime JPH0754813B2 (en) 1986-08-29 1986-08-29 Film carrier board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0754813B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5737866A (en) * 1980-08-20 1982-03-02 Nec Corp Tape carrier for semiconductor device
JPS5758346A (en) * 1980-09-24 1982-04-08 Nec Corp Tape carrier for semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6358848A (en) 1988-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4549247A (en) Carrier element for IC-modules
KR100399379B1 (en) Semiconductor device and process for manufacturing the same, liquid crystal module and process for mounting the same
JP3569025B2 (en) Semiconductor device and electronic device using the same
EP0803901B1 (en) Method of mounting a plurality of semiconductor devices in corresponding supporters
JP3829939B2 (en) Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus
US7582955B2 (en) Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus
JP3829940B2 (en) Semiconductor device manufacturing method and manufacturing apparatus
JPH02132418A (en) Production of flexible wiring board having bent part
JPH0754813B2 (en) Film carrier board
KR100196119B1 (en) Semiconductor device, manufacturing method thereof and electronic device
JPS6359592A (en) Mounting method in portable medium
JPS6359595A (en) Mounting method in portable medium
JPH09274446A (en) Flexible wiring board manufacturing method
JPS6359594A (en) Film carrier substrate
JPS6359593A (en) Mounting method in portable medium
JPH11317428A (en) Tape carrier, semiconductor device and method of manufacturing the same
JPH07161771A (en) Film carrier, electronic component and release paper peeling method
JP2731292B2 (en) CONVEYING TAPE AND ITS MANUFACTURING METHOD
KR100377466B1 (en) lamination apparatus of circuit film for semiconductor package and its method
JP3367511B2 (en) Tape carrier mounting method and liquid crystal display device manufacturing method
JP3158480B2 (en) Tape carrier mounting method and liquid crystal display device manufacturing method
JPH077039A (en) Method for manufacturing semiconductor device
KR100377467B1 (en) lamination method of circuit tape for semiconductor package
JPH01155632A (en) Tape carrier type semiconductor device
JP2006085341A (en) IC module