Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0756463B2 - Solid streak camera - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0756463B2 - Solid streak camera - Google Patents

Solid streak camera

Info

Publication number
JPH0756463B2
JPH0756463B2 JP15666891A JP15666891A JPH0756463B2 JP H0756463 B2 JPH0756463 B2 JP H0756463B2 JP 15666891 A JP15666891 A JP 15666891A JP 15666891 A JP15666891 A JP 15666891A JP H0756463 B2 JPH0756463 B2 JP H0756463B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
pulsed light
collimator
optical deflector
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP15666891A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH055657A (en
Inventor
修 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP15666891A priority Critical patent/JPH0756463B2/en
Publication of JPH055657A publication Critical patent/JPH055657A/en
Publication of JPH0756463B2 publication Critical patent/JPH0756463B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ストリークカメラにか
かり、特に、光源からのパルス光を直接走査することで
空間的強度変化を計測する固体ストリークカメラに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a streak camera, and more particularly to a solid-state streak camera for measuring spatial intensity changes by directly scanning pulsed light from a light source.

【0002】[0002]

【従来の技術】物質内の光の吸収,放出を伴なう現象
は、物質内の量子状態の遷移などによる基本的な自然現
象のひとつであり、自然科学の基礎から応用まで幅広い
領域の研究テーマとなっている。高速のパルス光は、こ
の光の吸収,放出の過渡的現象であり、その測定技術
は、この基本的な物理現象を把握する上で非常に重要な
ものである。高速パルス光測定で、現在実用化されてい
るもので最高速のものがストリークカメラを用いる方法
である。
2. Description of the Related Art Phenomena involving absorption and emission of light in a substance are one of the fundamental natural phenomena due to the transition of quantum states in the substance. It is the theme. High-speed pulsed light is a transient phenomenon of absorption and emission of this light, and its measurement technique is very important for understanding this basic physical phenomenon. Among the high-speed pulsed light measurements, the fastest one that is currently in practical use is the method using a streak camera.

【0003】ストリークカメラでの高速パルス光測定に
ついて図12を用いて簡単に説明する。光源からのパル
ス光PL はスリット602に入射し、レンズ603を介
してパルス光PL のスリット像は光電面604上の所定
の位置に収束し結像する。光電面604でパルス光PL
の光電効果により電子が放出される。光電面604から
放出された電子は、メッシュ状の加速電極605で加速
され、収束電子レンズ611で収束される。収束電子レ
ンズ611で収束された電子は、偏向板606の偏向場
を通過し、蛍光面607にストリーク像をつくる。偏向
板606には、スイープジェネレータでパルス光に対応
したタイミングのトリガ信号から生成された掃引電圧V
S がかけられ、偏向板606の偏向場を通過する電子を
走査している(この図では、上から下の方向に走査して
いる)。そのため、パルス光PL の時間的強度変化は、
走査方向の空間的強度変化に変換され、蛍光面607の
ストリーク像となっている。このストリーク像をスチル
カメラ或いはビデオカメラ(図示せず)で撮影してパル
ス光PL の時間的強度変化が測定されている。
High-speed pulsed light measurement with a streak camera will be briefly described with reference to FIG. The pulsed light P L from the light source is incident on the slit 602, and the slit image of the pulsed light P L is converged and imaged at a predetermined position on the photocathode 604 via the lens 603. Pulsed light P L on the photocathode 604
Electrons are emitted by the photoelectric effect of. The electrons emitted from the photocathode 604 are accelerated by the mesh-shaped acceleration electrode 605 and converged by the convergent electron lens 611. The electrons converged by the converging electron lens 611 pass through the deflection field of the deflection plate 606 and form a streak image on the fluorescent screen 607. The deflector 606 has a sweep voltage V generated by the sweep generator from a trigger signal at a timing corresponding to the pulsed light.
S is applied to scan electrons passing through the deflection field of the deflection plate 606 (in this figure, scanning is performed from top to bottom). Therefore, the temporal intensity change of the pulsed light P L is
The streak image of the fluorescent screen 607 is converted into the spatial intensity change in the scanning direction. This streak image is photographed by a still camera or a video camera (not shown), and the temporal intensity change of the pulsed light P L is measured.

【0004】ストリークカメラで高速パルス光測定する
場合、時間分解能向上のため入力光学系で形成される光
電面604上の結像は小さい方が望ましいので、スリッ
ト602は細いほうが良い。一方、感度を上げるために
は、光量が多いほうがよい。この矛盾する問題に就いて
は、「特開昭62−50626」記載の発明において、
同一出願人により解決されている。この発明は、入力光
学系にガラスロッドを設け、光量を増加させ、かつ、等
価的に細いスリットを通ったようにしている。
When high-speed pulsed light is measured with a streak camera, it is desirable that the image formed on the photocathode 604 formed by the input optical system is small in order to improve time resolution, so the slit 602 is preferably thin. On the other hand, in order to increase the sensitivity, it is better that the light amount is large. Regarding this contradictory problem, in the invention described in "JP-A-62-50626",
Resolved by the same applicant. In the present invention, a glass rod is provided in the input optical system to increase the amount of light and equivalently pass through a narrow slit.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前述したストリークカ
メラでは、測定結果を電気信号で得ようとすると「光→
電子→光→電子」という変換が行われるため、これを、
より簡素化することが考えられている。測定光を直接走
査し電気信号に変換するようにした場合、装置は大幅に
小形化,簡略化され、携帯性などの利便性が増し、光電
変換の難しい波長領域の光(例えば、赤外光)でも測定
できるようになるものと思われる。この場合、測定光を
直接走査するので、その走査方向がずれないように、ま
た、パルス光の収束する位置(集光スポット)がずれな
いように、その偏向器(光偏向器)に入射する光は平行
光線である必要がある。しかし、測定光の状態は、その
状況によって異なっており、走査方向がずれたり或いは
集光スポットが大きくなったりすると、空間分解能が低
下し、時間分解能の低下を招く。このように、測定光を
直接走査し電気信号に変換するようにした場合、測定状
態によって分解能の低下が生じ、この問題を配慮をした
装置の簡素化を考える必要があった。
In the above-described streak camera, when an attempt is made to obtain a measurement result by an electric signal, "light →
Since the conversion of "electron → light → electron" is performed, this is
Further simplification is considered. When the measurement light is directly scanned and converted into an electric signal, the device is significantly downsized and simplified, convenience such as portability is increased, and light in a wavelength region where photoelectric conversion is difficult (for example, infrared light). ) Will be able to measure. In this case, since the measurement light is directly scanned, it is incident on the deflector (optical deflector) so that the scanning direction does not shift and the position where the pulsed light converges (focus spot) does not shift. The light must be parallel rays. However, the state of the measurement light differs depending on the situation, and if the scanning direction is shifted or the condensing spot becomes large, the spatial resolution is lowered and the time resolution is lowered. As described above, when the measurement light is directly scanned and converted into an electric signal, the resolution is lowered depending on the measurement state, and it is necessary to consider the simplification of the device in consideration of this problem.

【0006】本発明は、前述した問題点に鑑み、測定光
を直接電気信号に変換するという構成で、測定状態に応
じて分解能の低下のない固体ストリークカメラを提供す
ることにある。
In view of the above-mentioned problems, the present invention is to provide a solid-state streak camera having a configuration in which the measurement light is directly converted into an electric signal and the resolution is not lowered depending on the measurement state.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の固体ストリーク
カメラは、光源からのパルス光に対応したタイミングで
パルス光を走査する光偏向器と、この光偏向器によって
走査された光を集光するフーリエ変換レンズと、このフ
ーリエ変換レンズによって集光された光を検出し検出信
号をパルス光に対応した読み出しパルスのタイミングで
読み出すイメージセンサとを備え、光源と前記光偏向器
との間にパルス光の進路を調節して平行光線にする少な
くとも二つ以上のレンズからなるコリメータを有してい
る。
The solid streak camera of the present invention includes an optical deflector for scanning pulsed light at a timing corresponding to the pulsed light from a light source, and a light deflector for condensing the light scanned by the optical deflector. A Fourier transform lens and an image sensor for detecting the light condensed by the Fourier transform lens and reading a detection signal at the timing of a read pulse corresponding to the pulsed light are provided, and the pulsed light is provided between the light source and the optical deflector. It has a collimator composed of at least two lenses that adjust the path of the light beam to make it parallel rays.

【0008】また、パルス光の状態に応じたコリメータ
を用いれるように、コリメータを光偏向器,フーリエ変
換レンズ及びイメージセンサを収容する筐体に対し着脱
自在としても良い。或いは、装置のコンパクト化を図れ
るように、コリメータを筐体内に内蔵させても良い。
Further, the collimator may be detachably attached to the housing containing the optical deflector, the Fourier transform lens and the image sensor so that the collimator corresponding to the state of the pulsed light is used. Alternatively, the collimator may be built in the housing so that the device can be made compact.

【0009】[0009]

【作用】光偏向器での走査はパルス光に対応したタイミ
ングであるので、パルス光の時間的強度変化は走査方向
の空間的強度変化に変換される。光偏向器によって走査
された光はフーリエ変換レンズで集光され、その集光ス
ポット上のイメージセンサの検出素子で検出され、検出
信号は読み出しパルスのタイミングでパルス光に対応し
て読み出される。
Since the scanning by the optical deflector is at the timing corresponding to the pulsed light, the temporal intensity change of the pulsed light is converted into the spatial intensity change in the scanning direction. The light scanned by the optical deflector is condensed by the Fourier transform lens, detected by the detection element of the image sensor on the condensed spot, and the detection signal is read at the timing of the read pulse in correspondence with the pulsed light.

【0010】ここで、パルス光は、コリメータでパルス
光の状態に応じて調節されて平行光線に変えられている
ので、集光スポットの広がりが防止されている。
Here, since the pulsed light is adjusted by the collimator according to the state of the pulsed light and converted into parallel rays, the spread of the focused spot is prevented.

【0011】[0011]

【実施例】本発明の実施例を図1乃至図12を用いて説
明する。図1には本発明の一実施例の固体ストリークカ
メラが示されている。この固体ストリークカメラの光学
系として、コリメータ101と筐体180内に、偏光子
102,アパーチャ103,光偏向器104,フーリエ
変換レンズ105,イメージセンサ106が設けられて
いる。また、制御系として、コントローラ121,高圧
回路123が設けられている。
Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows a solid-state streak camera according to an embodiment of the present invention. As an optical system of this solid-state streak camera, a polarizer 102, an aperture 103, an optical deflector 104, a Fourier transform lens 105, and an image sensor 106 are provided in a collimator 101 and a housing 180. Further, a controller 121 and a high voltage circuit 123 are provided as a control system.

【0012】コリメータ101は、固体ストリークカメ
ラ筐体180のパルス光PL 取り入れ口に着脱可能に設
けられ、焦点距離の等しい二つの凸レンズ101a,1
01bで構成されている。凸レンズ101aを固定しも
う一方の凸レンズ101bを可動にして、それらの間隔
を可変にし、パルス光PLの集光を調節するようになっ
ている。可動の凸レンズの調節機構の一例が図2に示さ
れている。この調節機構により凸レンズ101a,10
1bの間隔が精密に調節されている。このコリメータ1
01でパルス光PL の集光を調節する様子が図3に示さ
れている。図3(a)は、パルス光PL が収束している
場合のもので、焦点距離fの2倍よりも凸レンズ101
a,101bの間隔を縮めてパルス光PL を平行光にし
ている。図3(b)は、パルス光PL が平行している場
合のもので、凸レンズ101a,101bの間隔を焦点
距離fの2倍にしてパルス光PL を平行光にしている。
図3(c)は、パルス光PL が広がっている場合のもの
で、凸レンズ101a,101bの間隔を焦点距離fの
2倍よりも広げてパルス光PL を平行光にしている。こ
の調節については、コリメータ101の交換により、広
い範囲で可能になっている。
The collimator 101 is detachably provided in the pulse light P L inlet of the solid streak camera housing 180, and has two convex lenses 101a and 101a having the same focal length.
It is composed of 01b. The convex lens 101a is fixed and the other convex lens 101b is made movable, the distance between them is made variable, and the focusing of the pulsed light P L is adjusted. An example of a movable convex lens adjustment mechanism is shown in FIG. With this adjusting mechanism, the convex lenses 101a, 10a
The interval of 1b is precisely adjusted. This collimator 1
The state of adjusting the focusing of the pulsed light P L at 01 is shown in FIG. FIG. 3A shows the case where the pulsed light P L is converged, and the convex lens 101 is more than twice the focal length f.
The interval between a and 101b is shortened to make the pulsed light P L parallel light. FIG. 3B shows the case where the pulsed light P L is parallel, and the interval between the convex lenses 101a and 101b is twice the focal length f to make the pulsed light P L parallel.
FIG. 3C shows the case where the pulsed light P L is spread, and the interval between the convex lenses 101a and 101b is made wider than twice the focal length f to make the pulsed light P L parallel light. This adjustment is possible in a wide range by replacing the collimator 101.

【0013】偏光子102は、光源からのパルス光PL
を直線偏光に変換するものである。アパーチャ103
は、所定の方向の光だけを通過させるようにしたもので
ある。光偏向器104は、掃引電圧VS の大きさに応じ
て入射した光の方向を変えるものである。この光偏向器
104には、電気光学的性質をもつ結晶を用いて図4乃
至図5に示すような構造を有したものが用いられる。図
4は、いわゆる2重プリズム型と呼ばれ、プリズム形状
の2つの結晶を、互いに光学軸を反転させて張り合わせ
たものである。この2重プリズム型光偏向器の図の上下
方向に電圧をかけると、その電圧に比例した角度で入射
光の方向が曲げられる。図5は、いわゆる4重電極型で
図のように電圧を印加して、入射光を偏向させている。
The polarizer 102 is a pulsed light P L from the light source.
Is converted into linearly polarized light. Aperture 103
Is designed to pass only light in a predetermined direction. The optical deflector 104 changes the direction of incident light according to the magnitude of the sweep voltage V S. As the optical deflector 104, one having a structure as shown in FIGS. 4 to 5 using a crystal having electro-optical properties is used. FIG. 4 is a so-called double prism type in which two prism-shaped crystals are bonded by inverting their optical axes. When a voltage is applied in the vertical direction of this double prism type optical deflector, the direction of incident light is bent at an angle proportional to the voltage. FIG. 5 is a so-called quadruple electrode type in which a voltage is applied as shown in the figure to deflect incident light.

【0014】フーリエ変換レンズ105は、光偏向器1
04を通過した光を集光し、イメージセンサ106上に
フーリエ変換し結像させるものである。イメージセンサ
106は、フーリエ変換レンズ105で集光された光を
電気信号に変換し、読み出しパルスVREADに応じてこの
電気信号を検出信号VOUT として出力する。
The Fourier transform lens 105 is the optical deflector 1
The light that has passed through 04 is condensed, and Fourier-transformed on the image sensor 106 to form an image. The image sensor 106 converts the light condensed by the Fourier transform lens 105 into an electric signal, and outputs this electric signal as a detection signal V OUT according to the read pulse V READ .

【0015】コントローラ121は、光源からのパルス
光PL に対応したトリガ信号VTRIGからスイープパルス
SWEEP 及び読み出しパルスVREADを生成しそれぞれ高
圧回路123,イメージセンサ106に出力する。高圧
回路123は、スイープパルスVSWEEP から光偏向器1
04の駆動用高電圧即ち掃引電圧VS を発生し光偏向器
104に出力する。
The controller 121 generates a sweep pulse V SWEEP and a read pulse V READ from the trigger signal V TRIG corresponding to the pulsed light P L from the light source and outputs them to the high voltage circuit 123 and the image sensor 106, respectively. The high voltage circuit 123 changes the sweep pulse V SWEEP from the optical deflector 1
The driving high voltage 04, that is, the sweep voltage V S is generated and output to the optical deflector 104.

【0016】つぎに、この固体ストリークカメラの動作
について説明する。
Next, the operation of this solid streak camera will be described.

【0017】光源からのパルス光PL は、コリメータ1
01でその広がり具合が補正される。コリメータ101
を通過したパルス光PL は、偏光子102で直線偏光に
変換され、アパーチャ103で所定の大きさの光だけが
通過して、光偏向器104に入射する。光偏向器104
に入射したパルス光PL は、光偏向器104によって進
路を曲げられ、フーリエ変換レンズ105で集光され、
イメージセンサ106上に収束されて結像する。光偏向
器104に入射したパルス光PL の広がり具合がコリメ
ータ101で調節されることで、集光スポットの位置が
調節され、その様子が図6に示されている。図6(b)
は、光偏向器104に広がった光が入射する場合の様子
を示したもので、集光スポットは、広がったものにな
り、装置の時間分解能の低下が見られる。コリメータ1
01にて平行光になるように凸レンズ101a,101
bの間隔を調節し、集光スポットのイメージセンサ10
6の検出信号VOUT の半値幅を最小にすると、図6
(a)のように、集光スポットは、イメージセンサ10
6上に位置し、かつ、その径が最小になる。
The pulsed light P L from the light source is generated by the collimator 1
In 01, the extent of spread is corrected. Collimator 101
The pulsed light P L that has passed through is converted into linearly polarized light by the polarizer 102, and only light of a predetermined size passes through the aperture 103 and enters the optical deflector 104. Optical deflector 104
The pulsed light P L incident on is bent in its course by the optical deflector 104 and is condensed by the Fourier transform lens 105,
The image is focused on the image sensor 106 to form an image. By adjusting the degree of spread of the pulsed light P L incident on the optical deflector 104 by the collimator 101, the position of the focused spot is adjusted, which is shown in FIG. Figure 6 (b)
Shows a state in which light that has spread to the light deflector 104 is incident, and the converging spot is spread, and the time resolution of the device is reduced. Collimator 1
The convex lenses 101a, 101
The image sensor 10 of the focused spot is adjusted by adjusting the interval b.
When the half width of the detection signal V OUT of FIG.
As shown in (a), the focused spot is the image sensor 10
6 and has the smallest diameter.

【0018】一方、トリガ信号VTRIGはコントローラ1
21に入力され、光源からのパルス光PL に対応したタ
イミングのスイープパルスVSWEEP ,読み出しパルスV
READ及び高圧回路123から掃引電圧VS が出力され
る。掃引電圧VS は、図7(a)に示すような時間波形
になっており、光偏向器104での偏向により、図7
(b)のようなパルス光PL の時間波形は変換されて、
図7(c)のような空間波形即ちイメージセンサ106
上に結像位置になる。このようにして、パルス光の時間
的強度変化は偏向方向の空間的強度変化に変換される。
On the other hand, the trigger signal V TRIG is the controller 1
21, a sweep pulse V SWEEP and a read pulse V at a timing corresponding to the pulsed light P L from the light source.
The sweep voltage V S is output from the READ and high voltage circuit 123. The sweep voltage V S has a time waveform as shown in FIG. 7A, and by the deflection by the optical deflector 104, the sweep voltage V S shown in FIG.
The time waveform of the pulsed light P L as shown in (b) is converted,
A spatial waveform as shown in FIG. 7C, that is, the image sensor 106.
The image forming position is on the upper side. In this way, the temporal intensity change of the pulsed light is converted into the spatial intensity change in the deflection direction.

【0019】光偏向器104によって偏向されたパルス
光PL は、その集光スポット上のイメージセンサ106
の検出素子で検出される。検出信号VOUT は読み出しパ
ルスVREADのタイミングで読み出され、出力される。コ
リメータ101によって集光スポットが最小になるよう
な最良点に調節されることで、空間分解能が最良にな
り、この装置の最大の時間分解能がえられている。
The pulsed light P L deflected by the optical deflector 104 is image sensor 106 on the focused spot.
Is detected by the detection element of. The detection signal V OUT is read and output at the timing of the read pulse V READ . By adjusting the collimator 101 to the best point where the focused spot is minimized, the spatial resolution is optimized and the maximum time resolution of this device is obtained.

【0020】本発明は、この実施例に限られず、つぎの
ような変形が可能である。ここで、前述した実施例と同
一ないし同等のものについては同一の符号を用いるもの
とする。
The present invention is not limited to this embodiment, but the following modifications are possible. Here, the same reference numerals are used for the same or equivalent parts as those in the above-described embodiment.

【0021】コリメータについて、図8に示すような、
互いに異なった焦点距離を持つ凸レンズ101a,10
1bを用いた構成にて、ビーム径を変えることが可能に
なる。図において、f1 ,f2 は凸レンズ101a,1
01bの焦点距離を示し、ビーム径は「f1 /f2 」倍
程度になる。ビーム径を小さくするようにすると、アパ
ーチャを通過する光量が増加し感度が向上する。また、
図9には、3枚のレンズ101p,101q,101r
を用いて構成した例が示されている。このコリメータで
は、2枚のレンズを動かすことによってビームの平行化
とビーム径の縮小が同時に行われるようにしたものであ
る。このようにすることで、ビーム径の異なる光の測定
も感度よく行うことが可能になっている。
Regarding the collimator, as shown in FIG.
Convex lenses 101a and 10 having different focal lengths
With the configuration using 1b, the beam diameter can be changed. In the figure, f 1 and f 2 are convex lenses 101a and 1a.
The focal length is 01b, and the beam diameter is about "f 1 / f 2 " times. When the beam diameter is reduced, the amount of light passing through the aperture increases and the sensitivity improves. Also,
FIG. 9 shows three lenses 101p, 101q, 101r.
An example configured using is shown. In this collimator, two lenses are moved so that the beam is collimated and the beam diameter is reduced at the same time. By doing so, it is possible to measure light with different beam diameters with high sensitivity.

【0022】また、コリメータは、図10に示すよう
に、筐体の中に設けても良い。この図10では、コリメ
ータ201を構成する凸レンズ101a,101bが筐
体181の中に設けられているようすが示されている。
そして、図11のように、偏光子102とアパーチャ1
03の間に設けても良い。この図11では、コリメータ
301を構成する凸レンズ101a,101bが偏光子
102とアパーチャ103の間に設けられているようす
が示されている。これらの場合では、コリメータの調節
範囲は限定されるが、構造上小型にできるという特徴が
ある。
The collimator may be provided in the housing as shown in FIG. FIG. 10 shows that the convex lenses 101a and 101b forming the collimator 201 are provided in the housing 181.
Then, as shown in FIG. 11, the polarizer 102 and the aperture 1
It may be provided between 03. FIG. 11 shows that the convex lenses 101a and 101b forming the collimator 301 are provided between the polarizer 102 and the aperture 103. In these cases, although the adjustment range of the collimator is limited, there is a feature that the collimator can be downsized due to its structure.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上、本発明によると、測定光を直接電
気信号に変換するため装置の構成が簡単になり、光偏向
器に入射したパルス光の広がり具合がコリメータで調節
されて、集光スポットが最小になるような最良点に調節
されるので、空間分解能が改善され、最大の時間分解能
をうることができる。
As described above, according to the present invention, since the measuring light is directly converted into an electric signal, the structure of the device is simplified, and the degree of spread of the pulsed light incident on the optical deflector is adjusted by the collimator to collect the light. Since the spot is adjusted to the best point so as to be the minimum, the spatial resolution is improved and the maximum temporal resolution can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】コリメータのレンズ調整機構の構成図。FIG. 2 is a configuration diagram of a lens adjusting mechanism of a collimator.

【図3】パルス光の集光を調節する様子の説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing how to adjust the focusing of pulsed light.

【図4】光偏向器の一例の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of an example of an optical deflector.

【図5】光偏向器の一例の構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of an example of an optical deflector.

【図6】コリメータで集光スポットを調節する様子の説
明図。
FIG. 6 is an explanatory view showing how a focused spot is adjusted by a collimator.

【図7】掃引電圧の時間波形、パルス光の時間波形、パ
ルス光の空間波形の関係を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a time waveform of a sweep voltage, a time waveform of pulsed light, and a spatial waveform of pulsed light.

【図8】コリメータのほかの構成図。FIG. 8 is another configuration diagram of the collimator.

【図9】コリメータのほかの構成図。FIG. 9 is another configuration diagram of the collimator.

【図10】本発明のほかの実施例の構成図。FIG. 10 is a block diagram of another embodiment of the present invention.

【図11】本発明のほかの実施例の構成図。FIG. 11 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.

【図12】従来例の構成図。FIG. 12 is a configuration diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101…コリメータ 101a…レンズ 101b…レンズ 101c…レンズ 101p…レンズ 101q…レンズ 101r…レンズ 104…光偏向器 105…フーリエ変換レンズ 106…イメージセンサ 162…光偏向器 201…コリメータ 301…コリメータ PL …パルス光 VOUT …検出信号 VREAD…読み出しパルス101 ... collimator 101a ... lens 101b ... lens 101c ... Lens 101p ... lens 101 q ... lens 101 r ... lens 104 ... optical deflector 105 ... Fourier transform lens 106 ... image sensor 162 ... optical deflector 201 ... collimator 301 ... collimator P L ... pulse Light V OUT … Detection signal V READ … Read pulse

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源からのパルス光に対応したタイミン
グでパルス光を走査する光偏向器と、この光偏向器によ
って走査された光をフーリエ変換しかつ集光するフーリ
エ変換レンズと、このフーリエ変換レンズによって集光
された光を検出し検出信号を前記パルス光に対応した読
み出しパルスのタイミングで読み出すイメージセンサと
を備え、前記光源と前記光偏向器との間に前記パルス光
の進路を調節して平行光線にする少なくとも二つ以上の
レンズからなるコリメータを有していることを特徴とし
た固体ストリークカメラ。
1. An optical deflector for scanning pulsed light at a timing corresponding to pulsed light from a light source, a Fourier transform lens for Fourier transforming and condensing the light scanned by this optical deflector, and this Fourier transform. An image sensor that detects light condensed by a lens and reads a detection signal at the timing of a read pulse corresponding to the pulsed light, and adjusts the path of the pulsed light between the light source and the optical deflector. A solid streak camera having a collimator composed of at least two lenses for making parallel light rays.
【請求項2】 前記コリメータが、前記光偏向器,前記
フーリエ変換レンズ及び前記イメージセンサを収容する
筐体に対し着脱自在であることを特徴とした請求項1記
載の固体ストリークカメラ。
2. The solid streak camera according to claim 1, wherein the collimator is attachable to and detachable from a housing that houses the optical deflector, the Fourier transform lens, and the image sensor.
【請求項3】 前記コリメータが、前記光偏向器,前記
フーリエ変換レンズ及び前記イメージセンサを収容する
筐体内に内蔵されていることを特徴とした請求項1記載
の固体ストリークカメラ。
3. The solid streak camera according to claim 1, wherein the collimator is incorporated in a housing that houses the optical deflector, the Fourier transform lens, and the image sensor.
JP15666891A 1991-06-27 1991-06-27 Solid streak camera Expired - Fee Related JPH0756463B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15666891A JPH0756463B2 (en) 1991-06-27 1991-06-27 Solid streak camera

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15666891A JPH0756463B2 (en) 1991-06-27 1991-06-27 Solid streak camera

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH055657A JPH055657A (en) 1993-01-14
JPH0756463B2 true JPH0756463B2 (en) 1995-06-14

Family

ID=15632697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15666891A Expired - Fee Related JPH0756463B2 (en) 1991-06-27 1991-06-27 Solid streak camera

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0756463B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106596064B (en) * 2016-12-13 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 Device and method for measuring dynamic spatial resolution of synchronous scanning stripe camera

Also Published As

Publication number Publication date
JPH055657A (en) 1993-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4736110A (en) Image pick-up apparatus
US4965448A (en) Internal calibration source for infrared radiation detector
US4168126A (en) Electro-optical measuring system using precision light translator
JPS5483854A (en) Measuring device
JP2955017B2 (en) Simultaneous and confocal imaging devices
KR960035741A (en) Scanning electron microscope
JPH0756463B2 (en) Solid streak camera
CN1228615C (en) Infrared thermal imaging instrument
Wilson et al. Optical fibre profiling using a scanning optical microscope
JP2536997B2 (en) Solid strike camera
JPH07111372B2 (en) Solid streak camera
JP2542466B2 (en) Solid strike camera
JP3840619B2 (en) Displacement meter
KR100208674B1 (en) Motion measuring method of thin film type optical path control device and apparatus for performing same
JPH055650A (en) Solid-state streak camera
JPH08292098A (en) Optical spectrum analyzer
RU2285279C1 (en) Laser scanning microscope
JPS60244802A (en) Distance measuring instrument
JPH0540225A (en) Scanning microscope
JP2003279307A (en) Surface displacement measuring apparatus and measuring method using the same
JPH07249235A (en) Astigmatism correction method for semiconductor laser optical system
SU646774A1 (en) Device for measuring radiation intensity distribution
JPS61217014A (en) Scanning type inspecting instrument
JPS6179106A (en) Edge detecting device of optical measuring instrument
KR950007030B1 (en) Focus-distance sensing apparatus and method of lens system

Legal Events

Date Code Title Description
S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees